JPH0341930U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0341930U JPH0341930U JP10245289U JP10245289U JPH0341930U JP H0341930 U JPH0341930 U JP H0341930U JP 10245289 U JP10245289 U JP 10245289U JP 10245289 U JP10245289 U JP 10245289U JP H0341930 U JPH0341930 U JP H0341930U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mound
- turntable
- semiconductor wafer
- liquid
- cutter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
Landscapes
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係るマウンドカツ
タの一部破断分解斜視図、第２図及び第３図は第
１図−線に沿つた要部断面図であり、第２図
は、液体を液槽内に注入した状態を示し、第３図
はマウンドを折曲する状態を示している。第４図
は従来のマウンドカツタの斜視図である。 １……ターンテーブル、２……液槽、２２……
流入口、２３……排出口、３……押圧具、３２…
…刃部、Ｗ……半導体エウハ、Ｍ……マウンド。
タの一部破断分解斜視図、第２図及び第３図は第
１図−線に沿つた要部断面図であり、第２図
は、液体を液槽内に注入した状態を示し、第３図
はマウンドを折曲する状態を示している。第４図
は従来のマウンドカツタの斜視図である。 １……ターンテーブル、２……液槽、２２……
流入口、２３……排出口、３……押圧具、３２…
…刃部、Ｗ……半導体エウハ、Ｍ……マウンド。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 エピタキシヤル成長時に半導体エウハ表面に突
出して成長するマウンドを切除するマウンドカツ
タであつて、 半導体ウエハを吸着固定するターンテーブルと
、該ターンテーブルを収容する収容部と液体の流
入口と排出口とを有し上方を開口した液槽と、 該液槽の上方に液密状態で位置され上記ターン
テーブル上の半導体ウエハ表面に成長するマウン
ドを切除する断面略Ｔ字状の刃部を有した押圧具
とからなるマウンドカツタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10245289U JPH0341930U (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10245289U JPH0341930U (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0341930U true JPH0341930U (ja) | 1991-04-22 |
Family
ID=31651348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10245289U Pending JPH0341930U (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0341930U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100659843B1 (ko) * | 2005-12-28 | 2006-12-19 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | Ｃｍｐ 장비의 순수 절감 장치 |
-
1989
- 1989-08-31 JP JP10245289U patent/JPH0341930U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100659843B1 (ko) * | 2005-12-28 | 2006-12-19 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | Ｃｍｐ 장비의 순수 절감 장치 |