JPH0342409B2 - - Google Patents
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- JPH0342409B2 JPH0342409B2 JP58035957A JP3595783A JPH0342409B2 JP H0342409 B2 JPH0342409 B2 JP H0342409B2 JP 58035957 A JP58035957 A JP 58035957A JP 3595783 A JP3595783 A JP 3595783A JP H0342409 B2 JPH0342409 B2 JP H0342409B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
- G01F1/698—Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
-
- G—PHYSICS
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- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
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- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6842—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow with means for influencing the fluid flow
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、熱式流量計に係り、特に、内燃機関
に吸入される空気量を測定するに好適な熱式流量
計に関する。
に吸入される空気量を測定するに好適な熱式流量
計に関する。
内燃機関の吸入空気量を測定する方式として
は、可動ベーン形のものや、カルマン渦を利用す
るものなど種々のものが知られている。また、熱
式流量計は、例えば、USP3747577、
USP4304128などによつて知られており、これ
は、一般に応答性が良い、空気の質量流量が測定
できるなどの理由によつて、近年広く用いられて
きている。この熱式流量計は、流量検知部とし
て、直径70μm〜100μmの白金線を吸気筒内に張
る構成である。しかしながら、この構成では、耐
久性に不安があり、特に内燃機関が不調である時
に生ずるバツクフアイアによつて、機械的損傷を
受け易いという欠点がある。
は、可動ベーン形のものや、カルマン渦を利用す
るものなど種々のものが知られている。また、熱
式流量計は、例えば、USP3747577、
USP4304128などによつて知られており、これ
は、一般に応答性が良い、空気の質量流量が測定
できるなどの理由によつて、近年広く用いられて
きている。この熱式流量計は、流量検知部とし
て、直径70μm〜100μmの白金線を吸気筒内に張
る構成である。しかしながら、この構成では、耐
久性に不安があり、特に内燃機関が不調である時
に生ずるバツクフアイアによつて、機械的損傷を
受け易いという欠点がある。
そこで、これらの欠点に対処するために、
USP4264961に記載のように、吸気管を流れる空
気の一部をバイパス管に導き、このバイパス管の
中に流量検知部としての白金線を取付けるものが
しられている。ここで、バイパス管の直径は1cm
以内と小さいため、流量検知部もコンパクトにす
る必要がある。一方、白金線の抵抗値が温度によ
つて変化する現象を利用して流量を測定するもの
であるため、白金線の抵抗値は大きい方が感度が
高い。そこで、絶縁物のボビンの外周に、白金線
を巻くことにより流量検知部を構成し、コンパク
ト化と高抵抗化を図つている。しかしながら、こ
のように構成すると、支持体であるボビンの熱容
量のために、上述の方式に比べて、応答性が悪い
という問題が生じてきた。この問題は、バイパス
管を用いる場合に限らず、コンパクトな流量検知
部を用いる場合に生ずるものである。
USP4264961に記載のように、吸気管を流れる空
気の一部をバイパス管に導き、このバイパス管の
中に流量検知部としての白金線を取付けるものが
しられている。ここで、バイパス管の直径は1cm
以内と小さいため、流量検知部もコンパクトにす
る必要がある。一方、白金線の抵抗値が温度によ
つて変化する現象を利用して流量を測定するもの
であるため、白金線の抵抗値は大きい方が感度が
高い。そこで、絶縁物のボビンの外周に、白金線
を巻くことにより流量検知部を構成し、コンパク
ト化と高抵抗化を図つている。しかしながら、こ
のように構成すると、支持体であるボビンの熱容
量のために、上述の方式に比べて、応答性が悪い
という問題が生じてきた。この問題は、バイパス
管を用いる場合に限らず、コンパクトな流量検知
部を用いる場合に生ずるものである。
そして、この応答性の問題は、例えば、上述の
熱式流量計を単点燃料噴射システムに適用する場
合に問題となる。
熱式流量計を単点燃料噴射システムに適用する場
合に問題となる。
即ち単点燃料噴射の場合にはエンジンの吸気管
の集合部に噴射弁が1ケあるのみで多点噴射に比
し、燃料噴射位置からシリンダ入口までの距離が
長くなり、シリンダまでの燃料の到着時間が長く
なる。一方、噴射弁から各シリンダ迄の距離がそ
れぞれ異なつているため、実車のマツチングが難
しくなつてきている。これをコンピユータのソフ
トで補正する試みがなされたがいずれも不充分で
あつた。結局、単点噴射の場合には1ケの噴射弁
で各シリンダに燃料を分配する構成のために機種
が変わり、吸気管の形状が変わる毎にきめ細い実
車でのマツチングが必要である。従つて、特に加
速時や高速回転域では高精度の流量センサを用い
て、エンジンの吸入空気の脈動流によく追従して
検出精度を向上させる必要がある。
の集合部に噴射弁が1ケあるのみで多点噴射に比
し、燃料噴射位置からシリンダ入口までの距離が
長くなり、シリンダまでの燃料の到着時間が長く
なる。一方、噴射弁から各シリンダ迄の距離がそ
れぞれ異なつているため、実車のマツチングが難
しくなつてきている。これをコンピユータのソフ
トで補正する試みがなされたがいずれも不充分で
あつた。結局、単点噴射の場合には1ケの噴射弁
で各シリンダに燃料を分配する構成のために機種
が変わり、吸気管の形状が変わる毎にきめ細い実
車でのマツチングが必要である。従つて、特に加
速時や高速回転域では高精度の流量センサを用い
て、エンジンの吸入空気の脈動流によく追従して
検出精度を向上させる必要がある。
さらに、この応答性の問題は、単点燃料噴射シ
ステムのように内燃機関の制御に用いる場合だけ
でなく、一般の流量測定の場合でも、流量変化が
早い場合には、同様に問題となる。
ステムのように内燃機関の制御に用いる場合だけ
でなく、一般の流量測定の場合でも、流量変化が
早い場合には、同様に問題となる。
本発明の目的は、コンパクトな流量検知部を備
え、しかも、応答性のよい熱式流量計を提供する
にある。
え、しかも、応答性のよい熱式流量計を提供する
にある。
本発明者らが、従来の巻線タイプの流量検知部
について、種々実験・検討を行つた結果、以下の
ことが明らかとなつた。
について、種々実験・検討を行つた結果、以下の
ことが明らかとなつた。
すなわち、従来の流量検知部は、長さ2mmの絶
縁物質からなるボビンの両側に、支持体および導
電体兼用のptリードを固定し、このボビン上に白
金線を等間隔で巻いていた。そして、この白金線
に通電して、一定温度で発熱制御されているとき
の温度分布は、中央部が高温で、リード部に向つ
て傾斜している。したがつて、例えば、流量検知
部の設定温度を170℃にしたとき(これは、流量
検知部の抵抗値が所定値となるように設定するこ
とによつて行なわれる)、中央部の最高温度は、
約250℃になつていた。
縁物質からなるボビンの両側に、支持体および導
電体兼用のptリードを固定し、このボビン上に白
金線を等間隔で巻いていた。そして、この白金線
に通電して、一定温度で発熱制御されているとき
の温度分布は、中央部が高温で、リード部に向つ
て傾斜している。したがつて、例えば、流量検知
部の設定温度を170℃にしたとき(これは、流量
検知部の抵抗値が所定値となるように設定するこ
とによつて行なわれる)、中央部の最高温度は、
約250℃になつていた。
このように温度分布が大きくなつている原因と
して、次のことが考えられる。すなわち、抵抗線
に電流が流れ初めは各単位長さ当りの発熱量は同
じであるが、伝熱により巻線と接しているガラス
コート、ボビン、ロードなどにそれぞれ温度差が
生じる。そして、その温度差が抵抗線の各部の抵
抗値を変え、例えば、中央部などが、局部点に抵
抗値が上昇して、さらに発熱量も上昇する原因に
つながつているためである。具体的な構造につい
て検討すると、第1にボビンの中央部が中空であ
り、両端部にはリードやリードの接着剤があつ
て、両者の体積が異なり、熱容量に差が生じてい
る。第2に、両端部からはそれぞれ貴金属のリー
ドが出ており熱のひけが生ずる。
して、次のことが考えられる。すなわち、抵抗線
に電流が流れ初めは各単位長さ当りの発熱量は同
じであるが、伝熱により巻線と接しているガラス
コート、ボビン、ロードなどにそれぞれ温度差が
生じる。そして、その温度差が抵抗線の各部の抵
抗値を変え、例えば、中央部などが、局部点に抵
抗値が上昇して、さらに発熱量も上昇する原因に
つながつているためである。具体的な構造につい
て検討すると、第1にボビンの中央部が中空であ
り、両端部にはリードやリードの接着剤があつ
て、両者の体積が異なり、熱容量に差が生じてい
る。第2に、両端部からはそれぞれ貴金属のリー
ドが出ており熱のひけが生ずる。
本発明は、流量検知部の集中発熱を防止し、均
一な温度分布となるようにするため、絶縁性支持
体上に形成される発熱抵抗体の単位長あたりの抵
抗値を、中央部に比べて両端部の方を大きくする
ようにしたものである。
一な温度分布となるようにするため、絶縁性支持
体上に形成される発熱抵抗体の単位長あたりの抵
抗値を、中央部に比べて両端部の方を大きくする
ようにしたものである。
本発明の一実施例について、以下図面を用いて
説明する。
説明する。
第1図は、本発明の一実施例の部分縦断面図で
あり、第2図は、第1図の一部を取り除いた平面
図であり、第3図は、第1図の一部を取り除いた
底面図である。図において、10は、ボデイ部で
あり、アルミダイキヤストにより作られる。ボデ
イ部10の上には、ヘツド部11が取付けられて
いる。ヘツド部の上流には、エアクリーナが接続
されている。12は、スカート部であり、アルミ
ダイキヤストにより作られる。スカート部12の
下流は、エンジンに接続される。ボデイ部10と
スカート部12は、4個のネジにより固定され
る。ボデイ部10とスカート部12の内壁の一部
は、ベンチユリ部14を形成している。ボデイ部
10は、メイン通路16とともにバイバス通路1
8が形成されている。バイパス通路18は、メイ
ン通路16と平行な直線部分18−1と、メイン
通路16の周囲を取り巻く曲線部分18−2から
構成される。第3図は、第1図のスカート部12
を取りはずした状態で第1図を下方から見た図で
ある。この第3図からわかるようにバイバス通路
18の曲線部18−2は、メイン通路16の周囲
を約3/4周している。そして、第1図で示される
ように、バイバス通路18の出口18−3は横長
のスリツト状に形成されている。バイバス通路1
8の直線部18−1内には、センサとして、空気
流量測定用の感熱抵抗20と、空気の温度補償用
の感熱抵抗22が配置されている。この2つの感
熱抵抗20,22はサポートピンに固定され、こ
のサポートピンは、熱絶縁性物質24の中を通し
て、回路ケース26内の電気回路に接続されてい
る。この電気回路の詳細については、後述する。
感熱抵抗体20,22としては、熱線式のもの
か、熱フイルム式のものが用いられる。感熱抵抗
の詳細については、後述する。
あり、第2図は、第1図の一部を取り除いた平面
図であり、第3図は、第1図の一部を取り除いた
底面図である。図において、10は、ボデイ部で
あり、アルミダイキヤストにより作られる。ボデ
イ部10の上には、ヘツド部11が取付けられて
いる。ヘツド部の上流には、エアクリーナが接続
されている。12は、スカート部であり、アルミ
ダイキヤストにより作られる。スカート部12の
下流は、エンジンに接続される。ボデイ部10と
スカート部12は、4個のネジにより固定され
る。ボデイ部10とスカート部12の内壁の一部
は、ベンチユリ部14を形成している。ボデイ部
10は、メイン通路16とともにバイバス通路1
8が形成されている。バイパス通路18は、メイ
ン通路16と平行な直線部分18−1と、メイン
通路16の周囲を取り巻く曲線部分18−2から
構成される。第3図は、第1図のスカート部12
を取りはずした状態で第1図を下方から見た図で
ある。この第3図からわかるようにバイバス通路
18の曲線部18−2は、メイン通路16の周囲
を約3/4周している。そして、第1図で示される
ように、バイバス通路18の出口18−3は横長
のスリツト状に形成されている。バイバス通路1
8の直線部18−1内には、センサとして、空気
流量測定用の感熱抵抗20と、空気の温度補償用
の感熱抵抗22が配置されている。この2つの感
熱抵抗20,22はサポートピンに固定され、こ
のサポートピンは、熱絶縁性物質24の中を通し
て、回路ケース26内の電気回路に接続されてい
る。この電気回路の詳細については、後述する。
感熱抵抗体20,22としては、熱線式のもの
か、熱フイルム式のものが用いられる。感熱抵抗
の詳細については、後述する。
電気回路の一例について、第4図を用いて説明
する。
する。
自動車のバツテリなどの電圧から電圧VBがト
ランジスタ30を介して、流速測定用の感熱抵抗
20に供給される。感熱抵抗20と直列に抵抗3
2が接続されており、この抵抗32は、感熱抵抗
20を流れる電流を測定するのに用いられる。感
熱抵抗20の両端電圧は、抵抗34と36により
分圧される。この分圧された電圧は、抵抗38を
介して差動増巾器40の一方の入力端子に接続さ
れている。Anp42の負入力は、抵抗44を介し
て接地される。温度補償用感熱抵抗22と抵抗4
6は、Anp42の帰還抵抗となる。Anp42の出
力は、抵抗48を介してAnp40の正入力に接続
されている。したがつて、Anp40は、分圧され
た感熱抵抗20の両端電圧と、感熱抵抗20と抵
抗32の接続点Bの電圧を空気温に応じた増巾率
でAnp42により増巾した電圧が等しくなるよう
に出力を出す。Anp40の出力は、トランジスタ
30のベースに供給され、Anp40は、この入力
が等しくなるように出力を出してトランジストタ
30を制御する。その結果、感熱抵抗20は、一
定温度に保たれる。その温度は、感熱抵抗20,
22の周囲の空気温度よりほぼ170℃高い温度で
ある。定電圧源50からは、抵抗52と可変抵抗
54の直列回路が接続されている。そして、抵抗
52と54の接続点は、抵抗56を介してAnp4
2の負入力に接続されている。これらの抵抗は、
オフセツト調整に用いられる。また、バツテリの
電圧VBに接続された定電圧源50の出力は、抵
抗52,54により分圧される。抵抗52と54
の接続点は、ダイオード56を介して、Anp40
の正入力に接続される。これらの回路は起動回路
である。すなわち、自動車のキースイツチをON
にした時、ダイオード56を介して一定電圧を印
加することにより、Anp40の2入力を異なら
せ、Anp40の出力を強制的に出させるようにし
ている。感熱抵抗20と抵抗32の接続点Bは、
増巾器58に接続される。増巾器58は、抵抗3
2の両端電圧を出力する。抵抗32の抵抗値は一
定であるため、Anp56の出力は、抵抗32を流
れる電流、すなわち、感熱抵抗20を流す電流を
あらわしており、空気流量の信号となる。また、
Anp40の出力も感熱抵抗20を流れる電流をあ
らわしており、空気流量の信号となる。
ランジスタ30を介して、流速測定用の感熱抵抗
20に供給される。感熱抵抗20と直列に抵抗3
2が接続されており、この抵抗32は、感熱抵抗
20を流れる電流を測定するのに用いられる。感
熱抵抗20の両端電圧は、抵抗34と36により
分圧される。この分圧された電圧は、抵抗38を
介して差動増巾器40の一方の入力端子に接続さ
れている。Anp42の負入力は、抵抗44を介し
て接地される。温度補償用感熱抵抗22と抵抗4
6は、Anp42の帰還抵抗となる。Anp42の出
力は、抵抗48を介してAnp40の正入力に接続
されている。したがつて、Anp40は、分圧され
た感熱抵抗20の両端電圧と、感熱抵抗20と抵
抗32の接続点Bの電圧を空気温に応じた増巾率
でAnp42により増巾した電圧が等しくなるよう
に出力を出す。Anp40の出力は、トランジスタ
30のベースに供給され、Anp40は、この入力
が等しくなるように出力を出してトランジストタ
30を制御する。その結果、感熱抵抗20は、一
定温度に保たれる。その温度は、感熱抵抗20,
22の周囲の空気温度よりほぼ170℃高い温度で
ある。定電圧源50からは、抵抗52と可変抵抗
54の直列回路が接続されている。そして、抵抗
52と54の接続点は、抵抗56を介してAnp4
2の負入力に接続されている。これらの抵抗は、
オフセツト調整に用いられる。また、バツテリの
電圧VBに接続された定電圧源50の出力は、抵
抗52,54により分圧される。抵抗52と54
の接続点は、ダイオード56を介して、Anp40
の正入力に接続される。これらの回路は起動回路
である。すなわち、自動車のキースイツチをON
にした時、ダイオード56を介して一定電圧を印
加することにより、Anp40の2入力を異なら
せ、Anp40の出力を強制的に出させるようにし
ている。感熱抵抗20と抵抗32の接続点Bは、
増巾器58に接続される。増巾器58は、抵抗3
2の両端電圧を出力する。抵抗32の抵抗値は一
定であるため、Anp56の出力は、抵抗32を流
れる電流、すなわち、感熱抵抗20を流す電流を
あらわしており、空気流量の信号となる。また、
Anp40の出力も感熱抵抗20を流れる電流をあ
らわしており、空気流量の信号となる。
次に、流量検知部である感熱抵抗の一例の詳細
構成について、第5図を用いて説明する。
構成について、第5図を用いて説明する。
第5図aは、流量検知部の顕微鏡写真を転写し
たものである。そして、実際の寸法の50倍に拡大
してある。同図bは、aの部分断面図である。
たものである。そして、実際の寸法の50倍に拡大
してある。同図bは、aの部分断面図である。
中空のアルミナボビン100の両端からは、白金
製のリード102,104が挿入されており、両
者は、硼珪酸ガラス106,108によつて接着
されている。ボビン100の外周には、白金線1
10が巻かれており、その巻き方は、中央が疎で
あり、両端が密となつている。すなわち、従来の
均等巻きとは異なつている。白金線110の両端
末112,114は、リード102,104に点
溶接されている。さらに、白金線110の周囲に
は、鉛ガラスをかけ、600℃で焼成して、10〜
20μの保護膜116を形成している。リード10
2,104の両端は、支持ピン118(右側の支
持ピンは図示せず)に点溶接している。
製のリード102,104が挿入されており、両
者は、硼珪酸ガラス106,108によつて接着
されている。ボビン100の外周には、白金線1
10が巻かれており、その巻き方は、中央が疎で
あり、両端が密となつている。すなわち、従来の
均等巻きとは異なつている。白金線110の両端
末112,114は、リード102,104に点
溶接されている。さらに、白金線110の周囲に
は、鉛ガラスをかけ、600℃で焼成して、10〜
20μの保護膜116を形成している。リード10
2,104の両端は、支持ピン118(右側の支
持ピンは図示せず)に点溶接している。
ここで、ボビン110は、電気絶縁性の物質で
あればよく、アルミナの他に、マグネシア、ジル
コニアなどがある。リード102,104として
は、導電性があればよく、他の金属線を用いるこ
とができる。接着剤106,108は白金ペース
トが金属合金を用いることができる。白金線11
0は、導電性がり、熱抵抗係数が大きいものであ
れば、他の金属でもよいが、安定性の点からは、
白金が好ましい。また、白金は、線に限らず、フ
イルムの上のものであつてもよい。
あればよく、アルミナの他に、マグネシア、ジル
コニアなどがある。リード102,104として
は、導電性があればよく、他の金属線を用いるこ
とができる。接着剤106,108は白金ペース
トが金属合金を用いることができる。白金線11
0は、導電性がり、熱抵抗係数が大きいものであ
れば、他の金属でもよいが、安定性の点からは、
白金が好ましい。また、白金は、線に限らず、フ
イルムの上のものであつてもよい。
次に、第5図の実施例の各部の寸法について説
明する。
明する。
Γボビン100の全長L:2mm
Γボビン100の両端であつて白金線を密に巻き
にくい部分の長さl1:0.1mm Γボビン100の両端側で、白金線を密に巻いて
ある部分の長さl2:0.45mm Γボビン100の中央で、白金線が疎に巻いてあ
う部分の長さl3:0.9mm Γボビン100の両端にさしこまれているリード
102,104の長さl4:0.5mm Γボビン100の外径d1:0.5mm Γボビン100の内径d2:0.3mm Γリード102,104の外径d3:0.15mm Γ支持ピン118の外径d4:0.8mm ここで、通常のシヤープペンシルのしん(外径
0.5mm)の先端部分と、本実施例のボビン100
は、ほぼ同じ寸法であり、いかにコンパクトであ
るかが理解されよう。
にくい部分の長さl1:0.1mm Γボビン100の両端側で、白金線を密に巻いて
ある部分の長さl2:0.45mm Γボビン100の中央で、白金線が疎に巻いてあ
う部分の長さl3:0.9mm Γボビン100の両端にさしこまれているリード
102,104の長さl4:0.5mm Γボビン100の外径d1:0.5mm Γボビン100の内径d2:0.3mm Γリード102,104の外径d3:0.15mm Γ支持ピン118の外径d4:0.8mm ここで、通常のシヤープペンシルのしん(外径
0.5mm)の先端部分と、本実施例のボビン100
は、ほぼ同じ寸法であり、いかにコンパクトであ
るかが理解されよう。
次に、白金線の巻き方について説明する。ボビ
ン100の両端の密部分には、白金線110が14
回巻かれている。白金線110の太さは、20μで
あり、ある白金線と他の白金線の間のギヤツプ
は、12μである。一方、ボビン100の両側の疎
部分には、白金線110が7回巻かれている。し
たがつて、白金線と他の白金線の間のギヤツプ
は、180μである。尚、ボビン100の両端一杯
まで密に巻いた方がよいわけであるが、巻き始め
の部分は、巻きにくいため、必ずしも十分な密状
態にはしにくいものである。
ン100の両端の密部分には、白金線110が14
回巻かれている。白金線110の太さは、20μで
あり、ある白金線と他の白金線の間のギヤツプ
は、12μである。一方、ボビン100の両側の疎
部分には、白金線110が7回巻かれている。し
たがつて、白金線と他の白金線の間のギヤツプ
は、180μである。尚、ボビン100の両端一杯
まで密に巻いた方がよいわけであるが、巻き始め
の部分は、巻きにくいため、必ずしも十分な密状
態にはしにくいものである。
ここで、ボビン100の中央部の長さは、全長
の約50%であり、両端部も併せるとほぼ50%とな
る。しかし、中央部は、中空であるため、中央部
と両端部の体積比は、40%対60%となる。したが
つて、熱容量の比も、ほぼこれに等しくなる。さ
らに、両端部には、リード102,104が接続
してあるため、熱ヒケ分を考慮する必要がある。
そこで、中央部に、白金線の全長の20%、すなわ
ち、白金線の全抵抗の20%分を、両端部にそれぞ
れ、白金線の全長の40%ずつ、すなわち、白金線
の全抵抗の40%ずつを巻いてある。
の約50%であり、両端部も併せるとほぼ50%とな
る。しかし、中央部は、中空であるため、中央部
と両端部の体積比は、40%対60%となる。したが
つて、熱容量の比も、ほぼこれに等しくなる。さ
らに、両端部には、リード102,104が接続
してあるため、熱ヒケ分を考慮する必要がある。
そこで、中央部に、白金線の全長の20%、すなわ
ち、白金線の全抵抗の20%分を、両端部にそれぞ
れ、白金線の全長の40%ずつ、すなわち、白金線
の全抵抗の40%ずつを巻いてある。
その結果、流量検知部の温度分布は、第5図c
のようになり、中央と両端の温度差は、10℃以下
となり、最高温度も200℃前後と低くなつた。そ
して、この例に基づいて応答性を測定した。その
結果は、第6図に示す通りである。一方、従来の
白金線を等ピツチ巻きにしたもの(巻数は同じく
35回で、等ピツチであるため、線間ギヤツプは
35μ)の応答性について第7図に示す。
のようになり、中央と両端の温度差は、10℃以下
となり、最高温度も200℃前後と低くなつた。そ
して、この例に基づいて応答性を測定した。その
結果は、第6図に示す通りである。一方、従来の
白金線を等ピツチ巻きにしたもの(巻数は同じく
35回で、等ピツチであるため、線間ギヤツプは
35μ)の応答性について第7図に示す。
この図は、時間0の時に、空気流量を0Kg/H
から200Kg/Hにステツプ的増加させた場合の流
量計の応答出力、および、その逆に、空気流量を
200Kg/Hから0Kg/Hにステツプ的に減少させ
た場合の流量計の応答出力を表わしている。そし
て、図中の数字は、流量変化後、フルスケールの
95%に至るまでの応答時間3τを表わしている。す
なわち、従来のものにあつては、立ち上り応答時
間が1700msであり、立ち下り応答時間が107m
sであつたものが、本実施例では、立ち上り応答
時間105ms、立ち下り応答時間60msに改善さ
れている。特に、立ち上り応答時間は、約1/7に
短縮されている。
から200Kg/Hにステツプ的増加させた場合の流
量計の応答出力、および、その逆に、空気流量を
200Kg/Hから0Kg/Hにステツプ的に減少させ
た場合の流量計の応答出力を表わしている。そし
て、図中の数字は、流量変化後、フルスケールの
95%に至るまでの応答時間3τを表わしている。す
なわち、従来のものにあつては、立ち上り応答時
間が1700msであり、立ち下り応答時間が107m
sであつたものが、本実施例では、立ち上り応答
時間105ms、立ち下り応答時間60msに改善さ
れている。特に、立ち上り応答時間は、約1/7に
短縮されている。
立ち上りの応答時間が短縮されたことにより、
立ち上り立ち下り応答時間差が小さく、エンジン
の脈動流を検出する場合に、平均値に接近した精
度で流量検出が可能となり流量の検出精度が向上
する効果がある。
立ち上り立ち下り応答時間差が小さく、エンジン
の脈動流を検出する場合に、平均値に接近した精
度で流量検出が可能となり流量の検出精度が向上
する効果がある。
また、空気の流れに伝達する熱量も増加し熱量
センサとしての感度が向上する。第8図に縦軸に
抵抗体に供給する電流IHの2乗、横軸に流量Qの
平方根をとつて、従来形と抵抗線の荒捲について
の2つの特性を示す。中央荒捲の場合には従来形
に比して低流量量側での消費電力が15%低くなつ
ている。更に空気の流れに伝達する熱量は勾配で
約20%向上しており、感度の向上が計れる。
センサとしての感度が向上する。第8図に縦軸に
抵抗体に供給する電流IHの2乗、横軸に流量Qの
平方根をとつて、従来形と抵抗線の荒捲について
の2つの特性を示す。中央荒捲の場合には従来形
に比して低流量量側での消費電力が15%低くなつ
ている。更に空気の流れに伝達する熱量は勾配で
約20%向上しており、感度の向上が計れる。
次に巻数比を変えて実験を行つた。その結果を
表1に示す。
表1に示す。
すなわち、従来のものは、等ピツチで全部で35
回巻いたものである。それに対して、例1は、 ■■■ 亀の甲 [0007] ■■■ 上述の実施例の場合で、両側に14回疎に巻き、
中央には、7回巻いた場合である。両側の0.45mm
の長さの区間には、14回以上巻くことは(隣り同
志の白金線が触れてしまうため)困難である。そ
こで、全体の巻数は変えずに、例2のように、両
側を13回巻にし、中央を9回巻きにして実験を行
つた。この結果は、立ち上り180ms、立ち下り
83msであつて、従来より改善されているが、例
1よりはおとつている。すなわち、例2のもので
あつては、両端からの熱ヒゲがあり、また、中央
部が両端より高温になつて、温度分布のバラツキ
があつたためと考える。例3は、両側の巻数は例
1と変えず、中央の巻数を2回多くして、中央部
の温度を少し高目にしたものである。こと例で
は、ほぼ例1と同じ応答となつている。
回巻いたものである。それに対して、例1は、 ■■■ 亀の甲 [0007] ■■■ 上述の実施例の場合で、両側に14回疎に巻き、
中央には、7回巻いた場合である。両側の0.45mm
の長さの区間には、14回以上巻くことは(隣り同
志の白金線が触れてしまうため)困難である。そ
こで、全体の巻数は変えずに、例2のように、両
側を13回巻にし、中央を9回巻きにして実験を行
つた。この結果は、立ち上り180ms、立ち下り
83msであつて、従来より改善されているが、例
1よりはおとつている。すなわち、例2のもので
あつては、両端からの熱ヒゲがあり、また、中央
部が両端より高温になつて、温度分布のバラツキ
があつたためと考える。例3は、両側の巻数は例
1と変えず、中央の巻数を2回多くして、中央部
の温度を少し高目にしたものである。こと例で
は、ほぼ例1と同じ応答となつている。
すなわち、中央に比べて両端を密に巻くことに
より応答性の改善を図ることができる。そして、
疎密の程度は、全体の熱容量の分布、両端からの
熱ヒケの程度に応じて実験的に決めるのが好まし
い。
より応答性の改善を図ることができる。そして、
疎密の程度は、全体の熱容量の分布、両端からの
熱ヒケの程度に応じて実験的に決めるのが好まし
い。
上述の例では、全体の熱容量を大きくしないた
めと、リードの取付けやすさの点から中空ボビン
を用いているが、これは、円柱状、平板上の支持
体であつてもよい。その場合、熱容量はほぼ均一
になるので、熱ヒケを主に考慮すればよい。
めと、リードの取付けやすさの点から中空ボビン
を用いているが、これは、円柱状、平板上の支持
体であつてもよい。その場合、熱容量はほぼ均一
になるので、熱ヒケを主に考慮すればよい。
また、白金線の変わりに、白金フイルムを使う
ことができ、その場合は、円筒ボビンにあつては
スパイラル状又は平板ボビンにあつてはジグザグ
状にレーザトリミングして、抵抗値を増加させる
必要があるが、トリミングにより除去できる部分
の巾は一定であるため、ボビンの軸方向でのトリ
ミングの送りを変えて、中央の抵抗値を小さく、
両端の抵抗値を大きくすれば、同じ効果をもたら
すことができる。
ことができ、その場合は、円筒ボビンにあつては
スパイラル状又は平板ボビンにあつてはジグザグ
状にレーザトリミングして、抵抗値を増加させる
必要があるが、トリミングにより除去できる部分
の巾は一定であるため、ボビンの軸方向でのトリ
ミングの送りを変えて、中央の抵抗値を小さく、
両端の抵抗値を大きくすれば、同じ効果をもたら
すことができる。
本発明の一実施例によれば、流量検知部の温度
の分布をほぼ均一にして空気の流れに対する熱伝
達量を向上させることができるため、感度が向上
し、流量測定精度が向上する。
の分布をほぼ均一にして空気の流れに対する熱伝
達量を向上させることができるため、感度が向上
し、流量測定精度が向上する。
また、ボビンの最高温度を下げることによつて
立ち上り応答時間を速くすることができる。
立ち上り応答時間を速くすることができる。
また、立ち上り、立ち下り応答時間の差を少な
くして脈動量の真値に近い値が検出でき、流量測
定精度が向上する。
くして脈動量の真値に近い値が検出でき、流量測
定精度が向上する。
本発明によれば、熱式流量計の応答性が向上す
る。
る。
第1図乃至第3図は、本発明の一実施例の構造
図であり、第4図は、本発明の一実施例の回路図
であり、第5図は、本発明の一実施例の詳細構造
図であり、第6図は、本発明の一実施例による実
験データ図であり、第7図は、従来例の実験デー
タであり、第7図は、従来例の実験データ図であ
り、第8図は、本発明の一実施例と従来例の比較
データ図である。 100……ボビン、102,104……リー
ド、110……白金線。
図であり、第4図は、本発明の一実施例の回路図
であり、第5図は、本発明の一実施例の詳細構造
図であり、第6図は、本発明の一実施例による実
験データ図であり、第7図は、従来例の実験デー
タであり、第7図は、従来例の実験データ図であ
り、第8図は、本発明の一実施例と従来例の比較
データ図である。 100……ボビン、102,104……リー
ド、110……白金線。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 流体により熱が持ち去られる現象を用いる流
量検知部を有する熱式流量計において、上記流量
検知部は、支持体と、この支持体の上に形成され
た感熱抵抗体と、この支持体の両端に取付けられ
たリードからなり、この支持体の両側における上
記感熱抵抗体の単位長当りの抵抗値が、この支持
体の中央における上記感熱抵抗体の単位長当りの
抵抗値よりも大きくなるように、上記支持体上に
感熱抵抗体を形成したことを特徴とする熱式流量
計。 2 特許請求の範囲第1項記載の流量計におい
て、上記感熱抵抗体は、線状であり、上記支持体
の両側は密に、中央は疎となるように、支持体の
外周に巻かれていることを特徴とする熱式流量
計。 3 特許請求の範囲第1項記載の流量計におい
て、上記感熱抵抗体は、膜状であり、上記支持体
表面に膜形成後、トリミングされるものであり、
そのトリミングのピツチが、支持体の両側では細
く、支持体の中央では粗いことを特徴とする熱式
流量計。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58035957A JPS59162413A (ja) | 1983-03-07 | 1983-03-07 | 熱式流量計 |
| US06/585,194 US4559814A (en) | 1983-03-07 | 1984-03-01 | Thermal air flow meter |
| EP84102228A EP0118117B1 (en) | 1983-03-07 | 1984-03-02 | Thermal air flow meter |
| DE8484102228T DE3465515D1 (en) | 1983-03-07 | 1984-03-02 | Thermal air flow meter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58035957A JPS59162413A (ja) | 1983-03-07 | 1983-03-07 | 熱式流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59162413A JPS59162413A (ja) | 1984-09-13 |
| JPH0342409B2 true JPH0342409B2 (ja) | 1991-06-27 |
Family
ID=12456449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58035957A Granted JPS59162413A (ja) | 1983-03-07 | 1983-03-07 | 熱式流量計 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4559814A (ja) |
| EP (1) | EP0118117B1 (ja) |
| JP (1) | JPS59162413A (ja) |
| DE (1) | DE3465515D1 (ja) |
Families Citing this family (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3543401A1 (de) * | 1984-12-21 | 1986-06-26 | Joh. Vaillant Gmbh U. Co, 5630 Remscheid | Einrichtung zum ermitteln der geschwindigkeit eines fluiden mediums |
| US4756190A (en) * | 1985-08-09 | 1988-07-12 | Nippon Soken, Inc. | Direct-heated flow measuring apparatus having uniform characteristics |
| JPS6282240A (ja) * | 1985-10-04 | 1987-04-15 | Hitachi Ltd | 吸入空気量測定装置 |
| JPH0680408B2 (ja) * | 1985-10-09 | 1994-10-12 | 株式会社日立製作所 | 感熱式空気流量計及び感熱抵抗体 |
| US4808009A (en) * | 1986-06-05 | 1989-02-28 | Rosemount, Inc. | Integrated semiconductor resistance temperature sensor and resistive heater |
| JPS63233325A (ja) * | 1986-08-22 | 1988-09-29 | Hitachi Ltd | 熱膜式流量計用感温抵抗体 |
| JP2511426B2 (ja) * | 1986-10-08 | 1996-06-26 | 株式会社日立製作所 | 熱線式空気流量計 |
| GB2196433B (en) * | 1986-10-08 | 1990-10-24 | Hitachi Ltd | Hot element air flow meter |
| JP2511425B2 (ja) * | 1986-10-08 | 1996-06-26 | 株式会社日立製作所 | 熱式空気流量計 |
| JPS63307315A (ja) * | 1987-06-09 | 1988-12-15 | Hitachi Ltd | ホツトフイルム形空気流量計 |
| JPH0682056B2 (ja) * | 1987-07-13 | 1994-10-19 | 株式会社日立製作所 | 流量計用抵抗素子 |
| FR2619892B1 (fr) * | 1987-08-31 | 1991-08-16 | Gaz De France | Procede pour prevenir l'encrassement d'un dispositif detecteur d'anomalies et dispositif pour l'execution de ce procede |
| US5020214A (en) * | 1987-09-30 | 1991-06-04 | Hitachi, Ltd. | Method of manufacturing a hot wire air flow meter |
| JPH073352B2 (ja) * | 1987-10-09 | 1995-01-18 | 株式会社日立製作所 | 熱式空気流量計 |
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| US4796651A (en) * | 1988-03-30 | 1989-01-10 | LeRoy D. Ginn | Variable gas volume flow measuring and control methods and apparatus |
| JPH0244211A (ja) * | 1988-08-04 | 1990-02-14 | Sharp Corp | フローセンサ |
| DE4009833C2 (de) * | 1989-03-31 | 1996-09-26 | Aisan Ind | Luftmengenmeßeinrichtung für Ansaugluft |
| DE3937783A1 (de) * | 1989-11-14 | 1991-05-16 | Deutsche Forsch Luft Raumfahrt | Sensor zur ermittlung der massenstromdichtegemittelten temperatur |
| US5094105A (en) * | 1990-08-20 | 1992-03-10 | General Motors Corporation | Optimized convection based mass airflow sensor |
| JP2842729B2 (ja) * | 1992-04-30 | 1999-01-06 | 三菱電機株式会社 | 感熱式流量センサ |
| ATE222354T1 (de) * | 1997-12-30 | 2002-08-15 | Qualiflow S A | Verfahren zu herstellung von einem sensor für einen thermischen massendurchflussmesser |
| LU90492B1 (de) * | 1999-12-16 | 2001-06-18 | Delphi Tech Inc | Massendurchflussmesser |
| US6446504B1 (en) * | 2000-03-30 | 2002-09-10 | Mks Instruments, Inc. | Constant temperature gradient differential thermal mass flow sensor |
| US6647779B2 (en) * | 2001-06-04 | 2003-11-18 | Ngk Insulators, Ltd. | Temperature sensing resistance element and thermal flow sensor using same |
| JP5080020B2 (ja) * | 2006-04-13 | 2012-11-21 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量センサ |
| JP5052275B2 (ja) * | 2007-09-20 | 2012-10-17 | アズビル株式会社 | フローセンサの取付構造 |
| JP5409076B2 (ja) * | 2009-03-27 | 2014-02-05 | 株式会社堀場製作所 | 熱伝導率センサ |
| US8302459B2 (en) * | 2009-03-27 | 2012-11-06 | Horiba, Ltd. | Thermal conductivity sensor |
Family Cites Families (11)
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| US2838639A (en) * | 1954-02-10 | 1958-06-10 | Sprague Electric Co | Film resistor spirallising |
| JPS4948893B1 (ja) * | 1970-08-29 | 1974-12-24 | ||
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| DE2947856A1 (de) * | 1979-11-28 | 1981-07-23 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Vorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums |
| JPS56108908A (en) * | 1980-01-31 | 1981-08-28 | Hitachi Ltd | Detector for sucked air flow rate of internal combustion engine |
| JPS56108907A (en) * | 1980-01-31 | 1981-08-28 | Hitachi Ltd | Detector for sucked air flow rate of internal combustion engine |
-
1983
- 1983-03-07 JP JP58035957A patent/JPS59162413A/ja active Granted
-
1984
- 1984-03-01 US US06/585,194 patent/US4559814A/en not_active Expired - Lifetime
- 1984-03-02 EP EP84102228A patent/EP0118117B1/en not_active Expired
- 1984-03-02 DE DE8484102228T patent/DE3465515D1/de not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59162413A (ja) | 1984-09-13 |
| EP0118117A1 (en) | 1984-09-12 |
| EP0118117B1 (en) | 1987-08-19 |
| DE3465515D1 (en) | 1987-09-24 |
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