JPH0343170U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0343170U JPH0343170U JP10405889U JP10405889U JPH0343170U JP H0343170 U JPH0343170 U JP H0343170U JP 10405889 U JP10405889 U JP 10405889U JP 10405889 U JP10405889 U JP 10405889U JP H0343170 U JPH0343170 U JP H0343170U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- door
- tank
- vertical axis
- axis direction
- Prior art date
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- Granted
Links
- 230000006837 decompression Effects 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
Description
第１図〜第３図は本考案の一実施例を示す図で
、第１図は正面図、第２図は側面図、第３図は要
部を示す図である。第４図は従来の扉開閉機構の
一般構造を示す図である。 ２……減圧タンク、２ｄ……減圧タンクの開口
部、１０……扉開閉機構、１１……搬送手段、２
１……扉、３１……係合部材、３５……駆動手段
、Ｘ……横軸線方向、Ｙ……縦軸線方向、Ｙ１…
…縦軸線。
、第１図は正面図、第２図は側面図、第３図は要
部を示す図である。第４図は従来の扉開閉機構の
一般構造を示す図である。 ２……減圧タンク、２ｄ……減圧タンクの開口
部、１０……扉開閉機構、１１……搬送手段、２
１……扉、３１……係合部材、３５……駆動手段
、Ｘ……横軸線方向、Ｙ……縦軸線方向、Ｙ１…
…縦軸線。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 減圧タンクの縦軸線と直交する横軸線方向に往
復移動可能な搬送手段と、 この搬送手段に、自由状態において下端部が上
端部より前記減圧タンクの開口部に向けて突出す
る姿勢として吊下された扉と、 前記減圧タンクの開口部に対応位置づけされた
前記扉の上端部と縦軸線方向において係合分離可
能な係合部材と、 この係合部材を縦軸線方向に往復移動させるた
めに前記減圧タンクに取付けられた駆動手段とか
らなる減圧タンクの扉開閉機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10405889U JP2552537Y2 (ja) | 1989-09-05 | 1989-09-05 | 減圧タンクの扉開閉機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10405889U JP2552537Y2 (ja) | 1989-09-05 | 1989-09-05 | 減圧タンクの扉開閉機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0343170U true JPH0343170U (ja) | 1991-04-23 |
| JP2552537Y2 JP2552537Y2 (ja) | 1997-10-29 |
Family
ID=31652867
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10405889U Expired - Lifetime JP2552537Y2 (ja) | 1989-09-05 | 1989-09-05 | 減圧タンクの扉開閉機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2552537Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009208658A (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-17 | Taiyo Nippon Sanso Corp | 真空装置用扉開閉装置 |
| JP2022014348A (ja) * | 2020-07-06 | 2022-01-19 | 高砂工業株式会社 | 真空炉及び制御方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5748709B2 (ja) | 2012-06-05 | 2015-07-15 | 三菱電機株式会社 | プローブカード |
-
1989
- 1989-09-05 JP JP10405889U patent/JP2552537Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009208658A (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-17 | Taiyo Nippon Sanso Corp | 真空装置用扉開閉装置 |
| JP2022014348A (ja) * | 2020-07-06 | 2022-01-19 | 高砂工業株式会社 | 真空炉及び制御方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2552537Y2 (ja) | 1997-10-29 |