JPH0343185A

JPH0343185A - 搬送装置

Info

Publication number: JPH0343185A
Application number: JP1178082A
Authority: JP
Inventors: Ryoichi Suzuki; 亮一鈴木; Takehiko Nomura; 武彦野村; Toshimasa Furuya; 古矢　敏征
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1989-07-12
Filing date: 1989-07-12
Publication date: 1991-02-25

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）この発明は例えば半導体製造装置等で使用されるマスク
、レチクル等の被保持体を搬送する搬送装置の改良に関
する。

（従来の技術）一般に、例えば半導体製造装置等で使用されるマスク、
レチクル等の被保持体を搬送する搬送装置として例えば
特開昭６３−９７５４７号公報に示す構成のものが知ら
れている。これは、マスク、レチクル等の被保持体を保
持する保持具を移動させる駆動源としてサーボモータや
パルスモータを使用したものである。このようにサーボ
モータやパルスモータを使用する移動機構では専用のド
ライバが必要になるので、移動機構全体の構成が複雑に
なる問題があった。さらに、パルスモータを使用した移
動機構では保持具の移動位置を検出するエンコーダ等の
位置検出装置を組み込んだサーボ機構を設ける必要があ
るので、移動機構全体の溝底が一層複雑になる問題があ
った。また、パルスモータを使用した移動機構では保持
具を所定位置で保持させている間はパルスモータの磁石
を励磁状態で保持させなければならないので、パルスモ
ータが発熱する問題があった。そのため、パルスモータ
の熱によってこのパルスモータの周辺に配設された各構
成部材が熱膨張するおそれがあるので、被保持体の搬送
作業時に位置決め誤差が発生する問題があった。

（発明が解決しようとする課題）従来構成のものにあってはマスク、レチクル等の被保持
体の保持具を移動させる移動機構の駆動源としてサーボ
モータやパルスモータを使用していたので、移動機構全
体の構成が複雑になる問題があるとともに、パルスモー
タを使用した移動機構では保持具を所定の停止位置で保
持させている間はパルスモータの磁石を励磁状態で保持
させなければな、らないので、パルスモータが発熱し、
パルスモータの熱によってこのパルスモータの周辺に配
設された各構成部材が熱膨張して被保持体の搬送作業時
に位置決め誤差が発生する問題があった。

この発明は上記事情に着目してなされたもので、移動機
構全体の構成の簡略化を図ることができるとともに、被
保持体の搬送作業時の位置決め精度の向上を図ることが
できる搬送装置を提供することを目的とするものである
。

［発明の構成］（課題を解決するための手段）請求項第（１）項の発明は被保持体の保持具を移動させ
る移動機構の駆動用アクチュエータをエアシリンダによ
って形成し、この移動機構による保持具の移動時に所定
の設定位置で保持具に当接して保持具の移動を停止する
ストッパを設けたものである。

請求項第（２）項の発明は被保持体の保持具を移動させ
る移動機構の駆動用アクチュエータをエアシリンダによ
って形成し、この移動機構による保持具の移動時に所定
の設定位置で保持具に当接して保持具の移動を停止する
ストッパを設けるとともに、保持具の移動中は保持具の
移動抵抗を小さくし、保持具がストッパに接近するにし
たがって保持具の移動抵抗を大きくする保持具の速度制
御用ダンパを設けたものである。

（作　用）請求項第（１）項の発明では被保持体の保持具をエアシ
リンダによって移動させ、所定の設定位置でストッパに
この保持具を当接させて被保持体を位置決めさせること
により、位置検出装置等を省略して移−動機構全体の構
成の簡略化を図るとともに、保持具を所定位置で保持さ
せている間の構成部材の熱膨張を防止して被保持体の搬
送作業時の位置決め精度の向上を図るようにしたもので
ある。

また、請求項第（２）項の発明では被保持体の保持具を
エアシリンダによって移動させ、所定の設定位置でスト
ッパにこの保持具を当接させて被保持体を位置決めさせ
ることにより、位置検出装置等を省略して移動機構全体
の構成の簡略化を図り、保持具を所定位置で保持させて
いる間の構成部材の熱膨張を防止して被保持体の搬送作
業時の位置決め精度の向上を図るとともに、速度制御用
ダンパによって保持具の移動中は保持具の移動抵抗を小
さくし、保持具がストッパに接近するにしたがって保持
具の移動抵抗を大きくすることにより、移動中の保持具
が停止位置で停止する際の衝撃力の作用を低減し、位置
決め精度の一層の向上を図るようにしたものである。

（実施例）以下、この発明の第１の実施例を第１図乃至第３図を参
照して説明する。第１図は搬送装置全体の概略構成を示
すもので、１は路上下方向（Ｚ方向）に沿って立設され
た固定基板である。この基板１にはＺテーブル２が基板
１上に路上下方向に向けて延設されたＺテーブルガイド
３に沿って路上下方向に向けて移動可能に装着されてい
る。

さらに、この基板１には２テーブル２を路上下方向に向
けて移動操作するＺテーブル移動機構４が装着されてい
る。このＺテーブル移動機構４には駆動用アクチュエー
タとしてエアシリンダによって形成されたジグシリンダ
５が装着されている。

また、このジグシリンダ５には第３図に示すようにシリ
ンダ本体５ａ内にピストン５ｂが軸方向に摺動自在に装
着されている。そして、このピストン５ｂのピストンロ
ッド５ｃがＺテーブル２に連結されている。さらに、シ
リンダ本体５ａの両端部にはそれぞれエアの給排ボート
５ｄ、５ｅが設けられている。そして、これらの各給排
ポート５ｄ、５ｅからシリンダ本体５ａ内へのエアの給
排動作にともないピストン５ｂが軸方向に駆動されるよ
うになっている。

また、Ｚテーブル２の側部にはストッパ６が突設されて
いる。このストッパ６は離間対向配置された上下一対の
りニアダンパ７，８間に配置されている。これらのリニ
アダンパ７．８は略り字状に屈曲形成されたダンパブラ
ケット９，１０にそれぞれ固定されており、これらのダ
ンパブラケット９．１０を介して基板１上に取付けられ
ている。

そして、Ｚテーブル２はジグシリンダ５によってリニア
ダンパ７．８間の範囲で上下方向に向けて移動操作され
るようになっている。この場合、Ｚテーブル２のストッ
パ６はリニアダンパ７．８の可動部間に挾持されており
、ジグシリンダ５の可動部のストロークの全域に亘すダ
ンピングを作用させ、移動速度を略一定状態で保持させ
るようにしている。

さらに、Ｚテーブル２のテーブル面上には第２図に示す
ような例えば半導体製造装置等で使用されるマスク、レ
チクル等の被保持体１１の保持具１２を搬送アーム１３
の回動軸１３ａを中心に回動操作するアーム移動機構１
４が装着されている。

この場合、被保持体１１の保持具１２には略矩形枠状の
保持具本体１２ａが設けられている。また、この保持具
本体１２ａの内面下部の各角部には枠内方向に向けて突
出された略り字状の複数の受部１２ｂ・・・が形成され
ている。さらに、これらの受部１２ｂ・・・には真空吸
着用のバキュームチャック１２ｃがそれぞれ形成されて
おり、保持具本体１２ａの各受部１２ｂ・・・上に載置
された被保持体１１がこれらのバキュームチャック１２
ｃ・・・によって真空吸着されるようになっている。ま
た、保持具１２は搬送アーム１３の一端部に固定されて
いる。さらに、この搬送アーム１３の他端部は回動軸１
３ａの上端部に固定されている。

また、アーム移動機構１４には駆動用アクチュエータで
あるロータリシリンダ１５およびロータリトルクダンパ
１６がそれぞれ設けられている。

これらのロータリシリンダ１５およびロータリトルクダ
ンパ１６は適宜の取付はブラケットを介してＺテーブル
２のテーブル面上に取付けられている。この場合、ロー
クリシリンダ１５はロータリ式のエアシリンダによって
形成されている。このロータリシリンダ１５には第３図
に示すように円筒状のシリンダ本体１５ａ内に回動軸１
５ｂが回動自在に配設されており、この回動軸１５ｂに
シリンダ本体１５ａの内壁面に沿って周方向に回動動作
する図示しない回動ピストンが固定されている。さらに
、シリンダ本体１５ａの外周面には一対のエアの給排ボ
ート１５ｃ、１５ｄが設けられている。そして、これら
の各給排ポート１５ｃ。

１５ｄからシリンダ本体１５ａ内へのエアの給排動作に
ともないシリンダ本体１５ａ内の回動ピストンが周方向
に回動駆動されるようになっている。

また、ロータリトルクダンパ１６はロータリ式のダンパ
で、このロータリトルクダンパ１６は搬送アーム１３の
回動軸１３ａの下端部に直結されている。さらに、この
回動？ｉ　１３　ａには第１のプーリ１７が固定されて
いる。また、ロータリシリンダ１５の回動軸１５ｂには
第２のプーリ１８が固定されている。そして、第１のプ
ーリ１７と第２のプーリ１８との間には無端状のタイミ
ングベルト１９が架設されている。この場合、タイミン
グベルト１９の内面には歯車状の凹凸部が形成されてい
るとともに、第１．第２のプーリ１７゜１８の外周面に
はタイミングベルト１つの凹凸部に噛合する凹凸部がそ
れぞれ形成されている。そして、ロータリシリンダ１５
の動作時には回動軸１５ｂの回動動作がタイミングベル
ト１つを介して搬送アーム１３の回動軸１３ａに伝達さ
れ、ロータリシリンダ１５の回動動作に連動して保持具
１２の搬送アーム１３が回動軸１３ａを中心に回動駆動
されるようになっている。さらに、このときのロータリ
シリンダ１５の移動速度はロータリトルクダンパ１６に
よって略一定状態で保持されるようになっている。

一方、保持具１２の搬送アーム１３の回動軌道上には一
対の回動範囲規制板２０．２１が配設されている。これ
らの回動範囲規制板２０．２１は搬送アーム１３の回動
軸１３ａを中心として所定角度拡開された状態で配置さ
れており、それぞれ固定基板１側に固定されている。ま
た、一方の回動範囲規制板２０には第１のストッパ２２
と第１のりニアダンパ２３とが装着されている。さらに
、他方の回動範囲規制板２１には第２のストッパ２４と
第２のりニアダンパ２５とが装着されている。

また、第３図はこの搬送装置の制御回路を示すものであ
る。第３図中で、２６はジグシリンダ５の動作を制御す
る電磁切換え弁、２７はロータリシリンダ１５の動作を
制御する電磁切換え弁である。これらの電磁切換え弁２
６．２７には第１〜第４の各ボート２６ａ、２６ｂ、２
６ｃ、２６ｄｑ２７　ａ、　　２７　ｂ、　　２７　ｃ
、　　２７　ｄおよび排気ボート２６ｅ、２７ｅがそれ
ぞれ設けられている。そして、これらの電磁切換え弁２
６．２７の第１゜第２のボート２６ａ、２６ｂ、２７ａ
、２７ｂは図示しないニアコンプレッサ等の圧力エアの
供給源に接続されている。さらに、一方の電磁切換え弁
２６の第３．第４のボート２６ｃ、２６ｄには一対のエ
ア供給路２８ａ、２８ｂの各一端部がそれぞれ接続され
ているとともに、他方の電磁切換え弁２７の第３．第４
のボー）２７Ｃ，２７ｄにも同様に一対のエア供給路２
９ａ、２９ｂの各−端部がそれぞれ接続されている。ま
た、これらのエア供給路２８ａ、２８ｂ、２９ａ、２９
ｂには逆止弁３０と流ｉ調整弁３１との並列回路３２が
それぞれ介設されている。さらに、エア供給路２８ａの
他端部はこの並列回路３２を介してジグシリンダ５の一
方の給排ポート５ｄ、エア供給路２８ｂの他端部は並列
回路３２を介してジグシリンダ５の他方の給排ボート５
ｅにそれぞれ接続されているとともに、エア供給路２９
ａの他端部は並列回路３２を介してロータリシリンダ１
５の一方の給排ボー）’　１５　ｃ　ｓエア供給路２９
ｂの他端部は並列回路３２を介してロータリシリンダ１
５の他方の給排ボート１５ｄにそれぞれ接続されている
。この場合、各並列回路３２の流１１調整弁３１・・・
はジグシリンダ５およびロータリシリンダ１５の近傍位
置にそれぞれ配設されており、エアの圧縮性のために生
じる各シリンダ５，１５の応答遅れを小さくするように
なっている。そして、電磁切換え弁２６．２７の切換え
操作にともないニアコンプレッサ等の圧力エアの供給源
側とジグシリンダ５およびロータリシリンダ１５側との
接続状態が切換え操作されるようになっており、例えば
電磁切換え弁２６は第１のボート２６ａが閉塞状態、排
気ポート２６ｅと第３のボート２６ｃとの間、第２のボ
ート２６ｂと第４のボート２６ｄとの間が連通状態で保
持される第１の切換え位置と、電磁切換え弁２６の第２
のボート２６ｂが閉塞状態、第１のボ’−ト２６ａと第
３のボート２６ｃとの間、排気ポート２６ｅと第４のボ
ート２６ｄとの間がそれぞれ連通状態で保持される第２
の切換え位置とにそれぞれ切換え操作されるようになっ
ている。また、電磁切換え弁２７も同様に第１のボート
２７ａが閉塞状態、排気ボー）２７ｅと第３のボート２
７ｃとの間、第２のボート２７ｂと第４のボート２７ｄ
との間がそれぞれ連通状態で保持される第１の切換え位
置と、電磁切換え弁２７の第２のボート２７ｂが閉塞状
態、第１のボート２７ａと第３のボート２７ｃとの間、
排気ポート２７ｅと第４のボート２７ｄとの間がそれぞ
れ連通状態で保持される第２の切換え位置とにそれぞれ
切換え操作されるようになっている。

さらに、電磁切換え弁２６．２７は入出力回路３３を介
して主制御部であるＣＰＵ３４にそれぞれ接続されてい
る。そして、このＣＰＵ３４から入出力回路３３を介し
て出力される制御信号によって電磁切換え弁２６．２７
がそれぞれ独立に第１の切換え位置と第２の切換え位置
とに切換え操作されるようになっている。

次に、上記構成の作用について説明する。

まず、マスク、レチクル等の被保持体１１のセット時に
は例えばジグシリンダ５側の電磁切換え弁２６およびロ
ータリシリンダ１５側の電磁切換え弁２７がそれぞれ第
１の切換え位置で保持される。この状態ではジグシリン
ダ５のピストン５ｂが第３図中で上方向に移動操作され
、ロータリシリンダ１５の回動軸１５ｂが同図中で、左
回り方向に回動操作される。そのため、Ｚテーブル２の
ストッパ６が上側のリニアダンパ７に押し付けられ、Ｚ
テーブル２が予め設定された上側停止位置で位置決めさ
れた状態で位置保持されるとともに、保持具１２の搬送
アーム１３が一方の回動範囲規制板２０の第１のりニア
ダンパ２３に押し付けられた後、第１のストッパ２２に
押し付けられ、この第１のストッパ２２によって設定さ
れる所定の停止位置で位置保持される。そして、この被
保持体１１のセット位置で保持具本体１２ａの各受部１
２ｂ・・・上に被保持体１１が載置され、バキュームチ
ャック１２ｃ・・・によって真空吸着される。

また、被保持体１１のセット後、ロータリシリンダ１５
側の電磁切換え弁２７が第２の切換え位置に切換え操作
される。この場合にはロータリシリンダ１５の回動軸１
５ｂが第３図中で、右回り方向に回動操作される。そし
て、保持具１２の搬送アーム１３が他方の回動範囲規制
板２１の第２のりニアダンパ２５に押し付けられた後、
第１図に示すように第２のストッパ２４に押し付けられ
、この第２のストッパ２４によって設定される所定の停
止位置で位置保持される。この第２のストッパ２４によ
って設定される停止位置では第２図に示す例えばレチク
ルテーブル等の位置決めテーブル３５のテーブルチャッ
ク３６の真上に被保持体１１の保持具１２が配置される
ように予め設定されている。

この状態で、次にジグシリンダ５側の電磁切換え弁２６
が第２の切換え位置に切換え操作される。

この場合にはジグシリンダ５のピストン５ｂが第３図中
で下方向に移動操作され、同時に保持具１２のバキュー
ムチャック１２ｃ・・・が解除される。

そのため、この場合にはＺテーブル２と一体的に下降す
る被保持体１１の保持具１２の下降動作にともない保持
具本体１２ａの各受部１２ｂ・・・上に載置されている
被保持体１１が第２図に示すように位置決めテーブル３
５のテーブルチャック３６に受は渡される。

そこで、上記構成のものに多りては被保持体１１の保持
具１２をエアシリンダによって形成されたジグシリンダ
５によって２テーブル２とともに一体的に上下方向に移
動操作させ、Ｚテーブル２のストッパ６を上下のリニア
ダンパ７．８に押し付けることにより、２テーブル２を
予め設定された上側停止位置または下側停止位置で位置
決めさせるとともに、同様にエアシリンダによって形成
されたロータリシリンダ１５によって被保持体１１の保
持具１２を搬送アーム１３の回動軸１３ａを中心に回動
操作させ、回動範囲規制板２０．２１の各ストッパ２２
．２４に搬送アーム１３を押し付けることにより、保持
具１２を予め設定された所定の停止位置で位置決めさせ
るようにしたので、従来のように位置検出装置等を格別
に設けることなく被保持体１１の保持具１２を所定の停
止位置に精度よく位置決めすることができる。そのため
、従来の移動機構で必要になっていた位置検出装置等を
省略することができるので、従来に比べてＺテーブル移
動機構４およびアーム移動機構１４等の移動機構全体の
構成の簡略化を図ることができる。さらに、Ｚテーブル
移動機構４およびアーム移動機構１４等の移動機構の駆
動源をエアシリンダによって形成したので、移動機構の
駆動源としてサーボモータやパルスモータを使用した場
合に比べて制御機構の構成の簡略化を図ることもできる
。また、Ｚテーブル移動機構４およびアーム移動機構１
４等の移動機構の駆動源（ジグシリンダ５およびロータ
リシリンダ１５）を制御する電磁切換え弁２６．２７を
搬送装置の本体から離れた場所に設置することができ名
ので、電磁切換え弁２６．２７を搬送装置にこれらの電
磁切換え弁２６．２７の熱が伝熱されることを防止する
ことができ、搬送装置の各構成部材が熱膨張して被保持
体１１の搬送作業時の位置決め精度の向上を図ることが
できる。

さらに、被保持体１１の保持具１２の移動中、或いは保
持具１２を所定の停止位置に位置決め状態で保持させた
場合であってもＺテーブル移動機構４およびアーム移動
機構１４等の移動機構の駆動源（ジグシリンダ５および
ロータリシリンダ１５）には常に比較的大きな所定圧力
のエア圧力を作用させることができるので、被保持体１
１の保持具１２の移動中の摩擦抵抗等の外乱に対する抵
抗力を高めることができ、保持具１２の移動動作の円滑
化を図ることができるとともに、所定の停止位置に保持
させた保持具１２の安定性の向上を図ることもできる。

また、第４図および第５図はこの発明の第２の実施例を
示すものである。これは、第１の実施例のアーム移動機
構１４のロータリトルクダンパ１６を磁性流体ダンパ（
速度１ＩＩＪ御用ダンパ）４１によって形成したもので
ある。この磁性流体ダンパ４１は第５図に示す構成にな
っている。第５図中で、４２は磁性流体ダンパ４１のダ
ンパ本体、４３はこのダンパ本体４２の回転軸である。

この回転軸４３は搬送アーム１３の回動軸１３ａに直結
されている。さらに、このダンパ本体４２には略円筒状
のケース４４内にロータ（可動部材）４５、ステータ４
６および電磁石（粘性抵抗調整部材）４７がそれぞれ配
設されている。この場合、ロータ４５には回転軸４３の
基端部が固定されている。また、ダンパ本体４２のケー
ス４４には仕切り壁４４ａを介して仕切られた軸受部４
８と磁性流体からなる粘性流体Ｒの収容室４９とがそれ
ぞれ設けられている。そして、軸受部４８内には一対の
ベアリング５０ａ、５０ｂが離間対向配置されており、
これらのベアリング５０ａ、５０ｂによって回転軸４３
が回転自在に支持されている。

さらに、粘性流体Ｒの収容室４９の内底部には電磁石４
７が配設されており、この電磁石４７上にステータ４６
が固定されている。このステータ４６は厚内円板５１に
よって形成されており、この厚内円板５１の表面に同心
円状の一対の円形溝５２ａ、５２ｂがそれぞれ形成され
ている。また、ロータ４５はステータ４６に対して離間
対向配置された厚肉円板５３によって形成されており、
この厚内円板５３のステータ４６との対向面には同心円
状の一対の円筒形突起５４ａ、５４ｂがそれぞれ突設さ
れている。そして、これらの円筒形突起５４ａ、５４ｂ
がステ〜り・４６の各円形溝５２ａ、５２ｂ内にそれぞ
れ挿入されている。なお、磁性流体は磁場の影響を受け
ると粘性が大きく変化する流体であり、電磁石４７の通
電制御にともないダンパ本体４２のケース４４内の磁場
を変化させることにより、粘性流体収容室４９内の粘性
流体Ｒの粘性抵抗を変化させ、ロータ４５の回転速度を
制御する構成になっている。

また、磁性流体ダンパ４１の電磁石４７は入出力回路３
３を介して主制御部であるＣＰＵ３４にそれぞれ接続さ
れている。そして、このＣＰＵ３４から入出力回路３３
を介して出力される制御信号によって保持具１２の移動
中は磁性流体ダンパ４１の電磁石４７の通電を遮断状態
で保持させることにより、粘性流体収容室４９内の粘性
流体Ｒの粘性抵抗を小さくして保持具１２の移動抵抗を
小さくし、搬送アーム１３が回動範囲規制板２０．２１
の各ストッパ２２．２４に当接される停止時には電磁石
４７への通電電流を徐々に増加させて粘性流体収容室４
つ内の粘性流体Ｒの粘性抵抗を徐々に大きくするように
磁性流体ダンパ４１の電磁石４７を制御するようになっ
ている。

そこで、上記構成のものにあっては磁性流体ダンパ４１
によって保持具１２の移動中は保持具１２の移動抵抗を
小さくし、保持具１２の搬送アーム１３が回動範囲規制
板２０．２１の各ストッパ２２．２４に接近するにした
がって保持具１２の移動抵抗を大きくするようにしたの
で、移動中の保持具１２が停止位置で停止する際の衝撃
力の作用を低減し、位置決め精度の一層の向上を図るこ
とができる。

なお、この発明は上記実施例に限定されるものではない
。例えば、上記第２の実施例では回転式の磁性流体ダン
パ４１を使用した場合について示したが、直動式の磁性
流体ダンパ４１を使用してもよい。さらに、その他この
発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施できること
は勿論である。

［発明の効果］請求項第（１）項の発明によれば被保持体の保持具を移
動させる移動機構の駆動用アクチュエータをエアシリン
ダによって形威し、この移動機構による保持具の移動時
に所定の設定位置で保持具に当接して保持具の移動を停
止するストッパを設けたので、移動機構全体の構成の簡
略化を図ることができるとともに、保持具を所定位置で
保持させている間の構成部材の熱膨張を防止して被保持
体の搬送作業時の位置決め精度の向上を図ることができ
る。

また、請求項第（２）項の発明によれば被保持体の保持
具を移動させる移動機構の駆動用アクチュエータをエア
シリンダによって形成し、この移動機構による保持具の
移動時に所定の設゛定位置で保持具に当接して保持具の
移動を停止するストッパを設けるとともに、保持具の移
動中は保持具の移動抵抗を小さくし、保持具がストッパ
に接近するにしたがって保持具の移動抵抗を大きくする
保持具の速度制御用ダンパを設けたので、移動機構全体
の構成の簡略化および被保持体の搬送作業時の位置決め
精度の向上を図ることができるとともに、速度制御用ダ
ンパによって保持具の移動中は保持具の移動抵抗を小さ
くし、保持具がストッパに接近するにしたがって保持具
の移動抵抗を大きくすることにより、移動中の保持具が
停止位置で停止する際の衝撃力の作用を低減し、位置決
め精度の一層の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図はこの発明の第１の実施例を示すもの
で、第１図は搬送装置全体の概略構成を示す斜視図、第
２図は位置決めテーブルにマスクを受は渡した状態を示
す要部の縦断面図、第３図は制御回路を示す概略構成図
、第４図および第５図はこの発明の第２の実施例を示す
もので、第４図は搬送装置全体の概略構成を示す斜視図
、第５図は磁性流体ダンパの概略構成を示す要部の縦断
面図である。４・・・Ｚテーブル移動機構、５・・・ジグシリンダ（
駆動用アクチュエータ）、６・・・ストッパ、７゜８・
・・リニアダンパ、１１・・・被保持体、１２・・・保
持具、１３・・・搬送アーム、１３ａ・・・回動軸、１
４・・・アーム移動機構、１５・・・ロータリシリンダ
（駆動用アクチュエータ）、２２・・・第１のストッパ
、２４・・・第２のストッパ。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）被保持体の保持具を移動させる移動機構の駆動用
アクチュエータをエアシリンダによって形成し、この移
動機構による前記保持具の移動時に所定の設定位置で前
記保持具に当接して前記保持具の移動を停止するストッ
パを設けたことを特徴とする搬送装置。
（２）被保持体の保持具を移動させる移動機構の駆動用
アクチュエータをエアシリンダによって形成し、この移
動機構による前記保持具の移動時に所定の設定位置で前
記保持具に当接して前記保持具の移動を停止するストッ
パを設けるとともに前記保持具の移動中は前記保持具の
移動抵抗を小さくし、前記保持具が前記ストッパに接近
するにしたがって前記保持具の移動抵抗を大きくする前
記保持具の速度制御用ダンパを設けたことを特徴とする
搬送装置。