JPH0344408B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

［技術分野］ 本発明はコンデンサ、特にコンデンサの電極形
成用の組成物に関する。 ［発明の背景］ モノリシツク コンデンサは多数の誘電体層を
有し、その少なくとも、２層は所望のパターンの
金属化被覆を有する。かかるコンデンサは、有機
バインダ中に保持された誘電体物質粉末のグリー
ン（未焼成）テープをシートから切出し、そのい
くつかを金属化し、積層し、積層物を切断して
個々のコンデンサを作り、これを焼成して有機バ
インダ及び有機媒質を除去し、焼結体を得ること
により製造される。 Rodriguez等の米国特許第3456313号には、多
層コンデンサの製法が開示されている。
Fadriccusの米国特許第3223905号の第１図には、
パラジウムとチタン酸バリウムの交互の層を有す
る多層コンデンサが記載されている。 コンデンサの電極製造用の金属化組成物は通常
は不活性有機液体媒質（ベヒクル）中に分散され
た形でグリーンテープに適用された金属粉末を含
む。金属粉末の組成は価格及び性質の調和から決
定される。卑金属は高められた温度において空気
中でしばしば酸化され及び／または多くの場合焼
結中に誘電体物質と反応する。積層体の焼結中に
比較的不活性であることから貴金属が通常は好ま
しい。最とも広く使用されているモノリシツクコ
ンデンサの電極用物質はパラジウム及びパラジウ
ムと銀の個溶体である。 多層コンデンサの製造において、電極物質の必
要な固相線温度はそれが適用される誘電体物質の
焼結温度により決定される。他方、焼結温度は誘
電体物質の物理的及び化学的性質により定まる。
この点については「発明の詳細な説明」のＢで述
べる。焼結中に貴金属の誘電体物質中への過度の
拡散を防ぐために、焼結温度よりも高い、好まし
くは少なくとも50℃高い固相線を有する貴金属成
分の金属、合金または混合物が好ましい。 銀は好適な導電性及び低価格を有するので貴金
属電極物質として最も良く使用される。しかし、
コンデンサに使用する場合、電極物質は1100℃ま
たはそれ以上の焼結温度に曝される。これらの温
度は最新の技術において、誘電体物質を焼結して
好適な密度と誘電性を得るために必要である。金
属銀は約961℃で溶融するので、銀のみでは1100
℃で完全に溶融して誘電体中に容易に拡散するほ
どの低粘度になり、焼結誘電体物質のコンデンサ
特性を実質的に劣化させる。このため、パラジウ
ムと銀の合金の使用が好ましく、これは通常の焼
結温度においては誘電体物質中に実質的に移行し
ない充分に高い固相線温度を有する。この合金
は、(1)すでに形成されたPd／Ag合金、(2)Pdと
Agの均質共沈澱混合物の使用、または(3)焼結条
件で合金になるPdとAgの混合物の使用により提
供される。しかし、後者２つは未合金化銀が誘電
体層中に移行しやすいので前者よりも有効でな
い。 結局、1100℃で焼成されるX7R及びNPOクラ
スのコンデンサの製造では、30／70のPd／Ag混
合物を使用する。1200℃またはそれ以上で焼成さ
れるZ5Uクラスのコンデンサのためには、70／30
のPd／Agの混合物または合金若しくは100％の
Pdが貴金属成分として使用される。一般に、銀
に対するパラジウムの割合は誘電体物質を焼結体
に緻密化するための最大焼成温度に依存する。パ
ラジウム及び銀のような貴金属の価格の変動のた
め、貴金属を卑金属のような低価格金属で置換え
ることが望まれる。この要望は銀よりも約15倍高
価なパラジウムについて特に強い。しかし、電極
及び／または誘電体物質の性質を犠牲にすること
なくこの置換を行なうことは困難である。 ［発明の概要］ 本発明は、電極物質及び誘電体物質の焼結に充
分な温度で焼成された電極及び誘電体物質の交互
の層からなる多層コンデンサの電極製造用の金属
化組成物であつて： (a) 上記誘電体物質の焼結温度より低い固相線を
有する貴金属、貴金属の固溶体または貴金属の
混合物；及び (b) 上記誘電体物質の焼結温度以下で実質的に上
記(a)に溶解して溶液を形成する卑金属または卑
金属のイオンを含む無機物質； から本質的に成り、 上記(a)の割合は、電極物質及び誘電体物質の焼
結により得られる(a)と卑金属または卑金属イオン
との固溶体の固相線が(a)の固相線より高く且つ誘
電体物質の焼結温度より少なくとも10℃高くなる
ような割合である、上記金属化組成物を提供す
る。 本発明は第２に上記組成物に有機媒質中への分
散物を提供する。 本発明は第３に単層及び多層コンデンサの製造
方法であつて、(1)有機バインダ中に分散した誘電
体物質粉末の多数の層に上記分散物の層を適用
し、(2)電極を印刷した誘電体物質の多数の層を積
層して、誘電体物質と厚膜組成物との交互の層か
ら成る集合体を形成し、及び(3)、この集合体を焼
成して、有機媒質及び有機バインダを除去し且つ
貴金属と誘電体物質を焼結することを含む、上記
コンデンサの製造方法を提供する。 本発明は更に、誘電体物質と上記金属化組成物
の交互の焼成層を含む単層及び多層のコンデンサ
をも提供する。 ［構成の詳細な説明］ Ａ 貴金属 本発明の電極金属化のために好ましい導電性
物質はパラジウム、銀及びこれらの全ての割合
での混合物及び固溶体である。 貴金属成分の粒子は無機卑金属成分と同様
に、それらのペーストが通常のスクリーン印刷
に適用でき及び粒子が容易に焼結できる程度に
小さくなければならない。更に、誘電体グリー
ンテープからのコンデンサの製造において、印
刷電極中に粗大な粒子が存在するとそのシート
をだめにするので避けねばならない。一般に、
少なくとも90％の貴金属と添加酸化物粒子は直
径5μｍ以下である粒子を含む金属化組成物を
使用する。しかし、誘電体グリーン層の厚さが
１ミル以下である場合には、これらの粒子は対
応して更に小さくなければならない。 好ましくは、貴金属粒子は任意の表面酸化膜
を除去するために処理され、表面は導電体とし
ての作用において更に有効になる。この好まし
い方法は継続中の米国特許出願第430871号に開
示されている。 Ｂ 無機卑金属物質 本発明の方法に好適な無機卑金属物質は、(1)
それらが適用される誘電体物質の焼結温度以下
で貴金属または貴金属固溶体中に実質的に可溶
であり、(2)誘電体物質の焼結条件で貴金属また
は貴金属固溶体中に実質的に溶解し、及び(3)で
得られた貴金属または貴金属固溶体と卑金属ま
たは卑金属イオンとの固溶体が出発貴金属また
は貴金属溶液の固相点よりも高い固相線を有す
る、卑金属または卑金属イオンを含むものであ
る。他に好適な卑金属及卑金属イオンも存在す
るが、公知の好適なものは、ZnO、CdO、
SnO₂、GeO₂、SnO₂／Sb（固溶体）、SnO₂／In
（固溶体）、MoO₃及びこれらの混合物、溶液で
ある。これらの前駆物、即ち通常の焼結条件で
かかる金属、酸化物、または溶液が形成される
粉末物質も使用できる。 無機卑金属物質は貴金属粒子の同様の粒径の
限定を受ける。好ましい金属化組成物において
は、実質的に全ての卑金属含有粒子は1μｍ以
下であり、更に好ましい組成物は実質的に全て
の粒子が0.5μｍ以下である。更に好ましい粒子
では、表面積が少なくとも５m²／ｇ以上、最適
には少なくとも８m²／ｇ以上である。 無機卑金属含有物質は貴金属と混合され、そ
の割合はこの混合物が誘電体物質の焼結温度に
曝される時、貴金属中に実質的な量の卑金属ま
たは卑金属イオンを溶解させる量である。「実
質的な量」とは貴金属の固相線を誘電体物質の
焼結温度よりも少なくとも10℃上昇させる量を
意味する。従つて、所定の貴金属及び卑金属含
有物質において、固相線の上昇をもたらす混合
物中の卑金属量は逆に焼結温度に関係する。換
言すれば、焼結温度が高いほど多くの卑金属が
溶解する。混合物中の全ての卑金属が固溶体中
に含まれる必要はなく、固相線を適当に上昇さ
せるのに充分な量が含まれればよい。卑金属含
有固溶体の固相線は一層高くなりえるが、焼成
による電極の焼結及び緻密化を容易にするため
に、焼結温度より100℃以上高くなく、好まし
くは50℃以上高くない。 Ｃ 有機媒質 本発明の組成物の他の重要な成分は有機媒質
である。 有機媒質の主目的はセラミツクその他の基体
に容易に適用できる形での固体粉末の分散液を
作るためのベヒクルとしての作用である。従つ
て、有機媒質は固体がその中に安定に分散でき
るものでなければならない。また有機媒質のレ
オロジカルな性質は分散物に良好な印刷特性を
付与するものでなければならない。媒質の溶媒
成分は誘電体テープのバインダ成分を溶解せず
または攻撃しないことが必要である。 多くの厚膜組成物はスクリーン印刷により基
体に適用される。従つて、それらはスクリーン
を容易に通過しえる適度の粘度を有する。加え
て、印刷後急速にセツトアツプするためにチキ
ソトロピツクでなければならず、これにより良
好な解像が与えられる。かかるレオロジカルな
性質は重要であるが、有機媒質は固体及び基体
に適度な濡れ性を与え、良好な乾燥速度、良好
な乾燥フイルム強度及び良好な焼成特性を与え
るように調整されることが好ましい。焼結組成
物の外観もまた重要である。 これらの条件のもとで、多くの液体が有機媒
質として使用できる。多くの厚膜組成物の有機
媒質は典型的にしばしばチキソトロピー剤と湿
潤剤を含有した溶媒中の樹脂の溶液である。溶
媒は一般に130〜350℃で沸騰する。 最も多く使用される樹脂はエチルセルロース
である。しかし、エチルヒドロキシセルロー
ス、ウツドレジン、エチルセルロースとフエノ
ール樹脂の混合物、低級アルコールのポリメチ
ルアクリレイト、及びエチレングリコールモノ
アセテイトのエーテルのような樹脂も使用でき
る。 好適な溶媒はケロセン、ミネラルスピリツ
ト、ジブチルフタレイト、ブチルカルビトー
ル、ブチルカルビトールアセテイト、ヘキシレ
ングリコール、高沸点アルコール及びアルコー
ルエステルである。所望の粘度、揮発性及び誘
導体テープとの両立性を得るためにこれらと他
の溶媒との各種の組合せが準備される。水溶性
の溶媒系も使用できる。 チキソトロピー剤は水素化ひまし油、その誘
導体及びエチルセルロールが一般に使用され
る。任意の懸濁液中で固有のシエアーシンニン
グと一緒になつて溶媒／樹脂の性質はそれだけ
で好適であり得るので、チキソトロピー剤の混
合は必ずしも必要でない。好適な湿潤剤はリン
酸エステル及び大豆レシチンである。 ペースト分散物中で固体に対する有機媒質の
割合は相当変化し、分散物が適用されるべき方
法及び有機媒質の種類に依る。通常、良好な被
覆を得るため、分散物は40〜90重量％の固体と
60〜10重量％の有機媒質を含む。 ペーストはスリーロールミルで製造される。
ペーストの粘度はBrookfield粘度計を用いて
室温にてシエヤー速度が低、中及び高で測定し
た時典型的には２〜50Pa.sである。有機溶媒の
量及びタイプは主に所望の最終組成物粘度及び
印刷厚により決められる。 Ｄ 誘電体物質 コンデンサ製造用の誘電体物質は電極物質と
両立できる任意の物質である。例えば、チタン
酸バリウム、二酸化チタン、アルミナ、ジルコ
ニア、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸鉛、チ
タン酸ストロンチユウム、チタン酸カルシウ
ム、ジルコン酸カルシウム、ジルコン酸鉛、ジ
ルコン酸チタン酸鉛、チタン酸ネオジミウム等
である。最も通常な３タイプの誘電体物質の組
成を下記第１表に示す：

【表】 上記誘電体の等級はElectronic Institute of
America（EIA）の等級である。 Ｅ コンデンサの製造 １ グリーンテープの加工処理 前記したように、有機バインダにより結合
された誘電体物質粒子のグリーン（未焼成）
テープである誘電体基体に電極用金属化組成
物を所望のパターンで印刷することによりコ
ンデンサは製造される。印刷された誘電体基
体は積層され、切断されて、所望のコンデン
サ構造が形成される。その後、焼成により誘
電体物質から有機媒質及び有機バインダが除
去される。これらの物質の除去は焼成操作の
間の蒸発及び熱分解による。ある場合には、
焼成の前に予備乾燥を行なうことが好ましい
ことがある。 誘電体テープの有機バインダ成分は、通
常、メチルアクリレイト、メチルメタクリレ
イト、エチルアクリレイト及びこれらの混合
物のような低級アルキルアクリレイトまたは
低級アルキルメタクリレイトの柔軟なポリマ
ーである。かかるポリマーは多くの場合に特
別な柔軟性及び／または他の物理的性質を付
与するために可塑剤及び他の添加剤を含有す
る。ラテツクスのような水−基体バインダ及
び水−可溶性バインダも誘電体テープのバイ
ンダ成分として使用できる。 上記コンデンサ集合体の焼成において、積
層集合体に損害を与えることなく実質的に全
ての有機物質を除去するように、100〜550℃
で徐々に加熱する第一焼成工程を採用するの
が好ましい。典型的には、有機物の完全な除
去を達成する有機物焼失時間は18〜24時間で
ある。その後、集合体は所望の焼成温度に急
速に加熱される。 所望の焼成温度は誘電体物質の物理的及び
化学的性質により決定される。通常は誘電体
の最高の緻密化が得られるように焼成温度を
選択する。チタン酸バリウム誘電体系におい
ては、この温度は1100〜1450℃である。しか
し、最高の緻密化は常に必要ではないことは
無論である。従つて、「焼結温度」は特定の
コンデンサのために誘電体の所望の緻密化が
得られる温度（絶対的に時間も同様）を意味
する。焼結時間は誘電体組成物により変化す
るが、上記焼結温度において、２時間のオー
ダが好ましい。 焼結後、雰囲気温度えの冷却は熱衝撃に対
する成分の抵抗に従つて注意深く制御され
る。 ２ グリーンチツプの加工処理 前記のグリーンテープ処理に加えて、単層
コンデンサは有機バインダにより結合された
誘電体物質粒子から厚さ約25ミルの基体（チ
ツプ）を形成するグリーンチツプ方により製
造出来る。このコンデンサはチツプの両側に
電極層を印刷及び乾燥し、これを焼結するこ
とにより作られる。物質及び焼成技術は多層
コンデンサ用のグリーンテープ法と基本的に
同一である。下記の実施例で使用するよう
に、「Ｋ−スクエヤ」とは１インチ×１イン
チの35ミル厚膜グリーンチツプを意味する。 コンデンサの機能に関する以下の性質は実施例
においても言及される： 「電気容量」は電荷を蓄える能力の尺度であ
り、Ｃ＝KAN／ｔで表示され、ここでＡは電極
のオーバラツプ面積、ｔは誘電体層の厚さ、Ｋは
誘電率、及びＮは誘電体層の数である。電気容量
の単位はフアラデまたはマイクロフアラデ（10^-6
フアラデ）、ナノフアラデ（10^-9フアラデ）、ピコ
フアラデ（10^-12フアラデ）である。 「損失係数（DF）」は電圧と電流との間の位相
差の尺度である。完全なコンデンサにおいては、
位相差は90°である。しかし、特定の誘電体系に
おいては、リーク損失及びリザクセイシヨン損失
によりDFは90°より小さい。特に、DFは電流90°
ベクトル遅延する角のタンゼントである。 「絶縁抵抗（IR）」はDC電流のリークに抵抗
する荷電コンデンサの能力の尺度である。絶縁抵
抗は容量によらず任意の特定の誘電体における定
数である。 実施例 以下の実施例において、Pd／Ag粉末は重量単
位の所定量の卑金属と乾燥混合され、有機媒質中
に分散されて、合計100重量部の分散物とした。
このように形成された電極ベーストは、50重量部
の有機媒質に分散された50重量部の30／70の
Pd／Ag粉末からなる標準ペーストと比較した。 焼成電極物質の電気的性質は、１ミル厚の市販
グリーンNPO−型誘電体テープの両面に印刷し、
乾燥し及び1100℃で焼成した電極組成物のパター
ン層からなる集合体について測定された。しか
し、容量は、約25ミル厚の積層グリーン誘電体基
体の両面に印刷された電極組成物のパターン層か
らなる１×１インチのデイスクコンデンサについ
て測定された。各印刷層の乾燥後、集合体を1100
℃の最高温度で24時間サイクルで焼成した。 実施例 １〜４ 上記の方法を使用して、Ｋ−スクエヤ上に直径
７／８インチの電極を有する２系統のチツプコンデ
ンサを製造した。１系統のチツプにおいては、誘
電体物質はソリツド ステイト ダイエレクトリ
ツクス（SSD）CL−750であり、他方のそれは
SSD BL−162であつた。前者CL−750はビスマ
ス含有K65NPO誘電体物質で、70／30のAg／Pd
内部電極と両立でき、1105〜1135℃の焼成範囲を
持つ。後者BL−162は低温焼成のビスマス含有
K1500BX誘電体物質であり、70／30 Ag／Pd内
部電極と両立でき、1090〜1120℃で焼成できる。
ソリツド ステイト ダイエレクトリツクス
（SSD）はE.I.du pont de Nemours＆Co.Inc.の
Photosystems and Electronic Products
DepartmentのElectronic Materials Divisionの
一部である。 下記第２表に、コンデンサ用電極物質、得られ
たチツプ レジスタの電気的性質を示した。電気
的データは約30のコンデンサの測定による平均値
である。 これらのデータから、合金化物質として酸化ス
ズを使用すれば、低いDF及び高いIRが共に得ら
れることが解る。 実施例 ５〜８ 実施例１と同様にして、更に４個の組成物を作
り、Ｋ−スクエヤ上で実験した。第３表に電極組
成物及び得らたコンデンサの電気的性質を表示し
た。 これらから、実施例１〜４の半分の無機酸化物
濃度も有効であることが解る。

【表】

【表】 実施例 ９〜29 実施例１〜８と同様にして21個の組成物を製造
し、Ｋ−スクエヤ上で試験した。電極組成物及び
製造されたコンデンサの電気的性質を第４表に示
す。 これらのデータから、Agの一定濃度において
はコンデンサの性質は組成物中のPdの相対量が
高くなることに伴なつて改良されることが解る。
選ばれた無機添加剤の使用が最適の性質を与える
ことも解る。

【表】

【表】

【表】 実施例 30〜33 本発明の４個の組成物を高含有量のPdを含む
通常の電極組成物と、グリーンテープ法を用いて
５層コンデンサを製造することにより比較した。
BL−162を含もコンデンサは120ミル×９ミルに
及びCL−750を含むコンデンサは220ミル×250ミ
ルに切断された。「５層」とは活性誘電体層の数
である。従つて、このコンデンサは５個の電極及
び５個の活性誘電体層を有する。コンデンサの電
気的性質の第５表に示した。 これらのデータから、本発明の組成物を使用す
ることにより容量もDFもそこなうことなく電極
組成物中のPd量を67％減少できる。また、無機
酸化物を含まない低Pd組成物は焼成後に容量を
持たないことが解る。

【表】 実施例 34〜50 一連の18個の電極組成物を製造した。電極パタ
ーンは96％Al₂O₃を基板に印刷し、印刷基板は誘
電体 グリーンテープで被覆された。その後、こ
の上に導体ラインを印刷し、この集合体を焼成し
て誘電体及び電極物質を焼結した。製造した各セ
ツトでは異なる誘電体物質を使用した。印刷電極
の導電性の度数として抵抗を測定し、96％Al₂O₃
基板に同一電極パターンを印刷したが被覆層の無
いものの抵抗と比較した。これらのデータを第６
表に示す。卑金属の置換は抵抗を顕著には増加さ
せず（低導電性）、多くの場合に本質的な変化は
無く、僅かに低い抵抗を与えるのみである。

【表】

【表】 単層コンデンサ（第１図）は一対の対抗する電
極物質層１１を有し、それぞれは導電性端部１２
と電気的に接続し、電極層１１は誘電体物質層１
０により分離されている。多層コンデンサ（第２
図）は多数の対抗する電極層１１を有し、それぞ
れは各電極１１に共通な導電性端部１５と電気的
に接続し、電極層１１は誘電体物質層１０により
分離されている。 第３図は、有機媒質中の分散物としてNPO誘
電体テープに印刷され、1100℃で焼成されて導電
体および誘電体物質が焼結された、本発明の金属
化組成物の層の拡大表面である。出発組成物は
Pd／Ag合金及びNiOからなつていた。エネルギ
ー分散Ｘ−線（EDAX）分析により、大型の粒
子も小型の粒子もPd、Ag及びNiを含む単一グレ
インであることが判明した。しかし、EDAX分
析により大型の粒子のNi含有量は小型の粒子の
それより相当高いことが解つた。

【図面の簡単な説明】

第１図は単層のコンデンサの断面図であり、第
２図は多層のコンデンサの断面図である。第３図
は基板に印刷され焼成された本発明の金属化組成
物層の表面の走査電子顕微鏡写真である。倍率は
3000倍である。 １０……誘電体物質層、１１……電極層、１２
……導電性端部。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 電極物質及び誘電体物質の焼結に充分な温度
   で焼成された電極及び誘電体物質の交互の層から
   なる多層コンデンサの電極製造用の金属化組成物
   であつて： (a) 上記誘電体物質の焼結温度より低い固相線を
   有する貴金属、貴金属の固溶体または貴金属の
   混合物：及び (b) 上記誘電体物質の焼結温度以下で実質的に上
   記(a)に溶解して溶液を形成するZnO、CdO、
   SnO₂、GeO₂、SnO₂／Sb（固溶体）、SnO₂／In
   （固溶体）、MoO₃及びこれらの混合物、溶液及
   び前駆物から選ばれる無機物質 ：から本質的に成り、 上記(a)の割合は、電極物質及び誘電体物質の焼
   結により得られる(a)と前記無機物質との固溶体の
   固相線が(a)の固相線より高く且つ誘電体物質の焼
   結温度より少なくとも10℃高くなるような割合で
   ある、上記金属化組成物。 ２ 上記貴金属は少なくとも1000℃の固相線を有
   するパラジウムと銀の合金または少なくとも1000
   ℃の固相線を有する合金の組成であるパラジウム
   と銀の混合物である、特許請求の範囲第１項の組
   成物。 ３ 有機媒質中に、 (a) 上記誘電体物質の焼結温度より低い固相線を
   有する貴金属、貴金属の固溶体または貴金属の
   混合物：及び (b) 上記誘電体物質の焼結温度以下で実質的に上
   記(a)に溶解して溶液を形成するZnO、CdO、
   SnO₂、GeO₂、SnO₂／Sb（固溶体）、SnO₂／In
   （固溶体）、MoO₃及びこれらの混合物、溶液及
   び前駆物から選ばれる無機物質： から本質的に成り、 上記(a)の割合は、電極物質及び誘電体物質の焼
   結により得られる(a)と卑金属または卑金属イオン
   との固溶体の固相線が(a)の固相線より高く且つ誘
   電体物質の焼結温度より少なくとも10℃高くなる
   ような割合である上記金属化組成物を分散して成
   る厚膜フイルム組成物。 ４ モノリシツク コンデンサの製造方法であつ
   て： (1)(a) 上記誘電体物質の焼結温度より低い固相線
   を有する貴金属、貴金属の固溶体または貴金
   属の混合物：及び (b) 上記誘電体物質の焼結温度以下で実質的に
   上記(a)に溶解して溶液を形成するZnO、
   CdO、SnO₂、GeO₂、SnO₂／Sb（固溶体）、
   SnO₂／In（固溶体）、MoO₃及びこれらの混合
   物、溶液及び前駆物から選ばれる無機物質： から本質的に成り、 上記(a)の割合は、電極物質及び誘電体物質の
   焼結により得られる(a)と前記無機物質との固溶
   体の固相線が(a)の固相線より高く且つ誘電体物
   質の焼結温度より少なくとも10℃高くなるよう
   な割合である上記金属化組成物を有機媒質中に
   分散して成る厚膜フイルム組成物を、有機バイ
   ンダに分散した誘電体物質粉末の各層に適用
   し： (2) 電極を印刷した誘電体物質の多数の層を積層
   して、誘電体物質と厚膜組成物との交互の層か
   ら成る集合体を形成し： (3) この集合体を焼成して、有機媒質及び有機バ
   インダを除去し且つ貴金属と誘電体物質を焼結
   することを含む、上記コンデンサの製造方法。