JPH0344993Y2 - - Google Patents
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- JPH0344993Y2 JPH0344993Y2 JP15146788U JP15146788U JPH0344993Y2 JP H0344993 Y2 JPH0344993 Y2 JP H0344993Y2 JP 15146788 U JP15146788 U JP 15146788U JP 15146788 U JP15146788 U JP 15146788U JP H0344993 Y2 JPH0344993 Y2 JP H0344993Y2
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- exhaust gas
- combustion
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Landscapes
- Incineration Of Waste (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
反応炉から排出される特殊材料ガスの分解燃焼
率を高率にし、特に低濃度域で排気量が多い時の
特殊材料ガスの分解燃焼率を高率にすることがで
きる特殊材料ガスの燃焼装置に関する考案であ
る。
率を高率にし、特に低濃度域で排気量が多い時の
特殊材料ガスの分解燃焼率を高率にすることがで
きる特殊材料ガスの燃焼装置に関する考案であ
る。
半導体製造工場等の反応炉から排出される特殊
材料ガスの排ガスは毒性が強く、しかもシランガ
スは空気に触れると発火する性質がある。この種
排ガスの処方法として、本出願人は反応炉から排
出される特殊材料ガスを燃焼室内の空気と反応さ
せて燃焼させた後、スクラバー、バグフイルター
等で後処理を行う特殊材料ガスの処理方法におい
て、特殊材料ガスの排ガス導入管のノズル先端周
囲に可燃性ガスを供給燃焼させ火炎バリヤを形成
し、これにより火炎内に導入された特殊材料ガス
を火炎雰囲気のバリヤの先方で強制的に燃焼させ
ることを特徴とする特殊材料ガスの燃焼方法を発
明したがこの方法では低濃度域で排気量が多い時
にはガスの分解燃焼率が低くそのままでは排出す
ることができないものである。又、特殊材料ガス
の排ガスとしてはシラン（SiH4）、の他に、ジシ
ラン（Si2H6）、ホスフイン（PH3）、アルシン
（AsH3）、ゲルマン（GeH4）、アンモニア
（NH3）、セレン化水素（SeH2）、硫化水素
（H2S）、三フツ化窒素（NF3）、或は六フツ化硫
黄（SF6）等が燃焼処埋可能であるが、この中に
は0.05ppmの許容濃度の物もあり前記の燃焼方法
ではそのまま排出できない場合がある。
材料ガスの排ガスは毒性が強く、しかもシランガ
スは空気に触れると発火する性質がある。この種
排ガスの処方法として、本出願人は反応炉から排
出される特殊材料ガスを燃焼室内の空気と反応さ
せて燃焼させた後、スクラバー、バグフイルター
等で後処理を行う特殊材料ガスの処理方法におい
て、特殊材料ガスの排ガス導入管のノズル先端周
囲に可燃性ガスを供給燃焼させ火炎バリヤを形成
し、これにより火炎内に導入された特殊材料ガス
を火炎雰囲気のバリヤの先方で強制的に燃焼させ
ることを特徴とする特殊材料ガスの燃焼方法を発
明したがこの方法では低濃度域で排気量が多い時
にはガスの分解燃焼率が低くそのままでは排出す
ることができないものである。又、特殊材料ガス
の排ガスとしてはシラン（SiH4）、の他に、ジシ
ラン（Si2H6）、ホスフイン（PH3）、アルシン
（AsH3）、ゲルマン（GeH4）、アンモニア
（NH3）、セレン化水素（SeH2）、硫化水素
（H2S）、三フツ化窒素（NF3）、或は六フツ化硫
黄（SF6）等が燃焼処埋可能であるが、この中に
は0.05ppmの許容濃度の物もあり前記の燃焼方法
ではそのまま排出できない場合がある。
現在行われている燃焼方法では排ガスの中に含
まれいるシラン（SiH4）、の他に、ジシラン
（Si2H6）、ホスフイン（PH3）、アルシン
（AsH3）、ゲルマン（GeH4）、アンモニア
（NH3）、セレン化水素（SeH2）、硫化水素
（H2S）、三フツ化窒素（NF3）、或は六フツ化硫
黄（SF6）等が低濃度域で排気量が多い時に完全
に燃焼処埋出来ないと言う問題点を解決しようと
する考案である。
まれいるシラン（SiH4）、の他に、ジシラン
（Si2H6）、ホスフイン（PH3）、アルシン
（AsH3）、ゲルマン（GeH4）、アンモニア
（NH3）、セレン化水素（SeH2）、硫化水素
（H2S）、三フツ化窒素（NF3）、或は六フツ化硫
黄（SF6）等が低濃度域で排気量が多い時に完全
に燃焼処埋出来ないと言う問題点を解決しようと
する考案である。
この考案は排気口を有する上部材と下部材で上
下を閉鎖した縦型の円筒体の中間を多孔板で上下
に仕切り、上部を燃焼室、下部を空気室に構成
し、更に外側より内側に向け隙間を介して設けら
れている可燃性ガス導入外管、排ガス導入外内管
と可燃性ガス導入内管とよりなる四重管の燃焼筒
を空気室の下部材近くから上方に向け多孔板を貫
通させて構成し、可燃性ガス導入外管と排ガス導
入外管、及び排ガス導入内管と可燃性ガス導入内
管の間隙にプロパンガス、天然ガス、水素などの
可燃性ガスを送り空気室に空気を送り自動点火器
により可燃性ガスに点火させた後、排ガス導入外
内管の間隙に特殊材料ガスを送り内側の可燃性ガ
スの炎により排ガスの温度上昇を図り外側の可燃
性ガスの炎により特殊材料ガスを火炎先端部で完
全燃焼処理させるようにして問題点を解決したも
のである。
下を閉鎖した縦型の円筒体の中間を多孔板で上下
に仕切り、上部を燃焼室、下部を空気室に構成
し、更に外側より内側に向け隙間を介して設けら
れている可燃性ガス導入外管、排ガス導入外内管
と可燃性ガス導入内管とよりなる四重管の燃焼筒
を空気室の下部材近くから上方に向け多孔板を貫
通させて構成し、可燃性ガス導入外管と排ガス導
入外管、及び排ガス導入内管と可燃性ガス導入内
管の間隙にプロパンガス、天然ガス、水素などの
可燃性ガスを送り空気室に空気を送り自動点火器
により可燃性ガスに点火させた後、排ガス導入外
内管の間隙に特殊材料ガスを送り内側の可燃性ガ
スの炎により排ガスの温度上昇を図り外側の可燃
性ガスの炎により特殊材料ガスを火炎先端部で完
全燃焼処理させるようにして問題点を解決したも
のである。
排気口を有する上部材と下部材で上下を閉鎖し
た縦型の円筒体の中間を多孔板で上下に仕切り、
上部を燃焼室、下部を空気室に構成し、更に外側
より内側に向け隙間を介して設けられている可燃
性ガス導入外管、排ガス導入外内管と可燃性ガス
導入内管とよりなる四重管の燃焼筒を空気室の下
部材近くから上方に向け多孔板を貫通させて構成
し、可燃性ガス導入外管と排ガス導入外管、及び
排ガス導入内管と可燃性ガス導入内管の間隙にプ
ロパンガス、天然ガス、水素などの可燃性ガスを
送り空気室に空気を送り自動点火器により可燃性
ガスに点火させた後、排ガス導入外内管の間隙に
特殊材料ガスを送り内側の可燃性ガスの炎により
排ガスの温度上昇を図り外側の可燃性ガスの炎に
より特殊材料ガスを火炎先端部で完全燃焼処理さ
せるものである。
た縦型の円筒体の中間を多孔板で上下に仕切り、
上部を燃焼室、下部を空気室に構成し、更に外側
より内側に向け隙間を介して設けられている可燃
性ガス導入外管、排ガス導入外内管と可燃性ガス
導入内管とよりなる四重管の燃焼筒を空気室の下
部材近くから上方に向け多孔板を貫通させて構成
し、可燃性ガス導入外管と排ガス導入外管、及び
排ガス導入内管と可燃性ガス導入内管の間隙にプ
ロパンガス、天然ガス、水素などの可燃性ガスを
送り空気室に空気を送り自動点火器により可燃性
ガスに点火させた後、排ガス導入外内管の間隙に
特殊材料ガスを送り内側の可燃性ガスの炎により
排ガスの温度上昇を図り外側の可燃性ガスの炎に
より特殊材料ガスを火炎先端部で完全燃焼処理さ
せるものである。
排気口１を有する上部材２と下部材３で上下を
閉鎖した縦型の円筒体４の中間を多孔板５で上下
に仕切り、上部を燃焼室６、下部を空気室７とし
て燃焼筒Ａを構成する。空気室７には電磁弁８を
有する空気送気管９が接続されている。燃焼室６
の下方に形成された空気室７は多孔板５の孔１０
を介して燃焼室６に連通し、燃焼室６への空気供
給部を構成している。外側より可燃性ガス導入外
管１１ａ、排ガス導入外管１１ｂ、排ガス導入内
管１１ｃ及び可燃性ガス導入内管１１ｄとの四重
管より成る燃焼筒１１を形成し、該燃焼筒１１を
空気室７の底部近くから円筒体４の軸方向に向け
多孔板５を貫通させて挿入され、多孔板５を貫通
してその先端ノズル部は燃焼室６内に突出して挑
むように配設されている。燃焼筒１１の下端は可
燃性ガス導入内管１１ｄの内径３０（内孔）以外
を底板１９で閉塞し、底板１９と下部材３との間
に空間を形成し空気流通部２９とする。燃焼筒１
１の底板１９と下部材３との間には縦支持部材を
設け（図示せず）、縦支持部材で燃焼筒１１を下
部材３に支持させるものである。この場合は空気
は空気流通部２９を介して可燃性ガス導入内管１
１ｄの内部を連通して上部に空気を送る。或は可
燃性ガス導入内管１１ｄに図の仮想線のように外
部から空気供給パイプ３１を連結して外部より空
気を送るようにしても良く、いずれにしても可燃
性ガス導入内管１１ｄの内部に空気を送るように
すればよいものである。排ガス導入外管１１ｂ及
び排ガス導入内管１１ｃの排ガス噴射空間３２の
底板１９にはシランガス等を含有する特殊材料ガ
スを排出する反応炉１４からの排ガスを受容する
排ガス供給部１３を介して排ガス導入管１２が接
続してある。
閉鎖した縦型の円筒体４の中間を多孔板５で上下
に仕切り、上部を燃焼室６、下部を空気室７とし
て燃焼筒Ａを構成する。空気室７には電磁弁８を
有する空気送気管９が接続されている。燃焼室６
の下方に形成された空気室７は多孔板５の孔１０
を介して燃焼室６に連通し、燃焼室６への空気供
給部を構成している。外側より可燃性ガス導入外
管１１ａ、排ガス導入外管１１ｂ、排ガス導入内
管１１ｃ及び可燃性ガス導入内管１１ｄとの四重
管より成る燃焼筒１１を形成し、該燃焼筒１１を
空気室７の底部近くから円筒体４の軸方向に向け
多孔板５を貫通させて挿入され、多孔板５を貫通
してその先端ノズル部は燃焼室６内に突出して挑
むように配設されている。燃焼筒１１の下端は可
燃性ガス導入内管１１ｄの内径３０（内孔）以外
を底板１９で閉塞し、底板１９と下部材３との間
に空間を形成し空気流通部２９とする。燃焼筒１
１の底板１９と下部材３との間には縦支持部材を
設け（図示せず）、縦支持部材で燃焼筒１１を下
部材３に支持させるものである。この場合は空気
は空気流通部２９を介して可燃性ガス導入内管１
１ｄの内部を連通して上部に空気を送る。或は可
燃性ガス導入内管１１ｄに図の仮想線のように外
部から空気供給パイプ３１を連結して外部より空
気を送るようにしても良く、いずれにしても可燃
性ガス導入内管１１ｄの内部に空気を送るように
すればよいものである。排ガス導入外管１１ｂ及
び排ガス導入内管１１ｃの排ガス噴射空間３２の
底板１９にはシランガス等を含有する特殊材料ガ
スを排出する反応炉１４からの排ガスを受容する
排ガス供給部１３を介して排ガス導入管１２が接
続してある。
該排ガス導入管１２にはイナートガス混入パイ
プ１５が接続されており、排ガス導入管１２の排
ガス中にイナートガスを混入して排ガスを希釈す
るようになつている。又、イナートガス混入パイ
プ１５には流量制御器１６を設け、排ガス導入管
１２の先端ノズルから噴射される排ガスの濃度、
流速を調整するようにしたものである。又、燃焼
室６と空気室７の境界が多孔板５のみで構成され
ている場合は空気室７から燃焼室６への空気の流
れが特定の場所にかたよつたり、あるいは空気室
６の火炎が空気室７に入つてバツクフアイヤを起
こす恐れがある。このため望ましくは空気室７の
多孔板５の下面に空気を通す不燃性の多孔質の充
填材層１７を適当な厚さで形成する。充填材層１
７の下面に金網あるいは格子状の支持材１８を嵌
装して、充填材が落下しないようにする。そして
外側の可燃性ガス噴射空間２０の底部及び内側の
可燃性ガス噴射空間２１の底部にはプロパンガ
ス、天然ガス、水素などの可燃性ガス供給源２１
に接続されているパイプ２２が流量制御器２３を
介して接続されており、内外の可燃性ガス噴射空
間２０，２１の先端ノズルら噴射されるプロパン
ガス、天然ガス、水素などの可燃性ガスの流量、
流速を調整できるようになつている。空気室６に
は内部、特に燃焼筒１１のノズル上方に発生する
火炎の状態を観察できるようにのぞき窓２６が設
けられている。
プ１５が接続されており、排ガス導入管１２の排
ガス中にイナートガスを混入して排ガスを希釈す
るようになつている。又、イナートガス混入パイ
プ１５には流量制御器１６を設け、排ガス導入管
１２の先端ノズルから噴射される排ガスの濃度、
流速を調整するようにしたものである。又、燃焼
室６と空気室７の境界が多孔板５のみで構成され
ている場合は空気室７から燃焼室６への空気の流
れが特定の場所にかたよつたり、あるいは空気室
６の火炎が空気室７に入つてバツクフアイヤを起
こす恐れがある。このため望ましくは空気室７の
多孔板５の下面に空気を通す不燃性の多孔質の充
填材層１７を適当な厚さで形成する。充填材層１
７の下面に金網あるいは格子状の支持材１８を嵌
装して、充填材が落下しないようにする。そして
外側の可燃性ガス噴射空間２０の底部及び内側の
可燃性ガス噴射空間２１の底部にはプロパンガ
ス、天然ガス、水素などの可燃性ガス供給源２１
に接続されているパイプ２２が流量制御器２３を
介して接続されており、内外の可燃性ガス噴射空
間２０，２１の先端ノズルら噴射されるプロパン
ガス、天然ガス、水素などの可燃性ガスの流量、
流速を調整できるようになつている。空気室６に
は内部、特に燃焼筒１１のノズル上方に発生する
火炎の状態を観察できるようにのぞき窓２６が設
けられている。
又、燃焼室６に圧力計２５が設けられている。
実施例では燃焼筒１１を一本使用した例を示した
が同様のものを複数本用いることもできる。四重
管の燃焼筒１１の上端噴射部２７の近傍には自動
点火器２８が設けられているものである。２９は
中央の可燃性ガス導入内管１１ｄの内部に空気を
送り込む空気流通部である。
実施例では燃焼筒１１を一本使用した例を示した
が同様のものを複数本用いることもできる。四重
管の燃焼筒１１の上端噴射部２７の近傍には自動
点火器２８が設けられているものである。２９は
中央の可燃性ガス導入内管１１ｄの内部に空気を
送り込む空気流通部である。
可燃性ガスの火炎の中に特殊材料ガスを噴射燃
焼させることにより低濃度域で排気量が多い特殊
材料ガスの分解燃焼率を100％にすることが出来
たものである。
焼させることにより低濃度域で排気量が多い特殊
材料ガスの分解燃焼率を100％にすることが出来
たものである。
図は燃焼装置の断面図を示すものである。
Claims (1)
- 排気口を有する上部材と下部材で上下を閉鎖し
た縦型の円筒体の中間を多孔板で上下に仕切り、
上部を燃焼室、下部を空気室に構成し、更に外側
より内側に向け隙間を介して設けられている可燃
性ガス導入外管、排ガス導入外内管と可燃性ガス
導入内管とよりなる四重管の燃焼筒を空気室の下
部材近くから上方に向け多孔板を貫通させて構成
し、可燃性ガス導入外管と排ガス導入外管、及び
排ガス導入内管と可燃性ガス導入内管の間隙にプ
ロパンガス、天然ガス、水素などの可燃性ガスを
送り空気室に空気を送り自動点火器により可燃性
ガスに点火させた後、排ガス導入外内管の間隙に
特殊材料ガスを送り内側の可燃性ガスの炎により
排ガスの温度上昇を図り外側の可燃性ガスの炎に
より特殊材料ガスを火炎先端部で完全燃焼処理さ
せるようにして成ることを特徴とした特殊材料ガ
スの燃焼装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15146788U JPH0344993Y2 (ja) | 1988-11-21 | 1988-11-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15146788U JPH0344993Y2 (ja) | 1988-11-21 | 1988-11-21 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0277433U JPH0277433U (ja) | 1990-06-14 |
| JPH0344993Y2 true JPH0344993Y2 (ja) | 1991-09-24 |
Family
ID=31425538
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15146788U Expired JPH0344993Y2 (ja) | 1988-11-21 | 1988-11-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0344993Y2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB0417378D0 (en) * | 2004-08-04 | 2004-09-08 | Boc Group Plc | Gas abatement |
| GB0509163D0 (en) * | 2005-05-05 | 2005-06-15 | Boc Group Plc | Gas combustion apparatus |
| GB0613044D0 (en) * | 2006-06-30 | 2006-08-09 | Boc Group Plc | Gas combustion apparatus |
| JP5232407B2 (ja) * | 2007-05-25 | 2013-07-10 | 日本パイオニクス株式会社 | 排ガスの浄化装置 |
-
1988
- 1988-11-21 JP JP15146788U patent/JPH0344993Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0277433U (ja) | 1990-06-14 |
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