JPH0345954Y2 - - Google Patents
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- JPH0345954Y2 JPH0345954Y2 JP1670985U JP1670985U JPH0345954Y2 JP H0345954 Y2 JPH0345954 Y2 JP H0345954Y2 JP 1670985 U JP1670985 U JP 1670985U JP 1670985 U JP1670985 U JP 1670985U JP H0345954 Y2 JPH0345954 Y2 JP H0345954Y2
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- bell gear
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- gear
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の属する技術分野〕
本考案は半導体基板或いは絶縁体基板（以下こ
れらをウエハという）上に半導体材料を気相成長
させる装置に関する。
れらをウエハという）上に半導体材料を気相成長
させる装置に関する。
従来の縦型気相成長装置の一例を第２図により
述べる。ベースプレート１１とこれに載置された
石英ベルジヤ１２により反応室１３が形成されて
おり、この反応室１３内にあつてサセプタ支え１
４により支持されるサセプタ１５の上面には複数
のウエハ１６が載置されている。サセプタ１５は
電動機１７から歯車機構１８を経て駆動軸１９と
サセプタ支え１４により回転駆動されるようにな
つており、その下面にはワークコイル２０が設け
てある。また石英ベルジヤ１２の外周にはこれを
覆う金属ベルジヤ２１が配置されている。
述べる。ベースプレート１１とこれに載置された
石英ベルジヤ１２により反応室１３が形成されて
おり、この反応室１３内にあつてサセプタ支え１
４により支持されるサセプタ１５の上面には複数
のウエハ１６が載置されている。サセプタ１５は
電動機１７から歯車機構１８を経て駆動軸１９と
サセプタ支え１４により回転駆動されるようにな
つており、その下面にはワークコイル２０が設け
てある。また石英ベルジヤ１２の外周にはこれを
覆う金属ベルジヤ２１が配置されている。
ウエハ１６はワークコイル２０に給電すること
によりサセプタ１５が赤熱されその熱を受けて所
定温度に加熱されると共に、ノズル２２からキヤ
リアガスに混合された反応ガスを噴出させること
によりその上面に半導体の結晶を成長させてい
る。
によりサセプタ１５が赤熱されその熱を受けて所
定温度に加熱されると共に、ノズル２２からキヤ
リアガスに混合された反応ガスを噴出させること
によりその上面に半導体の結晶を成長させてい
る。
このとき石英ベルジヤ１２は加熱されるため金
属ベルジヤ２１の頂部に孔２３を設け、この孔２
３から適当なガス例えば窒素ガス等を流入させて
石英ベルジヤ１２を冷却しその内面に反応ガスが
付着することを防止している。
属ベルジヤ２１の頂部に孔２３を設け、この孔２
３から適当なガス例えば窒素ガス等を流入させて
石英ベルジヤ１２を冷却しその内面に反応ガスが
付着することを防止している。
このような装置においてウエハ１６の気相成長
面は上面であつて加熱される下面とは反対である
ため、放熱や反応ガスとの接触により温度低下し
ウエハ１６の表裏で温度差が生じ結晶欠陥である
スリツプが発生する。この防止策として金属ベル
ジヤ２１の内面に反射効率の高い金属例えば金・
銀・アルミニウム或いはその他の材料を蒸着等に
より被膜することが提案されている。しかしなが
ら現実にはウエハ１６が大口径化の傾向にあり反
応室１３もそれに付随して大きくなり、反射効率
の高い金属の被膜層を金属ベルジヤ２１に形成す
ることは経済的にも技術的にも困難でほとんど実
現されていなかつた。また石英ベルジヤ１２の外
壁に反射効率の高い金属を蒸着等により被膜する
方式も提案されているが金属ベルジヤ２１と同様
に実現性は乏しかつた。
面は上面であつて加熱される下面とは反対である
ため、放熱や反応ガスとの接触により温度低下し
ウエハ１６の表裏で温度差が生じ結晶欠陥である
スリツプが発生する。この防止策として金属ベル
ジヤ２１の内面に反射効率の高い金属例えば金・
銀・アルミニウム或いはその他の材料を蒸着等に
より被膜することが提案されている。しかしなが
ら現実にはウエハ１６が大口径化の傾向にあり反
応室１３もそれに付随して大きくなり、反射効率
の高い金属の被膜層を金属ベルジヤ２１に形成す
ることは経済的にも技術的にも困難でほとんど実
現されていなかつた。また石英ベルジヤ１２の外
壁に反射効率の高い金属を蒸着等により被膜する
方式も提案されているが金属ベルジヤ２１と同様
に実現性は乏しかつた。
本考案はこのような観点からなされたものでそ
の目的は、金属および石英の両ベルジヤに反射効
率の高い金属を被膜することなく簡単な構成で反
射面を形成できると共に反射面の保守も容易で、
輻射光の反射を有効に活用でき、これによりウエ
ハを均一に加熱してスリツプ欠陥の少ない高品質
の気相成長を行ない得る装置を提供することにあ
る。
の目的は、金属および石英の両ベルジヤに反射効
率の高い金属を被膜することなく簡単な構成で反
射面を形成できると共に反射面の保守も容易で、
輻射光の反射を有効に活用でき、これによりウエ
ハを均一に加熱してスリツプ欠陥の少ない高品質
の気相成長を行ない得る装置を提供することにあ
る。
本考案の気相成長装置は、金属ベルジヤと石英
ベルジヤとの間にこれらとは別に形成した反射板
を取付けるようにしたことを特徴にしている。
ベルジヤとの間にこれらとは別に形成した反射板
を取付けるようにしたことを特徴にしている。
以下本考案の一実施例を示す第１図について説
明する。石英ベルジヤ１２の上方球面部と金属ベ
ルジヤ２１との間には、反射効率の高い金属を内
側に被膜或いは被服した反射板３１が取付部材３
２を介して、金属ベルジヤ２１にバネ或いはバヨ
ネツト等により取付け取外しを容易にして取付け
られている。反射板３１はサセプタ１５の外径よ
り大きく金属ベルジヤ２１の内径より小さくか
つ、その曲率半径はサセプタ１５上面の中心Ｃ１
と反射板３１下面の中心Ｃ２との距離にほぼ等し
いか或いはそれ以上であり、また平板でもよい。
明する。石英ベルジヤ１２の上方球面部と金属ベ
ルジヤ２１との間には、反射効率の高い金属を内
側に被膜或いは被服した反射板３１が取付部材３
２を介して、金属ベルジヤ２１にバネ或いはバヨ
ネツト等により取付け取外しを容易にして取付け
られている。反射板３１はサセプタ１５の外径よ
り大きく金属ベルジヤ２１の内径より小さくか
つ、その曲率半径はサセプタ１５上面の中心Ｃ１
と反射板３１下面の中心Ｃ２との距離にほぼ等し
いか或いはそれ以上であり、また平板でもよい。
なお反射板は反射効率の高い金属を被膜したと
はいえ若干の熱吸収があるため、反射板３１と石
英ベルジヤ１２の両者を冷却すべく金属ベルジヤ
２１の孔２３から反射板３１の孔３３を通して窒
素ガスを反射板３１と石英ベルジヤ１２との間に
流してある。特に成長温度が1000℃以上の場合に
は前記反射板３１に水冷ジヤケツトを設けるかま
たは上面に冷却パイプを付着させることにより水
冷を行う方が望ましい。このように石英ベルジヤ
１２の球面部上方に反射板３１を配置することに
よりサセプタ１５等から発した熱線は反射板３１
に反射されてウエハ１６の表面側を加熱する。
はいえ若干の熱吸収があるため、反射板３１と石
英ベルジヤ１２の両者を冷却すべく金属ベルジヤ
２１の孔２３から反射板３１の孔３３を通して窒
素ガスを反射板３１と石英ベルジヤ１２との間に
流してある。特に成長温度が1000℃以上の場合に
は前記反射板３１に水冷ジヤケツトを設けるかま
たは上面に冷却パイプを付着させることにより水
冷を行う方が望ましい。このように石英ベルジヤ
１２の球面部上方に反射板３１を配置することに
よりサセプタ１５等から発した熱線は反射板３１
に反射されてウエハ１６の表面側を加熱する。
そこで、ウエハ１６の表面からの放熱や反応ガ
スとの接触による該表面の温度低下が防止され、
ウエハ１６の表裏の温度差が小さくなり、スリツ
プの発生が押えられる。また、反射板３１は、石
英ベルジヤ１２および金属ベルジヤ２１のいずれ
からも切離して製作できるため、製造が容易であ
り、さらに保守も金属ベルジヤ２１から外すこと
により容易にでき、修理中にもスペアの反射板３
１を用いることにより運転を続行することが可能
である。
スとの接触による該表面の温度低下が防止され、
ウエハ１６の表裏の温度差が小さくなり、スリツ
プの発生が押えられる。また、反射板３１は、石
英ベルジヤ１２および金属ベルジヤ２１のいずれ
からも切離して製作できるため、製造が容易であ
り、さらに保守も金属ベルジヤ２１から外すこと
により容易にでき、修理中にもスペアの反射板３
１を用いることにより運転を続行することが可能
である。
本考案の気相成長装置は以上説明したように、
金属ベルジヤにこれとは別に形成した反射板を取
付け、この反射板を石英ベルジヤと金属ベルジヤ
との間に設けるようにしたため、比較的安価に反
射面を付与することができ、その保守も容易であ
り、さらに反射板の熱容量は比較的小さいので冷
却も容易で反射面の保護もより確実にでき、サセ
プタ等から発した熱線をより有効に反射させてウ
エハ表面を加熱することができ、スリツプの発生
を押えると共に熱エネルギーを有効利用する省エ
ネルギー効果もある等多くの利点を有する。
金属ベルジヤにこれとは別に形成した反射板を取
付け、この反射板を石英ベルジヤと金属ベルジヤ
との間に設けるようにしたため、比較的安価に反
射面を付与することができ、その保守も容易であ
り、さらに反射板の熱容量は比較的小さいので冷
却も容易で反射面の保護もより確実にでき、サセ
プタ等から発した熱線をより有効に反射させてウ
エハ表面を加熱することができ、スリツプの発生
を押えると共に熱エネルギーを有効利用する省エ
ネルギー効果もある等多くの利点を有する。
第１図は本考案の一実施例の断面図、第２図は
従来例の断面図である。 １２……石英ベルジヤ、１５……サセプタ、１
６……ウエハ、２１……金属ベルジヤ、３１……
反射板。
従来例の断面図である。 １２……石英ベルジヤ、１５……サセプタ、１
６……ウエハ、２１……金属ベルジヤ、３１……
反射板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ サセプタを覆う石英ベルジヤと、同石英ベル
ジヤを覆う金属ベルジヤとを有する気相成長装
置において、前記金属ベルジヤの上部内面にサ
セプタに対する反射板を取付け、前記金属ベル
ジヤと石英ベルジヤ上部との間に前記反射板を
位置させるようにしたことを特徴とする気相成
長装置。 ２ 反射板の下側面に反射効率の高い金属の膜を
設けたことを特徴とする実用新案登録請求の範
囲第１項記載の気相成長装置。 ３ 反射板の曲率半径をサセプタ上面の中心Ｃ１
と反射板下面の中心Ｃ２との距離にほぼ等しい
かそれ以上にしたことを特徴とする実用新案登
録請求の範囲第１項記載の気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1670985U JPH0345954Y2 (ja) | 1985-02-08 | 1985-02-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1670985U JPH0345954Y2 (ja) | 1985-02-08 | 1985-02-08 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61133572U JPS61133572U (ja) | 1986-08-20 |
| JPH0345954Y2 true JPH0345954Y2 (ja) | 1991-09-27 |
Family
ID=30503737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1670985U Expired JPH0345954Y2 (ja) | 1985-02-08 | 1985-02-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0345954Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-02-08 JP JP1670985U patent/JPH0345954Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61133572U (ja) | 1986-08-20 |
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