JPH0347623B2 - - Google Patents

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JPH0347623B2
JPH0347623B2 JP57120610A JP12061082A JPH0347623B2 JP H0347623 B2 JPH0347623 B2 JP H0347623B2 JP 57120610 A JP57120610 A JP 57120610A JP 12061082 A JP12061082 A JP 12061082A JP H0347623 B2 JPH0347623 B2 JP H0347623B2
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JP
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JP57120610A
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JPS5912674A (ja
Inventor
Atsushi Kawahara
Masaki Isogai
Akimasa Sato
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Nikon Corp
Original Assignee
Nippon Kogaku KK
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Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Kogaku KK filed Critical Nippon Kogaku KK
Priority to JP57120610A priority Critical patent/JPS5912674A/ja
Publication of JPS5912674A publication Critical patent/JPS5912674A/ja
Publication of JPH0347623B2 publication Critical patent/JPH0347623B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、銀塩フイルムの代りに固体撮像素子
を用いて撮像し、得られた映像信号を電子的或い
は、磁気的に記録する電子スチルカメラに用いて
有効な固体撮像素子及び装置に関するものであ
る。
電子スチルカメラに対して、これまでビデオカ
メラ用に開発され用いられてきた各種固体撮像素
子をそのまま用いようとする場合に問題となる点
の1つにシヤツタ機能がある。電子スチルカメラ
の如く、銀塩フイルムを使用しないシステムの大
きなメリツトは、完全な遮光を必ずしも必要とし
ない点にあり、また、同時に振動、騒音の発生原
因となるメカニカルシヤツタが不要となり得る点
にある。このためには撮像素子自体にシヤツタ機
能を持つ必要があり、これには既に、オーバーフ
ロードレイン(OFD)及びオーバーフローコン
トロールゲート(OFCG)を有するインターライ
ン転送CCDや、フレーム転送CCDにおいて、こ
の要求をある程度満たすことが確認されている。
中でも、OFD付きインターライン転送CCDは、
全ての受光素子から不要電荷をOFDへ一括して
排出することで露光の準備をし、露光により発生
した信号電荷を光遮蔽された垂直転送CCDに同
じく一括して転送することで露光を完了すること
ができるため、理想的なシヤツター機能を持つと
言え、原理的には、従来のメカニカルシヤツタで
は実現できなかつた数μsec程度のシヤツタータイ
ムも可能となる。これに対して、フレーム転送
CCDの場合には、受光領域から蓄積領域への転
送を露光下で行なうため、原理的にCCD自体の
シヤツター機能を用いる限り高速シヤツター時
S/Nの低下をまぬがれず、実用上は1/500秒程
度が限界と考えられる。
このように、固体撮像素子自体のシヤツター機
能を用いる時、高速シヤツター側は、ほゞ満足で
きる性能を持つているが、低速シヤツター側に
は、まだいくつかの問題が残つている。
その最大原因は、暗電流にあり、特に低照度撮
影において著しく画質を劣化させる要因となつて
いた。この暗電流は、強い温度依存性を持ち、低
温程小さくなる。そこで、撮像素子自体を冷却
し、暗電流を減少させる方法も考えられる。この
場合、冷却手段としてペルチエ効果を利用するこ
ととなるが、大電流を必要とし、消費電力が増大
し、しかも冷却されるまでの時定数や、結露等小
型のカメラに組み込むには多くの欠点がある。
また、露光中或いは露光完了直前に転送領域に
発生した暗電流電荷を外部に排出することも考え
られたが、このようにしても受光領域に発生する
暗電流の対策とはなつていなかつた。
上記の撮像素子を冷却する以外に、暗電流を補
償する手段として、各水平走査線の一部に相当す
る受光領域を光遮蔽し、信号電荷を外部に読み出
した後、光遮蔽された部分の暗電流レベルを基準
レベルにクランプすることで、暗電流成分を除去
することも通常ビデオカメラでは行なわれてきた
が、この場合には、電子スチルカメラで必要とさ
れる程の長時間になると、暗電流が大きくなりダ
イナミツクレンジを狭くしてしまう他、受光領域
のみならず、転送領域の暗電流も加算して読み出
しているため正確には暗電流成分を除去できない
という欠点を持つていた。
ここにおいて、本発明の目的は、これら従来の
欠点を解決し、長時間露光の際の暗電流による信
号劣化を防止し、スローシヤツター機能を可能に
する電子スチルカメラに用いて有効な撮像装置を
提供しようとするものである。
本発明に係る装置は、電子的なシヤツター機能
を有する2次元固体撮像素子の同一基板上に、長
時間露光の際、フオトダイオードに蓄積される不
要電荷分を検出する検出手段を設けた点にひとつ
の特徴がある。
第1図は本発明に係る固体撮像素子の一例を示
す全体概念図、第2図は第1図における−断
面図、第3図は第1図における−断面図であ
る。
これらの図において、H.BCCDは転送クロツ
クφH1,φH2が印加されている水平転送レジスタ、
V.BCCDは転送クロツクφV1,φV2,φV3,φV4(第
2図、第3図ではこれらを総括してφVと示す)
が印加されている垂直転送レジスタである。1は
不要電荷排出のためのオーバーフロードレイン
(OFD)、2は受光用のPN接合フオトダイオード
で、マトリツクス状に複数個配列している。3は
OFD1とフオトダイオード2との間に形成され
たオーバーフローコントロールゲート(OFCG)
で、フオトダイオード2に蓄積された電荷の
OFD1への排出を制御する。V.BCCDはN型領
域の埋め込みチヤンネル4と、転送クロツクφV
が印加される電極5で形成されており、信号電荷
を紙面垂直方向(第2図の場合)に転送(垂直転
送)する。6はフオトダイオード2とV.BCCDと
の間に形成されたトランスフアーゲートで、フオ
トダイオード2からV.BCCD側への信号電荷の転
送を、ここに印加される所要電圧TGによつて行
なう。7はV.BCCDに隣接する次の垂直ラインを
担当するOFD1とV.BCCDの埋め込みチヤンネ
ル4との間に形成したクリアゲートで、ここに印
加される信号CG1によつて、埋め込みチヤンネル
4からOFD1を介してV.BCCDの電荷を素子外
部に排出できるようになつている。9は遮光部材
で、ここではフオトダイオード2の領域を除くす
べての領域を覆つているが、基本的には埋め込み
チヤンネル4と電極5で形成されるV.BCCDの領
域のみを覆つていればよい。
第1図において、破線で囲んだ領域21(この
領域の断面図を第3図に示す)は、暗電流検出領
域を構成しており、それ以外の領域と同一の基板
上に形成され、両領域は温度平衝状態にあり、そ
の構造は、前記領域21の上部全面が遮光部材1
9で覆われている以外は第2図に示す断面図と
ほゞ同じである。すなわち、11はOFD1、12
はフオトダイオード、13はOFCG、14はV.
BCCDの埋め込みチヤンネル領域、15はV.
BCCDの転送電極、166はトランスフアーゲー
ト、17はV.BCCDの電荷をCFD218に排出す
るためのクリアゲートである。
このように構成された装置は、各V.BCCDに対
してクリアゲート7が設けられ、全てのV.BCCD
より一括して電荷をOFD1及びリード線23側
に排出できる点と、暗電流検出領域21におい
て、V.BCCD電荷を排出するOFD2が、他の領域
のOFD1と別に分けて、リード線22を介して
外部に取り出されるように構成されている点が従
来のインターライン転送CCDと異なつている。
第4図は第1図で示した本発明に係る固体撮像
素子を電子スチルカメラの撮像装置に使用する場
合の周辺回路の一例を示す構成図である。
この図において、28は第1図で示した固体撮
像素子(以下単にCCDという)で、各符号は第
1図において各端子に付された符号と対応してい
る。出力回路のリセツトドレインRD、出力ドレ
インOD、出力ゲートOGには、各々適当な直流
電圧VRD,VOD,VOGが印加されている。29〜3
5はそれぞれクロツクドライバーで、アナログス
イツチ36〜43からの出力電圧を電流増巾し、
CCD28の各端子CG1,CG2,OFCG,RG,φH
φV及びTGに印加する。アナログスイツチ36〜
43がオフの時は、0電圧がCCD28の各端子
には印加される。
ここで、水平転送レジスタH.BCCDの転送ク
ロツクφH1,φH2はまとめてφHで、また、垂直転送
レジスタV.BCCDの転送クロツクφV1,φV2,φV3
φV4はまとめてφVとしてある。従つて、クロツク
ドライバ33、アナログスイツチ41は実際には
それぞれ2個存在し、また、クロツクドライバ3
4、アナログスイツチ42は、実際にはそれぞれ
4個存在する。
44はタイミングパルス発生回路で、CCD2
8を駆動するに必要なパルス群φCG1,φCG2
φOFCG1,φOFCG2,φRG,φH1,φH2,φV1,φV2,φ
V3
φV4,φTG及び暗電流補償を行なう回路に供給する
パルス群φX,φSの他、CCD28から出力される
映像信号処理に必要な周期信号φSYNC、クランプ
パルスφCP、記録に際しての有効信号領域を示す
ゲート信号φRECG等を出力する。
45はシヤツタータイム演算回路で、タイミン
グパルス発生回路44に対してタイミング信号と
して、露光開始指示パルスφST、露光完了パルス
φEDを与えている。ここで露光開始パルスφSTART
は図示してないカメラシヤツター釦の押下により
与えられ、また、露光完了パルスφEDは、絞り値
検出抵抗46等の撮影条件情報に基づき、図示し
てない光学系に設けられた測光用フオトダイオー
ド47による測光素子出力から演算して得られた
シヤツタータイムの後に発生する。なお、ここで
は測光用フオトダイオード47を設けたが、測光
はCCD28自体により測光してもよい。この場
合、第2図においてOFCG3に高電圧を印加し、
全てのフオトダイオード2からの出力電流を検出
することによつて、全面平均測光が行なえる。
48,49,50,51はいずれも演算増巾
器、53はサンプルアンドホールド回路で、スイ
ツチ素子54、コンデンサ55及び高入力インピ
ーダンス増巾器56で構成されている。これらの
演算回路及びサンプルアンドホールド回路は、
CCD28の内部で暗電流補償を行なうための回
路を構成している。
第1段の演算増巾器48は、CCD28の光遮
蔽された領域21(第1図参照)のV.BCCDに沿
つて設けられたOFD18に対し、バイアス電圧
VOFDを印加するとともに、OFD18に流入する
電流IDを検出し、これを電圧に変換するための
回路であり、その出力端に、(1)式に示すような電
圧e0を出力する。
e0=VOFD+R0・Id ……(1) たゞしR0は演算増巾器48の帰還抵抗(電流
検出抵抗)の値すなわち、CCD28の暗電流電
荷が蓄積されている時、パルスφCGをもつてアナ
ログスイツチ37をオンとし、電圧VCGを印加す
れば、領域21のV.BCCDの暗電流電荷が全て同
時に排出され、OFD2には暗電流Idが流れて、演
算増巾器48の出力端には(1)式で示すような電圧
e0を得ることができる。
演算増巾器49は、演算増巾器48の出力電圧
e0の中のバイアス電圧VOFDを減算し、その出力端
に電流Idに比例した出力電圧−(R2/R1)・R0
Idを得る減算回路を構成している。
本発明のひとつの狙いは、この暗電流比例出力
電圧をもつて、本来の例えば高速シヤツター時に
トランスフアーゲートTGに印加すべき電圧VTG
を変更することにあり、暗電流が増加する程、
VTGから大きな電圧を減算し、この減算結果とな
る電圧VTG′を用いてフオトダイオードからV.
BCCDへの信号電荷の転送を制御するよう構成し
ている。2つの演算増巾器50,51がこのため
の減算回路を構成する。演算増巾器51が出力端
には(2)式に示すような電圧e01が得られ、抵抗R4
を変化させることでIdの係数を変化させ、トラン
スフアーゲート電圧への効果を調整する。
e01=VTG−R2・R3・R0/R1・R4・Id ……(2) なお、この実施例では、線型の素子を用いた場
合であるが、トランスフアーゲート電圧VTG′に
よるフオトダイオードとV.BCCD間のポテンシヤ
ル変化は非線型であり、これは抵抗R4の代りに
非線型素子を用いることによつて解決される。さ
らに電流検出抵抗R0をダイオードを含む非線型
回路で置換し、対数圧縮を行なうこともできる。
サンプルアンドホールド回路53は、φCGによ
る電流検出のタイミングとφTGによる電荷転送の
タイミングとの時間的な遅れに対応するために設
けられている。この実施例では、また、オーバー
フローコントロールゲートOFCGには、2つの電
圧VOFCG1,VOFCG2を選択して用いるように構成さ
れており、φOFCG1かφOFCG2のいずれかをオンさせ
てこれを実現している。
2つの電圧には、VOFCG2>VOFCG1の関係があり、
通常の露光状態においては、VOFCG1がOFCGに印
加されるようにし、この場合、ブルーミング状態
になりフオトダイオードから電荷があふれた時、
これを隣接するOFD1に排出できる。また、
VOFCG2がOFCGに印加された場合には、フオトダ
イオードとOFD1との境界ポテンシヤルは充分低
くなり、フオトダイオードに存在する基準ポテン
シヤル以上の電荷は全てOFD1に排出される。
以下、第5図の波形図を参照しながら第4図回
路の動作を次に説明する。
第5図aに示すように、撮影開始に当つて、露
光開始パルスφSTARTが時刻t=t0においてシヤツ
ター釦押下により発生すると、シヤツタータイム
演算回路45では、タイミング制御回路44より
与えられる第5図bに示す垂直同期信号V.Dに同
期して測光を開始するとともに、タイミング制御
回路44に対する露光開始指示パルスφSTを第5
図cの如く発生する。該パルスφSTを受けたタイ
ミング制御回路44では、φSTに同期して第5図
e,fで示すようにφOFCG2を“H”(High)レベ
ル、φOFCG1を“L”(Low)レベルとして、フオ
トダイオードから電荷をOFDに排出するととも
に、第5図g,hに示した2つのクリアゲート
φCG1,φCG2を“H”レベルとして、V.BCCDに存
在した電荷もOFD1及びOFD2に排出する。以上
の動作は、単一パルスの印加で済むため10μsec程
度の短時間で完了する。
ここでは、CCD28をビデオカメラにも用い
ることもできるものとして説明するとともに、静
止画撮影の場合にも映像信号の読出しはTVにお
けるフイールド画像であるとする。
第5図bに示した垂直同期信号V.Dは、1/60秒
周期で連続的に発生しており、時刻t=t1での露
光開始より次の垂直同期信号V.Dまでの1/60秒以
内に露光が完了する場合には、暗電流による影響
は小さく、通常の光遮蔽された部分についてのク
ランプ処理により実用上何ら問題は生じない。
第5図には、そのような高速シヤツター動作と
は異なり、シヤツタータイムが1/60秒を超える場
合、すなわち、露光が1/60秒を超えても終らず、
第5図dに示した露光完了信号φEDが、シヤツタ
ータイム演算回路45から1/60秒の期間巾で発生
しない場合が示されている。このような場合に
は、第5図iにφXで示したパルスが“L”レベ
ルに時刻t=t2で垂直同期信号VDに同期して変
化し、電子カメラは暗電流補償モードに移行す
る。
このパルスφXは、第4図回路において、アナ
ログスイツチ57のオン、オフを制御しており、
φXが“H”レベルならばアナログスイツチ57
はオンとなり、トランスフアーゲートTGに印加
されるべき第5図hに示した電圧V′TGは、V′TG
VTGとなり、フオトダイオード2からV.BCCDに
は完全転送が実現される。一方、φXが“L”レ
ベルならば、アナログスイツチ57はオフとな
り、VTG′はサンプルアンドホールド回路53が
サンプルモードにある時、OFD2に流れ込む暗電
流Idに応じてVTGより低い電圧となる。
次に、時刻t=t3からt=t5に至る付近での動
作説明を行なう。暗電流補償モードに移行した
後、予め設定された時間(例えばV.Dの4周期1/
15秒)経過しても、露光完了信号φEDが発生しな
い場合には、その時刻t=t3において、2つのク
リアゲートC G1,C G2に対し、φCG1,φCG2
パルスを発生させて電圧VCGを印加し、V.BCCD
の全てから、暗電流電荷を排出する。このうち、
OFD2より排出された電荷は、パルス電流とな
り、第4図におけるサンプルアンドホールド回路
53の入力に第5図hの時刻t=t3からt=t4
至るVTG′の電圧変化を生み出す。この電圧変化
をサンプルアンドホールド回路53で記憶保持す
るため、パルスφSをt=t4において“L”レベル
とする。なお、このサンプルアンドホールド回路
53は、ピークホールド回路で置換してもよい。
この保持された電圧VTG′は、電圧VTGよりも低
く、従つて、フオトダイオード2からV.BCCDへ
の不完全転送をもたらすこととなり、電圧V′TG
保持されている間で時刻t=t4からt=t5の間
に、トランスフアーゲートTGにこの電圧を第5
図lに示すパルスφTGをもつて転送すれば、フオ
トダイオード2に発生した暗電流電荷を信号電荷
の総和の中から、信号電荷のみをV.BCCDに転送
することが可能となる。この際には、VTG′がId
に応じて適切な電圧レベルとなるように調整す
る。ここで光遮蔽された領域21のV.BCCDに発
生する暗電流と、受光領域のフオトダイオード2
に発生する暗電流との間には一定の関係があるも
のとする。
この結果、光遮蔽されていないフオトダイオー
ド2に隣接するV.BCCDには、t=t1からt=t4
までの期間にフオトダイオードに発生した信号電
荷のみを移すことができる。この場合、若干の暗
電流電荷も信号電荷とともにV.BCCDに転送され
るよう調整するのが現実的であり、この電荷はバ
イアス電荷として働いて信号電荷が微小な部分で
の信号電荷取りこぼしを低減させる効果を持つ。
また、この若干の暗電流電荷は、暗電流検出領域
21内のV.BCCDに対しても、全く同様に転送さ
れるので、CCD28外に読み出す際のクランプ
処理により除去が可能なものである。
フオトダイオード2から信号電荷がV.BCCDに
転送され、残つた暗電流電荷は、時刻t=t5にお
いて再び、第5図e,fに示すφOFCG2,φOFCG1
変化させ、OFCGに電圧VOFCG2を印加してOFD1
に排出する。
この後、フオトダイオードは再び受光電荷蓄積
を開始する。また、上述の動作に要する時間は、
それまでの時刻t=t1に始まりt=t3に至る露光
時間に比較し、十分短かく、露光時間誤差は実用
上無視できる。
第5図のタイミングチヤートで、t=t6からt
=t8に至る動作も、t=t3からt=t5に至る動作
と殆んど同じである。
なお、この場合、受光フオトダイオード2に隣
接するV.BCCDには、既にt=t4において信号電
荷が転送されているため、もはやこのV.BCCDか
ら電荷を排出することはできず、従つて、φCG1
変化させず、単にφCG2のみにパルスを印加し、フ
オトダイオードよりV.BCCDに信号電荷を転送す
ることとなる。時刻t=t5より時刻t=t6までの
期間にV.BCCDに発生した暗電流電荷は、もはや
CCD28内部では除去不可能であり、これが、
この実施例における長時間露光における制約条件
の1つとなる。すなわち、V.BCCDの暗電流が、
最大露光可能時間を決める。
以後、更に露光が続く場合には、適当な時間間
隔で、t=t6からt=t8に至るプロセスが繰り返
されることとなる。なお、この場合、V.BCCDの
みの暗電流電荷が除去できないため、その対策と
しては、例えば光遮蔽されたフオトダイオード1
2とV.BCCDの組を複数列設け、その一部は他の
受光可能な組と同じ動作をさせてV.BCCDへ蓄積
される暗電流分を保持させておき、他を暗電流検
出に用いるようにして、前記一部に保持させてお
いた出力を利用して外部でクランプ処理を行なえ
ば、V.BCCDの暗電流補償ができる。
最後にある時刻、第5図t=t9において、露光
完了パルスφEDが発生した後の動作について説明
する。
第5図dに示すように、t=t9において発生し
た露光完了パルスφEDは、タイミング制御回路4
4に与えられ、このタイミング制御回路44は直
ちに暗電流検出領域21のクリアゲートCG2に電
圧VCGをパルスφCG2により印加し、それによる
V′TGの変化を前記と同様にサンプル、ホールド
し、t=t10においてトランスフアーゲートパル
スφTGを発生させて信号電荷のみをV.BCCDに転
送する。t=t1に始まる露光の中で、複数回に分
割され、積算されたV.BCCDの電荷は引続く垂直
同期信号V.Dに同期して、t=t11より読み出され
る。
この場合、外部の電気的或いは、磁気的記録媒
体へのゲート信号φRECGが、第5図mに示すよう
にt=t1からt=t12の間“H”レベルとなつて出
力される。それと同時に、暗電流電荷を蓄積した
V.BCCDの位置に対応するクランプパルスφCPも、
各水平走査線毎に出力され、CCD28外部での
最終的な暗電流補償に用いられる。
なお、上記の実施例において、CCD28内に
設けた暗電流検出のための領域21の構成は、第
3図の断面図で示すものに限定されず、他の構成
であつてもよい。
以上説明したように、本発明によれば、撮像素
子より信号電荷を読み出す以前の段階において、
撮像素子の内部で暗電流電荷を排除し、且つ同一
フオトダイオードから信号電荷のみを同一転送チ
ヤンネルに複数回に分割して転送することを可能
にしたもので、極めて長時間の露光を行なつた場
合でもS/Nの良い静止画像を得ることができ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る固体撮像素子の一例を示
す全体概念図、第2図は第1図における−断
面図、第3図は第1図における−断面図、第
4図は本発明に係る撮像装置の周辺回路の一例を
示す接続図、第5図はその動作を説明するための
動作波形図である。 1……オーバーフロードレイン(OFD)、2…
…受光用フオトダイオード、3……オーバーフロ
ーコントロールゲート(OFCG)、6……トラン
スフアーゲート、7……クリアゲート、21……
暗電流検出領域、H.BCCD……水平転送レジス
タ、V.BCCD……垂直転送レジスタ、4……埋め
込みチヤンネル、5……電極。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 入射光強度に応じて信号電荷を発生、蓄積す
    る受光領域と、この受光領域の一方側に並設され
    た不要電荷排出領域と、前記受光領域の他方側に
    並設された信号電荷転送領域とを有し、前記受光
    領域から前記不要電荷排出領域への不要電荷排出
    と受光領域から転送領域への信号電荷転送とを任
    意の時刻に行なうことができるようにした2次元
    固体撮像素子を用いた撮像装置において、 前記受光領域から前記転送領域への転送電荷量
    を制御することが可能な転送手段と、暗電流電荷
    検出手段とを前記2次元固体撮像素子上に設け、
    前記暗電流電荷検出手段によつて前記転送手段を
    制御するようにしたことを特徴とする撮像装置。 2 暗電流検出手段は、光遮蔽された受光領域
    と、光遮蔽された信号電荷転送領域と、暗電流検
    出用オーバーフロードレインとを含んで構成され
    る特許請求の範囲第1項記載の撮像装置。 3 撮影露光に先だちそれまでに受光領域及び転
    送領域に存在した電荷を一括して装置外部に排出
    した後露光を開始し、適正露光時間経過後に暗電
    流検出電流の転送領域から暗電流電荷を排出し、
    これを検出して続いて実行する受光領域から転送
    領域への電荷転送量を制御するように駆動される
    特許請求の範囲第2項記載の撮像装置。 4 不要電荷排出領域は、受光領域及び信号電荷
    転送領域にそれぞれゲートを介して隣接し、前記
    受光領域及び前記信号電荷転送領域の両方より不
    要電荷を排出可能としたことを特徴とする特許請
    求の範囲第1項記載の撮像装置。 5 露光が長時間にわたる時、各受光領域に発生
    した信号電荷を複数回に時間分割して同一の転送
    領域に転送し、該受光領域に発生する不要電荷を
    各転送後に不要電荷排出領域に転送するように駆
    動される特許請求の範囲第1項記載の撮像装置。
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