JPH0347737B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、LSIの対辺に位置するリード等、一
定距離離間した位置に設定された二つの撮像部位
の映像を１つの撮像手段で高精度に撮像する方法
に関する。

〔従来の技術〕

決像レンズを装備した固体撮像素子（以下、
CCDと称す）や撮像管等を用いて、LSIのリード
の曲がりや電子部品の形状、その他回路パターン
の検査等を行なうことが最近盛んに行われてい
る。これら装置では、撮像し得る情報量は、
CCDの画素数や撮像管の走査線の本数に規定さ
れる為、撮像視野を大きくした場合には測定分解
能が低下し、又測定分解能を向上させる為に高倍
率撮像した場合には視野が狭くなるという問題が
存在している。したがつて、これら装置で測定対
象における互いに離れた二つの部位の高倍率の映
像を得ようとする場合は、測定対象若しくは撮像
手段を移動させながら各部位を撮像するが、複数
の撮像手段をそれぞれの撮像部位に位置づけて、
２つの撮像部位を同時に撮像するしかない。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、測定対象若しくは際像手段を移
動させる方法では、装置構成が複雑となる上に、
位置決めに多くの時間を要する為、作業効率上の
問題や、該工程の前後に配置される他の作業工程
との整合性の問題が生じていた。また、撮像手段
を複数設ける方法では、測定時間の短縮化ははか
れるものの、製造コストの上昇が避けられず、製
品価格の上昇要因となつていた。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、かかる現況に鑑みてなされたもので
あり、互いに離れた二つの撮像部位の高精度な撮
像を、測定対象や撮像手段を移動させたり撮像手
段を増やしたりすることなく１台の撮像手段で行
なうことを目的とするものである。

一般的に測定対象の高精度な映像を得る場合、
各視野内の全映像を完全な状態で得る必要がある
のは希で、多くの場合、各視野内の要部について
のみ高精度な映像が得られれば、品質検査等の目
的は達つせられる。本発明はかかる事実に着目す
るとともに該目的は二視野から得られる画像情報
を等辺プリズムを用いて結合すれば可能となるこ
とを着想して本発明を完成させたものである。

かかる目的を達成した第１発明は、 測定対象における二つの撮像部位を含む平面に
対して直交する方向であつて、且つ両撮像部位間
の略中間地点より所定距離離間した位置には、等
辺三角プリズムを、その１つの頂角を前記中間地
点に向けて位置づけるとともに測定対象をはさん
でプリズムの位置する側と反対側には、撮像部位
を斜め方向背後から照明する散乱性面光源を配置
してなり、異なる二つの撮像部位を透過した光を
プリズムの隣り合う二つの外側面に、該側面の略
法線方向からそれぞれ入射せしめ、プリズム内で
それぞれ全反射させた後、両光を一部重畳させな
がら結合を行ない、結合後の合成光を入光側面と
は異なる側面からプリズム外部へ射出せしめると
ともに、該合成光を、該合成光の進行方向前方に
配置された撮像手段で受光してなることを特徴と
するものである。

また、第１発明を改良した第２発明の要旨は、
第１発明における測定対象と等辺プリズムとの間
にスクリーンを介在させるとともに、照明光源を
平行光光源となし、測定対象への照射角を変化さ
せて、それぞれの照射角に対応した測定対象のシ
ルエツト像をスクリーンに２回投影させ、それぞ
れのシルエツト像を第１発明と同様、等辺プリズ
ムを介して撮像してなることを特徴とするもので
ある。

〔作用〕

このような、光学系を有する本発明は、二視野
の映像、即ち測定対象における互いに離れた位置
に設定された２つの撮像部位の映像をプリズムを
用いて結合し、測定対象における不用部分を除い
て必要部分のみを至近位置で合成したから、二視
野の映像を分解能で低下させることなく、一台の
撮像手段で撮像することが可能となる。

〔実施例〕

次に本発明の詳細を図例の実施例に基づき説明
する。第１図は、本発明における光学系の全体を
示す説明図であり、第２図はその要部である。１
が測定対象、２ａ，２ｂが照明光源、３が等辺プ
リズム、４が撮像手段であり、撮像手段４CCD
等の撮像手段本体５と決像用の対物レンズ６とか
ら構成される。測定対象１は実際にはLSIや、他
の電子部品更には透明板に印刷された回路パター
ン等であるが、ここでは、説明を単純化する為に
一端に矢印、他端に○を付した直線を用いて説明
する。測定対象１は左側部１ａ、右側部１ｂ、中
央部１ｃに大別される。中央部１ｃは撮像する必
要のない部分であり、測定対象にLSIを選んだと
きには、モールド部分に相当する。

測定対象１の中央下部には、頂角を60°に設定
した等辺プリズムが、頂角７を測定対象の中央へ
向けて配置されており、一方、測定対象１をはさ
んだ等辺プリズム３の反対側には、測定対象１の
左側部１ａを照明する照明光源２ａと、右側部分
１ｂを照明する照明光源２ｂがそれぞれ配置され
ている。照明光源２ａ，２ｂは散乱性面光源であ
り、その配置位置は、撮像部位である左側部１ａ
及び右側部１ｂを通過した透過光がプリズム３の
側面３ａ，３ｂに略法線方向から入射するように
設定されている。またプリズム３の垂直下方に
は、撮像手段４が、プリズム３との距離を増減で
きるようにして配置されている。

このような構成の光学系では、照明光源から照
射された光は、以下の光路を経て、撮像手段本体
５に入光し測定対象の映像を結像する。

例えば照明光源２ａから照射された光は測定対
象１を斜め上方から照らし、測定対象１の左側部
１ａを透過した後、プリズム３の側面３ａに略法
線方向から入射する。側面３ａには、測定対象１
の全体を照射した光のうち、左側部１ａを透過し
た光のみが入射し、左側部１ａより右側より中央
部１ｃを透過した光線はプリズム３に入射せず、
したがつて中央部１ｃは撮像対象から除外されて
いる。

側面３ａからプリズム３内に入光した光は入射
方向が略法線方向である為、ほとんど屈折せずに
側面３ａを透過してプリズム３を直進し、隣り合
う側面３ｂにプリズム３内部から入射する。この
ときの入社角は約60°であり、該角度で入射した
光は全反射した後、プリズム３の底面３ｃを透過
してプリズム３の外部へ出る。プリズム３外部に
出た光は、プリズム３から一定距離離間した位置
に配置された対物レンズ６で集光され、撮像手段
本体５に測定対象１の左側部１ａのみのシルエツ
ト像１a′を結像するものである。上記したのは照
明光源２ａから照射された光線の光路について述
べたが、同様の光路は、照明光源２ｂから照射さ
れる光についても成立する為、撮像手段本体５に
は照明光源による右側部１ｂのシルエツト像１
b′と左側部のシルエツト像１a′とが一部重畳１
d′して結像されることになる。重畳１d′部分の映
像は測定対象の原形をとどめていない為、画像分
析用のデータとして使用することはできないが、
該部分は画像分析の対象から除外しておけば問題
はない。別言すれば重畳部分に対応する対応する
測定対象の部位が、測定不要となるような測定対
象に対し本発明の方法は適用されるものである。

このような光路を辿ることにより測定対象１の
うちの中央部１ｃは除外されて左側部１ａと右側
部１ｂのシルエツト像のみがプリズム３によつて
結合され、結合後のシルエツト像が撮像手段４に
結像されることになり、結果として互いに離れて
配置された二視野の映像が一つの撮像手段によつ
て撮像することが可能となるのである。

本発明では、測定対象の大きさの増減、即ち二
視野間の距離の増減に対しては、第３図に示す如
く、照明光源２ａ，２ｂを水平移動させるととも
にプリズム３及び撮像手段４を上下移動すること
によつて対応する。例えば、左側部１ａと右側部
１ｂを撮像する場合には照明光源２ａ，２ｂ、プ
リズム３、対物レンズ６は図中実線で示される位
置に、また撮像手段４は図中破線で示された配置
関係にあるが、測定対象が大きくなつた場合等
で、撮像部位間の距離が拡大して撮像部位が左側
部１a′、右側部１b′となつた場合には、照明光源
２a′，２b′、プリズム３′、対物レンズ６′、撮像
手段本体５′は図中想像線で示される配置関係を
満たすように設定するものである。

即ち、照明光源２ａの照射光による左側部１ａ
への照射角γと照明光源２a′の照射光による左側
部１a′への照射角γ′とは常に等しくなるように設
定されるもので、この為に照明光源は水平方向に
移動可能とされている。またプリズム３及び撮像
手段４は垂直方向に上下同可能に構成されてお
り、その移動量はプリズム３への入射光が各側面
３ａ，３ｂに対し、常に法線方向から入射される
ことを基準に設定され、また撮像手段４は、撮像
手段４に結像されるシルエツト像が一定の大きさ
でフオーカスが正しくなるように対物レンズ６と
撮像手段本体５を一体的に移動させてその位置を
調節するものである。そして二視野間の距離Ｌ１
が拡大したときには、プリズム３は垂直方向に下
動させ、他方、撮像手段４は上動させてプリズム
３と撮像手段４間の距離Ｌ２を縮小し、撮像手段
本体５′に測定対象のシルエツト像を結像させる
ものである。尚、本実施例では照明光源を水平移
動させることにより、測定対象の拡大に対応した
が、照明光源は固定したままでも照明光源の発光
面積自体を大きくすれば、測定対象の拡大に対応
させることができる。

次に本発明をフラツトICのリード検査装置に
応用した場合について述べる。測定対象となるフ
ラツトIC９の外観は第４図として示される如く、
平板状のモールド部１０の周囲に鉤状に屈曲した
リードピン１１を多設した構成としたものであ
る。フラツトIC９は多数のリードピン１１が狭
い間隔をはさんで配置されている為、リードピン
１１の曲がりは、基板への実装時には、接触不良
や回路短絡の原因となる。したがつてリードピン
１１の曲がり検査は、極めて重要な検査として広
く認識されている。

リードピン１１の曲がり方向としては、リード
ピン１１の巾方向ｘとリードピン１１の厚み方向
ｙとが考えられるが、厚み方向ｙの曲がりは基板
実装時にはリードピンの浮き現象として現われて
接触不良の原因となり、また巾方向ｘの曲がりは
リードピン同士を接触させて回路を短絡させる原
因となる為、いずれの方向の曲がりも厳密に検査
する必要がある。リードピンの厚み方向ｙと巾方
向ｘの曲がりを同時に検査する方法として同出願
人は、「IC外観検査方法」（特願昭62−28646号）
を出願しているが、本実施例は、前記出願に本発
明を適用して、撮像手段の数を減らすとともに検
査時間の短縮をはかつたものである。

第５図は本実施例の概念を示す説明図である。
フラツトIC９の直下には頂角60°の等辺プリズム
３が垂直方向に上下動可能に配置され、該プリズ
ム３から一定距離離間した下方位置には、プリズ
ム３の底面３ｃから射出した光の進向方向を変え
る為に直角プリズム１２が配置されている。又、
直角プリズム１２の水平方向の側方であつて、直
角プリズム１２から射出した光を受光し得る位置
には、対物レンズ１３を関係づけたカメラ１４が
配置されている。本実施例でカメラ１４として
CCDを用いているが、撮像管を用いることも可
能である。直角プリズム１２、対物レンズ１３及
びカメラ１４は載置テーブル１５上に固定され、
これらは相互の離間距離を維持したまま、垂直方
向に一体的に上下動し得るように構成されてい
る。載置テーブル１５を上下動可能に構成するの
は、フラツトIC９の大きさの相違より生ずるリ
ードピンと等辺プリズム間の光路長の変化を相殺
する為であるが、この上下動の行程ｌ１は、移動
方向は反対ではあるもののフラツトIC９の大き
さに対応させて行う等辺プリズム３の上下動の移
動行程ｌ２と等しく設定することが可能で、この
ように設定したときには、載置テーブル１５とプ
リズム３の上下動を動じ駆動源で行なうことがで
きる。例えば、載置テーブル１５及びプリズム３
を同時に上下動させる駆動機構としては第６図で
示す如く、長さ方向両端側に逆ネジ関係にある螺
溝１６，１７を刻設した軸体１８を設け、該軸体
１８はギヤ１９を介して駆動源２０に関係づける
とともに、軸体１８の上部にはプリズム３を支持
するプリズム支持台２１を前記螺溝１６に関係づ
けて設け、且つ、下部には直角プリズム１２、対
物レンズ１３及びカメラ１４支持する載置テーブ
ル１５を、前記螺溝１７に関係づけて設けた構成
などが採用される。尚、図中２２，２２…は軸体
１８に沿つて昇降するプリズム支持台２１及び載
置テーブル１５を安定的に支持する為のガイド軸
である。

フラツトIC９の斜め上方には、照明光源２ａ，
２ｂが水平方向に移動可能に配置されている。照
明光源２ａ，２ｂから発射され、左リード１１
ａ、右リード１１ｂを透過する光の照射角γはリ
ード透過後の光をプリズム３の側面３ａ，３ｂに
方線方向から入射させる為に約30°に設定してい
る。

以上の構成の装置を用いてフラツトIC９のリ
ード曲がりを検出するには次のようにする。

フラツトIC９の左リード１１ａ及び右リード
１１ｂを透過した光が、プリズム３の各側面３
ａ，３ｂに方線方向から入射するように、照明光
源２ａ，２ｂを水平移動させるとともにプリズム
３を上下動させ、且つ載置テーブル１５を上下動
させてカメラ１４にリードのシルエツト像を結像
させる。照明光源２ａ，２ｂの水平移動距離と、
プリズム３及び載置テーブル１５の上下移動とは
一定の関係があり、これら３者は相互に関連して
移動させられる。特に、プリズム３と載置テーブ
ル１５は、第６図に示す如く同一の駆動源によつ
てその昇降を制御されている。

照明光源２ａ，２ｂから照射された光は、左リ
ード１１ａ及び右リード１１ｂに略30°の角度で
入射した後、プリズム３の各側面３ａ，３ｂに方
線方向から入射する。側面３ａ，３ｂに入射した
光は、入射方向が側面３ａ，３ｂに対し方線方向
である為に、ほとんど屈折せずにプリズム３内を
直進し、対向する側面３ｂ，３ａに約60°の入射
角で入射して全反射を行ない、プリズム底面３ｃ
からプリズム３外部へ射出する。プリズム３外部
へ出た光には、左リード１１ａと右リード１１ｂ
を透過した光が合成された状態で含まれており、
この光は等辺プリズム３の直下に位置づけられた
直角プリズム１２に入射する。直角プリズム１２
により進行方向を水平方向に変換された光は、対
物レンズ１３によつて集光された後、カメラ１４
に左リード１１ａ及び右リード１１ｂのシルエツ
ト像を結像するものである。

フラツトICの大きさは各種ある為、左リード
と右リードとの離間距離は図中左リード１１a′と
右リード１１b′として示す如く大きくなる場合も
あるが、この場合にも照明光源と水平移動と、等
辺プリズム及び載置テーブルの上下動により容易
に対応できるのである。

第７図は、カメラ１４で撮像されたリードのシ
ルエツト像である。シルエツト像は、左リード１
１ａのシルエツト像Ａと右リード１１ｂのシルエ
ツト像Ｂが一部重畳C′した状態で合成されている
が、検査対象となるのは、リード部分先端側のシ
ルエツト像A′，B′だけであるので問題はない。

リードの巾ｘ方向の曲がりはシルエツト像でも
巾方向の曲がり１１ｘとして表われ、一方、リー
ドの厚み方向ｙの曲がりはリード長さの短縮１１
ｙとして表れるので、シルエツト像を画像処理す
ればリードの曲がりは容易に検出できる。

このようにカメラ１４の視野には、対辺側に位
置するリードのシルエツト像が、間に介在するモ
ールド部分を省略した状態で撮像されている為、
撮像倍率を大きくしても、画像が視野からはみ出
ることはなく、高倍率のリードの画像を得ること
が可能となる。

以上述べた実施例装置を用いれば、フラツト
ICの通常の検査は十分に行なうことができるが、
更に高精度な測定が可能な第２発明を具体化した
実施例装置を次に開示する。

フラツトIC９のリードの厚み方向ｙの曲がり
はシルエツト像におけるリード長の短縮として表
れることは前述したが、リードの一部に他のリー
ドに比べて足の長いリードが存在し、且つそのリ
ードが偶然にも厚み方向ｙに曲がつていた場合に
は、シルエツト上ではリードの長足化と短縮化が
相殺してリードのシルエツト像の先端位置には変
化が現れない為、この曲がりは前記装置では検出
できないという問題がある。本実施例は、このよ
うな特殊な曲がりについても、その検出を可能に
するものである。第８図、第９図として示すもの
が本実施例の概念図である。図はフラツトICを
モールド部の側面から見た状態を示しており、リ
ードについてはその先端面のみを表示している。
本実施例では、上記課題を達成する為に、フラツ
トIC９と等辺プリズム３との間にスクリーン８
を介在させるとともに、照明光源に平行光光源を
用い、照射角θを変化させながらスクリーン８に
それぞれの照射角θに対応したシルエツト像を投
影させ、同一部位について２回の撮像を行なつて
両映像を撮像する方法を用いた。即ち前述した実
施例では、カメラで左リードと右リードのシルエ
ツト像を直接撮像するものとしたが、本実施例で
は、スクリーン８に投影させたリードのシルエツ
ト像を撮像するものとし、しかもこの撮像は照射
角θを変化させて２回行い、それぞれの照射角に
対応するシルエツト像を得るとともに両シルエツ
ト像を比較することによりリードの曲がりを検出
するものである。

即ち、第８図に示す如く、多数並列したリード
１１の下面から一定距離ｔ離間した位置にスクリ
ーン８を配設し、１回目はフラツトIC９の垂直
上方（θ＝90°）から平行光を照射してスクリー
ン８にリードのシルエツト像を投影させ、該シル
エツト像をプリズム３を介して撮像する。次いで
照明光源をリードの長さ方向と直交する方向に水
平移動させてリードの斜め上方から平行光を照射
し、このときシルエツト像を撮像する。そしてこ
れら２回の撮像により得られた画像を画像処理す
ることによりリードの曲がりを検出するものであ
る。２回の撮像により得られた画像からリードの
曲がりを検出するには次のようにする。

例えば、斜め方向の光の照射角をθとした場合
には、リード１１間のピツチＰ及び浮きｄは、 Ｌ（θ）＝１／sinθ（Psinθ−dcosθ） の関係式を満たす。

（尚Ｌ（θ）は入射角度θのときのスクリーン８
に投影された画像のピツチである。） θ＝90°のときＬ（90）＝Ｐ θ＝45°のときＬ（45）＝Ｐ−ｄ したがつて Ｐ＝Ｌ（90） ｄ＝Ｌ（90）−Ｌ（45） の関係式が成り立つ この関係式は、第８図に示す如く、リードを垂
直上方から照明したときの投影像と、45°の入射
角度で照明したときの投影像とをそれぞれ撮像し
て、各投影像における画像ピツチＬ（90）、Ｌ（45）
を測定すればリードのピツチＰと浮きｄを独立値
として扱えることを意味している。尚、投影像の
撮像は第１実施例と同様、等辺プリズムを介して
撮像するものである。このように本実施例によれ
ば、リードの巾方向への曲がり及び浮きが画像ピ
ツチを測定するだけで確実に検出することが可能
となり、特に浮きｄに関しては仮に、リードの長
さにバラつきがあつた場合でも、正確に検出でき
るものである。尚、本実施例では計算を容易化す
る為に照射角θを90°と45°に設定したが、照射角
θは他の角度に設定することも可能である。

以上、第１発明及び第２発明の実施例として開
始したリード検査装置は単独で使用することも、
また電子部品を基板に自動的に統裁する為に用い
られる所謂実装装置に組み込むことも任意であ
る。

尚、上記実施例では、照明光源をフラツトIC
の上部に位置づけ、プリズムやカメラ等はフラツ
トICの下部に位置づけたが、フラツトICの下部
に照明光源を位置づけ、上部にはプリズム及びカ
メラを配置することも勿論可能である。

このような構成のリード検査装置は、フラツト
ICの対辺に位置するリードの高倍率なシルエツ
ト像を、リード間に介在するモールド部分を除外
した状態で一つのカメラで撮像することができる
ので、カメラ数を減らすことが可能となつてリー
ド検査装置の低価格化に貢献することができる。
しかも対辺のリードを同時に検査できるので、検
査時間の短縮が可能であり、検査作業の効率化も
できる。特に実装装置と組み合わしたときには、
従来フラツトICの基板への搭載時間よりもフラ
ツトICのリード検査の方が多くの時間を要する
為に発生していた行程間における処理時間の無駄
もなくなり、実装工程全体を高速化することが可
能となる。また、本実施例装置は大きさの異なる
フラツトICの検査に対しても容易に対応するこ
とができるので、あらゆるフラツトICの検査に
本装置を応用することができるものである。

更に、第２実施例として開示したリード検査装
置では、第１実施例の効果に加えてリードピンの
巾方向及び厚み方向の曲がりは、スクリーンに投
影されたリードピンのピツチを、照明角を変えて
２回測定するだけで検査することが可能である
為、画像処理が極めて容易となる。しかも本装置
によれば、リードピンの長さにバラつきがある場
合でも、リードピンの浮きは確実に検知できるの
で、リードピンの検査は一層高精度なものとな
る。

〔発明の効果〕

第１発明として開示した二視野撮像方法によれ
ば、測定対象における互いに離れて設定された撮
像部位の映像を、プリズムを用いて両撮像部位間
の不要部分を除外して合成したので、必要部分の
高倍率な画像を得ることが可能となり、従来、複
数の撮像手段を用いたり、撮像手段を移動させる
ことにより行つていた二視野の撮像が一つの撮像
手段で行うことができるようになる。そして本発
明を各種検査装置に応用した場合は、撮像手段の
頻繁な移動がない為に、検査時間を著しく短縮す
ることができ、また撮像手段の数も減らすことが
できるので検査装置と製造原価の低減にも貢献で
きるのである。

本発明は測定対象の大小等、撮像対象部位間の
離間距離が変化した場合でもプリズムを上下動、
即ち二つの撮像部位を含む平面に対して直交する
方向に対して移動させることで対応できる。そし
て、撮像部位を透過した光はプリズムの外側面に
対して常に略法線方向から入射するように設定さ
れているので、前記透過光の入射面となるプリズ
ムの両外側面から見たそれぞれの撮像対象の姿勢
は、撮像対象部位間の距離の拡大、縮小にかかわ
らずほとんど一定である。したがつて、撮像手段
に得られる画像は歪むことはなく、常に高制度に
測定することができる。又、本発明方法では、撮
像部位を斜め方向背後から照明してシルエツト像
を撮像することとしたから、撮像部位表面におけ
る反射等もなく、撮像部位の表面状態に影響され
ることなく測定することができる。

また第２発明として開示した二視野撮像方法で
は、測定対象とプリズムとの間にスクリーンを介
在させ、照射角を変化させて測定対象のシルエツ
ト像をスクリーンに２回投影させて撮像し、両シ
ルエツト像を比較することにより測定対象の検査
を行うこととしたから、より高精度な検査が可能
となる。特に第２発明をフラツトICのリード検
査装置に適用したときには、リードの長さにバラ
つきがある場合でもリードのピツチと浮きを正確
に検出することが可能となり、完璧な検査を行う
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は第１発明の原理図、第３図は
第１発明の実施例の原理図、第４図はフラツト
ICの外観図、第５図は第１発明の実施例の説明
図、第６図は第１発明における光学系の移動機構
の一実施例を示す簡略説明図、第７図は撮像され
たシルエツト像を示す説明図、第８図イ，ロは第
２発明の原理図、第９図イ，ロは第２発明により
撮像されたリードのシルエツト像を示す説明図で
ある。 １：測定対象、２：照明光源、３：等辺プリズ
ム、４：撮像手段、５：撮像手段本体、６：対物
レンズ、７：頂角、８：スクリーン、９：フラツ
トIC、１０：モールド部、１１：リードピン、
１２：直角プリズム、１３：対物レンズ、１４：
カメラ、１５：載置テーブル、１６：螺溝、１
７：螺溝、１８：軸体、１９：ギヤ、２０：駆動
源、２１：プリズム支持台、２２：ガイド軸。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 測定対象における互いに離れた二視野に含ま
   れる撮像部位を撮像する方法において、 測定対象における二つの撮像部位を含む平面に
   対して直交する方向であつて、且つ両撮像部位間
   の略中間地点より所定距離離間した位置には、等
   辺三角プリズムを、その１つの頂角を前記中間地
   点に向けて位置づけるとともに測定対象をはさん
   でプリズムの位置する側と反対側には、撮像部位
   を斜め方向背後から照明する散乱性面光源を配置
   してなり、異なる二つの撮像部位を透過した光を
   プリズムの隣り合う二つの外側面に、外側面の略
   法線方向からそれぞれ入射せしめ、プリズム内で
   それぞれ全反射させた後、両光を一部重畳させな
   がら結合を行ない、結合後の合成光を入光側面と
   は異なる側面からプリズム外部へ射出せしめると
   ともに、該合成光を、該合成光の進行方向前方に
   配置された撮像手段で受光してなる二視野撮像方
   法。 ２ 測定対象における互いに離れた二視野に含ま
   れる撮像部位を撮像する方法において、 測定対象における二つの撮像部位を含む平面に
   対して直交する方向であつて、且つ両撮像部位間
   の略中間地点より所定距離離間した位置には、等
   辺三角プリズムを、その１つの頂角を前記中間地
   点に向けて位置づけるとともに測定対象とプリズ
   ム間にはスクリーンを介在させ、測定対象をはさ
   んでプリズムの位置する側と反対側には、撮像部
   位を背後から照明する平行光光源を配置してな
   り、平行光光源の照明角度を変えて撮像部位のシ
   ルエツト像を前記スクリーンに二回投影するとと
   もに、それぞれの撮影像についてスクリーン下面
   で散乱する光をプリズムの隣り合う二つの外側面
   に、該側面の略法線方向からそれぞれ入射せし
   め、プリズム内でそれぞれ全反射させた後、両光
   を一部重畳させながら結合を行ない、結合後の合
   成光を入光側面とは異なる側面からプリズム外部
   へ射出せしめるとともに、該合成光を、該合成光
   の進行方向前方に配置された撮像手段で受光して
   なる二視野撮像方法。