JPH0348224U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0348224U JPH0348224U JP10990589U JP10990589U JPH0348224U JP H0348224 U JPH0348224 U JP H0348224U JP 10990589 U JP10990589 U JP 10990589U JP 10990589 U JP10990589 U JP 10990589U JP H0348224 U JPH0348224 U JP H0348224U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- section
- semiconductor substrate
- vacuum
- vacuum line
- fixing
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例の概略構成図、第２
図は本考案の一実施例の半導体基板固定真空ライ
ンの配管系統図、第３図は本考案の真空ラインの
つまり予知グラフ、第４図は従来の真空ラインの
真空圧推移グラフである。 １……半導体基板製造装置、１ａ……スピン部
（圧力検出部）、１ｂ……装置制御部、２……予
知手段、２ａ……判断処理部、２ｂ……警報部、
２１……基板固定部、２２……電磁弁、２３……
真空圧力センサー、２４……圧力ゲージ、２５…
…スピン部回転モーター。
図は本考案の一実施例の半導体基板固定真空ライ
ンの配管系統図、第３図は本考案の真空ラインの
つまり予知グラフ、第４図は従来の真空ラインの
真空圧推移グラフである。 １……半導体基板製造装置、１ａ……スピン部
（圧力検出部）、１ｂ……装置制御部、２……予
知手段、２ａ……判断処理部、２ｂ……警報部、
２１……基板固定部、２２……電磁弁、２３……
真空圧力センサー、２４……圧力ゲージ、２５…
…スピン部回転モーター。
Claims (1)
- 半導体基板固定用の真空ラインを備えたスピン
部（基板回転部）を有する半導体装置において、
半導体基板固定真空圧をモニターする圧力検出部
と、検出値と基準値を比較判断する判断処理部と
を設け、真空圧力により前記真空ラインのつまり
を予知することを特徴とする半導体基板製造装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10990589U JPH0348224U (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10990589U JPH0348224U (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0348224U true JPH0348224U (ja) | 1991-05-08 |
Family
ID=31658464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10990589U Pending JPH0348224U (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0348224U (ja) |
-
1989
- 1989-09-19 JP JP10990589U patent/JPH0348224U/ja active Pending