JPH0349049B2 - - Google Patents
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- JPH0349049B2 JPH0349049B2 JP59017267A JP1726784A JPH0349049B2 JP H0349049 B2 JPH0349049 B2 JP H0349049B2 JP 59017267 A JP59017267 A JP 59017267A JP 1726784 A JP1726784 A JP 1726784A JP H0349049 B2 JPH0349049 B2 JP H0349049B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hot wire
- medium
- flow rate
- support
- measuring device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
技術水準
本発明は、電子調整回路を有しており、さらに
鉤状端部の設けられた支持点に案内されていて媒
体の流れの中に置かれている熱線として構成され
た温度に依存する測定抵抗を有している、例えば
内燃機関の吸気を測定するための、媒体の流量測
定装置に関する。
鉤状端部の設けられた支持点に案内されていて媒
体の流れの中に置かれている熱線として構成され
た温度に依存する測定抵抗を有している、例えば
内燃機関の吸気を測定するための、媒体の流量測
定装置に関する。
熱線が一方の端部から他方の端部までの間に各
支持点に各々１回だけ接触している、この形成の
装置は公知である。この構成ゆえに公知の装置は
比較的大きな構造になる。
支持点に各々１回だけ接触している、この形成の
装置は公知である。この構成ゆえに公知の装置は
比較的大きな構造になる。
発明の効果
これに対し、特許請求の範囲第１項記載の構成
を有する本発明の装置は、非常に小さい構造に構
成することができるので、非常に小さい流路横断
面中にも、高感度を保ちつつ設けることができ
る。
を有する本発明の装置は、非常に小さい構造に構
成することができるので、非常に小さい流路横断
面中にも、高感度を保ちつつ設けることができ
る。
実施態様項に記載の構成により本発明の装置の
有利な実施例が得られる。特に有利な点は、熱線
巻線を互いにねじり合わせることにある。さらに
また、熱線巻線を共通の１つの保護層で被覆する
ことも有利である。
有利な実施例が得られる。特に有利な点は、熱線
巻線を互いにねじり合わせることにある。さらに
また、熱線巻線を共通の１つの保護層で被覆する
ことも有利である。
実施例の説明
次に本発明の実施例を図面に基づき詳細に説明
する。
する。
第１図は媒体の流量測定装置の回路図であり、
第１図の１は流路例えば内燃機関（図示せず）の
吸気管の一部の断面を示し、この断面を矢印２の
方向に、媒体例えば内燃機関により吸入される空
気が流れる。流路断面１中に、例えば媒体の流量
を測定する装置の一部として温度に依存する測定
抵抗３、例えば熱線が設けられており、この抵抗
には調整器の出力電流が流れ、同時にこの抵抗か
ら調整器の入力量が供給される。温度に依存する
測定抵抗３の温度は、調整器によつて、媒体の平
均温度より高い一定の固定的値に設定される。流
速、即ち時間単位当りの媒体流量Ｑが増大する
と、温度に依存する測定抵抗３が比較的強く冷却
される。この冷却量が調整器の入力側にフイード
バツクされるので、調整器は、測定抵抗３が再び
所定の温度に調整される迄その出力を高める。調
整器の出力は、温度に依存する測定抵抗３の温度
を媒体の流量Ｑが変化したとき所定の値に調整す
ると同時に媒体の流量の尺度を表わすものであ
り、この尺度を流量測定値USとして例えば内燃
機関の調量回路に、単位時間当りの吸気量に燃料
必要量を適合させるために供給することができ
る。
第１図の１は流路例えば内燃機関（図示せず）の
吸気管の一部の断面を示し、この断面を矢印２の
方向に、媒体例えば内燃機関により吸入される空
気が流れる。流路断面１中に、例えば媒体の流量
を測定する装置の一部として温度に依存する測定
抵抗３、例えば熱線が設けられており、この抵抗
には調整器の出力電流が流れ、同時にこの抵抗か
ら調整器の入力量が供給される。温度に依存する
測定抵抗３の温度は、調整器によつて、媒体の平
均温度より高い一定の固定的値に設定される。流
速、即ち時間単位当りの媒体流量Ｑが増大する
と、温度に依存する測定抵抗３が比較的強く冷却
される。この冷却量が調整器の入力側にフイード
バツクされるので、調整器は、測定抵抗３が再び
所定の温度に調整される迄その出力を高める。調
整器の出力は、温度に依存する測定抵抗３の温度
を媒体の流量Ｑが変化したとき所定の値に調整す
ると同時に媒体の流量の尺度を表わすものであ
り、この尺度を流量測定値USとして例えば内燃
機関の調量回路に、単位時間当りの吸気量に燃料
必要量を適合させるために供給することができ
る。
温度に依存する測定抵抗３は抵抗値測定回路、
例えばブリツジ回路中に設けられており、基準抵
抗４と共に第１のブリツジ分岐を構成している。
第１のブリツジ分岐には２つの固定抵抗５，６か
ら構成された第２のブリツジ分岐に並列に接続さ
れている。抵抗３と４との間にタツプ７が設けら
れ、抵抗５および６の間にタツプ８が設けられて
いる。両ブリツジ分岐は接続点９，１０に並列回
路として接続されている。タツプ７および８の間
に生ずるブリツジの対角線電圧が、増幅器１１の
入力側に供給され、この増幅器の出力端子は接続
点９および１０に接続されているので、増幅器１
１の出力はブリツジに動作電圧ないし動作電流を
供給する。同時に調整量として用いられる流量測
定値USが図示のように端子１２および１３の間
で取出される。
例えばブリツジ回路中に設けられており、基準抵
抗４と共に第１のブリツジ分岐を構成している。
第１のブリツジ分岐には２つの固定抵抗５，６か
ら構成された第２のブリツジ分岐に並列に接続さ
れている。抵抗３と４との間にタツプ７が設けら
れ、抵抗５および６の間にタツプ８が設けられて
いる。両ブリツジ分岐は接続点９，１０に並列回
路として接続されている。タツプ７および８の間
に生ずるブリツジの対角線電圧が、増幅器１１の
入力側に供給され、この増幅器の出力端子は接続
点９および１０に接続されているので、増幅器１
１の出力はブリツジに動作電圧ないし動作電流を
供給する。同時に調整量として用いられる流量測
定値USが図示のように端子１２および１３の間
で取出される。
温度に依存する測定抵抗３は、増幅器１１の入
力電圧即ちブリツジ対角線電圧が零または所定の
値になる温度値まで、抵抗３を流れる電流によつ
て加熱される。その際増幅器１１の出力側からは
所定の電流がブリツジ回路へと流れる。媒体の流
量Ｑの変化により測定抵抗３の温度が変化する
と、ブリツジ対角線電圧が変化して、増幅器１１
はブリツジ回路への供給電圧ないし電流を、ブリ
ツジ回路が再び平衡するような値または所定の不
平衡値に調整する。増幅器１１の出力量、即ち調
整量USも、測定抵抗３の電流同様、流体例えば
内燃機関により吸入される空気の流量測定値を表
わしており、例えば少なくとも１つの燃料噴射弁
３０を制御する電子制御装置２９に供給すること
ができる。
力電圧即ちブリツジ対角線電圧が零または所定の
値になる温度値まで、抵抗３を流れる電流によつ
て加熱される。その際増幅器１１の出力側からは
所定の電流がブリツジ回路へと流れる。媒体の流
量Ｑの変化により測定抵抗３の温度が変化する
と、ブリツジ対角線電圧が変化して、増幅器１１
はブリツジ回路への供給電圧ないし電流を、ブリ
ツジ回路が再び平衡するような値または所定の不
平衡値に調整する。増幅器１１の出力量、即ち調
整量USも、測定抵抗３の電流同様、流体例えば
内燃機関により吸入される空気の流量測定値を表
わしており、例えば少なくとも１つの燃料噴射弁
３０を制御する電子制御装置２９に供給すること
ができる。
流体の温度が測定結果に及ぼす影響を補償する
ために、流体が通過する、温度に依存する第２の
測定抵抗１４を第２のブリツジ分岐に接続すると
有利である。その際抵抗５，６，１４の大きさ
は、温度に依存する抵抗１４を流れる分岐電流に
よつて生ずるこの抵抗１４での損失が極めて僅か
になるように選定する。これにより、この抵抗１
４の温度がブリツジ電圧と共に変化しなくなり、
常に流体の温度に相応するようになる。
ために、流体が通過する、温度に依存する第２の
測定抵抗１４を第２のブリツジ分岐に接続すると
有利である。その際抵抗５，６，１４の大きさ
は、温度に依存する抵抗１４を流れる分岐電流に
よつて生ずるこの抵抗１４での損失が極めて僅か
になるように選定する。これにより、この抵抗１
４の温度がブリツジ電圧と共に変化しなくなり、
常に流体の温度に相応するようになる。
基準抵抗４もやはり流路断面１中に設けると有
利である。これにより、基準抵抗４の損失熱を流
体により放出することができるからである。
利である。これにより、基準抵抗４の損失熱を流
体により放出することができるからである。
第２図に示す媒体の流量測定装置の実施例で
は、支持体１６は簡単に略示されている。基本的
には支持体はいかなる横断面、例えば多角形、円
形、楕円形等の横断面を有していてもよい。支持
体１６には例えば針金から作られた熱線支持部材
１７，１８が互いに間隔を置いて取付けられてお
り、これらの支持部材の、支持体１６とは反対側
の端部は各々鉤状部１９，２０に形成されてい
る。本発明によれば熱線３は電気絶縁性の薄い層
で被覆されており、熱線３の一方の端部２１が鉤
状部１９に導電的に結合例えばろう付けされてい
る。熱線３は端部２１から鉤状部２０へと案内さ
れて、鉤状部２０に巻掛けられて再び鉤状部１９
に戻され、そこでやはり鉤状部１９に巻掛けられ
て改めて鉤状部２０へと導びかれており、鉤状部
２０に熱線の他方の端部２２が例えばろう付けに
より導電的に結合される。つまり熱線３は両端部
２１，２２の間で巻線の形に鉤状部１９，２０に
巻付けられている。その際熱線３の巻回数は、測
定装置の必要に応じてその都度決定される。熱線
３として、１〜2μmの絶縁層例えばガラスを施し
た直径約30〜70μmの白金線を用いることができ
る。鉤状部１９，２０は各々１つの案内領域２
３，２４を有しており、この領域は、熱線の巻線
３を互いに密に束ねるために用いられる。このた
めに第３図に示すように両鉤状部１９，２０が、
支持部材１７，１８の取付け個所を含む面に対し
て同じ側に側方に張出すようにすると有利であ
る。さらに支持部材１７，１８の案内領域２３，
２４の両側の針金部分が互いに所定の角度をなす
ようにすべきである。第４図に示すように、１つ
の束にまとめられた熱線巻線３を共通の１つの絶
縁保護層２５、例えばやはりガラスから成る層で
被覆してもよい。絶縁保護層２５は、いかなる汚
れおよび付着物も可及的に生じ難い材料から形成
すべきである。支持部材１７，１８は導電性材料
から形成して熱線３の電気端子として用いると有
利である。
は、支持体１６は簡単に略示されている。基本的
には支持体はいかなる横断面、例えば多角形、円
形、楕円形等の横断面を有していてもよい。支持
体１６には例えば針金から作られた熱線支持部材
１７，１８が互いに間隔を置いて取付けられてお
り、これらの支持部材の、支持体１６とは反対側
の端部は各々鉤状部１９，２０に形成されてい
る。本発明によれば熱線３は電気絶縁性の薄い層
で被覆されており、熱線３の一方の端部２１が鉤
状部１９に導電的に結合例えばろう付けされてい
る。熱線３は端部２１から鉤状部２０へと案内さ
れて、鉤状部２０に巻掛けられて再び鉤状部１９
に戻され、そこでやはり鉤状部１９に巻掛けられ
て改めて鉤状部２０へと導びかれており、鉤状部
２０に熱線の他方の端部２２が例えばろう付けに
より導電的に結合される。つまり熱線３は両端部
２１，２２の間で巻線の形に鉤状部１９，２０に
巻付けられている。その際熱線３の巻回数は、測
定装置の必要に応じてその都度決定される。熱線
３として、１〜2μmの絶縁層例えばガラスを施し
た直径約30〜70μmの白金線を用いることができ
る。鉤状部１９，２０は各々１つの案内領域２
３，２４を有しており、この領域は、熱線の巻線
３を互いに密に束ねるために用いられる。このた
めに第３図に示すように両鉤状部１９，２０が、
支持部材１７，１８の取付け個所を含む面に対し
て同じ側に側方に張出すようにすると有利であ
る。さらに支持部材１７，１８の案内領域２３，
２４の両側の針金部分が互いに所定の角度をなす
ようにすべきである。第４図に示すように、１つ
の束にまとめられた熱線巻線３を共通の１つの絶
縁保護層２５、例えばやはりガラスから成る層で
被覆してもよい。絶縁保護層２５は、いかなる汚
れおよび付着物も可及的に生じ難い材料から形成
すべきである。支持部材１７，１８は導電性材料
から形成して熱線３の電気端子として用いると有
利である。
第５図の本発明の第２の実施例の場合、支持体
１６にはやはり２つの支持部材１７，１８が取付
けられており、支持部材１７は鉤状端部１９を有
し、支持部材１８には鉤状端部２０を有する部材
が装着されている。鉤状端部２０を有する部材は
支持部材１８の孔２６に差込まれており、この孔
内で回転可能に支承されている。第２図の実施例
に相応して、電気絶縁層を施された熱線３は一方
の端部２１が鉤状端部１９に導電的に取付けられ
ており、それから巻線の形で、鉤状端部２０へと
導かられ巻掛けられ、そこから鉤状端部２０に導
かれ、巻掛けられ、さらに鉤状端部２０に再び導
びかれて、この鉤状端部２０に熱線３の他方の端
部２２が導電的に結合されている。もちろん熱線
３を端部２１と２２との間で更に多くの回数鉤状
端部１９，２０に巻回してもよい。第６図に示す
ように、孔２６中で鉤状端部２０を所望のように
回転させることによつて熱線の巻線３を互いにね
じり合せることができる。熱線巻線３のねじれが
十分になれば、鉤状端部２０を支持部材１８の孔
２６中で、例えばろう付または接着により固定す
ることができる。ねじられた熱線巻線３は、第４
図の実施例同様にやはり共通の１つの、付着物の
着かない保護層２５で被覆することができる。
１６にはやはり２つの支持部材１７，１８が取付
けられており、支持部材１７は鉤状端部１９を有
し、支持部材１８には鉤状端部２０を有する部材
が装着されている。鉤状端部２０を有する部材は
支持部材１８の孔２６に差込まれており、この孔
内で回転可能に支承されている。第２図の実施例
に相応して、電気絶縁層を施された熱線３は一方
の端部２１が鉤状端部１９に導電的に取付けられ
ており、それから巻線の形で、鉤状端部２０へと
導かられ巻掛けられ、そこから鉤状端部２０に導
かれ、巻掛けられ、さらに鉤状端部２０に再び導
びかれて、この鉤状端部２０に熱線３の他方の端
部２２が導電的に結合されている。もちろん熱線
３を端部２１と２２との間で更に多くの回数鉤状
端部１９，２０に巻回してもよい。第６図に示す
ように、孔２６中で鉤状端部２０を所望のように
回転させることによつて熱線の巻線３を互いにね
じり合せることができる。熱線巻線３のねじれが
十分になれば、鉤状端部２０を支持部材１８の孔
２６中で、例えばろう付または接着により固定す
ることができる。ねじられた熱線巻線３は、第４
図の実施例同様にやはり共通の１つの、付着物の
着かない保護層２５で被覆することができる。
第１図は媒体の流量測定装置の回路図、第２図
は本発明の装置の第１の実施例の斜視図、第３図
は第２図の−線に沿つての切断した断面図、
第４図は第３図の−線に沿つて切断した断面
図、第５図は本発明装置の第２の実施例の斜視
図、第６図は第５図の実施例の、ねじられた熱線
巻線の部分拡大図である。 ３……熱線、１７，１８……支持部材、１９，
２０……鉤状部、２３，２４……案内領域、２５
……保護層。
は本発明の装置の第１の実施例の斜視図、第３図
は第２図の−線に沿つての切断した断面図、
第４図は第３図の−線に沿つて切断した断面
図、第５図は本発明装置の第２の実施例の斜視
図、第６図は第５図の実施例の、ねじられた熱線
巻線の部分拡大図である。 ３……熱線、１７，１８……支持部材、１９，
２０……鉤状部、２３，２４……案内領域、２５
……保護層。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 電子調整回路を有しており、さらに鉤状端部
の設けられた支持点に案内されていて媒体の流れ
の中に置かれている熱線として構成された温度に
依存する測定抵抗を有している、媒体の流量測定
装置において、熱線３を電気絶縁性の薄い層で被
覆し、熱線の両端部２１，２２を各々１つの別の
支持点１９，２０に導電的に結合し、さらに熱線
３を両端部２１，２２の間で支持点１９，２０に
巻線の形に巻付けたことを特徴とする、媒体の流
量測定装置。 ２ 支持部材１７，１８の鉤状端部を、鉤状端部
の案内領域２３，２４でもつて熱線巻線３が互い
に密に束ねられるような形状に構成した特許請求
の範囲第１項記載の媒体の流量測定装置。 ３ 熱線巻線３を共通の１つの保護層２５で被覆
した特許請求の範囲第１項または第２項のいずれ
かに記載の媒体の流量測定装置。 ４ 少なくとも１つの支持点の鉤状端部２０を、
支持部材１８において回転可能に支承して、この
回転可能に支承された鉤状端部２０の回転により
熱線巻線３を互いにねじり合わせた特許請求の範
囲第１項記載の媒体の流量測定装置。 ５ 互いにねじり合わせられた熱線巻線３を共通
の１つの保護層２５で被覆した特許請求の範囲第
４項記載の媒体の流量測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3303885.6 | 1983-02-05 | ||
| DE19833303885 DE3303885A1 (de) | 1983-02-05 | 1983-02-05 | Vorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59147222A JPS59147222A (ja) | 1984-08-23 |
| JPH0349049B2 true JPH0349049B2 (ja) | 1991-07-26 |
Family
ID=6190079
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59017267A Granted JPS59147222A (ja) | 1983-02-05 | 1984-02-03 | 媒体の流量測定装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4538457A (ja) |
| JP (1) | JPS59147222A (ja) |
| DE (1) | DE3303885A1 (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4523461A (en) * | 1983-05-02 | 1985-06-18 | Air Sensors, Inc. | Hot wire anemometer |
| JPS62285022A (ja) * | 1986-06-03 | 1987-12-10 | Nippon Denso Co Ltd | 熱線式流量検出器 |
| KR890010539A (ko) * | 1987-12-08 | 1989-08-09 | 시끼모리야 | 감열식 유량센서 |
| DE4439222C2 (de) * | 1994-11-03 | 1998-05-28 | Bosch Gmbh Robert | Massenflußsensor mit Druckkompensation |
| JP2002173488A (ja) * | 2000-09-28 | 2002-06-21 | Chisso Corp | 環状３級アミン化合物およびこの化合物を含有する有機電界発光素子 |
| CA2470716A1 (en) * | 2002-01-18 | 2003-07-31 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Microscale out-of-plane anemometer |
| US20040163445A1 (en) * | 2002-10-17 | 2004-08-26 | Dimeo Frank | Apparatus and process for sensing fluoro species in semiconductor processing systems |
| US7080545B2 (en) * | 2002-10-17 | 2006-07-25 | Advanced Technology Materials, Inc. | Apparatus and process for sensing fluoro species in semiconductor processing systems |
| US20060211253A1 (en) * | 2005-03-16 | 2006-09-21 | Ing-Shin Chen | Method and apparatus for monitoring plasma conditions in an etching plasma processing facility |
| TW200809000A (en) * | 2006-08-09 | 2008-02-16 | Kinik Co | Chemical vapor thin film deposition apparatus having vertical plating surface and power controlled heat wire |
| US9400197B2 (en) * | 2011-09-19 | 2016-07-26 | The Regents Of The University Of Michigan | Fluid flow sensor |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3900819A (en) * | 1973-02-07 | 1975-08-19 | Environmental Instruments | Thermal directional fluid flow transducer |
| US3971247A (en) * | 1974-11-15 | 1976-07-27 | Rodder Jerome A | Fluid measuring apparatus |
| DE2809455A1 (de) * | 1978-03-04 | 1979-09-06 | Bosch Gmbh Robert | Einrichtung zur luftmengenmessung |
| EP0008185B1 (en) * | 1978-08-05 | 1983-06-08 | Nissan Motor Co., Ltd. | Flowmeter of hot wire type |
| JPS55112523A (en) * | 1979-02-22 | 1980-08-30 | Nippon Soken Inc | Gas flow rate measuring unit |
| DE3109608A1 (de) * | 1981-03-13 | 1982-09-23 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Vorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums |
-
1983
- 1983-02-05 DE DE19833303885 patent/DE3303885A1/de not_active Withdrawn
- 1983-12-21 US US06/563,857 patent/US4538457A/en not_active Expired - Fee Related
-
1984
- 1984-02-03 JP JP59017267A patent/JPS59147222A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59147222A (ja) | 1984-08-23 |
| US4538457A (en) | 1985-09-03 |
| DE3303885A1 (de) | 1984-08-09 |
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