JPH0349638B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は半導体ウエハーの製造過程の一部に
用いる石英製電気炉の内周洗滌装置に関するもの
である。

従来の技術 半導体ウエハーの製造過程の工程の一部として
用いる電気炉は比較的長い管状体で、旧代は横方
向に臥かせて、その管体の長さとほぼ同長の柄を
有する清掃用具を用いて洗滌していたものである
が、このようにして行う洗滌作用は比較的広い作
業場所が必要とするため次代には、その管体を縦
方向に設置し、その上方開口部から洗滌液が噴出
するノズルヘツドを吊り下げ、そのノズルヘツド
を上下動して洗滌作業を行う発明が昭和59年特許
願第45066号（特開昭60−190281号）ならびに昭
和59年特許願第45067号（特開昭60−190282号）
の先行する技術がある。

解決しようとする問題点 前記した先行する技術を用いる被洗滌体は両端
が開口する完全筒状体で、従つて、洗滌液を噴射
するノズルヘツドを上方開口部より吊り下げ、且
つ、噴出された洗滌液は洗滌後その内周を伝つて
下部開口部より排出できたものであるが、この電
気炉は時代とともに、その用法ならびにその装置
が変化してきている。最新型の石英管電気炉は、
半球形の底部を有する筒状体の形態のものに変換
しつつある。このように変化した形状の被洗滌体
の洗滌作業を前記した先行する技術の方法ならび
にその装置をもつて行うことはできない。

問題点を解決するための手段 上記した事柄から、この発明は前記した形状の
最新型石英管の電気炉あるいはその形状の有底管
状体の内周の洗滌装置に係るものである。

垂直軸を中心として水平回転する中央基部より
水平方向で、且つ、放射状に複数の水平軸を等角
度を介して突出し、各々の水平軸に上方を指向す
る複数の洗滌液を噴射する噴射孔を有するノズル
ヘツドを装着し、そのノズルヘツドの各々が水平
位置を基準にして上方180度範囲内を垂直方向に
回動首振り作用ができるようにし、このように形
成したすべてのノズルヘツドが内挿できるように
被洗滌体である有底管体をその底部を上にして伏
せた状態に被覆係合できるようにして成るもので
ある。

実施例 次にこの発明の実施例を図面とともに説明すれ
ば、被洗滌体１である有底管体を逆さにして、そ
の開口部を設置できる排水設備付きの上板２を軸
受３を介して垂直軸４を貫通させ、上板２下部に
設置したモータなどの回転源５と接続して回転動
が得られるようにし、また、上板２上に突出した
部分に中央基部６を固着し、該中央基部６の外周
より水平方向で、且つ、放射状に複数の水平軸７
を等角度を介して水平方向に突出させ、突出した
各々の水平軸７にノズルヘツド８を装設する。こ
のノズルヘツド８の上面には複数の噴射孔９を開
口し、その各々の噴射孔９には前記した垂直軸
４、中央基部６ならびに水平軸７を貫通する洗滌
液の供給路１０が設けられその元端の供給源１１
に接続されている。

前記噴射孔９を有するノズルヘツド８は前記の
水平軸７位置を中心として水平位置から垂直位置
までの角度90度を最小回動角度から水平位置から
水平位置までの垂直面を角度180度を最大回動角
度までの任意設定角度範囲内を往復回動させて成
るものである。その回動するための構成は複数の
実施態様がある。

実施態様 １ ノズルヘツド８の外面に斜状のカム溝３０を凹
設し、そのカム溝３０に係合させるピン３１を垂
直軸４を被覆する外管３２に接続したアーム３２
に取り付け前記外管３２を垂直軸４に摺動して上
下動作動させる。

実施態様 ２ ノズルヘツド８と水平軸７とを固着し、その水
平軸７を中央基部６の縁部で回転自在に軸支する
とともに各々水平軸７の内端に設けたベベルギヤ
３３を噛合させ、中央基部６の上部に設置したモ
ータ３５の回転軸に設けたベベルギヤ３４と前記
のベベルギヤ３３と噛合してモータ３５の動力を
伝達する。

実施態様 ３ 実施態様２と同様に、各々の水平軸７のベベル
ギヤ３３を噛合させモータ３５の回転軸にクラン
ク３６を介して装着したリンク３７を１個のノズ
ルヘツド８の一側に軸３８で自在枢支してノズル
ヘツド８に揺動作用を伝達する。

実施態様 ４（図示せず） 前記実施態様２と同様に、各々の水平軸７のベ
ベルギヤ３３を噛合させ、１本の水平軸７に対応
する位置にモータ３５を中央基部６に固着しモー
タ３５の回転軸と水平軸７とに固着したそれぞれ
をギヤを噛合させる。

実施態様 ５（図示せず） 各々のノズルヘツド８に固着し、中間にギアを
装置した水平軸７を中央基部６で回転自在に軸支
し、前記ギアと噛合するギアを装着した回転軸を
有するモータ３５のそれぞれを中央基部６に定着
して成るものである。

作 用 以上のように構成したこの発明は、この発明の
洗滌装置全体を被覆するように上板２上に伏せた
状態で静止する有底管体の被洗滌体１の内周全面
を万偏なく洗滌液が噴射して洗滌作用が行うこと
ができるものである。

即ち、被洗滌体１の内部にある洗滌装置は、複
数のノズルヘツド８が中央基部６を中心として同
一半径上を水平回転し、且つ、ノズルヘツド８を
支持する水平軸７を軸心位置として水平位置から
垂直位置までの角度90度を最小回動角度とし、ま
た水平位置から水平位置までの角度180度を最大
回動角度とし、その最小回動角度から最大回動角
度の範囲内で設定角度内の垂直面を往復運動で
き、その上面に設けた噴射孔９より噴射させる洗
滌液は有底管体である被洗滌体１の内面の全面積
に万偏なく圧接射されるので付着した汚物は洗い
落され、且つ、流下して上板２上に落下し、設け
た排水部より然かるべき場所に排出されるもので
ある。

効 果 この発明は、有底状管体内周の洗滌であること
が第１の目的であり、そのため、容器化している
被洗滌体１を常識的に底部を下方にした場合、洗
滌液は当然貯留形態を示し、圧力流体の噴射をも
つて行い始めて汚物剥離そして洗滌効果を期待で
きるものであるから洗滌液が滞留現象を生じさせ
れば、噴射作用が阻害されるので勢い有底管体は
その開口部を下端にする逆設置とならざるを得
ず、この逆転設置状況下において、内装した洗滌
装置より圧流体とした洗滌液を被洗滌体１の内周
全面積を余すことなく噴射洗滌でき、且つ洗滌後
の洗滌液の残貯留も自然法則によつて全く認める
こともなく洗滌作業を行うことができる効果があ
ることを特徴とするものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は全体正面図、第２図は本装置の拡大平
面図、第３図は第２図の側面図、第４図は実施態
様２を説明するための一部を欠切した平面略図、
第５図は実施態様３を説明するための一部を欠切
した平面略図である。 １……被洗滌体、４……垂直軸、６……中央基
部、７……水平軸、８……ノズルヘツド、９……
噴射孔。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 垂直軸を中心として水平回転する中央基部よ
   り水平方向で、且つ、放射状に複数の水平軸を等
   角度を介して突出し、各々の水平軸に上方を指向
   する複数の洗滌液を噴射する噴射孔を有するノズ
   ルヘツドを装着し、そのノズルヘツドの各々が水
   平位置を基準にして上方180度範囲内を垂直方向
   に回動首振り作用ができるようにし、このように
   形成したすべてのノズルヘツドが内挿できるよう
   に被洗滌体である有底管体をその底部を上にして
   伏せた状態に被覆係合できるようにして成ること
   を特徴とする有底管状体の内周洗滌装置。