JPH03500763A - 搬送装置用往復移動式吸引装置 - Google Patents
搬送装置用往復移動式吸引装置Info
- Publication number
- JPH03500763A JPH03500763A JP63505044A JP50504488A JPH03500763A JP H03500763 A JPH03500763 A JP H03500763A JP 63505044 A JP63505044 A JP 63505044A JP 50504488 A JP50504488 A JP 50504488A JP H03500763 A JPH03500763 A JP H03500763A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reciprocating
- conduit
- pneumatic
- working chamber
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 7
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 7
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims 1
- 101150038956 cup-4 gene Proteins 0.000 description 6
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000010902 straw Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
- B65G47/917—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers control arrangements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
搬送装置用往復移動式吸引装置
従来の技術
本発明は、請求の範囲の前文に記載された、吸着面を有する部材を搬送する搬送
装置用往復移動式吸引装置に関する。
は1例えば板金処理に一般的に行なわれている。その場合、分離された板金部材
は基板から取り出され、その後基板が搬送されるかあるいは往復移動式吸引装置
を用いて分離された部材が搬送される。部材は、位置決め後再び往復移動式吸引
装置から離され、移送される。例えば、同様な複数の往復移動式吸引装置が並列
に配置され、一枚の大きな板金から取り出された多数の部材が吸引される。対応
した制御を行なうことにより、取り出された部材の一部のみを吸引するがあるい
は複数の往復移動式吸引装置の内一部のみを作動させることが行なわれている。
この種の従来の往復移動式吸引装置では、作動シリンダは等圧シリングにより構
成されており、ピストンロッドはシリンダの両端面を通過する。その場合、空洞
に形成されたピストンロッドの一端に吸引カップが取り付けられており、他端に
は切り換え弁を介して制御される負圧接続部が設けられる。吸引カップのストロ
ークも第1と第2の作動室に給圧ないし排気を行なう切り換え弁を介して制御さ
れる。
このような往復移動式吸引装置の制御は、かなり複雑である。というのは各往復
移動式吸引装置にそれぞれ独立して作動する2つの切り換え弁が必要となるから
である。その場合、これらの切り換え弁は、互いにまた他の切り換え弁と同調さ
せなければならない。これにより全体の制御装置は複雑になり、さらに複数の位
置決めセンサが必要となる。
発明の利点
請求の範囲第1項の特徴部分に記載された本発明による往復移動式吸引装置では
、第2の切り換え弁の機能が第1の作動室を吸引カップと接続させることにより
自動的に得られるので、単一の切り換え弁だけでよい、という利点が得られる6
一つの切り換え弁だけでよいので、制御が容易になる。
というのは、種々のセンサが不要となり、プログラム制御の一部も省略できるか
らである。
本発明の他の実施例によれば、第2の作動室と切り換え弁間の第2の作動導管に
第2の作動室方向に逆止めする背圧弁が配置され、この背圧弁は、空圧調節ユニ
ット部材を配置したバイパス路により迂回される。これにより吸着された部材の
ストロークを制御させることができる。
本発明の他の好ましい実施例によれば、4/2切り換え弁が空圧的に制御され、
制御圧が圧力弁と制御導管を介して第1の作動導管が4/2切り換え弁と作動シ
リンダの第1の作動室間に配置された第1の作動導管から取り出される。この場
合、圧力弁は次のように制御される。すなわち、圧力弁は、吸引カップが部材上
に載置されたとき開放し、その後その導管の圧力が上昇するので、これにより上
昇方向への切り換えは、吸引カップが実際に部材上に着座して始めて行なわれる
。
本発明の他の好ましい実施例によれば、複数の作動シリンダが設けられ、それぞ
れの作動シリンダに他の導管がいらないように空圧制御装置が接続される。その
ような空圧制御装置には、4/2切り換え弁が5調節ユニッi〜、負圧を発生さ
ぜる噴射ノズル、並びにその他の制御ユニットと共に配置される。各空圧制御装
置は、空圧源に至る主導管を有し、この主導管に3/2切り換え弁が配置される
0作動シリングを直接空圧制御装置に結合することにより導管としてバイブある
いはホースの代りに空圧制御装置のハウジング内の通路を直接用いることができ
るので、故障箇所が少な(なり、汚染部分が少なくなり、コストが節減できる。
他の利点並びに本発明の他の実施例は以下の説明、図面並びに請求の範囲から明
らかになる。
図面
本発明の実施例が図面に図示されており、以下に詳細に説明する。図面において
、第1図は、吸引カップを備えた作動シリンダの縦断面図と作動シリンダに取り
付けられた制御装置の外観図、第2図は、制御装置を備えた往復移動式吸引装置
の配置図、第3図は、複数に接続された往復移動式吸引装置の配置図である。
実施例の説明
装置2が作動シリンダ1に取り付けられており、不図示の通路を介して空圧的に
結合されている。作動シリンダ1のピストンロッド3の自由端に吸引カップ4が
固定されている。ピストンロッド3の吸引カップ4と反対側にはピストン5が固
定されている。ピストン5によって作動シリンダ1は、第1の作動室6と第2の
作動室7に分割される。第1の作動室6は、ピストンロッド3の中央孔8を介し
て吸引カップ4の内室と結合されている。両作動室6.7は通路を介して制御装
置と結合されている。作動シリンダ1は、2つの動作位置、すなわち図の左側に
示した引っ込んだ位置と、右側に示した引き出された位置でそれぞれ図示されて
いる。
第2図には、一点鎖線で図示した区画II内に空圧制御装置2の構成、すなわち
第1図で概略図示したハウジング内に配置される部分が図示されている。図の左
側には作動シリンダlが空圧制御装置2と接続されており、また右側には主導管
11を介して空圧源9が図示されている。主導管11には、3/2切り換え弁1
2が配置され、分配器13を介して他の往復移動式吸引装置が接続されている。
空圧制御装置2には、空圧的に制御される5/2切り換え弁14が設けられる。
またそれに代え4/2切り換え弁を用いるようにしてもよい。切り換え弁14は
、主導管11と接続されると共に噴射ノズル16の吸引導管15と接続されてい
る。噴射ノズル16には、主導管11から分岐する吹き出し導管17を介して吸
引導管15に作用する負圧が形成される。切り換え弁14は、反対側に設けられ
た第1の作動導管18を介して作動シリンダ1の第1の作動室6と結合され、ま
た第2の作動導管19を介してその第2の作動室7と結合される。第2の作動導
管19には、第2の作動室7の方向を逆止する背圧弁21が配置される。更にこ
の第2の作動導管19には、調節ユニット23を配置したバイパス路22が設け
られる。調節ユニット23は、絞り24、蓄圧装置25、圧力弁26から構成さ
れ、これらの部材は、第2の作動室7の方向に直列に接続されている。
第2の作動導管18は、圧力弁27を経て制御導管28に分岐し、この制御導管
28は、切り換え弁14の空圧調節モータ29に導かれる。制御導管28は排気
導管31を介して主導管11に接続される。この排気導管31には主導管11に
開放する背圧弁32が配置される。
このような往復移動式吸引装置は以下のように動作する。
電磁弁12により空圧源9が空圧制御装置2と結合されると、圧縮空気が主導管
】1を介して吹き出し導管17を通り噴射ノズル16に流れると共に第1の作動
導管I8を介して作動シリンダ1の第1の作動室6に流れる。作動シリンダlの
第2の作動室7は、第2の作動導管19並びにそのバイパス路22、吸引導管1
5を介して噴射ノズル16と接続される。そのとき、作動シリンダlのピストン
5は、第1図の左側に図示した位置から右側に図示した動作位置に移動する。
この移動により吸引カップ4は、部材面に当るので、ピストンロッド3の中央孔
8並びに吸引カップ4を介した空気供給路が絞られ、空気がせき止められる。こ
のせき止めにより第2の作動導管18内の圧力が上昇するので、所定の圧力に達
したとき圧力弁27が開放し、圧縮空気は、制御導管28を介して、空圧調節モ
ータ29に達する。背圧弁32は、主導管11の圧力が大きいので閉じている。
このせき止め圧が所定の限界圧を越えると、切り換え弁14が切り変るので、輌
圧源9は、第2の作動導管19、そのバイパス路22及び調節ユニット23を介
して作動シリンダ1の第2の作動室と結合される。というのは、第2の作動導管
19の背圧弁21は遮断されているからである。圧縮空気は、調節ユニツト23
を介して第2の作動室7に適量に導かれるので、ピストン5並びに不図示の部材
を含む吸引カップ4の往復移動が制御される6
第1の作動室6は作動導管18並びに吸引導管15を介して噴射−flF”)ズ
ル16に接続されているので、第1の作動室6には、吸引保持に必要な負圧が発
生する。この状態は、部材が所望の位置に移送されるか、あるいは部材の下部に
必要な変化が発生するまで継続される。
部材を離すには、電磁弁12を再ひもとの位置に切り換える。それにより主導管
11の空圧は、吹き出し導管17を介して崩壊する。部材は所定の場所を通過し
て落下する。切り換え弁14は、背圧弁32が開放するので、もとの位置に切り
換えられる。
第3図には、例としてそれぞれ作動シリンダ1を備えた5個の空圧制御装置2が
並列に配置されている。空圧制御装置2はそれぞれ主導管11を介して分配器1
3に導かれている。さらに共通の制御導管33が設けられ、その制御導管33か
ら各空圧制御装置2に制御導管28が分岐している。
部材が一列に配置された吸引装置によって覆われる面よりも小さい場合には、部
材に当らなかった吸引装置を動作させないようにすることができる。これは、部
材を吸着する動棒駈ている吸引装置により制御導管28を介して行なわれる。こ
れによりプログラミングを省略することができる。任意に作動できる2/2切り
換え弁34により空圧源9を直接制御導管35を介して制御導管33ないし制御
導管28に接続させることができるので、切り換え弁12を任意に切り換えるこ
とができる。制御導管35に背圧弁36が配置される。
国際調査報告
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)空圧的に両方向に作動する少なくとも一つの作動シリンダを有し、その作動 シリンダのピストンロッド側に吸引カップが配置され、作動シリンダのピストン により作動シリンダが、吸引カップと反対側に位置する第1の作動室と吸引カッ プに隣接する第2の作動室に分離され、空圧源の作動シリンダヘの接続並びにそ の排気を制御する少なくとも一つの切り換え弁を有し、 吸引カップに負圧を発生させる装置並びに吸引カップヘの負圧を制御する切り換 え弁を有し、 吸着面を備えた部材を搬送する搬送装置用往復移動式吸引装置において、 第1の作動室(6)が導管(8)を介して吸引カップ(4)に結合され、 空圧切り換え弁(14)として4/2(5/2)切り換え弁が用いられ、その切 り換え弁の一方の切り換え位置では、第1の作動室(6)が負圧発生装置(16 )にまた第2の作動室(7)が空圧源(9)と接続され、また他方の切り換え位 置では、第1の作動室(6)が空圧源(9)とまた第2の作動室(7)が負圧発 生装置(16)と接続されることを特徴とする搬送装置用往復移動式吸引装置。 2)負圧発生装置として空圧源(9)から給圧される噴射ノズル(16)が用い られることを特徴とする請求項第1項に記載の往復移動式吸引装置。 3)第1の作動室(6)と吸引カップ(4)間の導管として、吸引カップの反対 側でピストンと合流するピストンロッド(3)の中央孔(8)が用いられること を特徴とする請求項第1項または第2項に記載の往復移動式吸引装置。 4)第2の作動室(7)と切り換え弁(14)間の第2の作動導管(19)に第 2の作動室(7)方向に逆止めする背圧弁(21)が配置され、この背圧弁は、 空圧調節ユニット部材(23)を配置したバイパス路(22)により迂回される ことを特徴とする請求項第1項から第3項までのいずれか1項に記載の往復移動 式吸引装置。 5)調節ユニットとして、直列に配置された絞り(24),畜圧器(25)及び 圧力弁(26)が用いられることを特徴とする請求項第4項に記載の往復移動式 吸引装置。 6)切り換え弁(14)が空圧的に制御され、制御圧が圧力弁(27)と制御導 管(28)を介して第1の作動導管(18)から取り出され、その第1の作動導 管が切り換え弁と作動シリンダ(1)の第1の作動室(6)間に配置されること を特徴とする請求項第1項から第5項までのいずれか1項に記載の往復移動式吸 引装置。 7)制御導管(28)は、背圧弁(32)を介して切り換え弁(14)の上流に ある空圧源(8)の主導管(11)に接続されることを特徴とする請求項第6項 に記載の往復移動式吸引装置。 8)複数の作動シリンダ(1)が設けられ、それぞれの作動シリンダに、切り換 え弁(14)、調節ユニット(23)並びに噴射ノズルを有する空圧制御装置( 2)が取り付けられる請求項第4項から第7項までのいずれか1項に記載の往復 移動式吸引装置。 9)空圧源(9)の下流に圧縮空気分配器が配置され、個々の主導管がこの分配 器から空圧制御装置(2)に分岐し、分配器(13)の上流に3/2切り換え弁 が配置されることを特徴とする請求項第8項に記載の往復移動式吸引装置。 10)制御導管(28)が個々の空圧制御装置(2)と互いに接続され、任意に 作動可能な弁(34)を介して制御導管に空圧が供給されることを特徴とする請 求項第6項から第9項までのいずれか1項に記載の往復移動式吸引装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3724878.2 | 1987-07-28 | ||
| DE19873724878 DE3724878A1 (de) | 1987-07-28 | 1987-07-28 | Hubsauger fuer eine transporteinrichtung |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03500763A true JPH03500763A (ja) | 1991-02-21 |
| JP2577467B2 JP2577467B2 (ja) | 1997-01-29 |
Family
ID=6332473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63505044A Expired - Lifetime JP2577467B2 (ja) | 1987-07-28 | 1988-06-23 | 搬送装置用往復移動式吸引装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5059088A (ja) |
| EP (1) | EP0371974B1 (ja) |
| JP (1) | JP2577467B2 (ja) |
| DE (1) | DE3724878A1 (ja) |
| WO (1) | WO1989000965A1 (ja) |
Families Citing this family (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4001937A1 (de) * | 1990-01-24 | 1991-07-25 | Antriebs Steuerungstech Ges | Handhabungsvorrichtung mit einem sauggreifer und verfahren zum handhaben und ueberpruefen von fluiddurchstroemten bauteilen |
| US5470117A (en) * | 1990-09-26 | 1995-11-28 | Bartholomy & Co. | Vacuum lifter and method |
| US5320497A (en) * | 1991-06-26 | 1994-06-14 | Smc Kabushiki Kaisha | Vacuum feeding apparatus |
| DE4328155A1 (de) * | 1993-08-21 | 1995-02-23 | Hans Hager | Einrichtung zur Handhabung, insbesondere zum Stapeln und Entstapeln dicht aufeinanderliegender ebener Bauteile mit glatter Oberfläche |
| US5581972A (en) * | 1995-07-03 | 1996-12-10 | Pitney Bowes Inc. | Container opening apparatus |
| EP0902885A4 (en) | 1996-05-16 | 2006-09-27 | Affymetrix Inc | SYSTEMS AND METHODS FOR DETECTION OF BRANDED PRODUCTS |
| DE19732056A1 (de) * | 1997-07-25 | 1999-01-28 | Schuler Pressen Gmbh & Co | Vakuumsystem für ein Transfersystem |
| US6131973A (en) * | 1998-10-01 | 2000-10-17 | Sikorsky Aircraft Corporation | Vacuum transfer device |
| DE19912378A1 (de) * | 1999-03-19 | 2000-09-21 | Manfred Klein | Hubsaugeinrichtung |
| DE19939792B4 (de) * | 1999-08-21 | 2008-01-31 | Man Roland Druckmaschinen Ag | Sauggreifer |
| US6287071B1 (en) * | 2000-06-05 | 2001-09-11 | Silicon Integrated Systems Corp. | Apparatus for picking-up an integrated circuit component |
| US6449531B1 (en) * | 2000-08-25 | 2002-09-10 | Advanced Micro Devices, Inc. | System for batching integrated circuits in trays |
| US6544643B1 (en) | 2000-09-26 | 2003-04-08 | 3M Innovative Properties Company | Pressure sensitive adhesive comprising poly(1-alkene) elastomer and multifunctional (meth)acrylate, articles prepared therefrom and a method of making |
| JP3769254B2 (ja) * | 2002-09-10 | 2006-04-19 | Smc株式会社 | 真空吸着装置及びその駆動方法 |
| US6979032B2 (en) * | 2002-11-15 | 2005-12-27 | Fmc Technologies, Inc. | Vacuum pick-up head with vacuum supply valve |
| DE102004023434A1 (de) * | 2004-05-10 | 2005-12-08 | Maschinenfabrik Wifag | Rotationsdruckmaschine mit Saugvorrichtung, Saugvorrichtung und Verfahren zum Wechseln einer Druckform |
| US7543868B1 (en) | 2005-04-13 | 2009-06-09 | The Caldwell Group, Inc. | Mechanically actuated vacuum lifting device |
| ATE384017T1 (de) * | 2005-05-03 | 2008-02-15 | Schmalz J Gmbh | Steuereinrichtung für einen sauggreifer |
| DE102006032185B4 (de) | 2006-07-12 | 2010-06-10 | Schott Ag | Haltesystem zum Fixieren eines Substrates |
| ES2294947B1 (es) * | 2006-09-27 | 2009-02-16 | Airbus España, S.L. | Plataforma movil de transporte para la manipulacion de piezas aeronauticas. |
| CN101352852B (zh) * | 2007-07-26 | 2011-11-30 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 镜片拾取装置 |
| US20090148258A1 (en) * | 2007-12-07 | 2009-06-11 | Chi Wah Cheng | Pick and place apparatus incorporating debris removal device |
| US9108319B2 (en) | 2011-02-01 | 2015-08-18 | Delaware Capital Formation, Inc. | Electric suction cup |
| ITBS20110028A1 (it) * | 2011-03-14 | 2012-09-15 | Gimatic Spa | Dispositivo di manipolazione azionato dal vuoto |
| CN102774651B (zh) * | 2012-08-07 | 2014-09-03 | 昆山艾博机器人系统工程有限公司 | 一种物料搬运装置 |
| ES2845927T3 (es) * | 2014-06-26 | 2021-07-28 | Schmalz J Gmbh | Instalación para la manipulación de piezas de trabajo |
| KR102545230B1 (ko) * | 2016-11-02 | 2023-06-19 | 삼성전자주식회사 | 피커 어셈블리 및 이를 구비하는 추출장치 |
| US20240100720A1 (en) * | 2021-09-27 | 2024-03-28 | Illinois Tool Works Inc. | Arrayed vacuum end of arm tool |
| KR102525826B1 (ko) | 2022-11-18 | 2023-04-26 | (주)브이텍 | 진공 컨트롤 유닛 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2247787A (en) * | 1939-07-29 | 1941-07-01 | Bowling Patents Man Corp | Suction lifter |
| US2665013A (en) * | 1948-06-30 | 1954-01-05 | American Can Co | Control mechanism for article transfer devices |
| US3076561A (en) * | 1958-03-06 | 1963-02-05 | M S Bowne | Vacuum transfer device for material in a plastic state |
| US3107794A (en) * | 1959-07-24 | 1963-10-22 | Continental Can Co | Unloader for palletized bulk can package |
| GB1068514A (en) * | 1963-05-03 | 1967-05-10 | Headley Townsend Backhouse | Improvements in or relating to suction grippers |
| US3485393A (en) * | 1967-05-25 | 1969-12-23 | Waukesha Culvert Co | Apparatus for handling material having an irregular surface and vacuum head therefor |
| GB1337743A (en) * | 1970-09-11 | 1973-11-21 | Morris Bros Tunstall Ltd | Apparatus for lifting and positioning goods |
| US3899087A (en) * | 1974-01-28 | 1975-08-12 | Standun | Article positioning mechanism incorporating vacuum holding and pressure ejection |
| FR2266648A1 (en) * | 1974-04-04 | 1975-10-31 | Fere | Machinery to move and stack sheet material - uses vacuum chamber lifted by pneumatic ram with air-flow rate control |
| DE3101864A1 (de) * | 1981-01-22 | 1982-08-05 | Dorstener Maschinenfabrik Ag, 4270 Dorsten | "transportanlage" |
| EP0129732A1 (en) * | 1983-06-15 | 1985-01-02 | The Perkin-Elmer Corporation | Wafer transferring chuck assembly |
-
1987
- 1987-07-28 DE DE19873724878 patent/DE3724878A1/de not_active Withdrawn
-
1988
- 1988-06-23 US US07/459,707 patent/US5059088A/en not_active Expired - Fee Related
- 1988-06-23 WO PCT/DE1988/000375 patent/WO1989000965A1/de not_active Ceased
- 1988-06-23 EP EP88905357A patent/EP0371974B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1988-06-23 JP JP63505044A patent/JP2577467B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0371974B1 (de) | 1991-12-27 |
| EP0371974A1 (de) | 1990-06-13 |
| WO1989000965A1 (fr) | 1989-02-09 |
| DE3724878A1 (de) | 1989-02-09 |
| JP2577467B2 (ja) | 1997-01-29 |
| US5059088A (en) | 1991-10-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH03500763A (ja) | 搬送装置用往復移動式吸引装置 | |
| CN1136396C (zh) | 真空发生设备 | |
| EP1658542B1 (en) | Two stage solenoid control valve | |
| US5076564A (en) | Sheet feeder | |
| KR101021191B1 (ko) | 진공발생유니트 | |
| US6557452B1 (en) | Valve and position control system integrable with clamp | |
| US4256130A (en) | Pneumatic valve control for textile machinery blowdown | |
| CN110573751B (zh) | 电动气动的控制器以及配备有该控制器的过程控制装置 | |
| GB2257412A (en) | Vacuum feeding apparatus. | |
| US4519421A (en) | Solenoid valve | |
| US8167346B2 (en) | High speed gripper | |
| SE467503B (sv) | Foerbraenningsmotor med kompressorfunktion | |
| US6109885A (en) | Vacuum System for a transfer system | |
| KR920002961A (ko) | 공압실린더의 속도제어 방법 및 장치 | |
| JPS6155400A (ja) | 真空発生装置 | |
| RU2107551C1 (ru) | Пневматическая отсадочная машина | |
| JPH0445680B2 (ja) | ||
| US6349627B1 (en) | Electropneumatic positioner | |
| JP3115393B2 (ja) | 内燃機関の個々のシリンダを遮断するための装置 | |
| US3462000A (en) | Fluid pressure control system and control valve therefor | |
| US6487956B1 (en) | Positioner | |
| US3782246A (en) | Hydraulically operated vibration drives | |
| US4216758A (en) | Automobile fuel intake system | |
| US4328829A (en) | Universal module for pneumatic fixed-cycle control | |
| US12442394B2 (en) | Valve manifold, valve and actuator assembly |