JPH03502677A - 液体化学薬品取扱い装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の名称 液体化学薬品用容器および分配装置 発明の背景 １、発明の分野 本発明は、酸、溶媒、塩基、フォトレジスト、ドーパント、無機物、有機物、生 物学的溶液、薬剤および放射性化学薬品などを含む液体化学薬品の貯蔵、輸送お よび使用のための容器に関するものである。具体的には、本発明は、ボトルまた はオーバーバック内に使い捨てフィルムパウチを使用する容器、およびこの容器 と共に使用される分配装置に関するものである。

２、従来技術の説明 現在、液体化学薬品の使用者は、それらの化学薬品の包装、供給および廃棄の方 法の選択が非常に制限されている。ある従来技術の装置では、化学薬品を貯蔵源 （通常、５５ガロン入りのドラム缶）から使用場所に分配、供給している。ドラ ム缶、配管および自動供給装置を含むこの種の分配供給装置は非常に高価であり 、高い費用を正当化するのに十分な量があるような、少数の製造者によってのみ 使用可能である。

第２の、最も広く使用されている代替方式は、ガラスまたはポリエチレンから作 られたボトルに入った液体化学薬品を取り扱うものである。しかし、この代替方 式は幾つかの欠点を有する。

具体的には、ガラスおよびポリエチレンは、液体化学薬品の所望の純度のレベル を大いに損なう微粒子汚染および金属イオン抽出物の両方をもたらすことが分っ てきた。さらに、ガラスおよびポリエチレンのボトルと共に使用される分配方法 も亦、化学的内容物の純度を損なう。手動デカント（ｄｅｃａｎｔ）は化学薬品 を大気汚染にさらし、またボトルを取り扱う技術者の安全を損なう恐れがある。

ガラスボトルの場合は、やはり破損の危険がある。ボトルに対するわずかの誤用 であっても、破損が起きた場合は非常に危険になる可能性がある。空のボトルの 廃棄も大きな関心事である。廃棄の際は、一般に衛生的廃棄の前に三重の水洗、 標識付け、および破砕を必要とする。この処理は労働集約的であり、時間がかか る。

第３の代替方式は、吹込成形されたフルオロポリマボトルの使用である。この代 替方式によれば、人手によるボトルの取扱い（大量供給とは対照的に）が維持さ れ、しかもフルオロポリマボトルは、取り扱われる化学薬品の維持にとって重要 な不活性性をもたらす。しかし、これらの吹込成形ボトルは非常に高価であり、 したがって、処理および再使用のためにボトルが製造者に戻される回収計画の使 用によってのみ、費用が正当化されてきた。しかし、回収計画は供給者ならびに 使用者に対する多数の論理学上の問題をもたらす。

液体化学薬品の貯蔵、輸送および使用のための改良された容器および装置に対す る継続的な需用がある。具体的には、価格がはるかに低（、シかもフルオロポリ マボトルまたは自動供給装置の取扱い特性を提供できる容器に対する継続的な需 用がある。

発明の要約 本発明は、不活性の耐腐食性プラスチックフィルムで作ったパウチと、パウチに シールされて、それを介してパウチを充填し、かつ空にすることが可能な開口を 提供する取付部品と、パウチを取り巻く外部ボトルまたはオーバーバックと、取 付部品と係合してパウチおよび取付部品をボトル内に保持するための保持手段と を備えた、液体化学薬品用の容器である。

パウチが液体化学薬品を充填されたとき、容器は取付部品の開口を閉じるための ブレークシールを含むキャップをかぶせられる。

容器の内容物は幾つかの異なる方法で分配することができる。本発明の好ましい 一実施例では、分配クロージャ（ｃｌｏｓｕｒｅ）が容器のキャップに取り付け られ、これはキャップによってもたらされるシールを破るプローブを含んでいる 。分配クロージャは弁を含み、この弁は通常、分配クロージャが分配受は器（レ セプタクル）内に挿入されるまで、液体の流れを妨げるように閉じられている。

分配クロージャと受は器が係合されると弁が開き、パウチから弁を通り、さらに 出口を通って計量式または他の液流制御装置に至る液体化学薬品の流れを可能に する。

本発明のもう１つの実施例では、パウチの内容の自動分配が、中に容器を配置し た圧力容器を含む装置によって行なわれる。通気口により、ボトルの内壁とパウ チの間の空間に空気が入ることが可能にされる。圧力容器の内部は加圧されてい るので、ボトルの内側と外側に圧力差はないが、パウチには圧力がかけられてお り、この圧力は、パウチから取付部品を介し、かつ取付部品の口に挿入された弁 プローブを介して液体が押し出されるように、パウチを押しつぶす。

図面の簡単な説明 第１図は本発明の容器の好ましい一実施例の斜視図である。

第２図は、容器のキャップを取り除いた状態での、第１図と同様な斜視図である 。

第３図は第１図の３−３線に沿った断面図である。

第４Ａ図および第４Ｂ図は第１図〜第３図の容器のパウチおよび取付部品の上面 図および側面図である。

第５Ａ図および第５Ｂ図は第１図〜第３図の容器の保持装置の斜視図である。

第６図は第１図の容器のキャップの上面図である。

第７図はキャップの他の実施例の上面図である。

第８Ａ図および第８Ｂ図は第７図の８−８線にほぼ沿った断面図であり、輸送中 、およびガス抜き口の開放ならびに引きはがしシールの除去中のキャップを示す 。

第９図は、第１図の容器と共に使用される手動分配装置を示す斜視図である。

第１０図は第９図の手動分配装置の分解断面図である。

第１１図は第９図の手動分配装置の断面図であり、動作時の状態を示す。

第１２図は、計量型ポンプを備えた手動分配装置のもう１つの実施例の断面図で ある。

第１３図は、本発明の容器と共に使用される自動分配装置の斜視図である。

第１４Ａ図および第１４Ｂ図は、第１３図の圧力容器および引出しを、２つの異 なった状態で示す側面図である。

第１４Ｃ図は第１３図の装置の正面図である。

第１５Ａ図、第１５Ｂ図および第１５Ｃ図は、３つの異なる状態にある容器カバ ーを示す側面図である。

第１６Ａ図および第１６Ｂ図は圧力容器の上面図および背面図である。

第１７図は第１６Ａ図の１７−１７線に沿った断面図であり、第１３図の自動装 置の分配弁機構を示す。

好ましい実施例の詳細な説明 １、容器（第１図ないし第８図） 第１図ないし第６図は容器１０の好ましい実施例を示す。

この実施例は５つの主要な構成要素、すなわち、内部パウチ（ｐｏｕｃｈ　）　 １２、取付部品１４、外部ボトル１６、保持装置１８およびキャップ２０を含む 。

パウチ１２は第３図、第４Ａ図および第４Ｂ図に最もよく示されているが、好ま しくは、工ないし２０ミルの範囲の厚みの、ポリテトラフルオロエチレン等のフ ルオロポリマフィルムから構成される。フィルムシート２１は折られて、２つの 対向する等しいフィルムシート２１Ａおよび２１Ｂを形成する。シート２１Ａお よび２１Ｂの外縁を取り巻くヒートシール２３Ａないし２３Ｃがパウチ１２を形 成する。

詰める液体に応じて、ナイロン、マイラ、または金属箔等の他のフィルム積層体 をフルオロポリマフィルムの層に付加することができる。例えば、パウチ１２内 に貯蔵される液体薬品がフォトレジストまたはその他の感光性液体であるときは 、反射金属箔をパウチ１２の外部表面上に使用することができる。

第４Ａ図および第４Ｂ図に示されるように、ヒートシールされたパウチ１２の形 は、接合部における応力を最小にするような輪郭を付与される。パウチ１２の容 量はボトル（またはオーバーパック）１６よりもわずかに大きいことが好ましい 。

充填および分配のためのパウチ１２の内部への接近（アクセス）は、シート２１ の頂部の穴２５を通って延びる取付部品１４を介して行なわれる。パウチ１２お よび取付部品１４は、ヒートシール組立体を形成できるように類似の材料がら構 成される。第３図に示されるように、取付部品１４はその上端におるリップ２４ を備えた開口２２、中間のネック部２６、および下方の肩またはフランジ２８を 備える。フランジ２８はシール２９により、穴２５を取り巻くパウチ１２の上縁 にヒートシールされる。

外部ボトルまたはオーバーバック１６は、充填、輸送、処理および分配（使用） の間に、パウチ１２により必要とされる機械的支持および保護をもたらす。ボト ル１６は一般的に、ポリエチレン等の可塑性材料から構成されるが、容器１０内 に収容する特定の液体化学薬品の取扱いのための政府取締り規定に応じて、金属 を含む他の材料を使用することもできる。

外部ボトル１６は一般的に、底部３０．側壁３２、傾斜した頂部３４、外側にね じを切られた広い口３６、および一体形取手３８を有するほぼ円筒形の閉塞型容 器である。容器１０は、通常逆さの状態で、手動または自動分配装置で使用され るので、頂部３４の壁が傾斜しているのが望ましい。頂部３４の傾斜した壁は、 容器１０が逆さにされたとき、取付部品１４が最も下の位置□にあることを保証 する。

保持装置１８は、第５Ａ図および第５Ｂ図に最もよく示されているが、一体ヒン ジ４２によって結合された一対の半円形セグメント４０Ａおび４０Ｂを含むクラ ムシェル型リングである。各セグメント４０Ａ、４０Ｂはほぼ水平な部分４４Ａ 、４４Ｂおよび、上部フランジ４８Ａ、４８Ｂを有する上方に突出した部分４６ Ａ、４６Ｂ１および下方に突出した壁部５０Ａ、５０Ｂを含む。壁部５０Ａ、５ ０Ｂと水平部分４４Ａ、４４Ｂとの交差部分は一対のフランジ５２Ａ。

５２Ｂを画定する。水平部分４４Ａ、４４Ｂ内には通気口５４Ａ、５４Ｂがある 。

第３図に示されるように、上方に突出した部分４６Ａおよび４６Ｂの頂縁が取付 部品１４のフランジ２４の下面と係合するように、保持装置１８が取付部品１４ を取り巻いて配置される。壁部５０Ａ−５０Ｂが口３６の内壁に隣接し、かつフ ランジ５２Ａ−５２Ｂが口３６の頂部内表面に近い環状肩５６と係合するように 、保持装置１８がボトル１６のロ３６内に配置される。

フランジ４８Ａ、４８Ｂは掴み面を提供するので、パウチ１２が空になり、キャ ップ２０が取り除かれた後で、この掴み面により保持装置１８を口３６から引き 抜くことができる。

取付部品１４の開口２２はブレークシール膜６０により閉じられ、膜６０はフル オロポリマフィルム材であることが好ましい。膜６０は（後で詳しく説明するよ うに）、適当な分配コネクタにより使用されるとき破壊を促進するように、刻み 目をつけられること力（好ましい。

キャップ２０はポリプロピレン等の可塑性材料から構成されることが好ましく、 ボトル１６の口３６の外側ねじに係合するための内側ねじを有する。キャップ２ ０は、取付部品１４と膜６０の間およびキャップ２０とボトル１６の間の液密お よび気密シールを保証するため、所定のトルクまでボトル１６上にねじ込まれる ように設計されている。

キャップ２０はまた引きはがし外部シールを備え、このシールは、第１図、第３ 図および第６図に示される実施例では、プルタブ６４を有する、裏打ちされた接 着フィルム６２である。フィルム６２は、ガス抜き開口６８に加えてキャップ２ ０の主中央開口６６を覆う。フィルム６２は所定の場所に留まり、容器１０の内 容物が分配（使用）されようとするまで、容器１０のためのバックアップシール を提供する。そのとき、フィルム６２は、プルタブ６４をつかんで引き上げるこ とにより引きはがされる。この結果、主開口６６およびガス抜き開口６８は露出 されるが、膜６０は依然として所定の場所に位置するので、適当な分配装置がキ ャップ２０に取りつけられるまで、シールを提供する。

ガス抜き開口６８および通気口５４Ａおよび５４Ｂは、パウチ１２とボトル１６ の壁との間における容器１０の内部に空気が入るための通路を提供する。このこ とは、液体が分配されるとき、空気圧がパウチ１２をしぼませるのを助けること を可能にする。

本発明の好ましい実施例では、キャップ２０は、パウチ１２内に含まれる特定の 液体化学薬品を一義的に表示するコード化キーまたはスロット７０をフランジ７ １内に備える。

これらのスロット７０は、適正な容器のみが計量分配装置に接続されることを保 証するため、特定の分配装置と係合する。

第７図、第８Ａ図および第８Ｂ図は、本発明の容器に使用するためのキャップの もう１つの実施例を示す。第７図、第８Ａ図および第８Ｂ図に示されるキャップ ８０は、好ましくは、ポリプロピレンの成形プラスチックキャップであり、一体 構成の引きはがし部分８２および引きはがしタブ８４を有する。突落し部（ノッ クアウト）８６がタブ８４のほぼ下に配置され、ガス抜き開口８８を覆っている 。

キャップ８０は上方に突出する４本の整列ピン９０を有し、ピン９０はキャップ ８０の上方での分配機構の適正な整列のために使用され、また、ボトル１６およ びキャップ８０が落された場合の偶発的な開放に対する保護の働きをする。さら に、フランジ９３にはキーコード化スロット９２が設けられており、このキーコ ード化スロット９２は、容器内に含まれる特定の液体化学薬品を識別し、したが って、容器が間違った分配装置に接続されるのを防止する働らきをする。より浅 いスロット９３が把持のためフランジ９３の周辺に沿って形成され、分配装置が キャップ８０の上に置かれるとき、空気が通ることができるようにする。

ガス抜き開口８８を開放するときは、タブ８４が押し下げられるので、ランプ９ ５が突落し部８６と係合し、突落し部８６とキャップ８０の残り部分の間の接続 が一端で破られてガス抜き開口８８が開放される。つぎにタブ８４を引き上げる ことにより主経路が取り除かれ、部分８２とキャップ８０の残り部分との間の接 続が破られる。

本発明の容器１０は、液体化学薬品用の従来技術の容器と比べて大きな利点を有 する。第１に、液体化学薬品に接触する容器１０の部分（すなわち、パウチ１２ および取付部品１４）は、フルオロポリマ等の材料から成り、これらの材料は粒 子脱落および金属イオン浸出の排除の点で、従来のガラスまたはポリエチレンの 容器よりもすぐれている。

第２に、好ましくはプラスチックまたは金属から成る外部ボトル１６は、従来技 術のガラス容器よりも頑丈な構成物をもたらす。

第３に、実際に液体化学薬品に接触する全ての部分（パウチ１２、取付部品１４ および膜６０）にフルオロポリマを使用することにより、容器１０はポリエチレ ン容器よりも透過性（ｐｅｒｍｅａｂｌｅ）が小さい。

第４に、パウチ１２および取付部品１４をフルオロポリマから作るが、ポリエチ レンまたは金属の外部ボトル１６により機械的強度および保護を付与することに より、容器１０の原価全体は、フルオロポリマのみから成る吹込成形容器よりも 低くなる一方、フルオロポリマ材の利点を依然として提供することができる。

第５に、パウチ１２を形成する平らなフルオロポリマフィルム２１が広げられて いる間に、パウチ１２の湿り易い表面の事前洗浄がヒートシールの前に容易にさ れる。

第６に、好ましくは、パウチ１２は充填の前に排気され、これにより充填中のシ ール接続が可能になる。これにより、排出された空気を放出する必要がなくなり 、パウチに導入充填される液体化学薬品の化学的純度の維持に役立つ。あるいは その代りに、パウチ１２は製造後直ちに窒素を充填して漏洩テストをすることが でき、前記の窒素は液体化学薬品の充填までそのまま維持することができる。

第７に、使用後の廃棄時に、容器全体の破壊を必要としない。代りに、保持装置 １８のフランジ４８Ａ、４８Ｂを掴み、ボトル１６の口３６を介して、取付部品 １４およびパウチ１２を単に引き出すだけでよい。次に、しぼんだパウチ１２お よび取付部品１４を廃棄するだけである。保持装置１８およびボトル１６は液体 化学薬品と接触しなかったので、念入りの洗浄手順なしに再使用するか、または 廃棄することができる。

第８に、キャップ２０を備えた容器１０は、分配弁と共に適切に使用されるとき のみ貫通されるブレークシールまたは膜６０を含む２つのシールを提供する。、 さらに、キャップ２０はまたボトル１６をシールする。このことは、輸送および 貯蔵中に、内容物を大気汚染から保護する。

第９に、液体化学薬品は実際には「２重に収容」されている。すなわち、パウチ １２およびボトル１６の２つに収容されており、このことは取扱いおよび輸送時 における安全性を増す。

本発明の容器１０によれば、分配は幾つかの異なった技術を使って行なうことが できる。キャップ２０（または８０）を取り去ることにより容器を簡単に開ける ことができ、次に手で逆さにして注ぐことができる。あるいは、キャップ２０（ または８０）を取り去り、取付部品１４を介して管をパウチ１２に挿入し、ポン プを使って内容物を汲み出すことができる。

容器１０の内容物を分配するためのさらにもう１つの方法は、容器１０が接続さ れている手動分配弁組立体を使用することである。第９図ないし第１２図に示さ れているこの手動システムは、容器に接続されている弁組立体、および重力利用 の分配のため容器を逆さの状態に支持するプラットホームを備える。

容器１０はまた、第１３図ないし第１７図に示されるような自動装置に好適に使 用することができる。容器１０は圧力容器内に置かれ、加圧ガスがパウチ１２の 外面に供給され、嵌合い接続および分配管を介して内容物がパウチ１２から絞り 出される。

明細書の以下の部分では、容器１０に使用するための手動および自動装置につい てさらに詳細に説明する。これらの装置の全てにおいて、容器１０のキャップ２ ｏまたは８ｏは所定の場所に留められるので、ユーザはパウチ１２の内容物に直 接接触するという危険にさらされることはない。さらに、フルオロポリマ部分の みが液体化学薬品と接触するので、分配中の汚染は最小にされる。

２、手動分配装置（第９図ないし第１２図）第９図ないし第１１図には、雄型分 配クロージャ１０２、雌型受は器１０４およびベース１０６を含む手動分配装置 １００の好ましい一実施例を示す。雄型分配クロージャ１０２は先ず、容器１０ が直立位置にある間にキャップ２０に嵌合され、その後容器１０および分配クロ ージャ１０２の組合せが逆さにされ（第９図に示されるように）、雌型受は器１ ０４に挿入される（第１１図に示すように）。

第１０図に最もよく示されるように、分配クロージャ１０２はプローブ１１０、 逆止め弁体１１２、逆止め弁ハウジング１１３、ロックリング１１４、キーコー ドカバー１１６、ロッキングタブ１１８、キータブ１２０、ボルト１２２、逆止 め弁プランジャ１２４、スプリング１２６、および０リング１２８，１３０およ び１３２を含む。

キーコードカバー１１６の外端に担持されているキータブ１２０はカバー２０の キーコードスロット７０と係合し、当該分配装置１００が容器１０に使用するの に適した装置であることを保証する。カバー２０の外部フランジ７１が一旦キー タブ１２０を通過してしまうと、周辺上に離隔配置された４個のロッキングタブ １１８を通過し、キーコードカバー１１６に着座させられる。ロックリング１１ ４は、ロッキングタブ１１８を動かすように回転可能であり、フランジ７１が一 旦ロッキングタブ１１８を通過すると、取り外すことはできなくなる。

分配クロージャ１０２がキャップ２０に挿入されるにつれて、プローブ１１０の 尖端１３４が膜６０を破る。プローブ１１０が取付部品１４内に移動するとき、 Ｏリング１２８は取付部品１４のネック２６の内壁とプローブ１１０の外壁との 間のシールをもたらす。

プローブ１１０は、一端で入口通路１３８に接続され、その反対端で逆止め弁体 １１２の内部に接続された中央孔１３６を有する。プローブ１１０が取付部品１ ４に挿入されるとき、パウチ１２の内部から通路１３８および中央孔１３６を通 って逆止め弁１１２の内部に至る液体通路が確立される。しかし、逆止め弁１２ ４は通常、逆止め弁体に着座させられ、０リング１３２が逆止め弁体１１２の出 口をシールするので、たとえ分配クロージャ１０２がキャップ２０に嵌め込まれ 、容器１０が逆さにされたときでも、液体は分配されない。

雌型受は器１０４は、ねじ１４２により、ベース１０６の頂板１４０に取り付け られる。ベース１０６はまた、出口管１４６および取付部品（ｆｉｔｔｉｎｇ） 　１４８のための隙間を板１４０の下側に設けるために、離隔器１４４を備える 。

雌型受は器１０４内にはマニホールド１５０が取り付けられている。マニホール ド１５０は、逆止め弁体１１２を受納するための空洞１５２を含む。空洞１５２ の底部には、出口通路１５４および突起１５６がある。容器１０および分配クロ ージャ１０２がベース１０６の上で下降させられると、逆止め弁体１１２は空洞 １５２に挿入され、一方、逆止め弁ハウジング１１３は雌型受は器１０４内に収 容される。０リング１３０は逆止め弁体１１２とマニホールド１５０の間にシー ルを形成し、一方、突起１５６は逆止め弁プランジャ１２４を上方に押してプラ ンジャ１２４を外し、パウチ１２から出口通路１５４へ、さらに取付部品１４８ を介して出口管１４６へ、液体が流れ得るようにする。

スプリング荷重式プランジャ組立体１５８が雌型受は器１０４の側壁に装着され ている。プランジャ１６０の先端は逆止め弁ハウジング１１３の環状溝１６２に 収まって係合する。容器１０および分配クロージャ１０２を雌型受は器１０４か ら取り外すときは、先ずスプリング１６４の偏倚力に抗してプランジャ１６０を 引き戻さねばならない。

スプリング荷重式ビン１６６が、受は器１０４の底部に垂直に取り付けられ、逆 止め弁ハウジング１１３の底面を上方に押圧する。偏倚スプリング１６８は、ビ ン１６６を上方に偏倚させる力を加える。プランジャ１６０が引き戻されて分配 クロージャ１０２を受は器１０４から解放するとき、スプリング１６８およびビ ン１６６は、手動による離脱を容易にするため、分配クロージャ１０２を垂直に 移動させるための自動的な力を付与する。

この上向きの力はまた、逆止め弁プランジャ１２４を突起１５６から離脱させる ので、プランジャ１２４およびＯリング１３２が逆止め弁体１１２に接して着座 させられ、容器１０およびクロージャ１０２の受は器１０４からの手動による取 外しに備えることができる。スプリング荷重式プランジャ１５８が一旦外される と、容器１０および分配クロージャ１０２は、残留液を洩らすことなしに両手で 取り外すことができる。空の容器１０は次に直立して置かれ、分配クロージャ１ ０２は、次の満杯の容器に接続されるため、取り外される。

第１２図は、第９図ないし第１１図に示した実施例とほぼ同様な、手動分配装置 のもう１つの実施例を示す。第１２図では、第９図ないし第１１図の実施例の構 成要素と同様な構成要素は同様な参照番号で表示されている。

第１２図の実施例と第９図ないし第１１図の実施例の間の主な違いは、第１２図 の実施例が計量ポンプ１９０を含むことである。計量ポンプ１９０はベース１０ ６上に支持され、出口１４６に接続されている。計量ポンプ１９０は、好ましく は、液体化学薬品に接触するその部品にはフルオロポリマ材のみが使用されてお り、メスシリンダ１９２、プランジャ１９４、出口１９６および排出管１９８を 含む。

プランジャ１９４が上方に引っ張られると、容器１０からの液体が出力管１４６ を介し、さらに入口逆止め弁（図示せず）を介してシリンダ１９２の内部に吸い 込まれる。好ましい実施例では、シリンダ１９２には目盛が付されているので、 プランジャ１９４が引き上げられる距離（ストローク）を使用者が選択し、これ によって、分配される液体の量を選択することができる。次にプランジャ１９４ が下方に動かされると、入口逆止め弁が閉じ、液体は出口逆止め弁（図示せず） 、出口１９６および排出管１９８を介して押し出される。

本発明の分配装置に計量ポンプ１９０を備えることは、計量された液体化学薬品 を分配するのに便利で、安全かつ正確な方法を提供しながら、容器からキャップ を取外す必要を無くし、高価なポンプ（液体を汚染する恐れがある粒子を発生す る）、または開放された容器の内部に延び、きたなくて、不当な取扱いによる汚 染を増大させる恐れがある浸漬管の必要性を無くする。

３、自動分配装置（第１３図ないし第１７図）第１３図は、本発明の容器１０° と共に使用される自動分配装置２００の斜視図である。容器１０゛は、これまで の図に示された容器１０とほぼ同様であるが、２つの取手３８を有し、かつキャ ップ８０（第７図、第８Ａ図および第８Ｂ図に示される）を使用する点が異なる 。

自動分配装置２００は、ローラ付き引出し２０４を備えた主ハウジング２０２を 含み、主ハウジング２０２は、開放された状態で第１３図に示されている。ハウ ジング２０２および引出し２０４は共に車輪２０６によって支持されているので 、分配装置２００は必要に応じである場所から他の場所に移動させることができ る。

容器１０゛は、圧力臼２０８およびカバー２１０によって構成された圧力容器内 に置かれる。圧力臼２０８は一対のブラケット２１２により旋回可能に支持され 、ブラケット２１２は圧力臼２０ｇの両側に配置され、引出し２０４に取り付け らでいる。軸２１４は圧力臼２０８の両側から外方に延び、ブラケット２１２内 に旋回可能に装着され、かつブラケット２１２の上端を貫通して延びている。

トラックアーム２１６、カム従動節２１８、およびスライド２２０によって形成 されたリンク機構が軸２１４に接続され、第１３図および第１４Ａ図に示される ほぼ直立の状態（引出し２０４が開けられたとき）から、第１４Ｂ図および第１ ４Ｃ図に示される逆さの状態（引出し２０４が閉じられたとき）に圧力臼２０８ を旋回させる。

圧力臼２０８を覆うカバー２１０の開閉は、カバーロッキング空気シリンダ２２ ２Ａないし２２２．Ｄ、カバー上昇シリンダ２２４．２２６Ａおよび２２６Ｂ、 ならびにカバー傾斜シリンダ２２８Ａおよび２２８Ｂによって制御される。カバ ー２１０が所定の位置にあり、圧力量２０８を覆ってシールされるときは、柔軟 （可撓性）導管２３０と、シールされた圧力容器内にある容量１ｏ゛との間の流 路がカバー２１０を貫通し確立される。

新しい容器１０′を分配装着２００内に装填するときは、ローラ付引出し２０４ が引き出される。次に操作パネル２３４上の切換えスイッチ２３２が回転されて 「開放」位置に合わせられる。この時、空気シリンダ２２２Ａないし２２２Ｄが 作動させられてカバー２１０のロッキング機構を解放し、シリンダ２２４．２２ ６Ａおよび２２６Ｂが、第１５Ａ図および第１５Ｂ図に最もよく示されるように 、カバー２１０を持ち上げる。次に、第１５Ｃ図に示されるように、傾斜シリン ダ２７８Ａおよび２２８Ｂがカバー２１０を後方に傾け、圧力量２０８の内部に 接近（アクセス）できるようにする。

新しい化学薬品容器上のキャップ８０の引きはがしタブ８４が取り除かれること により、ブレークシール膜が露出され、カバー８０のガス抜き開口８８が開放さ れる。容器１０°は次に人手で持ち上げられ、圧力量２０８内に収納される。

操作員は次に切換スイッチ２３２を回して［装填、Ｊ位置に合わせる。シリンダ ２２８Ａおよび２２８Ｂはカバー２１０を圧力量２０８の上方、真後ろに傾ける 。操作員は次に、キーコードコーン２８６（第１７図に示される）がキャップ８ ０と接触するまで、圧力量カバー２１０上に配置されたキーコード化ノブ２３６ を手で押し下げる。

次に、コーン２８６がキャップ８０のキーコード化スロットに合致して係合する まで、ノブ２３６が回転される。キーコード係合機構の特別な設計のため（後で 第１７図と関連して一層詳細に説明する）、ノブ２３６の回転はプローブ２３８ および導管２３０には伝えられない。

切換スイッチ２３２は次に「閉止」位置まで回され、空気シリンダ２２４，２２ ６Ａおよび２２６Ｂはカバー２１０を所定の位置に下げる。同時に、カバー２１ ０上のシリンダ２２２Ａないし２２２Ｄが作動し、圧力量２０８上での最終的な 位置決めのためクランプを開く。カバー２１０が圧力量２０８上に下降するとき 、プローブ２３８（第１７図）は容器１０°のブレークシール膜６０を貫き、取 付部品１４の内側ネック２６をシールする。一旦カバー２１０が完全に下降させ られると、クランプ作動シリンダ２２２Ａないし２２２Ｄから圧力が自動的に取 り除かれ、これらのシリンダはカバー２１０を所定の場所に固定することができ る。

操作員は次に引出し２０４を閉じる。このことは、圧力量２０８の両側にあるト ラックアーム２１６、カム従動節２１８およびスライド２２０によって構成され たリンケージ（リンク機構）を介して、圧力量２０８を回転させて逆さの状態に する。圧ノコ缶２０８は、第１４Ａ図および第１４Ｂ図において、「引出し開放 」および「引出し閉止」状態に対応する２つの異なる状態で示される。

一旦引出し２０４が完全に閉じられると、切換スイッチ２３２は「圧力」位置ま で回される。このことは、圧縮空気が空気管２４９を通って圧力量２０８に入り 、かつボトル１６の内壁とパウチ１２の間の空間に入ることを可能にする。

このようにして、空気圧がボトル１６の壁の両側に加えられるので、ボトル１６ が圧力勾配を加えられることはない。

操作パネル２３４上の圧力計２５０および調整器２５２は、パウチ１２に加えら れる空気圧を操作員が調節することを可能にする。圧縮空気の圧力量２０８内へ の導入は、操作パネル２３４上の分配ボタン２５４が押された場合か、または外 部電気信号が分配装置２００に供給された場合にのみ行われる。通常の非分配モ ードでは、空気圧は圧力量２０８内で維持されない。

本発明の好ましい実施例では、気流スイッチ（図示せず）が、分配中における圧 力量２０８内への圧縮空気の流れを検出する。圧縮空気が圧力量２０８に入ると 、パウチ１２内の液体は容器１０から絞り出される。パウチ１２が空になると空 気流は、圧力量２０８内の空気による液体の全量排除のために止まる。気流スイ ッチはこの流れの停止を検出し、電気信号を警報装置に送り、警報装置は操作員 にボトルを交換するように警告する。

空気または電気関係の障害の場合、引出し２０４が閉じられ、圧力量２０８が逆 さにされているときでさえ、容器１０°の化学内容物が圧力量２０８から漏出す ることはない。

カバー２１０はクランプ機構により堅固に固定されたままであり、カバー２１０ を圧力量２０８から開けるためには、シリンダ２２２Ａないし２２２Ｄへの圧力 空気が必要とされる。

分配装置２００のもう１つの安全機構の特徴は、万一操作員が分配中に引出し２ ０４を引き出そうとした場合には、自動的に圧力を逃すことである。同様に、引 出し２０４が十分に閉じられない場合は、空気圧を圧力量２０８に導入すること ができない。本発明の好ましい実施例では、圧力量２０８内の空気圧が完全に逃 がされず、圧力量２０８が第１３図および第１４Ａ図に示される直立状態になけ れば、インターロック回路も、カバー２１０が圧力量２０８から取り除かれるの を防止する。

第１７図は、容器１０°の一部分と共にカバー２１０および圧力量２０８の一部 分を示す断面図である。第１７図に示されるように、カバー２１０は主カバー板 ２７０を含み、主カバー板２７０は、カバー板２７０および圧力量２０８の内壁 をシールするためのＯリング２７２を含む。カバー２１０のクランプ機構または ロッキング機構はクランプ２７４．クランブリング２７５１合せビン２７６、支 持ブロック２７８２２２Ａないし２２２Ｄはカバー板２７０と接続リング２８０ との間に装着される。

空気シリンダ２２２Ａないし２２２Ｄが作動されるとき、それらのピストンが上 方に動き、接続リング２８０を持ち上げる。これにより運動が支持ブロック２７ ８および合わせビン２７６を介して伝えられ、クランプ２７４の外方に向かう運 動を引き起こす。シリンダ２２２Ａないし２２２Ｄに加えられる空気圧がない場 合は、シリンダ２２２Ａないし２２２Ｄ内の偏倚スプリングが、接続リング２８ ０を、第１７図に示される位置に押し戻す傾向があり、合わせビン２７８を介し てクランプ２７４を、第１７図に示される位置まで、半径方向、内方に急速に引 張る。

カバー板２７０の中央にドーム２８２が固定して取り付けられており、ドーム２ ８２はスリーブ２８４およびキーコードコーン２８６を支持する。０リング２８ ８は、コーン２８６とドーム２８２の内壁との間をシールする。ショルダーボル ト２９０はスリーブ２８４とコーン２８６とを互いに結合する。ノブ２３６は、 ボルト２９２により、スリーブ２８４の上端に取り付けられる。

軸方向におけるドーム２８２に対するスリーブ２８４およびコーン２８６の相対 位置は、調節可能ストップ片２９４の位置によって決定される。ロックナツト２ ９６は調節可能ストップ片２９４を所定の位置に保持する。調節可能ストップ片 ２９４の目的は、装置２００が全ての部品の製造許容公差を吸収することを可能 にすることである。

スリーブ２８４および２８６はドーム２８２に対して回転することを許容される 。回転力が、ノブ２３６により、スリーブ２８４およびコーン２８６に加えられ る。これによりコーン２８６が回転させられるので、キータブ２９８をキャップ ８０のそれぞれのキースロットと整列させることが可能になる。第１７図に示さ れるように、合わせビン３００はキータブ２９８をコーン２８６の内面上に保持 する。

コーン２８６の内面における凹部３０２とキャップ８０のビン９０との整列は、 キャップ８０に対するコーン２８６の正しい整列を助ける。

スリーブ２８４内にカップリング３０４が同軸的に装着されている。カップリン グ３０４の上端は導管２３０に接続されている。カップリング３０４の下端には 、プローブ２３８が接続されている。０リング３０６は、プローブ２３８のフラ ンジ３０８とコーン２８６との間にシールを形成する。プローブ２３８の先端３ １０は尖っており、取付部品１４のネック領域と共にシールを形成する０リング ３１２を備える。

プローブ２３８はＴ形通路３１４を有し、通路３１４は末端３１０で開いており 、かつ弁室３１６に接続されている。

弁室３１６内には、スプリング３１８、円板３２０およびポペット３２２によっ て構成される逆止め弁が配置されている。

カップリング３０４の流路３２４は弁室３１６の内部を導管２３０と接続する。

スプリング３１８は、第１７図に示されるように、ポペット３２２を常閉位置に 偏倚させる。パウチ１２に加えられる空気圧のため、容器１０内に液圧が存在す るときは、液圧はポペット３２２を離脱させ、パウチ１２から通路３１４、弁室 ３１６および流路３２４を介して導管２３０に至る液流を生じさせる。

第１７図に示される実施例では、カップリング３０４およびプローブ２３８はノ ブ２３４．スリーブ２８４およびコーン２８６と共には回転しない。このことは 、プローブ２３８の回転を全く引き起こすことなく、キータブ２９８をキャップ ８０の各対応キースロットと整列させるため、回転がノブ２３６に加えられるこ とを可能にする。

分配中、空気圧は圧力量２０８の内部に加えられ、ボトル１６の内部に入ること を許容される。空気流のための通路は、キャップ８０の周縁のノツチまたは溝に よって部分的にもたらされる、キャップ８０とコーン２８６との間の空間を通る 。

空気は、コーン２８６内の凹部３０２およびキャップ８０の通気孔８８（第８Ａ 図および第８Ｂ図）を通って流れる。キャップ８０内において、一度、空気は保 持装置１８のスロツト５４Ａおよび５４Ｂ（第５Ａ図および第５Ｂ図参照）を通 ってボトル１６の内部に流入する。空気圧はパウチ１２をしぼませる傾向があり 、このことがプローブ２３８およびカップリング３０４を介して流体を押し出す 。同じ空気圧がボトル１６の外壁および内壁の両方に加えられるので、ボトル１ ６の壁体強度は加圧下において流体を分配する能力の要素にはならない。

４、結論 本発明は、液体化学薬品を取扱い、輸送するための従来技術の装置に代わる重要 な装置を提供するものである。本発明は、化学薬品に接触する部品の処分を簡単 にするための低価格で頑丈な容器を提供する。さらに、本発明は、容器の内容物 と作業員および大気との接触を完全に回避する安全な方法での、手動および自動 分配に十分適している。

好ましい実施例と関連して本発明について説明したが、発明の精神および範囲か ら逸脱することなく形式および細部において変更を行うことができることを当業 者は理解するであろう。

【聾　そ　よｍ　　喜　輯　失

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. １．液体を保持するための内部を有する、シールされた可撓性フィルムのパウチ と、 パウチにシールされ、パウチの内部と連通する開口を確定する取付部品と、 パウチが上記開口を介して液体で満たされた後で、上記開口をシールするための シール手段と、 その内部と連通する開口を有するボトルと、取付部品、および前記取付部品をそ の中に位置付けるためのボトルの口を、ボトル内部のパウチと係合させるための 保持手段とから成る、容器を含む液体化学薬品取扱い装置。
2. ２．保持装置が第１および第２の保持装置セグメントと、これらセグメントを連 結するヒンジ手段とから成る請求の範囲第１項の液体化学薬品取扱い装置。
3. ３．取付部品が、 開口部分と、 開口部分に隣接するフランジと、 開口部分に連結されたネック部分と、 ネック部分に接続され、かつパウチにシールされたほぼ円錐形の肩フランジ部と からなる請求の範囲第１項または第２項の液体化学薬品取扱い装置。
4. ４．シール手段が、取付部品の開口を覆う膜を含む請求の範囲第３項の液体化学 薬品取扱い装置。
5. ５．保持手段およびキャップが、液体がパウチから分配されるときに、空気がパ ウチの囲りのボトル内部に入ることを可能にする通気路を有する請求の範囲第３ 項の液体化学薬品取扱い装置。
6. ６．容器がさらに、ボトルの口と係合し、かつボトルの口および取付部品の上方 に配置されたキャップを備え、前記キャップは、取付部品の開口とほぼ整列した 主中央開口を有し、かつ主中央開口を覆う除去可能なシールを有する請求の範囲 第１項の液体化学薬品取扱い装置。
7. ７．シール手段を介して開口の中に挿入可能であり、その内部に流路を含むプロ ーブと、プローブに接続されて、流路を介してパウチから分配される液体化学薬 品を受け取る手段とから成る分配装置をさらに備えた請求の範囲第１項の液体化 学薬品取扱い装置。
8. ８．プローブ内の流路を介して、パウチから液体を押し出すように、ボトルの内 壁とパウチとの間に加圧流体を供給するための手段と、 容器を保持するための内室を有する圧力容器とをさらに備え、 液体を供給するための手段が、加圧流体を圧力容器の内室に供給する請求の範囲 第７項の液体化学薬品取扱い装置。
9. ９．圧力容器がさらに圧力缶と、プローブを支持するカバーとを含み、分配装置 がさらに、 圧力容器を反転するための手段と、 圧力缶上のカバーを閉塞位置に固定するための手段と、カバーを開放位置と閉塞 位置との間で動かすための手段であって、さらにカバーを持ち上げるための手段 、およびカバーを傾斜させるための手段を含む上記手段と、上記固定するための 手段および動かすための手段を制御するための手段とをさらに備えた請求の範囲 第７項の液体化学薬品取扱い装置。
10. １０．分配装置がさらに、プローブおよび開口の間にシールをもたらすためのシ ール手段と、 流路を通る流れを制御するための、通常は閉じられている弁手段と、 プローブがパウチに挿入されるときに、弁手段を開放するための手段とを備えた 請求の範囲第８項の液体化学薬品取扱い装置。
11. １１．プローブと関連付けられており、プローブがキャップおよびシール手段を 介して開口の中に挿入される間に、キャップを係合させるためのキャップ係合手 段をさらに備えた請求の範囲第７項の液体化学薬品取扱い装置。