JPH0350517A - 顕微鏡対物レンズ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、物体側に配置される透明な平行平面板（カバ
ーガラス）の厚さの変化に対し諸収差を良好に補正し得
るようにした高倍率顕微鏡対物レンズに関するちのであ
る． ［従来の技術１ −ＩＬＱに顕微鏡対物レンズは、カバーガラスの厚みが
一定であるとして設計してある．そのためカバーガラス
の厚みが変化した場合、その結像性能は劣化してしまい
ＮＡが大きくなる程この現象は顕著になる．そこで第１
群に入射する光線高がほぼ一定になるように対物レンズ
全体を動かしてガラスと第ｌ群との距離を僅かに変化さ
せている。

近年，細胞培！．　ｉ！ｌ伝子操作などのバイオテクノ
ロジー分野が発展しているがその時に用いるガラスシャ
レー．プラスチックシャレーの厚みはばらつきが多いた
め、シャレーの厚み（透明な平行平面板の厚み）によっ
て悪化する収差を補正できる機構を持ち、しかもその厚
さの変化に対して余裕のある長い作動距離を持つ顕微鏡
対物レンズが必要となる．このような顕微鏡対物レンズ
とじて特公昭６　１−３０２４５号公報に記載されたも
のが知られている．この従来例はカバーガラスの厚みが
０〜２ｍＩｌの変化に対して収差補正ができ、長い作動
距離の顕微蹟対物レンズである．また高倍率．高ＮＡの
顕微鏡対物レンズとして特開昭５９−１００４０９号．
特開昭６０−２０５５２１号，特開昭６０−２４７６　
１　３号の各公報に記載されているレンズ系が知られて
いる．この従来例は、カバーガラスの厚さの補正範囲が
狭いが長い作動距離を有している． 又特公昭６１−３０２４５号記載の従来例は４０倍ぐら
いまでの倍率を保ち、ＮＡが０．６以下で、カバーガラ
スの厚みに対する補正を可能にした顕Ｉａ鏡対物レンズ
で、カバーガラスの厚さ全域にわたって比較的良好に収
差が補正されている．［発明が解決しようとする課題］ これらの従来例のうち高倍率で高いＮＡのカバーガラス
補正用顕Ｉｌ鏡対物レンズ（特開昭５９−１　００４０
９号．特開昭６０−２０５５２　１号６特開昭６０−２
４７６１３号）は、カバーガラスの厚みの変化による球
面収差，コマ収差を十分補正することが出来ない。特に
Ｎ　Ａ　Ｏ．８．倍率１００×ぐらいの対物レンズ（特
開昭６０−２４７６１３号）では、補正範囲の境界での
球面収差．色収差の曲がりおよびコマ収差が大きくなり
、その収差補正は非常に困難である． 本発明は、カバーガラスの厚みの変化に対して補正可能
な全域で諸収差が良好に補正された高倍高ＮＡ．長作動
距ｉ［ｉｌ顕微鏡対物レンズを提供することを目的とし
ている． ［課題を解決するための千段］ 本発明の顕微鏡対物レンズは，像側に凸面を向けた正の
メニスカスレンズを含み射出光束が発敗光である正の居
折力の第１群Ｇ１と，負の屈折力の接合面少なくとも１
面以上有し光軸上を移動可能な正の屈折力の第２群Ｇ２
と、負の屈折力の第３群Ｇ，からなり，第１群Ｇ１と物
体との間に配置される透明な平行平面板（カバーガラス
等）の厚みの変化に対応して第２群Ｇ２が第１群Ｇ１，
第３群Ｇ，に対して相対的に移動可能であることを特徴
としている． 一般に顕微鏡対物レンズにおいてカバーガラスの厚みの
変化によって発生する収差を補正するためにレンズを移
動するが、高ＮＡの対物レンズの場合収差変動特に球面
収差．コマ収差．色収差の変動が大きい．そのため固定
群．移動群の各群で発生する収差を小さくしないとカバ
ーガラスの厚みの変化によりカバーガラスを含む全系で
発生する収差が大になり補正できなくなる． 本発明の′７Ｊ４微鏡対物レンズにおいては、第ｌ群Ｇ
，が正の屈折力を有していて、球面収差と色収差が補正
不足になるが第ｌ群Ｇ，の最終面で発敗光束にしている
ので第１群全体としては収差量は小さくなっている．第
２群Ｇ２は正の屈折力を持っているが第１群Ｇ．より屈
折力が弱く負の屈折力を持つ接合面によって第２群全体
で発生する球面収差．色収差をいくぶん補正過剰にし、
第Ｉ群Ｇ，で発生する収差と打ち消し合うようにしてい
る．カバーガラスが厚くなった場合、射出光線高がより
高くなるためカバーガラス面で発生する球面収差．色収
差が発散方向に増大する．また第ｌ群Ｇｌへ入射する光
線高が変化すると、第ｌ群Ｇ１の屈折力が強いために収
差が大きく変化する。

そのためカバーガラスが厚くなった場合でも，第１群Ｇ
１で発生する収差の変化量は小さく、カバーガラスで発
生する収差変化を補正しきれない．そこで第ＩＲＧＩと
第２群６２間の距離を短くし第２群Ｇ，へ人射する光線
の光締高を低くし、第２群Ｇ２で発生する発散方向の収
差を小さくしレンズ系全体の収差を小さくしている．逆
にカバーガラスの厚みが薄くなった場合は、　第ｌ群Ｇ
１と第２１ｉｉＧ２間の間隔を長くして第２群Ｇ，へ入
射する光線の高さを高くして第２群Ｇ２で発生する発散
方向の収差を大きくしてカバーガラスの厚みの変化によ
って減少した発散方向の収差を補い全体としての収差の
バランスをとっている． 第３群Ｇ，は，負の屈折力を有しペツッパール和を小さ
くするとともに軸土色収差と倍率の色収差の補正を行な
っている。この第３群Ｇ，も第ｌ群Ｇ，第２群Ｇ２と同
様に発生する収差量は小さくカバ一ガラスの厚みの変化
によるこの第３群Ｇ３での収差の変化量は小さい。

本発明の顕微鏡対物レンズは、前述のようにカバーガラ
スの厚みの変化による収差変動を補正するために、第ｌ
群Ｇ，と第３群Ｇ，に対して相対的に第２群Ｇ２を移動
させる。又第ｌ群Ｇ１と第２群Ｇ２の間は、第１　０Ｇ
，で発生する負の球面収差を小さくするために発散光束
になるようにしている．そのために第Ｉ　ＲＧ．の最も
像側の面の曲率半径ｒ，は、次の条件（１３　．　（２
１　を満足することが望ましい．ｆｉｌ　　ｌｒｉｌ／
ｆ＞５０　　ｆｒ，＜ｏの時）［２１　　ｒ，／ｆ　＞
６．５　　１ｒ．＞　０の時）ただしｆは対物レンズ全
系の焦点距離である。

条件（１）よりｔｌｒｌが小になるとｒｉ面から第２群
Ｇ２へ向かう光線の発散性が弱くなる．つまり第１群Ｇ
１の収斂作用が強くなり、第ｌ群島で発生する球面収差
．コマ収差．色収差が大きくなる．そのためカバーガラ
スの厚さの変化によって発生する収差を第２群Ｇ２の移
動だけでは補正できなくなる． 条件（２）よりもｒ．が小になると、この面から第２群
Ｇ２へ向かう光束の発散性が強すぎて、カバーガラスの
厚みの変化にともない第２群Ｇ２が移動する時の第２群
Ｇ２への入射光線高の変化が大きくなる．そのため第２
群Ｇ２で発生する諸収差特に色収差の変動が激しく十分
な性能を得ることが出来ない． 本発明の顕微鏡対物レンズにおいて、次の条件＋３１　
．　＋４１　を満足するようにすれば更に良好な諸収差
を補正することが出来る． ＋３１　　２＜　ｆ．／ｆ＜　６ （４）　　４＜　ｆ．／ｆ＜　１０ ただしｆ．．ｆ．は夫々第１群．第２群の焦点距離であ
る． 条件（３）の下限を越えると第１群Ｇ１の収斂作用が強
くなりすぎて、第Ｉ　ＲＧ，で発生する収差量が大きく
カバーガラスの厚みの変化によって変動する球面収差．
コマ収差．色収差を第２群Ｇ２を移動させただけでは十
分に補正出来ない．また対物レンズの作動距離ら短くな
る．条件（３）の上限な越太ると第１！＃Ｇ，の収斂作
用が弱くなり，第２群Ｇ２第３詳Ｇ，で球面収差．色収
差の補正をしなければならないが、第２群Ｇ２に入射す
る光線の光線高が高くなり、カバーガラスの厚みの変化
による収差の変化特に色収差の変化が大きく補正しにく
くなる。

条件（４）の下限を外れると移動群である第２群Ｇ２の
屈折力が強くなりすぎて第２群Ｇ２の移動による球面収
差．色収差の変動が大きく、また第２群Ｇ２で発生する
収差が発敗する方向に増えるために全系の色収差を補正
できなくなる．条件（４）の上限を越えると第２詳Ｇ２
の屈折力が弱くなり、第ｌ詳Ｇ１からの射出光束が発散
光であるために光束を所定の位置に結像させるためには
第３群Ｇ，の屈折力を正方向に強めなければならない．
そのため第３群Ｇ３の負の屈折力が弱くなりペッツバー
ル和が大きくなる。また色収差．コマ収差．非点隔差な
との詔収差のパランズがくずれカバーガラスの厚みの変
化による収差の補正が困難になる。

カバーガラスの厚みの変化に対する収差変動を補正する
ために移動する第２群Ｇ２中に負の屈折力の接合面を少
なくとも１面設ける必要があるが、この接合面が次の条
件（５）を満足すれば収差変動を更に良好に補正するこ
とが出来る． （５）　　０．０２　＜（ｆｎ．−ｎｐ）／ｒ，ｉｆ　
＜０．１３ただしｒｃは上記負の屈折力を持つ接合面の
曲率半径、ｎＮ．　ｎｐは夫々上記接合面前後の凹レン
ズおよび凸レンズの屈折率である． 条件（５）の下限を外れると接合面の負の屈折力が弱く
なり発散方向の収差の発生が少なくなるためカパーガラ
スの厚みが変化した時、全系の球面収差．色収差を補正
できなくなる．条件（５）の上限を越えると第２群で発
散作用が強くなり発敗方向に球面収差，色収差が発生す
る。そのため条件（４）の上限を越えた場合と同様に第
３群の収斂作用を強めなければならず、カバーガラスの
厚みの変化に対して収差変動が大きくなり十分良好な性
能を得ることができない。

［実施例］ 次に本発明の顕微鏡対物レンズの各実施例な示す． 実施例ｌ ｆ　＝　１．５４ ｒｉ＝−９．８４ ｄ．＝　２．１ ｒ，＝−３．１３ ｄ，＝　０．　１６ ｒｓ＝８．３９ ｄ！＝３．２ ｒ＜＝−４．７６ ｄ４＝Ｑ．８ ｒｓ＝１５．１２ ｄ＝　（可変） ｒａ＝１５．２９ ｄ．＝　１．０５ ｒｙ＝８．４８ ｄ，＝４．３２ ｒａ＝−９．４２ ｄ．＝　０，２５ ｒｅ＝７３．１３ ｄｏ＝　１．０６５ ｎ＋＝１．７５５ ｎｚ＝１．４５６ ｎｉ＝１．６１３４ ｎ４＝１．６９６８ ｎｓ＝１．４５６ ＝５２．３３ ＝９０．３１ ＝４３．８４ ：　５６．４９ ：９０．３１ ｄ．＝２．３ ｎｓ＝１ ４３３８９ νＢ ＝　９５．１５ ｒｉｏ ＝　−１４．９２ ｄＩＯ ＝０．２５ ｒｌｌ ＝　２１．８１ ｄ． ＝−３．３９ ｎｔ＝１．４３３８９ ν７ ＝　９５．１５ ｒｌ２ ＝−８．３ ｄｒ２ ＝ｌ．ｌ ｎａ＝１．８８３ ν８ ＝４０．７８ ｒｉｓ ＝　−８８．４５ ｄ口 ＝０．１５ ｒｌ４ ＝１２．６４ ｄｌ４ ＝７ ｒｉ．＝１．６１８ ν９ ＝６３．３８ ｒｌ８ ＝−７．２１ ｄｌｌ１ ＝　３．１３ ｆｌｅａ ＝　１．５３３７５ ν，。＝　５５．５２ ｒｉｌｌ ＝８．０６ ｄ＋６ （可変） ｒｉ７ ＝６．５６ ｄｒｔ ＝３．５９ ｎｌ１ ：　１．７８４７ ν．ｌ＝２６．２２ ｒｌ６ ＝−６．１３ ｄｌ１ ＝　３．１９ ｎｌｉ１ ＝１．７４ ν１２＝３１．７ ｒｉｓ ＝４．５８ ｌＬｅ＝ｌＪ９ ｒ２。　＝−２．５９ ｄ２。　＝０．７ ｒｉ＋　　＝−５．３８ ｒｉ　（：ｒｓｌ／ｆ　　＝　９．８ ｆ．／ｆ＝　５．４５ ｄ０ ０．７　　　　　１．１６４ １．１　　　　　１．０６５ １．５　　　　　０．９７４ 実施例２ ｆ＝１．５４， ｒｉ＝−８．１７ ｄｔ”２．１ ｒ２＝−３．１７ ｄ２＝０．ｌ６ ｒｓ＝９．３ ｄ，＝３ ｒ４＝−５．３８ ｎ．．　　＝　１．８４６６６ ν．．＝２３．７８ ｆ，／ｆ　　＝３．０９ （Ｉｎ４−ｎｇｌ／ｒｔ）ｆ　　＝ （（ｎａ−ｎｔｌ／ｒｉ＊）ｆ＝ ｄｓ　　　　ｄ＋ａ ２．５７　　　３．９９ １．９　　　　４．６６ １．０８　　　　５．４９ ０．０４４ ０．０８３ ｄ．＝　１．２２ ｎ．＝　１．７５５ ν昧 ＝　５２．３３ ｎｉ＝１．４５６ ν２ ＝９０．３１ ｄ４＝０．８ ｒ．＝１８．９９ ｄｓ（可変） （”，：　１２．８５ ｄ．＝　１．０５ ｒｔ＝７．６１ ｄ，＝４．３２ ｒａ＝−９．３５ ｄ．＝０．４ ｒ．＝１５．３２ ｄ．＝１．１ ｒ，。　：７．６１ ｄ．．　　＝５ ｒｌ＋　　＝−８．３３ ｄ．．　　＝−１．１ ｒｒ２　＝−２２．８５ ｄ＋＊＝０．２ ｒｉｉ　　＝３４．４８ ｄ＋ｘ＝２．２ ｒ．　＝−５０．５５ ｎｓ＝１．６１３４ ｎ４＝　１．７２９１６ ｎｓ＝１．４５６ ｎａ＝１ ７８６５ ｎｔ＝１．４５６ ｎａ＝１．８８３ ｎ＠＝１．４５６ ＝　４３．８４ ＝　５４．６８ ＝９０．３１ ＝５０ ＝９０．３１ ＝　４０．７８ ＝　９０．３１ ｒａｔ ｒｉｉ ｒ２ ｄ．　＝０．２ ＝１２．３６ ｄ，８　＝６．５ ＝−６．４１ ｄ，．　　＝２．２６ ＝７．１５ ｄ１７（可変） ＝５．７ ｄ＋ａ　　＝３．７６ ＝−８．３２ ｄｏｓ　　＝２．８１ ＝３．２１ ｄ２．　　＝１．３９ ＝−２．２ ｄ２１　＝０．７ ？２■　＝−４．０６ ｒｉ　［＝ｒｓｌ／ｆ ｆ．／ｆ＝　６．０６ ＝１２．４ ＝ｌ ５６９０７ ν．．＝７１．３ ＝　１．５３３７５ ＝　５５．５２ ｎｌ２ ＝１ ７８４７ ν，２＝２６．２２ ｎＩ３ ＝１．７４ ，＝　３１．７ ｎ＋４ ＝　１．８４６６６ ν１４＝２３．７８ ｆ，／ｆ　　＝３．４２ （（ｎ４−ｎ−）／ｒｙ）ｆ　　＝０．０５５Ｎｎｓ−
ｎｔｌ／ｒｉｏ｝ｒ＝　０．０６７Ｈｎａ−ｎｙ）／ｒ
ｉ＋ｌｆ＝　０．０７８ｄ． ０．７　　　　　１．３３３ １．１　　　　　１．２２ １．５　　　　　１．１１９ 実施例３ ｆ＝１．５４， ｒ，＝−８．２３ ｄ，＝　２．１ ｒ，：　−３．　２ ｄ．＝０．１６ ｒｓ＝９．１７ ｄ．＝３．１ ｒ４＝−５．４ ｄ４＝０．８ ｒＳ＝１８．５１ ｄｓ　（可変） ｒａ＝１３．３９ ｄａ”ｌ．ロ５ ｄ５ ２．５９ １．９ １．０６ ｄ．＝　１．２７６ 旧＝１ ？１■ ２．４７ ３．１６ ４ ７５５ ｔ＋．＝１．４５６ ｎｓ＝１．６１３４ Ｑ４＝　１．６９６８ ＝５２．３３ ＝’Ｊ０．３１ ＝　４３．８４ ＝　５６．４９ ｒ，＝７．７ ｄ，＝４．３２ ｎ　＠　＝　１ ４５６ ＝９０．３１ ｒａ＝−１０．５１ ｄ．＝ロ．ｌ ｒｓ＝２６．４６ ｄ．＝１．１ ｒ，。　＝８．７８ ｄｌ。　＝３．３９ ｒ，，　　＝−１６．６８ ｄ．．　　＝０．１ ｒｌ２　　＝　１５．８３ ｄ＋ａ　　”３．３９ ｒｉｚ　　＝−９．５２ ｄ，．　　＝１．１ ｒｌ４　　：１０９．３５ ｄ，．　　＝０．１５ ｒｉｓ　　”１５．６６ ｎａ＝１．６９６８ ｎ？＝　１．４９７ ｎ．＝　１．４５６ ｎ−＝　１．８８３ ＝　５６．４９ ＝　８１．６１ ＝９０．３１ ＝４０．７８ ｄ１ｓ＝７ ：　１．６１８ ｏ”６３．３８ ＝−［１．１１ ｄ，．ｔ　　＝２．３７ ｎｚ ５３３７５ ＝　５５．５２ ｒｉ７ ＝９．９８ ｄ１７（可変） ｒｉａ　　＝５．８１ ｃＬｓ　　＝３．４１　　　　ｎ＋ｚ　　：１．７８４
７　　　νＩ２：２６．２２ｒｉ＊　　＝−９．２ ｄ＋ｓ　　＝　３．０４　　　　１＋ｚ　　＝　１．７
４　　　　　ｖ＋ｘ＝　３１．７ｒ２。　＝３．２８ ｄ２。　＝１．３９ ｒａｔ　　＝−２．１９ ｄｚ＋　　＝　０．７　　　　　ｎ＋４　＝　１．８４
６６６　　　１７１４＝　２３．７８ｒｚＱ　　＝−３
．９６ ｒ，ｆ：ｒｓｌ／ｆ　　＝　１２．　１　　　　　ｆ１
／ｆ　　＝　３．４４ｆ２／ｆ＝　６．０５　　　　　
　　（　（ｎ４−ｎｓｌ／＋，）ｆ　　＝　０．０４８
｛［ｎａ−ｎｔｌ／ｒｉｏｌｆ＝　ｏ．ｏ：ｌ！）（ｆ
ｎｔ＋−ｎａ）／ｒｉｘＬｒ＝　ｏ．ｏｆｉ（］ｄ．　
　　　　　ｄ．　　　　　ｄ．，０．７　　　　　１．
３９８　　　　２．５６　　　　３．０７１．１　　　
　　１．２７６　　　　１．９　　　　　３．７３１．
５　　　　　１．１６６　　　　１．１　　　　　４．
５３実庵例４ ｆ＝１．５４．　　　ｄ．＝１．０８ ｒＩ＝−１．３４ ｄｌ＝ ２．１ ｎ　＋　＝　１　．　６９６８ ν１ ＝５６．４９ ｒａ＝−２．９２ ｄ２＝０．１６ ｒ３＝１３．３７ ｄ３＝　２．３５ Ｑ，＝　１．４３３８９ ν２ ＝　９５．１５ ｒ４＝−６．９２ ｄ．＝０．８ ｎｓ＝１．７２９１６ ν３ ＝５４．６８ ｒｓ＝−２００ ｄ． （可変） ｒａ＝１３．ロ４ ｄａ＝　１．０５ ｎ　４　＝　１　．　７　２　９１６ ν４ ＝　５４．６８ ｒｔ＝７．８４ ｄｙ＝４．３２ Ｑｓ：　１．４３３８９ ν６ ＝９５．１５ ｒ．＝−９．６５ ｄ８＝　０．４ ｒ．＝３１．９８ ｄ＊＝１．１ Ｑ６＝　１．７２９１６ ν６ ＝５４．６８ ｒｌｏ ＝８．８２ ｄ，。

：・３．３９ ｎｖ＝１．４５６ ν丁 ＝９０．３１ ｒｌｌ ＝　−１５．６９ ｄｌｌ ＝０．ｉ ｒｌ２ ＝　３５．１８ ｄ口 ＝３．３９ ｎａ＝１．４５６ ν８ ＝　９０．３１ ｒｌ３ ＝−９．３１ （１＋ｚ ＝１．１ ｎｓ＝１．８８３ ν９ ＝　４０．７８ ｒｉ４ ＝−３８．３ ｄ＋４ ＝（Ｌ１５ ｒｌｌｉ ＝８．６５ ｄｌｌｌ ＝７ ｎｌ０ ＝　１．５６９０７ ν，。＝　７１．３ ｒｌｌｌ ＝−５．６６ ｄｌ６ ＝２．８２ ｎｌｌ ＝　１．５６３８４ ν＋＋＝６０．６９ ｒａｔ ＝５．３７ ｄ１丁 （可変） ｒｉａ ＝５．３６ ｄｌＭ ＝　３．４８ ｎ＋ｚ ＝　１．７５５２ ν．＝２７．５１ ｒｌ９ ＝３３．５３ ｄｌ９ ＝２．８６ ｎｌｍ ＝　１．６７６５ ν＋ｚ＝３７．５ ｒ２０ ＝３．６８ ｄ，。

＝１．３９ ｒ２Ｉ ＝−２．３ （１＋＋　　＝０．７ ｎｌ４　　＝　１．８０５１８　　１７１４＝　２５．
４３？２■　＝−４．１３ ？ｒｉ（■ｒｓｌｌ／ｆ　　＝ ｆ．／ｆ＝５．３７ ｄｏ Ｏ．７　　　　　１．１９３ １．１　　　　　１．０８ １．５　　　　　０．９７７ 実施例５ ｔ’＝１．５４， ｒ．＝−６．８３ ｄ，＝　２．２９ ｒａ＝−３．４７ ｄ２＝０．２ ｒ．＝１０．９９ ｄ３±２．３ ｒ，＝−１２．５３ １３０．１　　　　　ｆ．／ｆ＝３．６６（（ｎ４−ｎ
ｓｌ／ｒｔ）ｆ　　＝　０．０５８（（ｎａ−ｎｔｌ／
ｒｉｏｌｒ＝　０．０４８（ｌｎａ−ｎａｌ／ｒｉ３１
ｒ＝　０．０７１ｄ％　　　ｄｌ？ ２．４８　　　　３．７ １．８　　　　４．３７ ０．９８　　　５．１９ ｄ．＝　１．５１５ ｎ＋＝１．７８６５ ν１　＝５０ Ｑ２＝　１．４５６ ν．　　＝９０．３１ ｄ．＝０．８５ ｎｚ＝１．７２９１６ ν．　　＝５４．６８ ｒ５＝３１．９９ ｄ．．（可変） ｒａ＝１２．１ ｄ．＝１．１ ｒｔ＝７．５７ Ｑ４＝　１．７８６５ ＝５０ ｄ，＝４．２７ ｎ　ｓ　”　１　．　４　３　４　２　５＝９５ ｒ．＝−１０．３１ ｄｓ＝ｏ．ｓ ｒｓ＝１２．９７ ｄ．＝１．１ ｎａ＝１．７８６５ ＝５０ ｒｌＧ ＝７．８ ｄ＋ｏ　”３．８ ｎｔ＝１ ４３４２５ ＝９５ ｒｌｌ ＝−１６．７１ ｄ，，　　＝０．１５ ｒｌ２ ＝ｌｌ．１ ？１■　＝３．２ ｎａ＝１．４５６ ＝９０．３１ ｒｌ３ ＝−９．０６ ｄ．．＝ｔ Ｑｇ＝　１．８７４ ＝：ｌ５．２６ ｒｌ４ ＝　１９６．８９ ｄ．　＝１．３ ｒ五５ ＝−１８．９８ ｄ．，　　＝３．１ ｒｌａ ＝　−４．９７ ｄ＋ｇ　　＝１．０３ ＝　５３．９７ ｄ．（可変） ＝　　４．８３ ｄ．　＝２．７ ＝８３．７７ ｄ．．　　＝２．０１ ｒｔｏ ＝２．６５ ｄａｏ＝ｉ．７ ｒ２ ＝−２．２９ ｄ２１　　＝Ｑ，７ ？２■　＝−４．０８ ｒ．（・ｒｓｌ／ｆ ｆ２／ｆ＝　６．９８ ＝２０ ８ ｎ＋ｏ ＝　１．６１８ ．＝６３．３８ ｎｌ１ ＝　１．５２１３ ν，，＝５２．５５ ｎ＋ｔ ＝　１．８０５１８ ν＋ｔ＝２５．４３ ｎ＋ｘ ＝１．７４ ν，３＝３１．７ ｎ＋ａ ＝　１．７８４７ ν，．＝２６．２２ ｆ，／ｆ　　＝４．１４ ｛（ｎ４−ｎｓｌ／ｒｙｌｆ　　＝　０．０７２［ｆｎ
ａ−ｎｔ）／ｒｉｏ）ｔ＝　ｏ．ｏ’７｛ｆｎｓ−ｎ８
１／ｒｌｌ｝ｆ＝　０．０７１ｄｏ　　　　　　ｄｓ　
　　　　ｄ１ｔＯ．９　　　　　１．６１８　　　　２
．３１　　　　８．５２１．２　　　　１．５１５　　
　１．８　　　　９．０３１．５　　　　　１．４１８
　　　　１．２１　　　　９．６２ただしｒｌ＋　ｒ２
．・・・はレンズ各面の曲率半径、ｄ，ｄ２．・・・は
各レンズの厚さ、旧，ｎ２．・・・は各レンズの屈折率
、ν．ν２，・・・は各レンズのアツベ数である。又ｄ
０は作動距離、ｔはカバーガラスの厚みである。

実施例ｌ乃至実施例５は夫々第１図乃至第５図に示すレ
ンズ構成である．これら実施例におけるカバーガラスの
厚みｔに応じた第２群Ｇ２の移動による間隔の変化量は
データー中に示す通りである． これら実施例のうち実施例ｌ〜３は、カバーガラスの材
質をガラスシャーレとして設計している。ガラスシャー
レはｄ線に対する屈折率が１．　５２２８７でアッペ故
が５９．　８９である．また実施例４．５は、カバーガ
ラスの材質をプラスチックシャーレ（ボリスチレン）と
して設計している。ポリスチレンのｄ線に対する屈折率
は１．５９１０８　．アッペ数は３０．８５である．ま
たカバーガラスの厚みの補正範囲は実施例１〜４が０．
７　〜ｌ．５ｍｙａ　．実施例５が０．９　〜１．５ｍ
ｍである．又｛ｇ率．ＮＡ、像高は全実施例とち夫々ｌ
００×、０．８　．　１０．５である．実施例ｌの収差
状況は第６図乃至第８図に示す通りである。その内第６
図はカバーガラスの厚みｔが０．７ｍｍ　．第７図は１
．１ｎｍ　、第８図は１．５＋ｎｎ＋に対するものであ
る． 実施例２の収差状況は、第９図乃至第１１図に示す通り
で第９図はｔ　＝　０．７ｍｍ　．第１０図はｔ＝１．
１ｍｍに、第ｌ１図はｔ＝１．５ｎ＋ｍに対するもので
ある。

実施例３の１５１！状況は第１２図（　ｔ　＝　０．７
ｍ＋ａ）　．第１３図（　ｔ　＝ｌ．ｌｍｍ　）　．第
ｌ４図（　ｔ　＝　１．５ｎ＋ｍｌに示す通りである。

実施例４の収差状況は第ｌ５図（　ｔ　＝　０．７ｍｎ
＋）　．第１６図（ｔ＝ｌ．ｌ＋ｎ＋ｌＩ）　，第１７
図（　ｔ　＝　１．５ｒｎｍｌに示す通りである。

実施例５の収差状況は第ｌ８図（　ｔ．　＝　０．９ｍ
ｎ）　．第１９図（ｔ＝１．２＋ｎ＋ａ　）　．第２０
図（　ｔ　＝　１．５ｍｍｌに示す通りである。

［発明の効果］ 本発明の顕微鏡対物レンズは、以上述べたようなレンズ
構成とし第２ｎを光軸方向に桟動させることによって高
倍．高ＮＡであってしか６カバーガラスの厚みの変化に
対して諸収差が良好に補正されている。

【図面の簡単な説明】

第ｌ図乃至第５図は夫々本発明の実施例１乃至実施例５
の断面図、第６図乃至第８図は実施例１の収差曲線図、
第９図乃至第１１図は実施例２の収差曲線図、第１２図
乃至第１４図は実施例３の収差曲線図、第１５図乃至第
ｌ７図は実施例４の収差曲線図、第１８図乃至第２０図
は実施例５の収差曲緋図である．

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）像側に凸面を向けた正のメニスカスレンズを含み
   射出光束が発散光である正の屈折力の第１群と、負の屈
   折力の接合面を少なくとも１面以上有し光軸上を移動可
   能な正の屈折力の第２群と、負の屈折力の第３群とから
   なり、前記第１群と物体との間に配置される透明な平行
   平面板の厚さに応じて前記第２群を第１群と第３群に対
   して相対的に光軸方向に移動させることを特徴とした顕
   微鏡対物レンズ。
2. （２）前記第１群の最も像側の面の曲率半径を全系の焦
   点距離をｆとした時、次の条件を満足する請求項（１）
   の顕微鏡対物レンズ。 ｜ｒｉ｜／ｆ＞５０（ｒｉ＜０の時） ｒｉ／ｆ＞６．５（ｒｉ＞０の時）