JPH035061B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH035061B2 JPH035061B2 JP28799786A JP28799786A JPH035061B2 JP H035061 B2 JPH035061 B2 JP H035061B2 JP 28799786 A JP28799786 A JP 28799786A JP 28799786 A JP28799786 A JP 28799786A JP H035061 B2 JPH035061 B2 JP H035061B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- face plate
- rectangle
- defect data
- display device
- map
- Prior art date
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、面板の一部分の欠陥データをズー
ミングしてデイスプレイ装置にマツプ表示する方
式に関するものである。
ミングしてデイスプレイ装置にマツプ表示する方
式に関するものである。
［従来の技術］
半導体の材料であるシリコンウエハ面板の表面
には製品の品質を阻害する欠陥があり、欠陥検査
装置により検査されている。検査によりえられた
欠陥データは、大きさ別の欠陥の個数は勿論、面
板上の欠陥の位置を示すマツプ表示が行われ、こ
れにより欠陥の程度、分布の特徴が把握され、面
板のプロセスにおえる処理上の塵埃管理などに利
用される。
には製品の品質を阻害する欠陥があり、欠陥検査
装置により検査されている。検査によりえられた
欠陥データは、大きさ別の欠陥の個数は勿論、面
板上の欠陥の位置を示すマツプ表示が行われ、こ
れにより欠陥の程度、分布の特徴が把握され、面
板のプロセスにおえる処理上の塵埃管理などに利
用される。
さて、面板欠陥の検出にはレーザスポツトの直
径を小さく絞つて強いスポツトとして極めて微小
な欠陥を検出する方法が行われており、その走査
とデータのサンプリング方法として、この発明と
同一の出願人による特許出願されている「レーザ
スポツトの面板走査方式および面板走査制御機
構」、ならびに「面板欠陥検出信号のサンプリン
グ方式およびサンプリング装置」によるものがあ
る。第５図はこれらの特願の概要を説明する図
で、図ａにおいて矢印Ａに方向に回転する面板１
に対してレーザスポツトＳが照射され、スポツト
Ｓは面板が角度Ф回転する毎に中心点Ｏから半径
Ｒの方向に進み、１回転でΔrのピツチの段階状
の円孤状の走査をなす。スポツトＳの走査点ｐに
欠陥があるときは検出され、その位置は座標
（ｒ，θ）で表示される。この場合、欠陥検出器
にえられる欠陥信号は連続したものであるが、円
周を等角度に微小に分割したパルスによりサンプ
リングする。さらに、図ｂに示すように円周方向
を長さΔlに細分し、これとΔrとにより斜線で示
すセルＥを形成し、セルＥ内の最大のデータを選
別して欠陥データとする。上記特願においては、
セルＥの大きさとしてΔrを0.1mmとし、Δlもまた
ほぼこれに等しいものとしている。
径を小さく絞つて強いスポツトとして極めて微小
な欠陥を検出する方法が行われており、その走査
とデータのサンプリング方法として、この発明と
同一の出願人による特許出願されている「レーザ
スポツトの面板走査方式および面板走査制御機
構」、ならびに「面板欠陥検出信号のサンプリン
グ方式およびサンプリング装置」によるものがあ
る。第５図はこれらの特願の概要を説明する図
で、図ａにおいて矢印Ａに方向に回転する面板１
に対してレーザスポツトＳが照射され、スポツト
Ｓは面板が角度Ф回転する毎に中心点Ｏから半径
Ｒの方向に進み、１回転でΔrのピツチの段階状
の円孤状の走査をなす。スポツトＳの走査点ｐに
欠陥があるときは検出され、その位置は座標
（ｒ，θ）で表示される。この場合、欠陥検出器
にえられる欠陥信号は連続したものであるが、円
周を等角度に微小に分割したパルスによりサンプ
リングする。さらに、図ｂに示すように円周方向
を長さΔlに細分し、これとΔrとにより斜線で示
すセルＥを形成し、セルＥ内の最大のデータを選
別して欠陥データとする。上記特願においては、
セルＥの大きさとしてΔrを0.1mmとし、Δlもまた
ほぼこれに等しいものとしている。
さて、このようなセル単位の欠陥データをマツ
プ表示をする場合、このままではデータの密度が
過大である。すなわち最近のシリコンウエハのサ
イズは直径が200mm以上のものが出現しており、
これをほぼ等しい大きさの画面でデイスプレイ装
置に表示するときは、0.1mm角のセルは目視によ
る分解ができない。そこで従来は、デイスプレイ
の表示を目視する適当な大きさにセルを集約して
欠陥データの代表値を作り、これにより面板の全
面をマツプ表示している。第５図ｃは集約の例を
示すもので、セルＥが５段５列、25個（0.5mm角）
に集約されてマツプ表示の単位とされている。
プ表示をする場合、このままではデータの密度が
過大である。すなわち最近のシリコンウエハのサ
イズは直径が200mm以上のものが出現しており、
これをほぼ等しい大きさの画面でデイスプレイ装
置に表示するときは、0.1mm角のセルは目視によ
る分解ができない。そこで従来は、デイスプレイ
の表示を目視する適当な大きさにセルを集約して
欠陥データの代表値を作り、これにより面板の全
面をマツプ表示している。第５図ｃは集約の例を
示すもので、セルＥが５段５列、25個（0.5mm角）
に集約されてマツプ表示の単位とされている。
しかしながら、面板の１部分について詳細に欠
陥の分布状態をマツプ表示により観察したいこと
が屡々希望される。そこで、面板の１部分につい
てセル単位の欠陥データを適当なスケールでデイ
スプレイ装置に表示すれば、従来の全面表示に比
較してズーミングされたことになる。この場合、
データ処理上における面板の１部分の指定方法を
いかにするか、また表示方法としては欠陥の判定
のために、画面上において該当部分が面板の基準
線に対して常に一定の方向関係に置くことが必要
であり、これらに対して工夫を要する点がある。
陥の分布状態をマツプ表示により観察したいこと
が屡々希望される。そこで、面板の１部分につい
てセル単位の欠陥データを適当なスケールでデイ
スプレイ装置に表示すれば、従来の全面表示に比
較してズーミングされたことになる。この場合、
データ処理上における面板の１部分の指定方法を
いかにするか、また表示方法としては欠陥の判定
のために、画面上において該当部分が面板の基準
線に対して常に一定の方向関係に置くことが必要
であり、これらに対して工夫を要する点がある。
［発明の目的］
この発明は以上に述べた面板の１部分の欠陥デ
ータをズーミングし、その部分を画面上一定の方
向に置いてマツプ表示するソフト技法を提供する
ことを目的とするものである。
ータをズーミングし、その部分を画面上一定の方
向に置いてマツプ表示するソフト技法を提供する
ことを目的とするものである。
［問題点を解決するための手段］
この発明においては、回転走査形式により面板
の表面を走査してサンプリングし、該表面をほぼ
正方形で一定面積に分割したセル単位で表面欠陥
を表す欠陥データに対して、面板表面のズーミン
グすべき部分の周辺の２点をデータ処理装置に入
力して指定する。データ処理装置においては、上
記の２点を対角点とし、１辺を面板に設けられて
いる基準線（オリエンテイシヨン・フラツト）に
平行とする長方形を算出し、かつ該１辺をデイス
プレイ装置の横軸の方向とするとともに、上記長
方形を画面上許される最大の範囲に拡大して、上
記長方形の範囲内の欠陥データをデイスプレイ装
置にズーミングしてマツプ表示するものである。
の表面を走査してサンプリングし、該表面をほぼ
正方形で一定面積に分割したセル単位で表面欠陥
を表す欠陥データに対して、面板表面のズーミン
グすべき部分の周辺の２点をデータ処理装置に入
力して指定する。データ処理装置においては、上
記の２点を対角点とし、１辺を面板に設けられて
いる基準線（オリエンテイシヨン・フラツト）に
平行とする長方形を算出し、かつ該１辺をデイス
プレイ装置の横軸の方向とするとともに、上記長
方形を画面上許される最大の範囲に拡大して、上
記長方形の範囲内の欠陥データをデイスプレイ装
置にズーミングしてマツプ表示するものである。
上記において拡大するスケーリングの係数は、
データ処理装置により、長方形の縦および横の長
さとデイスプレイ装置の画面の縦および横の長さ
をそれぞれ比較して、演算により求めるものであ
る。
データ処理装置により、長方形の縦および横の長
さとデイスプレイ装置の画面の縦および横の長さ
をそれぞれ比較して、演算により求めるものであ
る。
［作用］
この発明により、セル単位の欠陥データは、指
定した面板表面の１部分の長方形の１辺を面板の
基準線に平行とし、さらに該長方形の１辺をデイ
スプレイ装置の横軸に一致して画面に表示するの
で、画面上長方形が傾斜することなく水平に正置
されて観察し易く、またズーミングのスケールは
デイスプレイ画面の大きさに適当するものとして
拡大され、欠陥の細部が良好に目視観察できるも
のである。
定した面板表面の１部分の長方形の１辺を面板の
基準線に平行とし、さらに該長方形の１辺をデイ
スプレイ装置の横軸に一致して画面に表示するの
で、画面上長方形が傾斜することなく水平に正置
されて観察し易く、またズーミングのスケールは
デイスプレイ画面の大きさに適当するものとして
拡大され、欠陥の細部が良好に目視観察できるも
のである。
［実施例］
第１図はこの発明において、面板１の１部分を
指定する方法および指定された部分の面板の基準
線に対する位置関係を説明する図である。先ず、
デイスプレイ装置に、前記した従来の0.5mm角の
代表値方法による面板全面のマツプ表示を行い、
その画面上でズーミングする箇所を含む点Ａ、Ｂ
を指定する。ここで、この全面マツプ表示は面板
の基準線２を画面の下方として表示されたもので
ある。なお、欠陥が多発するなどによりズーミン
グする部分が予め判明している場合は、上記の全
面マツプ表示を省略して面板検査の開始前に点
Ａ、Ｂの指定を行うことも勿論可能である。
指定する方法および指定された部分の面板の基準
線に対する位置関係を説明する図である。先ず、
デイスプレイ装置に、前記した従来の0.5mm角の
代表値方法による面板全面のマツプ表示を行い、
その画面上でズーミングする箇所を含む点Ａ、Ｂ
を指定する。ここで、この全面マツプ表示は面板
の基準線２を画面の下方として表示されたもので
ある。なお、欠陥が多発するなどによりズーミン
グする部分が予め判明している場合は、上記の全
面マツプ表示を省略して面板検査の開始前に点
Ａ、Ｂの指定を行うことも勿論可能である。
データ処理装置においては、点Ａ、Ｂの座標を
算出し、点Ａ、Ｂを対角点として基準線２に平行
する直線ADおよびBCにより形成される長方形
を設定して点Ｃ、Ｄの座標を算出する。これによ
り、ズーミングの対象の長方形ACBDの座標が
定められる。なお、ここで基準線に平行な長方形
をズーミングの対象範囲とする理由は、欠陥の分
布の管理はすべて基準線に関して行われること、
および複雑な図形（この場合は円形も含む）は座
標変換等の演算が面倒な割に格別な効果がないか
らである。
算出し、点Ａ、Ｂを対角点として基準線２に平行
する直線ADおよびBCにより形成される長方形
を設定して点Ｃ、Ｄの座標を算出する。これによ
り、ズーミングの対象の長方形ACBDの座標が
定められる。なお、ここで基準線に平行な長方形
をズーミングの対象範囲とする理由は、欠陥の分
布の管理はすべて基準線に関して行われること、
および複雑な図形（この場合は円形も含む）は座
標変換等の演算が面倒な割に格別な効果がないか
らである。
次に、データ処理装置においては、直線ADお
よびACの長さを、デイスプレイ装置の予め判明
している画面の縦および横の長さと比較して、許
される最大範囲の拡大を行うためのスケーリング
係数を演算により求め、後記するマツプ表示に使
用する。
よびACの長さを、デイスプレイ装置の予め判明
している画面の縦および横の長さと比較して、許
される最大範囲の拡大を行うためのスケーリング
係数を演算により求め、後記するマツプ表示に使
用する。
さて前記した特願により回転走査形式では、面
板の基準線２を任意の位置とし、たとえば図の一
点鎖線２′の位置から検査が開始される。これに
対してスポツトＳは回転機構に固定した半径線上
（図の場合は半径線３の位置）において走査する。
従つて、長方形ACBD内にある欠陥は図の一点
鎖線の長方形acbdの位置で検出され、半径ra、
rb、rcおよびrdの値は同一であるが、角度θは変
形線３に対するもので、点ａに対してθ1、点ｂに
対してθ2が座標データとなる。すなわち、半径線
３と基準線２′に対する半径線３′の角度差θ3の位
相差がある。
板の基準線２を任意の位置とし、たとえば図の一
点鎖線２′の位置から検査が開始される。これに
対してスポツトＳは回転機構に固定した半径線上
（図の場合は半径線３の位置）において走査する。
従つて、長方形ACBD内にある欠陥は図の一点
鎖線の長方形acbdの位置で検出され、半径ra、
rb、rcおよびrdの値は同一であるが、角度θは変
形線３に対するもので、点ａに対してθ1、点ｂに
対してθ2が座標データとなる。すなわち、半径線
３と基準線２′に対する半径線３′の角度差θ3の位
相差がある。
欠陥データを基準線３を下方として（図の実線
の状態）マツプ表示するためには、検出された欠
陥データの角度をすべて基準線３を0゜とする長方
形ACBDの座標に変換しなければならない。こ
のためには、位相差θ3の値を求めて欠陥データの
角度に加算して修正することが必要であるが、こ
の点については、この発明と同一の出願人による
特許出願、「面板欠陥データのマツプ表示方法」
が申請されており、それにより位相角θ3を求めて
修正する。
の状態）マツプ表示するためには、検出された欠
陥データの角度をすべて基準線３を0゜とする長方
形ACBDの座標に変換しなければならない。こ
のためには、位相差θ3の値を求めて欠陥データの
角度に加算して修正することが必要であるが、こ
の点については、この発明と同一の出願人による
特許出願、「面板欠陥データのマツプ表示方法」
が申請されており、それにより位相角θ3を求めて
修正する。
以上によりえられた長方形内の欠陥データは、
上記のスケーリング係数によりズーミングしてデ
イスプレイ装置に表示される。
上記のスケーリング係数によりズーミングしてデ
イスプレイ装置に表示される。
第２図はこのようにしてえられた座標値を用
い、一辺CBを下方としてスケーリング係数を５
としてデイスプレイ装置４にマツプ表示
（A′C′B′D′）したものである。第３図ａは長方形
ACBDが面板１の周辺にあるため、点Ｄを含む
１部が欠けたものであるが、データ処理には差し
支えなく図ｂのように表示されることを示してい
る。なお、点ＡとＢの指定は長方形を形成できる
ことが必要であることはいうまでもない。
い、一辺CBを下方としてスケーリング係数を５
としてデイスプレイ装置４にマツプ表示
（A′C′B′D′）したものである。第３図ａは長方形
ACBDが面板１の周辺にあるため、点Ｄを含む
１部が欠けたものであるが、データ処理には差し
支えなく図ｂのように表示されることを示してい
る。なお、点ＡとＢの指定は長方形を形成できる
ことが必要であることはいうまでもない。
第４図ａはこの発明による面板欠陥データのズ
ーミングマツプ表示方式のデータ処理手順の１実
施例の概要を示すフローチヤートで、先ずにお
いてセル単位の欠陥データがデータ処理装置に取
り込まれて適当なメモリに格納され、で従来の
全面マツプ表示が行われる。この表示によりに
おいて面板のズーミング範囲として点Ａ、Ｂを指
定し、では点Ａ、Ｂ、ＣおよびＤの座標が算出
される。では、長方形と予め入力されている画
面の大きさが比較されてスケーリング係数が算出
される。次に、によりセル単位のエツジデータ
（面板周辺のエツジを検出したデータ）から面板
の基準線の角度（修正値）が算出されて、で点
Ａ、Ｂ、Ｃ、およびＤの座標角が修正される。
において修正された長方形acbd内のセル単位の
欠陥データが上記のメモリからサーチされ、角度
修正がなされて、でズーミングマツプ表示が行
われるものである。なお以上のフローチヤートで
は、検査が終了した面板について一旦、従来の全
面マツプ表示を行つてその結果を観察してから、
必要によりズーミング表示するものである。これ
に対して図ｂは他の実施例で、検査の事前にズー
ミング箇所を予め指定し、点Ａ、Ｂ、Ｃおよ
びＤの座標算出、スケーリング係数の算出がさ
れる。検査終了とともに、図ａの場合と同様にズ
ーミング表示をするもので、図ａの場合に比較し
ての全面マツプ表示が省略され、指定などの時
間が短縮されるので効率的である。
ーミングマツプ表示方式のデータ処理手順の１実
施例の概要を示すフローチヤートで、先ずにお
いてセル単位の欠陥データがデータ処理装置に取
り込まれて適当なメモリに格納され、で従来の
全面マツプ表示が行われる。この表示によりに
おいて面板のズーミング範囲として点Ａ、Ｂを指
定し、では点Ａ、Ｂ、ＣおよびＤの座標が算出
される。では、長方形と予め入力されている画
面の大きさが比較されてスケーリング係数が算出
される。次に、によりセル単位のエツジデータ
（面板周辺のエツジを検出したデータ）から面板
の基準線の角度（修正値）が算出されて、で点
Ａ、Ｂ、Ｃ、およびＤの座標角が修正される。
において修正された長方形acbd内のセル単位の
欠陥データが上記のメモリからサーチされ、角度
修正がなされて、でズーミングマツプ表示が行
われるものである。なお以上のフローチヤートで
は、検査が終了した面板について一旦、従来の全
面マツプ表示を行つてその結果を観察してから、
必要によりズーミング表示するものである。これ
に対して図ｂは他の実施例で、検査の事前にズー
ミング箇所を予め指定し、点Ａ、Ｂ、Ｃおよ
びＤの座標算出、スケーリング係数の算出がさ
れる。検査終了とともに、図ａの場合と同様にズ
ーミング表示をするもので、図ａの場合に比較し
ての全面マツプ表示が省略され、指定などの時
間が短縮されるので効率的である。
［発明の効果］
以上の説明により明らかなように、この発明に
より面板欠陥データのズーミングマツプ表示方式
によれば、従来の全面マツプ表示によつては目視
観察が困難であつた欠陥の分布状態がズーミング
されて明瞭に観察できるものとなり、またズーミ
ング部分は面板の基準線に平行な長方形とされて
いるので、デイスプレイ画面上に水平に正置され
観察、判定に便利なものであるなど、面板欠陥検
査作業に貢献する効果が大きいものである。
より面板欠陥データのズーミングマツプ表示方式
によれば、従来の全面マツプ表示によつては目視
観察が困難であつた欠陥の分布状態がズーミング
されて明瞭に観察できるものとなり、またズーミ
ング部分は面板の基準線に平行な長方形とされて
いるので、デイスプレイ画面上に水平に正置され
観察、判定に便利なものであるなど、面板欠陥検
査作業に貢献する効果が大きいものである。
第１図はこの発明による面板欠陥データのズー
ミングマツプ表示方式における、ズーミング箇所
の指定方法と基準線に対する角度を説明する図、
第２図ａ，ｂおよび第３図ａ，ｂはこの発明によ
る面板欠陥データのズーミングマツプ表示方式の
実施例においてズーミングマツプ表示された面板
の部分を示す図、第４図ａおよびｂはこの発明に
よる面板欠陥データのズーミングマツプ表示方式
のデータ処理手順の実施例におけるフローチヤー
ト、第５図ａ，ｂよおびｃは、この発明による面
板欠陥データのズーミングマツプ表示を適用す
る、セル単位の欠陥データを構成するための面板
の走査方法とサンプリング方法の説明図である。 １……面板、２，２′……面板の基準線、３，
３′……半径線、４……デイスプレイ装置、
ACBD，acbd……ズーミング長方形、ｒ，θ…
…極座標、Ｅ……セル、Δr，Δl……セルの辺長、
Ｓ……レーザスポツト、〜……フローチヤー
トの番号。
ミングマツプ表示方式における、ズーミング箇所
の指定方法と基準線に対する角度を説明する図、
第２図ａ，ｂおよび第３図ａ，ｂはこの発明によ
る面板欠陥データのズーミングマツプ表示方式の
実施例においてズーミングマツプ表示された面板
の部分を示す図、第４図ａおよびｂはこの発明に
よる面板欠陥データのズーミングマツプ表示方式
のデータ処理手順の実施例におけるフローチヤー
ト、第５図ａ，ｂよおびｃは、この発明による面
板欠陥データのズーミングマツプ表示を適用す
る、セル単位の欠陥データを構成するための面板
の走査方法とサンプリング方法の説明図である。 １……面板、２，２′……面板の基準線、３，
３′……半径線、４……デイスプレイ装置、
ACBD，acbd……ズーミング長方形、ｒ，θ…
…極座標、Ｅ……セル、Δr，Δl……セルの辺長、
Ｓ……レーザスポツト、〜……フローチヤー
トの番号。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 面板の表面をレーザスポツトにより走査して
サンプリングし、該表面をほぼ正方形の一定面積
に分割したセル単位で表された表面欠陥を表す欠
陥データを採取する、デイスプレイ装置を備えた
板面欠陥データ処理装置において、前記欠陥デー
タに対して前記表面のズーミング表示すべき部分
が指定されたときに１辺を前記面板に設けられて
いる基準線に平行になる長方形を演算して求め、
かつ前記１辺を前記デイスプレイ装置の横軸の方
向とするとともに、前記長方形を画面上許される
範囲に拡大し、前記長方形内の欠陥データを前記
デイスプレイ装置にズーミングしてマツプ表示す
ることを特徴とする、面板欠陥データのズーミン
グマツプ表示方式。 ２ 前記板面欠データ処理装置により、前記長方
形の縦および横方向の長さを前記デイスプレイ装
置の画面の縦および横方向の長さにそれぞれ比較
して、前記拡大すべきスケーリングの係数を演算
して拡大を行う、特許請求の範囲第１項記載の面
板欠陥データのズーミングマツプ表示方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28799786A JPS63141332A (ja) | 1986-12-03 | 1986-12-03 | 面板欠陥デ−タのズ−ミングマツプ表示方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28799786A JPS63141332A (ja) | 1986-12-03 | 1986-12-03 | 面板欠陥デ−タのズ−ミングマツプ表示方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63141332A JPS63141332A (ja) | 1988-06-13 |
| JPH035061B2 true JPH035061B2 (ja) | 1991-01-24 |
Family
ID=17724465
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28799786A Granted JPS63141332A (ja) | 1986-12-03 | 1986-12-03 | 面板欠陥デ−タのズ−ミングマツプ表示方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63141332A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7070153B2 (ja) * | 2018-06-27 | 2022-05-18 | オムロン株式会社 | 外観検査システム、外観検査結果の表示方法、および、外観検査結果の表示プログラム |
-
1986
- 1986-12-03 JP JP28799786A patent/JPS63141332A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63141332A (ja) | 1988-06-13 |
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| S533 | Written request for registration of change of name |
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| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
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| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
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| R350 | Written notification of registration of transfer |
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|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
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