JPH0350974U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例を示す平断面図、第２
図は第１図に示す−断面に沿う正断面図、第
３図、第４図は他の実施例を示す正断面図である
。 １，１′……固定部、１１，１１′，１２，１
２′……Ｘ方向磁石、１３，１３′，１４，１４
′……Ｙ方向磁石、１５，１５′……空気ガイド
、１６……中央孔、２……支柱、３……可動部、
３１……取付け穴、３２……溝部、３３……埋め
込み部、３４……連結部、４１……Ｘ軸用コイル
、４２……Ｙ軸用コイル、４３……凹状部、５，
５′……噴出口部、５１，５１′……噴気孔、５
２，５２′……空気溜り、５３……空隙保護用ピ
ース、６……ダンパープレート、７，７′……ダ
ンパー磁石、７１……コ字状ヨーク、７２……磁
性流体。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ ４隅に設けられた支柱によつて所定の間隙を
   あけて固定されたほぼ正方形の二つの固定部と、
   前記二つの固定部の各４辺にそつて固定され、互
   いに磁気空隙を介して対向するように配置された
   磁気回路体を構成するＸ方向磁石およびＹ方向磁
   石とを備え、前記Ｘ方向磁石の磁束と鎖交するＸ
   軸用コイルと、前記Ｙ方向磁石の磁束と鎖交する
   Ｙ軸用コイルとを互いに直交させて固定し、前記
   磁気空隙の中に配置された可動部を備えた平面形
   リニアモータにおいて、 前記固定部と前記可動部との間の空隙に多数の
   噴気孔を備えた非磁性材料からなる静圧空気軸受
   を設けたことを特徴とする平面形リニアモータ。 ２ 前記Ｘ軸用コイルと前記Ｙ軸用コイルとの交
   差部で一方のコイルを凹状に形成し、前記凹状部
   に他方のコイルを埋設した請求項１記載の平面形
   リニアモータ。 ３ 前記静圧空気軸受の噴出口部が多孔質材によ
   り構成された請求項１または２記載の平面形リニ
   アモータ。 ４ 前記可動部を前記Ｘ軸用コイルと前記Ｙ軸用
   コイルとともに十字状に一体成形し、前記可動部
   の４か所の端部を前記固定部の外側に突出させ、
   前記４か所の端部の全部またはいずれかに負荷を
   取り付ける取付け部を設けた請求項１から３まで
   のいずれか１項に記載の平面形リニアモータ。 ５ 前記十字状の可動部の中央部に直立して固定
   部の外部に突出させた棒状の連結部と、 前記連結部に固定され、可動部に平行に設けら
   れた磁性材料からなるダンパープレートと、 前記ダンパープレートを挟むように両側に異極
   どうしを空隙を介して対向させ、コ字状ヨークを
   介して前記固定部に固定したダンパー磁石とを設
   けた請求項１から４までのいずれか１項に記載の
   平面形リニアモータ。