JPH0351859U - - Google Patents
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- JPH0351859U JPH0351859U JP11312289U JP11312289U JPH0351859U JP H0351859 U JPH0351859 U JP H0351859U JP 11312289 U JP11312289 U JP 11312289U JP 11312289 U JP11312289 U JP 11312289U JP H0351859 U JPH0351859 U JP H0351859U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleavage
- semiconductor
- housed
- chamber
- front chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000003776 cleavage reaction Methods 0.000 claims description 6
- 230000007017 scission Effects 0.000 claims description 6
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Description
第１図は本考案に係る半導体製造装置の概略断
面図、第２図は変形例を示す概略断面図である。
第３図は劈開性の半導体ウエーハの斜視図、第４
図は劈開装置の概略図、第５図は蒸着装置の概略
図、第６図は反射防止膜を披着した半導体素子の
断面図である。 １……半導体ウエーハ、２……素子区画、４…
…半導体素子、４ａ……劈開面、１０……劈開装
置、２０……蒸着装置、３１……前室、３２……
後室。
面図、第２図は変形例を示す概略断面図である。
第３図は劈開性の半導体ウエーハの斜視図、第４
図は劈開装置の概略図、第５図は蒸着装置の概略
図、第６図は反射防止膜を披着した半導体素子の
断面図である。 １……半導体ウエーハ、２……素子区画、４…
…半導体素子、４ａ……劈開面、１０……劈開装
置、２０……蒸着装置、３１……前室、３２……
後室。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 劈開性の半導体ウエーハを素子区画ごとの半導
体素子に分割する劈開装置を、真空の前室内に収
納し、 上記劈開装置で分割された半導体素子の劈開面
に、反射防止膜を披着する蒸着装置を、非酸化性
雰囲気の後室に連設又は収納し、 上記前室と後室とを連設したことを特徴とする
半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11312289U JPH0351859U (ja) | 1989-09-26 | 1989-09-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11312289U JPH0351859U (ja) | 1989-09-26 | 1989-09-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0351859U true JPH0351859U (ja) | 1991-05-20 |
Family
ID=31661547
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11312289U Pending JPH0351859U (ja) | 1989-09-26 | 1989-09-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0351859U (ja) |
-
1989
- 1989-09-26 JP JP11312289U patent/JPH0351859U/ja active Pending
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