JPH03521B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、制御行程と作動流体流量を制御・
調節することができる電磁油圧比例弁に係り、入
力した電気信号に比例して作動する比例ソレノイ
ドのプランジヤーがシート弁を有する調節スプー
ルを開閉し、被制御側の制御弁の開度をフイード
バツクピンが調節バネを介してシート弁に伝え
て、作動流体の一定の流出入を行なつて、制御弁
を電気信号に比例した大きさで開閉させる構成と
なし、作動流体圧力に影響されず、入力した電気
信号に比例して応答性よく行程制御と作動流体流
量を制御・調節でき、油圧振動緩和のための油圧
調節回路を必要としない電磁油圧比例弁に関す
る。

従来の技術 一般に、行程調節を行なうことができるサーボ
バルブや制御弁は、制御スプールの行程調節には
有益であるが、制御を行なうシート弁の行程調節
には不適であることがよく知られている。

特に、リニア式あるいは回動式作動流体モータ
ーを、迅速に柔軟に制御するためには、大きな寸
法のシート弁を複数段に配設して、これらを制御
するバルブユニツトと組合せることが必要であ
り、この回路によつて、負荷にかかわらず行程調
節あるいは流量調節が行なわれ、作動流体の制
御、調節が可能となる。

従来、かかる制御、調節を行なうには概して複
雑で高価な回路を使用しなければならなかつた。

従来の電磁比例流量制御弁として、西ドイツ公
開明細書（DE−OS2835771）に、公知の多方向
調節弁をパイロツト弁とするシート弁用のパイロ
ツトシステムが提案されている。

これは、シート弁ピストンの開放行程は、その
間に配置されたパイロツトシリンダのタペツトの
行程により、該シート弁ピストン中のシート弁を
通じて同行程で制御され、パイロツトシリンダピ
ストンとパイロツト切換弁の多方向調節弁との間
に、比例ソレノイドとともに配置された制御バネ
により、比例ソレノイドの電気信号に応じて決定
される。

また、特開昭53−32280号公報に、主スプール
により開度が変化する構成の流量方向制御弁部の
両側部に、主スプールに主ばねを介してパイロツ
トスプールを同軸配置する電磁減圧弁部を設け、
さらに主スプールとパイロツトスプールとの各対
向端面にフイードバツクばねを前記の主ばねに同
軸・直列配置し、一方の電磁減圧弁の圧力を他方
側のフイードバツクばねを介して当該電磁減圧弁
にフイードバツクさせ、電磁弁への電気入力に比
例した主スプールの位置制御を行なう構成が示さ
れている。

発明が解決しようとする課題 上記前者の電磁比例流量制御弁はコストの嵩む
３段油圧制御装置であり、比例ソレノイドを有す
る多方向調節弁からパイロツトシリンダを通して
シート弁に働き、所要加圧媒体流のための開放行
程が制御される。

この場合、閉鎖中央位置を有する多方向調節弁
は大きな調節工程を必要とし、このため一方では
電気信号を油圧信号に迅速に変換するのに妨げと
なり、他方において振動を惹起する問題があつ
た。

また、上記フイードバツクピばね有する後者の
構成において、パイロツト室には圧力制御部にて
減圧されたバイロツト油圧が供給されている。こ
のため、元圧が100気圧であつても、パイロツト
圧力は10〜20気圧程度であり、応答性が遅い問題
があり、また、パイロツトスプールで減圧するた
め、油中のごみ等でスプールの作動が停止する恐
れがあるなど、信頼性に欠ける問題があつた。

この発明は、油圧振動緩和のための油圧調節回
路が不要で簡単な構成で、作動流体圧力に影響さ
れずに、入力した電気信号に比例して、応答性よ
く行程制御と作動流体流量を制御・調節すること
ができる電磁油圧比例弁の提供を目的としてい
る。

課題を解決するための手段 この発明は、第１図の符号を用いて説明する
と、 弁ボデイ２１の端面に固定されるエンドカバー
２１ａの中心孔内に挿入固定されるスプールハウ
ジング４内に摺動自在に挿入された調節スプール
３の一方端に比例ソレノイド１のプランジヤー２
が当接し、 かつ他端のシート弁９側にはスプールハウジン
グ４の内奥端とエンドカバー２１ａの中心孔の内
奥端とで形成した調節バネ室１５内の調節バネ１
０が当接して該プランジヤー２方向への反力が付
与され、 エンドカバー２１ａの内奥端とボデイ２１の弁
孔とで形成した制御バネ室２３内の制御バネ１８
によりポートを閉塞するシート弁ピストンの制御
弁１９が、比例ソレノイド１、調節スプール３に
同軸配置され、 かつ制御弁１９の内端に当接するフイードバツ
クピン（以下FBピンという）１７が前記調節バ
ネ１０を介して調節スプール３にプランジヤー２
方向への反力を与える構成からなり、 調節バネ室１５と制御バネ室２３とが調節バネ
室１５の周囲壁に設けた複数個の孔１４により連
通し、調節スプール３のプランジヤー２側の端面
に与圧して調節スプール３を圧力平衡させるため
の前面室１２を比例ソレノイド１の内側端面とス
プールハウジング４の外方端面間に設け、前面室
１２と制御バネ室２３とを連通する通路１３およ
び調節スプール３のシート弁９のシート部に達
し、同シート弁９の開放によりスプールハウジン
グ４の壁に設けた複数個の孔８を介して調節バネ
室１５と連通する通路７とを制御弁１９の制御用
作動流体の出入口Ｘ、Ｙとなし、 比例ソレノイド１のプランジヤー２の突出によ
り、シート弁９を開放し、さらに制御弁１９を開
放する行程と、制御弁１９の内端に当接したFB
ピン１７が制御弁１９の開度に応じて調節バネ１
０を圧してシート弁９を閉める行程を有し、比例
ソレノイド１への電気入力に応じて制御弁１９を
開閉させることを特徴とする電磁油圧比例弁であ
る。

また、この発明は上記構成と同様の構成におい
て、さらに制御バネ室３１からシート弁９を経て
Ｙポートへ制御用作動流体が流出する構成で、か
つFBピン２７と調節バネ１０との間に中間ピン
２９を補償シリンダー２４内に配設し、Ｘポート
から作動流体圧力を受けている制御バネ室３１
と、圧力のない作動流体が満されている環状室１
６、調節バネ室１５との間の行程伝達部材とし
て、軸方向の力を受けないよう構成し、FBピン
２７と中間ピン２９を介して、制御弁１９の開放
行程に応じて調節バネ１０を圧縮させることを特
徴とする。

すなわち、この発明は、第３図の符号を用いて
説明すると、 ボデイ２１の端面に固定されるエンドカバー２
１ａの中心孔内に挿入固定されるスプールハウジ
ング４内に摺動自在に挿入された調節スプール３
の一方端に比例ソレノイド１のプランジヤー２が
当接し、 かつ他端のシート弁９側にはスプールハウジン
グ４の内奥端とエンドカバー２１ａの中心孔の内
端とで形成した調節バネ室１５内の調節バネ１０
が当接して該プランジヤー２方向への反力が付与
され、エンドカバー２１ａの内奥端とボデイ２１
の弁孔とで形成した制御バネ室３１内の制御バネ
１８によりポートを閉塞するシート弁ピストンの
制御弁１９が、比例ソレノイド１、調節スプール
３に同軸配置され、 かつ制御弁１９の内奥端に当接するFBピン２
７がこれを保持する補償シリンダー２４内に収容
されてこれに係止した補償ピストン２５により前
記シリンダー２４内を摺動する中間ピン２９を介
して調節バネ１０に係止され、 調節スプール３にプランジヤー２方向への反力
を与え、前記ピストン２５の一方端面には制御バ
ネ室３１の内圧力が作用し、他端面には調節バネ
室１５の内圧力が中間ピン２９の貫通孔を通じて
作用し、調節バネ室１５と制御バネ室３１とが独
立し、ポートＸからの制御用作動流体の供給の際
にFBピン２７が流体圧力で調節バネ１０を圧縮
しない構成からなり、 調節スプール３のプランジヤー２側の端面に与
圧して調節スプール３を圧力平衡させるための前
面室１２を比例ソレノイド１の内側端面とスプー
ルハウジング４の外方端面間に設け、制御バネ室
３１への通路と、前記通路から分岐し調節スプー
ル３のシート弁９に達し、同シート弁９の開放に
より調節バネ室１５に連通する通路７とに制御弁
の制御用作動流体の入口ポートＸを接続し、調節
バネ室１５と複数個の孔１４で連通した環状室１
６と前記前面室１２とを通路、例えば通路１３で
連通しかつ環状室１６を作動流体の出口ポートＹ
に接続し、 比例ソレノイド１のプランジヤー２の突出によ
り、シート弁９を開放し、さらに制御弁１９を開
放する行程と、制御弁１９の内奥端に当接した
FBピン２７が制御弁１９の開度に応じて中間ピ
ン２９を介して調節バネ１０を圧縮してシート弁
９を閉める行程を有し、比例ソレノイド１への電
気入力に応じて制御弁１９を開閉させることを特
徴とする電磁油圧比例弁である。

作 用 この発明の電磁油圧比例弁は制御バネの押圧力
にて作動ポートＡ，Ｂを閉塞しているシート弁ピ
ストンあるいはスプールからなる制御弁を、比例
ソレノイドのプランジヤーの直線運動で制御する
ため、制御弁と比例ソレノイドを直列配置し、両
者間にシート弁を有する調節スプールと調節バネ
にて押圧され制御弁の端面に当接するFBピンを
直列配置してあり、調節スプールの一方端がプラ
ンジヤー先端に当接し、他端が調節バネにて押圧
されて制御用作動流体の流出入を調節するための
シート部を閉塞するシート弁となつており、かつ
調節スプールの両端には同等の作動流体圧力を作
用させ、シート弁を押圧する調節バネは他方、
FBピンを制御弁端面に当接させて、作動ポート
が開放されるとその力を調節バネを介してシート
弁に伝える構成からなる。

すなわち、この発明による電磁油圧比例弁は、
電気信号が変換されてプランジヤーよりシート弁
を有する調節スプールに上方への力として伝える
目標値ユニツトとしての比例ソレノイドと、制御
弁の開放行程において、FBピンを介して調節バ
ネに作用してシート弁を有する調節スプールを、
相対して作用するプランジヤーの力に抗して下方
向へ伝える実測値ユニツトとしての制御弁とで構
成し、目標値と実測値との較正を、調節スプール
のシート弁が電気信号に比例して開閉することに
よつて行なうことを特徴としている。

この発明は、シート弁またはスプール、その他
の装置の行程制御、調節を、機械的に直列、同軸
に配列した上記シート弁等の動き、すなわち行程
を力に変換して、比例ソレノイドのプランジヤー
による力に対して直線方向に相対するFBピンの
帰還力として、目標値と実測値とを比較して制
御・調節を行なうための調節スプールに、作用さ
せることにより作動流体の流出入を行ない、作動
流体圧力を調節するものである。

この発明の電磁油圧比例弁は、前記の構成によ
り、長いシリンダ状の振動緩衝用接触面を備えた
調節スプールが、調節弁としてのシート弁と共
に、作動時にその間にある作動流体と接触してい
るため振動緩衝可能であり、油圧振動緩和のため
の油圧調節回路が不要となる。また、シート弁を
有する調節スプールは、その両端に同等の作動流
体圧力を作用させてあり、軸方向には比例ソレノ
イドからの入力とFBピンの帰還力が作用するだ
けであり、制御弁の開放度調節に際して、FBピ
ンを介して目標値／実測値の微調節が可能であ
り、電気信号から油圧信号へのすぐれた変換が可
能で、応答性にすぐれるという利点がある。

図面に基づく発明の開示 以下にこの発明による電磁油圧比例弁の構成を
図面に基づいて詳述する。

構成 １ 第１図に示す如く、比例ソレノイド１と調節ス
プール３及び調節バネ１０を内蔵したエンドカバ
ー２１ａと制御弁１９を挿嵌し各ポートを設けた
ボデイ２１とを同軸に配設している。

調節スプール３はエンドカバー２１ａの中央部
孔に挿入したスプールハウジング４内に嵌入さ
れ、このハウジング４は直角方向から当接する弾
性体のプラグ５と調節ネジ６によつて、エンドカ
バー２１ａ内での位置決めがされるネジ締め構造
とされ、構造上の位置調節として利用される。

調節スプール３の下端部は、比例ソレノイド１
との間にある前面室１２に突出し、プランジヤー
２がこれに当接している。

また、調節スプール３の上端部はシート弁９に
構成され、スプールハウジング４の上端がシート
となり、その下部に小室が形成され作動流体の流
れる孔８が開設され、通路７に接続されている。

エンドカバー２１ａの上端部には、調節バネ室
１５が形成されて調節バネ１０が封入されシート
弁９の頂部に当接し、プランジヤー２方向への力
を調節スプール３に与えている。

また、調節バネ室１５の上端を貫通してFBピ
ン１７が嵌入され、その下端部は調節バネ１０が
ワツシヤー１１を介して当接し、常に一定長さが
調節バネ室１５外へ突出している。

さらに調節バネ室１５には作動流体が流れる孔
１４が穿設されており、制御バネ室と連通してい
る。

ここでは制御される制御弁１９にシート弁ピス
トンを用いており、ボデイ２１側の穴に嵌入さ
れ、エンドカバー２１ａにより封止されて制御バ
ネ１８を内蔵した制御バネ室２３が形成され、調
節スプール３とは同軸に配置されている。

また、制御弁１９はＡ，Ｂポートを常に閉塞す
るよう制御バネ１８が調節され、Ｐ，Ｔポートは
環状室２０に連結している。

なお、 Ｐは圧力ポート、 Ｔはタンクポート、 ＡとＢは作動ポート、 Ｘは制御流体入口ポート、 Ｙは制御流体出口ポートである。

FBピン１７は、調節バネ１０により一定長さ
だけ突出し、Ａ、Ｂポートを閉塞している制御弁
１９のバネ室側で当接している。

さらに、制御バネ室２３と前面室１２には通路
１３が接続される構成である。

次に、上述の構成からなるこの発明の電磁油圧
比例弁における各部の機能を説明する。

まず、入力する電気信号がない状態、すなわち
静止状態ではシート弁９と制御弁１９はそれぞれ
調節バネ１０と制御バネ１８により各シートに密
着して作動流体の移動がない。

すなわち、Ｘポートより絞り２２を通り、通路
１３から前面室１２と制御バネ室２３に、例えば
Ｐポート内の作動流体と同圧力の制御用作動流体
が流入し、調節バネ室１５内にも作動流体が流入
している。

従つて、調節スプール３は前面室１２と調節バ
ネ室１５に同圧の作動流体が作用して平衡してシ
ート弁９が閉鎖状態であり、制御弁１９は、制御
バネ室２３と環状室２０とに同圧の作動流体が作
用して、ＡまたはＢポートに作用する作動流体の
圧力に抗して、この制御弁１９を閉鎖状態に保持
することができる。

次に、比例ソレノイド１に電気信号が入力さ
れ、プランジヤー２の突出力がこれに相対する調
節バネ１０力より大きくなり、調節スプール３を
上方へ移動させると、シート弁９が開き、調節バ
ネ室１５内の作動流体が自身の圧力で流出し、孔
８、通路７を通つてＹポートへ流出し始める。

ここで、例えばＸポートからの通路１３内に絞
り２２を設けることによつて、制御バネ室２３内
に流入する作動流体よりも、孔１４、調節バネ室
１５、シート弁９、孔８を通つて、Ｙポートへ流
出する作動流体量が多くなるように設定する。

従つて、制御バネ室２３内にある制御弁１９の
閉鎖力を有する作動流体圧力が、環状室２０及び
ＡまたはＢポート内に作用する作動用の作動流体
圧力よりも低くなり、制御弁１９が開放される。

この際に、FBピン１７は制御弁１９に当接し
ているため、その開きに応じてFBピン１７が調
節バネ１０を圧縮し、この調節バネ１０力がこれ
に相対するプランジヤー２の突出力よりも大きく
なるまで制御弁１９は開く。

すなわち、FBピン１７が制御弁１９の開度を
調節バネ１０に伝えて、これを圧縮かつフイード
バツクする行程が伴なうもので、シート弁９は調
節バネ１０がFBピンで圧縮されることにより、
プランジヤー２の突出力よりも大きくなることに
より閉鎖し、制御バネ室２３内の作動流体が通路
７よりＹポートへ引き続いて流出することが中止
される。

従つて、シート弁９の閉鎖により制御バネ室２
３内の圧力の減少が阻止されるため、制御弁１９
が作動ポートＡ，Ｂを開く行程も停止する。

以上の一連の行程によつて、この発明の電磁油
圧比例弁は、入力した電気信号に比例して作動す
る比例ソレノイド１のプランジヤー２が、シート
弁９を有する調節スプール３を相応に開閉し、制
御弁１９の開度をFBピン１７が調節バネ１０を
介してシート弁９に伝えて、作動流体の一定の流
出入を行なつて、制御弁１９を電気信号に比例し
た大きさで開閉させてことが可能になつている。

以上、シート弁状の制御弁１９を比例制御する
構成の第１図に基づいてこの発明を詳述したが、
その構造は図示したものに限られるものでなく、
上記の一連の行程からなる機能を有する電磁油圧
比例弁であればよい。また、作動流体が圧油の場
合はもちろんのこと、圧油の替わりに水であつて
も同等の作用と機能を有する。

例えば、調節スプール３がその軸方向に中心部
を穿孔され、調節バネ室１５と前面室１２とが連
通し圧力が平衡した構成とすると、Ｘポートから
前面室１２への通路１３が不用になる。

また、プランジヤー２と調節スプール３との間
に弾性材の中間部材を配設するのもよい。

また、FBピン１７を直列の２つの部材から構
成し、その一方が軸方向の長さを調節可能となし
たもの、例えば一方を他方へ螺着させる構成でも
よい。また、FBピン１７を省略して調節バネ１
０を直接、制御弁１９に当接する構成とするのも
よい。

また、通路の絞り２２は、複数を同軸に配列し
た構成もよく、本体通路内のほか、制御弁、調節
スプール等に設けるのもよい。

構成 ２ 次に、シート弁９を流出入する制御用の作動流
体の方向であるが、第２図に示す如く、上述の電
磁油圧比例弁と同じ構成において、作動流体の流
入側のＸポートを通路７、孔８よりシート弁９に
至る経路とし、流出側のＹポートは調節バネ室１
５、孔１４、制御バネ室２３、通路１３に至る経
路側におく構成が利用できる。この場合、上述し
た第１図の場合とは逆方向に制御用作動流体が流
れるが、電磁油圧比例弁の作動行程、機能は全く
同じである。

すなわち、調節スプール３のシート弁９の開閉
により制御弁１９が、比例ソレノイド１に入力さ
れた電気信号に比例した大きさで開閉する。

構成 ３ 第３図には、上記の制御バネ室３１からシート
弁９を経てＹポートへ制御用作動流体が流出する
構成で、かつFBピン２７と調節バネ１０との間
に中間ピン２９を補償シリンダー２４内に配設し
た構成を示している。以下にその構成を詳述す
る。

Ｘポートより絞り２２を経て、制御バネ室３１
と、通路７より孔８、シート弁９へと両方に連通
し、調節バネ室１５は孔１４より環状室１６を経
てＹポートに連通し、環状室１６は通路１３で前
面室１２と連通している。

次に中間ピン２９は、FBピン２７と調節バネ
１０との間に装着されており、制御バネ室３１と
連通した補償シリンダー２４内に挿入されてFB
ピン２７下端に接続され、胴部にセーフテイキヤ
ツチ２６で補償ピストン２５が装着されてシリン
ダー内２４を摺動する。

また、中間ピン２９は中心部が穿孔されて孔路
３０が設けられ、調節バネ室１５の作動流体が補
償ピストン２５の上側、環状室２８に流入し、ま
たピストン２５下側は制御バネ室３１の作動流体
が流入している。

従つて、中間ピン２９は、Ｘポートから作動流
体圧力を受けている制御バネ室３１と、圧力のな
い作動流体が満されている環状室１６、調節バネ
室１５との間の行程伝達部材として、軸方向の力
を受けないよう構成された作動流体の調節ユニツ
トである。

以上の構成からなる電磁油圧比例弁も上述した
第１図の構成と同じ作動を行なう。

すなわち、静止時は、前面室１２と調節バネ室
１５と圧力平衡し、調節バネ１０によりシート弁
９は閉鎖され、一方、制御バネ室３１にはＸポー
トよりの作動流体が流入し、ＰまたはＴポート及
びＡまたはＢポートに作用している作動流体の圧
力に抗して制御バネ１８により制御弁１９は閉鎖
されている。

次に、比例ソレノイド１に入力された電気信号
に比例してプランジヤー２が調節スプール３を押
してシート弁９が開くと、制御バネ室３１の作動
流体が通路７、孔８を通り調節バネ室１５に流出
し、引き続いて環状室１６からＹポートへ流出す
る。

前記の絞り２２を設けたことにより、Ｘポート
からの流出量よりＹポートへの流出量が多くな
り、制御バネ室３１内の圧力が低下する。

従つて、制御弁１９は制御バネ室３１内の圧力
低下に応じて開く。FBピン２７は制御弁１９の
開きに従い、中間ピン２９とワツシヤー１１を介
して調節バネ１０を圧縮し始め、バネ力がプラン
ジヤー２の突出力よりも大きくなつたところでシ
ート弁９は閉鎖される。

よつて、制御用の作動流体のＹポートへの流出
が中止され、制御バネ室３１内の減圧が阻止さ
れ、制御弁１９の開き行程が停止する。

以上の一連の行程により、比例ソレノイド１に
入力された電気信号に従つて比例的に開閉される
シート弁９が、目標値としての比例ソレノイド１
の力と、実測値としての制御弁１９の力とを比較
制御することにより、比例ソレノイド１の入力に
比例した制御弁１９の開放行程が得られる。

補償シリンダー２４を配して、中間ピン２９に
周設した補償ピストン２５の上下端に作動流体圧
力を作用させることにより、調節バネ室１５との
間の行程伝達部材として、軸方向の力を受けない
よう構成するものであり、また、後述する種々の
実施例の構成において、各作動ポートの作動流体
圧力を作用させ、FBピン２７に対する圧力補償
を行うことができる。

また、補償シリンダー２４は、スリーブとデイ
スクとから構成することもでき、例えばこれらの
部材は調節バネ１０に対して、圧縮力のない状態
で互いに接して保持される構成である。

さらに、補償ピストン２５を別個の部材とした
が、セーフテイキヤツチ２６と中間ピン２９、あ
るいはFBピン２７と一体に一つの部材で構成す
ることができる。

実施例 以下に、この発明による電磁油圧比例弁の適用
例を説明する。

実施例 １ 第１図〜第３図には、この発明の電磁油圧比例
弁で、シート弁状の制御弁１９の開閉を行なう場
合を示したが、制御対象が制御スプールであつて
も全く同等の機能を持たせることができる。

例えば、第４図に示す如く、方向切換弁として
の制御スプール３３の両端にこの発明による電磁
油圧比例弁を作動させることもできる。

詳しく説明すると、制御スプール３３の両端部
に配置する一対の電磁油圧比例弁は第１図に基づ
いて上述した構成と同等であり、制御スプール３
３は有孔円板のバネ支承部３２を介して制御バネ
１８に当接して中立位置決めされる。

すなわち、制御スプール３３は静止時にＡ及び
Ｂポートを閉鎖し、Ｐポートからの作動流体は通
路３６、絞り３５、通路３４を経て制御バネ室２
３へ流入し、同様に制御スプール３３の他端側に
も、通路３６、絞り３７、通路３８を通つて制御
バネ室２３に流入して制御スプール３３の両端圧
力が平衡しており、調節スプール３もシート弁９
部を閉鎖している。

ここで、下方の比例ソレノイド１に入力した信
号に応じて調節スプール３が押されてシート弁９
を開くことにより、Ｔポートへ流出する作動流体
量がＰートから絞り３５を通つて流入する量より
多くなり、制御バネ室２３内圧力が低下して、制
御スプール３３が図面において下方に移動し、圧
力ポートのＰポートより作動ポートのＡポートへ
作動流体が流入する。

次いでFBピン１７が制御スプール３３の移動
量を測定して移動し、調節スプール３を押し戻し
て比例ソレノイド１より調節スプール３を押す力
より大となり、シート弁９を閉鎖する。

従つて、比例ソレノイド１に入力される電気信
号に応じて制御スプール３３の工程を制御するこ
とができる。

実施例 ２ 第５図に示した電磁油圧比例弁は、例えば、リ
ニアまたは回転式作動流体モーターを入力される
電気信号の大きさに比例した作動流体の流量調節
を行ない運動方向を制御するのに適している。

すなわち、第５図の電磁油圧比例弁は基本的に
は上述した第３図の補償シリンダー２４と中間ピ
ン２９とを有するこの発明の電磁油圧比例弁であ
り、ＢポートからＴポートを経て作動流体モータ
ーから流出する作動流体の回路中に設けた制御弁
１９の他に、ＰポートからＡポートを経て作動流
体モーターへと作動流体が流入する回路中に第２
制御弁４３を設け、制御バネ室３１とシート弁９
部とに流入する作動流体は、第２制御弁４３を貫
通する孔の絞り４４と第２制御バネ室４８を通つ
て導入される構成である。その動作は以下の通り
である。

まず、静止状態では、Ｐポートの作動流体は、
第２制御弁４３の環状室４５より、バルブ４３を
貫通する孔に内設した絞り４４を通つて第２制御
バネ室４８に流入し、環状室４５とＡポート内の
作動流体圧力と平衡し、上記バネ室４８のバネ５
５力により第２制御弁４３は閉鎖されている。

さらに、Ｐポートの作動流体は、上記バネ室４
８より、ボデイ２１に付設したエンドカバー５７
内に設けた通路４６を通り、調節バネ室３１に流
入し、制御弁１９の環状室２０とＢポート内の作
動流体に抗して制御バネ１８のバネ力と共に、制
御弁１９を閉鎖している。

また、通路４６より分岐した通路７を通つて孔
８よりシート弁９にも作動流体が達しており、前
記した如くシート弁９への作動流体は調節スプー
ル３が押されてシート弁が開かなければＴポート
に流出できず、調節バネ１０力によりシート弁９
が閉鎖されている。

従つて、接続される作動流体モーターは作動流
体の流出入がないため固定保持される。

次に、接続した作動流体モーターを所定の運動
方向に制御するには、比例ソレノイド１に必要な
電気信号を入力することにより、調節スプール３
を摺動させてシート弁９を開き、増幅シート弁バ
ネ室１５、環状室１６、通路４７を通つてＴポー
トへ流出する作動流体量が、Ｐポートから第２制
御バネ室４８を通つてシート弁９へ達する作動流
体量よりも多くすると、すなわち、絞り４４を設
けて流入量を制限することにより、第２制御バネ
室４８と制御バネ室３１内の作動流体圧力が低下
し、Ｐポートの環状室４５内の圧力が相対的に高
くなり第２制御弁４３が開く。

続いて、制御バネ室３１内の圧力低下に伴ない
前記した如く、比例ソレノイド１に入力した電気
信号に比例して制御弁１９が開く。

ついで、ＰポートからＡポートへ流入した作動
流体は接続した作動流体モーターを作動させ、該
モーターよりの作動流体はＢポートから制御弁１
９を経てＴポートへ流出し、制御弁１９はこれに
当接するFBピン２７が中間ピン２９を介して調
節バネ１０を圧して電気信号の入力に比例した流
量調節を行なつて閉鎖される。

従つて、作動流体モーターは、電気信号の入力
の大きさに比例して作動速度が制御されることに
なる。もちろん、上記した作動方向とは逆の方向
に作動流体モーターを作動させるには、さらにも
う１系統のこの電磁油圧比例弁が必要なことは言
うまでもないことである。

実施例 ３ 実施例２の電磁油圧比例弁に、さらに大量の作
動流体を扱うための増幅シート弁５３を制御弁１
９の回路内に組入れた電磁油圧比例弁を、第６図
に基づいて説明する。

すなわち、この電磁油圧比例弁は基本的には第
５図に示したものと同等構成であり、第２制御弁
４３を貫通して第２制御バネ室４８より通路４６
を経て制御バネ室３１と、同様に通路７を通つて
シート弁９へ達して主制御調節を行なう作動流体
回路において、第２制御バネ室４８への作動流体
を受けて通路７へ達する回路間に設けた予備制御
のための増幅シート弁５３を配置したことを特徴
としている。

増幅シート弁５３は、ボデイ２１に付設するカ
バー５０内に設けられた孔内を摺動可能に嵌入さ
れ、孔内のバネ５５によりバルブシート５６に当
接するよう構成され、バルブシート５６はカバー
５０のエンドカバー５７への装着時に通路４６の
支持部に周配置される。

また、増幅シート弁５３を貫通し絞り５２を内
蔵する孔は、通路４６から増幅シート弁バネ５
４、通路７に連通しており、Ｐポートより絞り４
４を経て第２制御バネ室４８へ流入する作動流体
が、増幅シート弁５３を経てシート弁９に達する
よう構成されている。さらに、増幅シート弁５３
の環状室５１は通路４９を経てＴポートに連通し
ている。

次に、この電磁油圧比例弁の機能を説明する
と、まず、静止時には、増幅シート弁５３は通路
４６内の圧力に抗してバネ室５４の圧力とバネ５
５力とで閉鎖される。

また、前記した如く、シート弁９への作動流体
が調節スプール３を押し、シート弁９を開かなけ
ればＴポートへ流出できないため、制御弁１９、
第２制御弁４３、並びに増幅シート弁５３は全て
閉鎖される。すなわち、接続されるモーターは作
動流体の流入出がなく現在位置で固定保持され
る。

ついで、比例ソレノイド１に所定の電気信号を
入力すると、入力に比例して調節スプール３のシ
ート弁９が開き、増幅シート弁バネ室５４内の作
動流体は通路７を通つてＴポートへ流出し、増幅
シート弁５３のバネ室５４より流入する作動流体
は、第２制御バネ室４８より絞り５２を経て流入
するため上記の流出量より少なく、その結果バネ
５４内の圧力が低下して増幅シート弁５３が開
く。

増幅シート弁５３が開くことにより、第２制御
バネ室４８内の作動流体が、環状室５１より通路
４９を通つてＴポートへ流出し、続いてＰポート
より絞り４４を経て上記バネ室４８へ作動流体が
流入するが、Ｔポートへの流出量が多く第２制御
バネ室４８室内圧力が低下して第２制御弁４３が
開く。

また、増幅シート弁５３が開くことにより、制
御バネ室３１の作動流体が通路４６、環状室５
１、通路４９を経てＴポートへ流出し、前記した
如く、バネ室３１内の圧力が低下し、比例ソレノ
イド１に入力された電気信号に比例して制御弁１
９が開く。

このとき、FBピン２７は制御弁１９の開度に
応じて調節バネ１０を圧縮してプランジヤー２の
力に対抗し、調節スプール３のシート弁９を閉鎖
する。

すなわち、増幅シート弁５３系からの作動流体
の流出が防止されて同バルブ５３が閉鎖され、続
いて制御弁１９系からの流出も防止されて第２制
御弁４３、制御弁１９が閉鎖される。上記の行程
によつて、制御弁１９は電気信号に比例してわず
かな開度が制御維持される。

従つて、作動流体はまず第２制御弁４３が開く
ことで、ＰポートからＡポートに入りこれに接続
される作動流体モーターに達し、モーターよりＢ
ポートを経てＴポートに流出するが、ＢからＴポ
ートの流量は比例ソレノイド１に入力された電気
信号に比例して開く制御弁１９により制御され、
作動流体モーターは入力信号の大きさに比例して
作動速度が制御される。

また、上述の作動方向と逆の方向に作動流体モ
ーターを作動させるにはもう一系統の上記の電磁
油圧比例弁が必要となることは当然である。

実施例 ４ 次に説明するこの発明の電磁油圧比例弁の応用
例は、作動流体モーターよりのＢポートからＴポ
ートに連通する通路にシート弁状の制御弁１９を
設置することは上述してきた電磁油圧比例弁と同
等であり、さらにＢポートのからＴポートの通路
に補助シート弁３９を設け、その補助バルブバネ
室４０は第２制御バネ４８に直列に配置され、制
御弁１９における作動流体の流量測定を、静止時
での作動流体の消費を伴なわずに行なわせ、作動
流体モーターを制御する構成の電磁油圧比例弁で
ある。

すなわち、第７図に示す電磁油圧比例弁は基本
的には、第５図に示した電磁油圧比例弁であり、
制御バネ室３１が制御弁１９の環状室２０と制御
弁１９自体に設けた絞り４４を有する通孔とで連
通する以外は密閉されていること、さらに上記環
状室２０はB1通路に連通し、これとＴポートの
間に補助シート弁３９が形成されており、Ｂポー
トとＴポートの間にはB1通路を介して制御弁１
９と補助シート弁３９とが設けられたことが異な
る。

また、Ｐポートからの作動流体は絞り４４を通
して通路５９より通路７を経て調節スプール３の
シート弁９に達するが、同様に通路７より補助バ
ルブバネ室３１にも流入し、補助シート弁のバネ
５５と共に同ハルブ３９の閉鎖力として働く。

制御弁１９は、その制御バネ室３１が密閉され
て、バルブ１９本体に穿孔された通路より作動流
体が流出入可能に構成されていることから、Ｂポ
ート内または環状室２０内の圧力が制御バネ１８
の閉鎖力より高い場合に開放される。もちろん、
B1通路と制御バネ室３１とをボデイ２１に設け
た通路で連通させてもよい。

すなわち、作動流体モーターよりの作動流体の
流量に従つて制御弁１９は開放される。この際、
制御弁１９の開度はFBピン２７により測定され
て、中間ピン２９を介して調節バネ１０を圧縮
し、比例ソレノイド１に入力された信号に比例し
て突出するプランジヤー２の力に対抗し、調節ス
プール３を押してシート弁９の閉鎖力として働
く。

次に、比例ソレノイド１に所定の電気信号を入
力すると、調節スプール３が押されてシート弁９
が開き、補助バルブバネ室４０内の作動流体は孔
１４、環状室１６、通路４７を通つてＴポートへ
流出し、Ｐートより絞り４４、第２制御バネ室４
８、通路５９、通路７を経て流入する作動流体
は、絞り４４により、Ｔポートへの流出量より少
ないため、第２制御バネ室４８と補助バルブバネ
室４０とにおけるバルブの閉鎖力として働く作動
流体圧力が低下する。

その結果、第２制御弁４３は開放されてＰポー
トとＡポートが連通し、作動流体は接続されるモ
ーターに流入する。

また、補助シート弁３９も同バルブバネ室４０
の圧力低下で開き、これにより制御バネ室３１内
の圧力がB1通路よりＴポートに開放され、Ｂ通
路に作用する作動流体圧力より低下するためＢポ
ートよりB1通路を経てＴポートへ流出する作動
流体を制御弁１９によつてその流量を測定するに
たる量だけ、Ｔポートへ流出させる機能を有して
いる。

すなわち、上記した如く制御弁１９の開度は
FBピン２７によつて測定されて調節スプール３
のシート弁９の閉鎖力として働き、シート弁９が
閉鎖されるとＴポートへ作動流体の流出が防止さ
れて反動的に補助シート弁３９が閉鎖方向に動か
されB1からＴポートへ流れる流量を絞り、B1す
なわち制御バネ室３１内の流体圧力が増すため、
制御弁１９は入力された電気信号の大きさに比例
した作動流体の流量を制御するにたる量だけＴポ
ートに流出させることができる。

従つて、この電磁油圧比例弁において、静止状
態で電気信号の入力がないとき、制御用の作動流
体は消費されず、作動用の作動流体も流出入しな
いためモーターは固定保持される。

この電磁油圧比例弁において、作動流体はＰポ
ートから、Ａポート、作動流体モーター、Ｂポー
トを経てＴポートに至り、入力される電気信号に
比例して制御される。

すなわち、作動流体モーターは、その作動負荷
の変動に関係なく作動流体に拘束されて、入力さ
れる電気信号に比例した作動速度で制御されるこ
とになる。

実施例 ５ 実施例４の電磁油圧比例弁に、前述した増幅シ
ート弁５３を設け、調節スプール３で発生させた
第２制御弁４３と補助シート弁３９を制御するた
めの作動流体による信号を増幅させるのもよい。

第８図に示す電磁油圧比例弁は、基本的に上述
した第７図の電磁油圧比例弁と同構造であり、増
幅シート弁５３を設けたことのみ異なる。

すなわち、通路５９とＴポートに接続される通
路４７との間に増幅シート弁５３を設け、増幅シ
ート弁バネ室５４は通路７に連通し、その閉鎖時
に、バルブ本体に穿孔された絞り５２を有する孔
によつてＰポートからの作動流体が調節スプール
３のシート弁９に達しており、増幅シート弁５３
の開放時に、第２制御バネ室４８と補助バルブバ
ネ室４０に連通する通路５９は、環状室５１より
Ｔポートに至る通路４７に接続される構成であ
る。

実施例 ６ 第９図に示す電磁油圧比例弁は、上記した第７
図と第８図の電磁油圧比例弁と同様に、作動流体
モーターからのＢポートとＴポートの間に制御弁
１９と補助シート弁３９を設けて、入力信号に比
例して作動流体モーターを制御するが、これまで
説明してきた制御バネ室３１と調節バネ室１５と
が独立して連通していない型式のこの発明の電磁
油圧比例弁に対し、前述した第２図に示す制御バ
ネ室２３と調節バネ室１５とが孔１４で直接連通
した型式の電磁油圧比例弁を用いた応用例であ
る。構成は以下の通りである。

ＰポートとＡポートの間に設けられる第２制御
弁４３は、前述したものと異なることはないが、
第２制御バネ室４８に流入させるバルブの閉鎖力
となるＰポートの作動流体は、Ｐポートより通路
６０を通過させ上記バネ室４８に連通している通
路５９へ絞り４４を介して導入するよう構成して
いる。

また、補助シート弁３９自体の構成もこれまで
の応用例と同等であるが、ＢポートとB1通路と
の間に設けられ、環状室４１はB1通路に連通し
ている。

制御弁１９は前述した第３図のものと同じ構成
であり、B1通路とＴポートの間に設けられたそ
の環状室２０はB1通路に連通している。

制御バネ室２３と調節バネ室１５とは同心円状
に配置され孔１４で連通しており、制御バネ室２
３は通路４７でＴポートに接続されており、調節
バネ室１５内の作動流体はＴポートへ流出可能で
ある。

この制御弁１９は、Ｔポート内の作動流体と同
圧力がバネ室２３に作用し、B1通路内の流体圧
力に抗して制御バネ１８の力で閉鎖されるが、Ｂ
ポートからB1通路、Ｔポートへの作動流体の流
れにおいて上記バネ１８力より高い圧力により、
通過する作動流体量に応じて制御弁１９は開かれ
ることになる。

もちろん、制御弁１９の開度は、FBピン１７
によつて調節バネ１０に伝達され、プランジヤー
２の突出力に対抗して調節スプール３のシート弁
９を閉鎖する力として働く。

従つて、以下に述べる一連の行程により、比例
ソレノイド１に入力された電気信号の大きさに比
例した作動流体の流量調節を行ない、接続する作
動流体モーターの制御を行なうことができる。

入力された電気信号に従い比例ソレノイド１
は、調節スプール３のシート弁９を開き、バルブ
バネ室４０，４８内の作動流体がＴポートへ流出
する。

これに続いて、通路６０、通路５９を通つてバ
ルブバネ室４０，４８に流入する作動流体は、Ｐ
ポートより絞り４４を経て流入し、流出量より少
なく流入するため、第２制御バネ室４８と補助シ
ート弁バネ室４０の圧力は低下する。

まず、第２制御弁４３が開きＰポートと作動流
体モーターに接続されるＡポートとが連通し、続
いて補助シート弁３９が開く。

この際、補助シート弁３９はＢポートよりB1
通路、Ｔポートへと作動流体を流出させるが、制
御弁１９がそのB1通路の作動流体の流入による
圧力増加のため開き、その開度に応じてFBピン
１７が入力信号に従つて突出するプランジヤー２
に対抗する力を調節バネ１０に伝達し、調節スプ
ール３のシート弁９を閉鎖させる。

このため、シート弁９の閉鎖に伴い作動流体の
流出が防止され、第２制御バネ室４８と補助バル
ブバネ室４０内の圧力が上昇して、両シート弁４
３，３９とが閉鎖方向に動かされ、作動流体の
B1通路への流入が減少して通路内圧力が減少す
る。

すなわち、補助シート弁３９は制御弁１９が入
力信号に比例した流量の作動流体を測定するにた
るだけの量をＢポートからＴポートへと流出させ
ることができるのである。

従つて、この電磁油圧比例弁の静止時に制御用
作動流体が消費されることがなく、作動用の作動
流体の流出入も防止され、作動流体モーターは固
定保持される。

以上の一連の作動は、第７図、第８図に示した
電磁油圧比例弁の場合とその機能は全く同等であ
る。よつて、接続される作動流体モーターは、そ
の作動負荷の変動に関係なく作動流体に拘束され
て、入力される電気信号に比例した作動速度で制
御される。

実施例 ７ 上述した第９図に示した電磁油圧比例弁に、増
幅シート弁５３を設けて、調節スプール３で発生
させた第２制御弁４３と補助シート弁３９を制御
するための作動流体による信号を増幅させること
ができる。

すなわち、第１０図に示す電磁油圧比例弁の構
造は、基本的に第９図に示す電磁油圧比例弁と同
等であつて、第２制御バネ室４８と補助バルブバ
ネ室４０とに連通する通路５９と、制御バネ室２
３を経てＴポートに至る通路４２との間に前記し
た増幅シート弁５３を設置した構成であり、通路
５９はバルブ５３自体に設け、孔を通して増幅バ
ルブバネ室５４とこれに接続されたシート弁９に
至る通路７と連通している。

従つて、比例ソレノイド１に入力された信号に
よりシート弁９が開いて作動流体のＴポートへの
流出が始まり、バネ室５４の圧力低下に伴つて増
幅シート弁５３が開放され、第２制御バネ室４８
と補助バルブバネ室４０内の作動流体が環状室５
１より通路４２を通つてＴポートへ流出し、両バ
ルブ４３，３９が開放される機能を有しており、
この電磁油圧比例弁は大量の作動流体を扱うのに
適している。

以上、第７図から第１０図に示したこの発明の
電磁油圧比例弁は、制御弁１９が第２図または第
３図に示したユニツトにより、作動流体の流量を
測定し、これに従つて他の２つの制御可能なシー
ト弁が制御・調節される構成である。

発明の効果 この発明によつて、制御されるシート弁、スプ
ール等の行程制御、調節を行なうためのバルブユ
ニツトを簡素化することができ、また、負荷に影
響されることなく接続する作動流体モーター等を
制御、調節することができる。

この発明の電磁油圧比例弁の特徴である前記の
構成により、作動時に、長いシリンダ状の振動緩
衝用接触面を備えた調節スプールが調節弁として
のシート弁と共に、その間にある制御流体の働き
により振動緩衝可能である。

また、シート弁を有する調節スプールが、制御
弁の開放度調節に際して、フーイドバツクピンを
介して、目標値／実測値の微調節が可能であり、
電気信号から油圧信号へのすぐれた変換が可能
で、応答性にすぐれるという利点がある。

また、この発明の構成により、元圧は制御バネ
室へ供給されてパイロツト圧力として作用するた
め、例えば実施例１の如く、方向切換弁に用いた
場合にはすこぶる応答性がよくなる利点がある。

さらに、調節スプールのポペツト式シート弁に
て制御バネ室の圧油をＴポートへ逃す構成である
ことから、油中のごみ等に影響されることなく、
円滑に作動し、応答性よく、行程制御と作動流体
流量を制御・調節することができ、構成が簡単な
ため信頼性の高く、油圧振動緩和のための油圧調
節回路を必要としない電磁油圧比例弁が得られ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図から第３図はこの発明の電磁油圧比例弁
を示し、比例ソレノイドに入力される電気信号の
大きさに比例して制御弁を制御する構成である。
第４図から第１０図はこの発明による電磁油圧比
例弁の実施例を示す回路図である。第４図はこの
電磁油圧比例弁を方向切換弁に適した場合であ
る。第５図はＰポートとＡポート間に第２制御弁
を設けて制御可能な２つのシート弁を安定させて
制御・調節する場合である。第６図は第５図の例
にさらに増幅シート弁を付設した場合である。第
７図は電磁油圧比例弁にて作動流体の流量測定を
行ない、これによつて他の制御可能な２つのシー
ト弁を制御・調節する場合である。第８図は第７
図の例に増幅シート弁を付設した場合である。第
９図は制御バネ室と調節バネ室とが孔が孔で相互
に連通した第３図のユニツトによつて作動流体の
流量測定を行ないこれに従つて、他の制御可能な
２つのシート弁を制御・調節する場合である。第
１０図は第９図の例に増幅シート弁を付設した場
合である。 １……比例ソレノイド、２……プランジヤー、
３……調節スプール、４……スプールハウジン
グ、５……プラグ、６……調節ネジ、７……通
路、８……孔、９……シート弁、１０……調節バ
ネ、１１……ワツシヤー、１２……前面室、１３
……通路、１４……孔、１５……調節バネ室、１
６，２０……環状室、１７，２７……FBピン、
１８…制御バネ、１９……比例弁、２１……ボデ
イ、２２……絞り、２３，３１……制御バネ室、
２４……補償シリンダー、２５……補償ピスト
ン、２６……セーフテイキヤツチ、２８……環状
室、２９……中間ピン、３０……孔路、３２……
バネ支承部、３３……制御スプール、３４，３
６，３８……通路、３５，３７……絞り、４３…
…第２制御弁、３９……補助シート弁、５３……
増幅シート弁。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 弁ボデイの端面に固定されるエンドカバーの
   中心孔内に挿入固定されるスプールハウジング内
   に摺動自在に挿入された調節スプールの一方端に
   比例ソレノイドのプランジヤーが当接し、かつ他
   端のシート弁側にはスプールハウジングの内奥端
   とエンドカバーの中心孔の内奥端とで形成した調
   節バネ室内の調節バネが当接して該プランジヤー
   方向への反力が付与され、エンドカバーの内奥端
   とボデイの弁孔とで形成した制御バネ室内の制御
   バネによりポートを閉塞する制御弁が、比例ソレ
   ノイド、調節スプールに同軸配置され、かつ制御
   弁の内端に当接するフイードバツクピンが前記調
   節バネを介して調節スプールにプランジヤー方向
   への反力を与える構成からなり、調節バネ室と制
   御バネ室とが調節バネ室の周囲壁に設けた複数個
   の孔により連通し、調節スプールのプランジヤー
   側の端面に与圧して調節スプールを圧力平衡させ
   るための前面室を比例ソレノイドの内側端面とス
   プールハウジングの外方端面間に設け、前面室と
   制御バネ室とを連通する通路、および調節スプー
   ルのシート弁のシート部に達し、シート弁の関放
   によりスプールハウジングの壁に設けた複数個の
   孔を介して調節バネ室と連通する通路とを制御弁
   の制御用作動流体の出入口Ｘ、Ｙとなし、比例ソ
   レノイドのプランジヤーの突出により、シート弁
   を開放し、さらに制御弁を開放する行程と、制御
   弁の内端に当接したフイードバツクピンが制御弁
   の開度に応じて調節バネを圧してシート弁を閉め
   る行程を有し、比例ソレノイドへの電気入力に応
   じて制御弁を開閉させることを特徴とする電磁油
   圧比例弁。 ２ ボデイの端面に固定されるエンドカバーの中
   心孔内に挿入固定されるスプールハウジング内に
   摺動自在に挿入された調節スプールの一方端に比
   例ソレノイドのプランジヤーが当接し、かつ他端
   のシート弁側にはスプールハウジングの内奥端と
   エンドカバーの中心孔の内奥端とで形成した調節
   バネ室内の調節バネが当接して該プランジヤー方
   向への反力が付与され、エンドカバーの内奥端と
   ボデイの弁孔とで形成した制御バネ室内の制御バ
   ネによりポートを閉塞する制御弁が、比例ソレノ
   イド、調節スプールに同軸配置され、かつ制御弁
   の内端に当接するフイードバツクピンがこれを保
   持する補償シリンダー内に収容されてこれに係止
   した補償ピストンにより前記シリンダー内を摺動
   する中間ピンを介して調節バネに係止され、調節
   スプールにプランジヤー方向への反力を与え、前
   記ピストンの一方端面には制御バネ室の内圧力が
   作用し、他端面には調節バネ室の内圧力が中間ピ
   ンの貫通孔を通じて作用し、調節バネ室と制御バ
   ネ室とが独立し、ポートからの制御用作動流体の
   供給の際にフイードバツクピンが流体圧力で調節
   バネを圧縮しない構成からなり、調節スプールの
   プランジヤー側の端面に与圧して調節スプールを
   圧力平衡させるための前面室を比例ソレノイドの
   内側端面とスプールハウジングの外方端面間に設
   け、調節バネ室への通路と、前記通路から分岐し
   調節スプールのシート弁に達し、同シート弁の開
   放により調節バネ室に連通する通路とに制御弁の
   制御用作動流体の入口ポートＸを接続し、調節バ
   ネ室と複数個の孔で連通した環状室と前記前面室
   とを通路で連通しかつ環状室を作動流体の出口ポ
   ートＹに接続し、比例ソレノイドのプランジヤー
   の突出により、シート弁を開放し、さらに制御弁
   を開放する行程と、制御弁の内端に当接したフイ
   ードバツクピンが制御弁の開度に応じて中間ピン
   を介して調節バネを圧してシート弁を閉める行程
   を有し、比例ソレノイドへの電気入力に応じて制
   御弁を開閉させることを特徴とする電磁油圧比例
   弁。 ３ 調節スプールのスプールハウジングをネジ締
   め固定構造とし、スプールハウジングがこれに当
   接する弾性体と弾性体を圧縮する調節バネとによ
   つて調節スプールに対する位置決めを行うことを
   特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項の
   電磁油圧比例弁。