JPH0352573A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
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- JPH0352573A JPH0352573A JP1185797A JP18579789A JPH0352573A JP H0352573 A JPH0352573 A JP H0352573A JP 1185797 A JP1185797 A JP 1185797A JP 18579789 A JP18579789 A JP 18579789A JP H0352573 A JPH0352573 A JP H0352573A
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- JP
- Japan
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- stator
- rotor
- circuit
- piezoelectric vibrator
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
(産業上の利用分野)
本発明はステータ上に発生する進行波によってロータを
回転させる超音波モータに関するものである。
回転させる超音波モータに関するものである。
(従来の技術)
従来より、ステータに圧電振動子を接着し、該圧電振動
子に所定の交流電力を供給することによってステータに
進行波を発生させ、該進行波によりロータを回転させる
超音波モータが知られている。このような超音波モータ
は、例えば特開昭59−204477号公報等に開示さ
れている。
子に所定の交流電力を供給することによってステータに
進行波を発生させ、該進行波によりロータを回転させる
超音波モータが知られている。このような超音波モータ
は、例えば特開昭59−204477号公報等に開示さ
れている。
特開昭59−204477号公報等に開示された超音波
モータでは、ステータに進行波の強さを検出するための
センサが取り付けられている。このセンサが検出したモ
ニター信号は、圧電振動子に供給する交流電力の周波数
を調整するための制御回路に入力される。制御回路は該
センサから得られるモニター信号を利用して、ステータ
に発生する進行波の強さがほぼ一定になるように、圧電
振動子に印加する交流電力の周波数を調節する。
モータでは、ステータに進行波の強さを検出するための
センサが取り付けられている。このセンサが検出したモ
ニター信号は、圧電振動子に供給する交流電力の周波数
を調整するための制御回路に入力される。制御回路は該
センサから得られるモニター信号を利用して、ステータ
に発生する進行波の強さがほぼ一定になるように、圧電
振動子に印加する交流電力の周波数を調節する。
超音波モータに作用する負荷が大きくなった時には、ロ
ータから取り出されるエネルギーが大きくなるために、
ステータに発生する進行波が弱くなる。この時、制御回
路は圧電振動子に印加する交流電力の周波数を、あらか
しめ制御回路に設定されたステータの共振周波数に近づ
けて、ステータ上の進行波の強さがほぼ一定になるよう
に制御する。
ータから取り出されるエネルギーが大きくなるために、
ステータに発生する進行波が弱くなる。この時、制御回
路は圧電振動子に印加する交流電力の周波数を、あらか
しめ制御回路に設定されたステータの共振周波数に近づ
けて、ステータ上の進行波の強さがほぼ一定になるよう
に制御する。
逆に、超音波モータに作用する負荷が小さくなった時に
は、ロータから取り出されるエネルギーが小さくなるた
めに、ステータに発生する進行波が強くなる。この特、
制御回路は圧電振動子に印加する交fL電力の周波数を
、あらかしめ制御回路に設定されたステータの共振周波
数から遠ざけて、ステータ上の進行波がほぼ一定になる
ように制御する。
は、ロータから取り出されるエネルギーが小さくなるた
めに、ステータに発生する進行波が強くなる。この特、
制御回路は圧電振動子に印加する交fL電力の周波数を
、あらかしめ制御回路に設定されたステータの共振周波
数から遠ざけて、ステータ上の進行波がほぼ一定になる
ように制御する。
(発明が解決しようとする課題)
ところで、ステータの共振周波数は、超音波モータに作
用する負荷の大きさに応じて変化する。
用する負荷の大きさに応じて変化する。
従って、負荷の大きさが大きく成り過ぎると、制御回路
に設定された駆動周波数とステータの実際の共振周波数
の間の差が小さくなったり、駆動周波数とステータの実
際の共振周波数の大小関係が逆転する等して、制御回路
が正しく動作しなくなる場合がある。このために従来の
超音波モータでは、負荷が大きくなると急にロータが停
止したり、ひどい時にはロータが逆転を始めたりする。
に設定された駆動周波数とステータの実際の共振周波数
の間の差が小さくなったり、駆動周波数とステータの実
際の共振周波数の大小関係が逆転する等して、制御回路
が正しく動作しなくなる場合がある。このために従来の
超音波モータでは、負荷が大きくなると急にロータが停
止したり、ひどい時にはロータが逆転を始めたりする。
本発明はこのような従来技術の問題点を解消するために
なされたもので、ステータの共振特性の変化を抑えるこ
とにより、制御回路に設定された駆動周波数とステータ
の実際の共振周波数の間の差を小さく保持することを技
術的課題とする。
なされたもので、ステータの共振特性の変化を抑えるこ
とにより、制御回路に設定された駆動周波数とステータ
の実際の共振周波数の間の差を小さく保持することを技
術的課題とする。
(課題を解決するための手段)
前述した技術的課題を達成するために講した技術的手段
は、ロータをステータに向かって所定の加圧力で押し付
ける加圧手段と、ロータに加えられる負荷トルクが大き
くなるに従って加圧手段の加圧力を減少させる調整手段
とを設けたことである。
は、ロータをステータに向かって所定の加圧力で押し付
ける加圧手段と、ロータに加えられる負荷トルクが大き
くなるに従って加圧手段の加圧力を減少させる調整手段
とを設けたことである。
(作用)
前述した技術的手段によれば、超音波モータに作用する
負荷が大きくなると、ロータとステータの間の加圧力が
減らされる。ステータの共振周波数は加圧力の減少によ
り変化する。このために、負荷が大きくなっても実際の
ステータの共振周波数がほぼ一定に保持され、所期の技
術的課題が達威される。
負荷が大きくなると、ロータとステータの間の加圧力が
減らされる。ステータの共振周波数は加圧力の減少によ
り変化する。このために、負荷が大きくなっても実際の
ステータの共振周波数がほぼ一定に保持され、所期の技
術的課題が達威される。
(実施例)
以下、添付図面を参照して本発明を適用した実施例装置
について説明する。
について説明する。
最初に第1図を参照して、本発明を適用した超音波モー
タの構造について説明する.基材lにはケース2が固定
されている。基材1の中心部には、ボールベアリング3
が嵌め込まれている。また、ケース2の凹部2aには皿
バネ4が嵌められている。皿バネ4にはボールベアリン
グ5が支持されている。ボールベアリング3、5により
回転軸6が回転自在に支承されている。ボールベアリン
グ3と回転軸6の間にはプッシュ20が配設されている
。
タの構造について説明する.基材lにはケース2が固定
されている。基材1の中心部には、ボールベアリング3
が嵌め込まれている。また、ケース2の凹部2aには皿
バネ4が嵌められている。皿バネ4にはボールベアリン
グ5が支持されている。ボールベアリング3、5により
回転軸6が回転自在に支承されている。ボールベアリン
グ3と回転軸6の間にはプッシュ20が配設されている
。
基材1には、ステータ7の固定部7aが振動不可能なよ
うに皿ねじ8によってしっかりと固定されている。ステ
ータ7の一面にはリング状の圧電振動子9が接着されて
いる。
うに皿ねじ8によってしっかりと固定されている。ステ
ータ7の一面にはリング状の圧電振動子9が接着されて
いる。
ステータ7は固定部7aと振動部7cの間が薄肉の支持
部7bによって一体にされた形状を有している。振動部
7cの表面には多数の突起7dが全周にわたって定ピッ
チで形威されている。ステータ7は導電性に優れた金属
材料(りん青銅など)で作られており、基材lに電気的
に接続されている。
部7bによって一体にされた形状を有している。振動部
7cの表面には多数の突起7dが全周にわたって定ピッ
チで形威されている。ステータ7は導電性に優れた金属
材料(りん青銅など)で作られており、基材lに電気的
に接続されている。
圧電振動子9はステータ7上に進行波を発生させるため
の素子で、ステータ7上に進行波を効率良く発生させる
ための分極が施されている。超音波モータ用の圧電振動
子9は既に多くの文献に紹介されており、公知なので、
詳細な説明は省略することにする。圧電振動子9に90
″位相差を有する交流電力を供給すると、圧電振動子9
が伸縮してステータ7上に進行波振動が生起される。
の素子で、ステータ7上に進行波を効率良く発生させる
ための分極が施されている。超音波モータ用の圧電振動
子9は既に多くの文献に紹介されており、公知なので、
詳細な説明は省略することにする。圧電振動子9に90
″位相差を有する交流電力を供給すると、圧電振動子9
が伸縮してステータ7上に進行波振動が生起される。
ロータ1Gは皿バネ11の加圧力によりステータ7に常
時圧接されている。皿バネ11の加圧力がロータ10の
全円周面に均一に加わるように、ロータ10と皿バネ1
1の間には、スタビライザl2が配設されている。皿ハ
ネ11とスタビライザ12の間にはゴムシ一ト13が、
スタビライザ12とロータ1Gの間にはゴムシ一ト14
が、それぞれ挟まれている。
時圧接されている。皿バネ11の加圧力がロータ10の
全円周面に均一に加わるように、ロータ10と皿バネ1
1の間には、スタビライザl2が配設されている。皿ハ
ネ11とスタビライザ12の間にはゴムシ一ト13が、
スタビライザ12とロータ1Gの間にはゴムシ一ト14
が、それぞれ挟まれている。
ロータlOは外周部10aと内径部10cの間が薄肉部
10bを介して一体にされた形状を有している。ロータ
10の外周部10aの下面にはリング状の摩擦材フイル
ムl5が接着されている。
10bを介して一体にされた形状を有している。ロータ
10の外周部10aの下面にはリング状の摩擦材フイル
ムl5が接着されている。
摩擦材フイルムl5は外周部10aの下面とステータ7
の振動部7cの間に挟まれている。
の振動部7cの間に挟まれている。
本実施例のスタビライザl2は鉄材で作られており、ア
ルミ材で作られたロータlOよりも大きな質量を有して
いる。ここで、スタビライザl2の質量をロータ10の
質量よりも大きくすれば、ロータ10の振動が皿バネl
1に伝わりにくくなる。
ルミ材で作られたロータlOよりも大きな質量を有して
いる。ここで、スタビライザl2の質量をロータ10の
質量よりも大きくすれば、ロータ10の振動が皿バネl
1に伝わりにくくなる。
また、スクビライザl2は剛性の高い材料で作ることが
望ましい。なぜならば、スタビライザl2の剛性が低い
と、ロータ10の振動を吸収してしまうからである。
望ましい。なぜならば、スタビライザl2の剛性が低い
と、ロータ10の振動を吸収してしまうからである。
スタビライザl2の外周部にはリング状の突起12aが
形成されている。この突起12aはロータ10とステー
タ7の当接面よりも内側に位置し、ロータ10を押さえ
付けている。この突起12aは一定の寸法精度で形威さ
れているので、皿バネllの加圧力は突起12aの円周
に沿って一様に分布する。
形成されている。この突起12aはロータ10とステー
タ7の当接面よりも内側に位置し、ロータ10を押さえ
付けている。この突起12aは一定の寸法精度で形威さ
れているので、皿バネllの加圧力は突起12aの円周
に沿って一様に分布する。
皿バネ11はホルダl6の鍔部16aにより保持されて
いる。ホルダl6の中心部には回転軸6が挿入されてい
る。回転軸6は、ケース2に圧人されたプッシュl9と
ボールベアリング3によって回転自在に支持されている
。ホルダl6とポールベアリング5の間にはスベーサl
8が挿入されている。ホルダl6は回転軸6の回りを自
在に回転し得る。
いる。ホルダl6の中心部には回転軸6が挿入されてい
る。回転軸6は、ケース2に圧人されたプッシュl9と
ボールベアリング3によって回転自在に支持されている
。ホルダl6とポールベアリング5の間にはスベーサl
8が挿入されている。ホルダl6は回転軸6の回りを自
在に回転し得る。
第2図にホルダl6と回転軸6を描いた分解斜視図を示
す。ホルダl6の中心部には四つの略V字底を有するカ
ム面16bが形成されている。
す。ホルダl6の中心部には四つの略V字底を有するカ
ム面16bが形成されている。
一方、回転軸6には鍔部6aが形成されており、鍔部6
aにはカム面16bに相当する形状を有するカム面6b
が形威されている。カム面6bとカム面16bの間には
、四つの鋼球1 7 a, 1 7 b,17c,1
7dが挟持されている。ロータlOの駆動力はスタビラ
イザl2、皿バネ11を通ってホルダl6に伝えられ、
さらにカム面16bとカム面6bの間に挟まれた鋼球1
7a,17b,17c,17dを通って回転軸6に伝え
られる。
aにはカム面16bに相当する形状を有するカム面6b
が形威されている。カム面6bとカム面16bの間には
、四つの鋼球1 7 a, 1 7 b,17c,1
7dが挟持されている。ロータlOの駆動力はスタビラ
イザl2、皿バネ11を通ってホルダl6に伝えられ、
さらにカム面16bとカム面6bの間に挟まれた鋼球1
7a,17b,17c,17dを通って回転軸6に伝え
られる。
力・ム面sb,tabおよび鋼球17a.17b,IT
c,17dは加圧力調整機構を構戒しており、回転軸6
に作用する負荷トルクの大きさをホルダl6の軸方向の
変位に変換する。
c,17dは加圧力調整機構を構戒しており、回転軸6
に作用する負荷トルクの大きさをホルダl6の軸方向の
変位に変換する。
回転軸6に作用する負荷が小さい時には、ホルダl6と
回転軸6との相対的な変位が小さくなるので、鋼球IT
a.17b,ITc.ITdがカム面16b、6bの略
V字底付近に移動する。この時、ホルダl6がステータ
7に近づく方向(第l図で下方向)に移動するので、ロ
ータ10は強い加圧力でステータ7に押し付けられる。
回転軸6との相対的な変位が小さくなるので、鋼球IT
a.17b,ITc.ITdがカム面16b、6bの略
V字底付近に移動する。この時、ホルダl6がステータ
7に近づく方向(第l図で下方向)に移動するので、ロ
ータ10は強い加圧力でステータ7に押し付けられる。
−逆に、回転軸6に作用する負荷が大きい時には、ホル
ダl6と回転軸6との相対的な変位が大きくなるので、
鋼球17a,17b,17c,17dがカム面16b、
6bの頂上に向かって移動する。
ダl6と回転軸6との相対的な変位が大きくなるので、
鋼球17a,17b,17c,17dがカム面16b、
6bの頂上に向かって移動する。
この時、ホルダl6がステータ7に向かって(第1図で
上方向に)移動するので、ロータ10は弱い加圧力でス
テータ7に押し付けられる。
上方向に)移動するので、ロータ10は弱い加圧力でス
テータ7に押し付けられる。
ロータ10に作用する負荷が大きくなると、ステータ7
の共振周波数が高くなる。しかしながら、本実施例装置
では、加圧力調整機構が動作して、ステータ7の共振周
波数が低くなるようにステータ7に作用する加圧力が弱
められる。この結果、ステータ7の共振周波数はほぼ一
定に保持される。
の共振周波数が高くなる。しかしながら、本実施例装置
では、加圧力調整機構が動作して、ステータ7の共振周
波数が低くなるようにステータ7に作用する加圧力が弱
められる。この結果、ステータ7の共振周波数はほぼ一
定に保持される。
第3図に本実施例装置の制御回路を示す。制御回路30
は、電源回路31、人力回路32、マイクロコンピュー
タ33、D/A変換回路34、電圧制御発振回路35、
移相回路36、ドライバ回路37.3g、昇圧トランス
39.4G,平滑回路4lを備えている。
は、電源回路31、人力回路32、マイクロコンピュー
タ33、D/A変換回路34、電圧制御発振回路35、
移相回路36、ドライバ回路37.3g、昇圧トランス
39.4G,平滑回路4lを備えている。
電源回路31はバツテリ8TTに接続されており、制御
回路30内に一定電圧の電力を供給する。
回路30内に一定電圧の電力を供給する。
入力回路32はマイクロコンピュータ33とスイッチS
Wの間に接続されており、スイッチSWがON側に設定
されているか、OFF側に設定されているかをマイクロ
コンピュータ33に入力する。
Wの間に接続されており、スイッチSWがON側に設定
されているか、OFF側に設定されているかをマイクロ
コンピュータ33に入力する。
ステータ7に接着された圧電振動子9には、ステータ7
上に進行波を発生させるための一対の駆動電極9a,9
bが接合されている。移相回路36によって位相が90
6ずらされた一対の電気信号が駆動電極9a,9bに印
加されると、ステータ7上に進行波が発生する。ステー
タ7上に発生する進行波の振幅は電圧制御発振回路35
の発振周波数によって変化する。即ち、電圧制御発振回
路35の発振周波数がステータ7の共振周波数に近づく
に従って進行波の振幅は増大し、逆に電圧制御発振回路
35の発振周波数がステータ7の共振周波数から遠ざか
るに従って進行波の振幅は減少する。
上に進行波を発生させるための一対の駆動電極9a,9
bが接合されている。移相回路36によって位相が90
6ずらされた一対の電気信号が駆動電極9a,9bに印
加されると、ステータ7上に進行波が発生する。ステー
タ7上に発生する進行波の振幅は電圧制御発振回路35
の発振周波数によって変化する。即ち、電圧制御発振回
路35の発振周波数がステータ7の共振周波数に近づく
に従って進行波の振幅は増大し、逆に電圧制御発振回路
35の発振周波数がステータ7の共振周波数から遠ざか
るに従って進行波の振幅は減少する。
ステータ7上に発生した進行波は振幅の大きさにほぼ比
例したモニター電圧をセンサ電極7cに発生させる。モ
ニター電圧は平滑回路41によつて平滑化され、マイク
ロコンピュータ33に入力される。マイクロコンピュー
タ33は平滑回路41から人力されるステータ7の平均
的な振幅の大きさに応じてD/A変換回路34を制御し
、ステータ7上の振幅がほぼ一定になるように電圧制御
発振回路35の発振周波数を調節する。
例したモニター電圧をセンサ電極7cに発生させる。モ
ニター電圧は平滑回路41によつて平滑化され、マイク
ロコンピュータ33に入力される。マイクロコンピュー
タ33は平滑回路41から人力されるステータ7の平均
的な振幅の大きさに応じてD/A変換回路34を制御し
、ステータ7上の振幅がほぼ一定になるように電圧制御
発振回路35の発振周波数を調節する。
マイクロコンピュータ33で実行されるプログラムの一
例を第4図に示す。電源回路31にバツテリBTTが接
続されるとマイクロコンピュータ33は第4図に示した
プログラムをステップS1から実行し始める。
例を第4図に示す。電源回路31にバツテリBTTが接
続されるとマイクロコンピュータ33は第4図に示した
プログラムをステップS1から実行し始める。
ステップ31では以後の処理を実行するために必要な初
期化が行われる。
期化が行われる。
この後、ステップS2ではスイッチSWがオンになった
か否かが判定される。スイッチSWがオンになるまでス
テップS2の処理が繰り返される。
か否かが判定される。スイッチSWがオンになるまでス
テップS2の処理が繰り返される。
ステップS3では、標準的な駆動周波数f。に相当する
コードが制御フラグfに記憶される。なお、駆動周波数
f0は定格負荷時におけるステータ7の共振周波数に基
づいて定められている。
コードが制御フラグfに記憶される。なお、駆動周波数
f0は定格負荷時におけるステータ7の共振周波数に基
づいて定められている。
その後、ステップS4において制御フラグfに記憶され
たコードがD/A変換回路34に出力されると、電圧制
御発振回路35から標準的な駆動周波数f0が出力され
、ロータ6が回転し始める。
たコードがD/A変換回路34に出力されると、電圧制
御発振回路35から標準的な駆動周波数f0が出力され
、ロータ6が回転し始める。
その後、ステップS5では、この瞬間にセンサ電極4c
に発生しているモニター電圧Vの大きさが読み込まれ、
ステップS6で標準電圧V0と比較される。なお、標準
電圧V0は、定格負荷時におけるステータ7に駆動周波
数f0を供給した時に検出されるモニター電圧の大きさ
に等しい。
に発生しているモニター電圧Vの大きさが読み込まれ、
ステップS6で標準電圧V0と比較される。なお、標準
電圧V0は、定格負荷時におけるステータ7に駆動周波
数f0を供給した時に検出されるモニター電圧の大きさ
に等しい。
標準電圧V0と読み込まれた電極電圧Vとが等しい場合
には、ステップS7の処理が省略される。
には、ステップS7の処理が省略される。
等しくない場合には、ステップS7の処理が実行され、
モニター電圧Vが標準電圧V0と一致するように制御フ
ラグfのコードが増減される。
モニター電圧Vが標準電圧V0と一致するように制御フ
ラグfのコードが増減される。
ステップS8では、スイッチSWがON側になったまま
か否かが判定される。スイッチSWがON側であれば、
再びステップS4の処理から実行を妬める。スイッチS
WがOFF側であればステップS9の処理が実行され電
圧制御発振回路35の発振が停止し、ロータ6が停止す
る。
か否かが判定される。スイッチSWがON側であれば、
再びステップS4の処理から実行を妬める。スイッチS
WがOFF側であればステップS9の処理が実行され電
圧制御発振回路35の発振が停止し、ロータ6が停止す
る。
以上に述べた制御回路30とマイクロコンピュータ33
で実行されるプログラムによって、本実施例装置では、
ステータ7に発生する進行波の振幅がほぼ一定になるよ
う調節される。
で実行されるプログラムによって、本実施例装置では、
ステータ7に発生する進行波の振幅がほぼ一定になるよ
う調節される。
以上に述べた制御回路30では、定格負荷時におけるス
テータ7の共振特性を標準として制御が実行されている
。それゆえに、負荷に応してステータ7の共振特性が大
きく変化すると、正しい制御が実行できない。しかしな
がら、本実施例装置によれば、ステータ7の共振周波数
が機械的にほぼ一定に保持されるので、電気的な制御が
常に正しく実行され、超音波モータの出力特性が極めて
安定になる。
テータ7の共振特性を標準として制御が実行されている
。それゆえに、負荷に応してステータ7の共振特性が大
きく変化すると、正しい制御が実行できない。しかしな
がら、本実施例装置によれば、ステータ7の共振周波数
が機械的にほぼ一定に保持されるので、電気的な制御が
常に正しく実行され、超音波モータの出力特性が極めて
安定になる。
本発明の超音波モータでは、負荷トルクの変動が機械的
に検出され、ロータとステータの間の加圧力が調節され
る。それゆえに、負荷トルクの変動とは無関係にステー
タの共振周波数をほぼ一定に保持することができる。こ
の結果、本発明を適用した超音波モータでは、極めて安
定した出力特性が得られる。
に検出され、ロータとステータの間の加圧力が調節され
る。それゆえに、負荷トルクの変動とは無関係にステー
タの共振周波数をほぼ一定に保持することができる。こ
の結果、本発明を適用した超音波モータでは、極めて安
定した出力特性が得られる。
第l図は本発明の一実施例装置を描いた超音波モータの
i析面図である。 第2図は本発明の一実施例装置の加圧力調整機構を描い
た斜視図である。 第3図は本発明の一実施例装置の制御回路を描いた回路
図である。 第4図は第3図に描かれた制御回路で実行されるプログ
ラムの一例を示すフローチャートである。 l・・・基材、2・・・ケース、3・・・ポールベアリ
ング、4・・・皿ハネ、5・・・ポールベアリング、6
・・・回転軸(調整手段)、 7・・・ステータ、8・・・ネジ、 9・・・圧電振動子(振動子)、 11・・・皿バネ(加圧手段)、 12・・・スタビライザ、13, l5・・・摩擦材フイルム、 l4・・・ゴムシ一ト、 IO・・・〔J一夕、 l6・・・ホルダ(調整手段)、 17a,17b,17c,17d ・・鋼球(調整手段)、 1B・・・スペーサ、19.20・・・プッシュ30・
・・制御回路、3l・・・電源回路、32・・・人力回
路、33・・・マイクロコンピュータ、34・・・D/
A変換回路、35・・・電圧制御発振回路、36・・・
移相回路、37.38・・・ドライバ回路、39.40
・・・昇圧トランス、4l・・・平滑回路。
i析面図である。 第2図は本発明の一実施例装置の加圧力調整機構を描い
た斜視図である。 第3図は本発明の一実施例装置の制御回路を描いた回路
図である。 第4図は第3図に描かれた制御回路で実行されるプログ
ラムの一例を示すフローチャートである。 l・・・基材、2・・・ケース、3・・・ポールベアリ
ング、4・・・皿ハネ、5・・・ポールベアリング、6
・・・回転軸(調整手段)、 7・・・ステータ、8・・・ネジ、 9・・・圧電振動子(振動子)、 11・・・皿バネ(加圧手段)、 12・・・スタビライザ、13, l5・・・摩擦材フイルム、 l4・・・ゴムシ一ト、 IO・・・〔J一夕、 l6・・・ホルダ(調整手段)、 17a,17b,17c,17d ・・鋼球(調整手段)、 1B・・・スペーサ、19.20・・・プッシュ30・
・・制御回路、3l・・・電源回路、32・・・人力回
路、33・・・マイクロコンピュータ、34・・・D/
A変換回路、35・・・電圧制御発振回路、36・・・
移相回路、37.38・・・ドライバ回路、39.40
・・・昇圧トランス、4l・・・平滑回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ステータと、 該ステータに貼り付けられ、該ステータ上に進行波を発
生させる振動子と、 前記ステータに当接したロータと、 該ロータを前記ステータに向かつて所定の加圧力で押し
付ける加圧手段と、 前記ロータに加えられる負荷トルクが大きくなるに従つ
て前記加圧手段の加圧力を減少させる調整手段と、 を備える超音波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1185797A JP2827300B2 (ja) | 1989-07-18 | 1989-07-18 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1185797A JP2827300B2 (ja) | 1989-07-18 | 1989-07-18 | 超音波モータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0352573A true JPH0352573A (ja) | 1991-03-06 |
| JP2827300B2 JP2827300B2 (ja) | 1998-11-25 |
Family
ID=16177059
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1185797A Expired - Fee Related JP2827300B2 (ja) | 1989-07-18 | 1989-07-18 | 超音波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2827300B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04114792U (ja) * | 1991-03-19 | 1992-10-09 | 株式会社豊田中央研究所 | 超音波モータ |
| US5325168A (en) * | 1991-05-14 | 1994-06-28 | Toa Medical Electronics Co., Ltd. | Apparatus and method for analyzing cells in urine |
| US5325169A (en) * | 1991-05-14 | 1994-06-28 | Toa Medical Electronics Co., Ltd. | Apparatus and method for analyzing cells in urine |
| US5521699A (en) * | 1993-07-26 | 1996-05-28 | Toa Medical Electronics Co., Ltd. | Imaging flow cytometer and imaging method having plural optical paths of different magnification power |
| US5684584A (en) * | 1991-05-14 | 1997-11-04 | Toa Medical Electronics Co., Ltd. | Apparatus for analyzing cells in urine |
| US5715182A (en) * | 1993-08-19 | 1998-02-03 | Hitachi, Ltd. | Device for the classification and examination of particles in fluid |
| KR100521889B1 (ko) * | 2001-01-19 | 2005-10-17 | 바이오시스텍 주식회사 | 에틸렌 생성 억제 및 제거 기능을 갖는 포장용기 |
| US8575799B2 (en) | 2010-11-01 | 2013-11-05 | Honda Motor Co., Ltd. | Outer rotor electric motor |
| JP2017169416A (ja) * | 2016-03-18 | 2017-09-21 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波モーター、ロボット、ハンド、及びポンプ |
-
1989
- 1989-07-18 JP JP1185797A patent/JP2827300B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04114792U (ja) * | 1991-03-19 | 1992-10-09 | 株式会社豊田中央研究所 | 超音波モータ |
| US5325168A (en) * | 1991-05-14 | 1994-06-28 | Toa Medical Electronics Co., Ltd. | Apparatus and method for analyzing cells in urine |
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| US5521699A (en) * | 1993-07-26 | 1996-05-28 | Toa Medical Electronics Co., Ltd. | Imaging flow cytometer and imaging method having plural optical paths of different magnification power |
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| KR100521889B1 (ko) * | 2001-01-19 | 2005-10-17 | 바이오시스텍 주식회사 | 에틸렌 생성 억제 및 제거 기능을 갖는 포장용기 |
| US8575799B2 (en) | 2010-11-01 | 2013-11-05 | Honda Motor Co., Ltd. | Outer rotor electric motor |
| JP2017169416A (ja) * | 2016-03-18 | 2017-09-21 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波モーター、ロボット、ハンド、及びポンプ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2827300B2 (ja) | 1998-11-25 |
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