JPH0353777B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の背景〕 本発明はたわみやすく、もろい材料を扱うため
の引上げならびに移送ヘツドに関する。特に、本
発明はたわみやすく、もろい材料を、平坦な形状
に維持しながら移送するための、吸気エアフロー
を用いる引上げならびに移送ヘツドに関する。

〔発明の分野〕

半導体デバイスの製造にあたり、複数の層を有
するセラミツク・モジユールを、各種の処理ステ
ツプ中に移送することが必要であつた。これらの
モジユールは複数層のセラミツク材料からなつて
おり、各シートすなわちセラミツクの層はその上
面に印刷された、特定の導電パターンを有してい
る。典型的な場合、層をそろえて、未硬化セラミ
ツクスのスタツクが構成され、このスタツクはつ
いで押圧され、硬化されて、集積セラミツク・パ
ツケージを形成するが、このパツケージの内部に
は電気的に接続された極めて多数の導電路が設け
られる。しかしながら、硬化前の層の各々および
スタツク自体は、たわみやすく、非常にもろいも
のである。

公知技術において、一般に“グリーン・シー
ト”と言われるこれらのシートを取り扱い、積み
重ねるために、さまざまな方法が提案され、利用
されている。これらの方法には、手で積み重ねる
ことから、吸引装置を使用することまでが含まれ
ている。個々のシートが薄く、また極めてもろい
ものであるため、手によつて処理した場合、延び
たりあるいは部分的に変形したりする。指紋、引
裂きなどという問題をなくすために、材料を損う
ことなく各種の処理ステツプの間でグリーン・シ
ートを引き上げ、移送するための引上げヘツド
が、無数に提案されている。すべてのかかる装置
に対する共通の要件は、グリーン・シートをその
両周縁部および中心部で支持し、最終的な積重ね
や硬化における印刷や配置などの以後の処理ステ
ツプ前に、延びたり裂けたりすることを防止でき
る装置を画定することである。取り扱われる材料
の感度を考慮すると、硬化（硬い）ウエフアーの
移動に通常使用される装置を、もろいシートの処
理に満足のいくように使用することはできない。

かかる公知技術方法のひとつは、ベルヌーイ現
象すなわち軸−半径流現象を利用して、ウエフア
ーを持ち上げることに基づいている。この方法に
おいては、軸方向の流れが平坦面（ウエフアー）
に衝突し、ついで境界流路形状で半径方向外方へ
流れた場合に、吸引力および反発力の両方が発生
する。適切な流れの条件が設定されれば、吸引力
が支配的なものとなり、平坦な物体が移送ヘツド
に向つて持ち上げられる。このような方法は剛性
の平面状物体には適するものであるが、しかした
わみやすくもろい材料を移送しなければならない
場合には、有効ではなくなる。“軸−半径”流の
理論は、米国特許第4257637号で検討されている。

平坦な表面を有する物体を、この流れの現象に
よつて持ち上げるための他の装置が、米国特許第
3539216号および第3411710号に記載されている。
米国特許第3539216号において、流れの条件はベ
ルヌーイ効果による持上げのため、本体の表面で
半径方向に対抗する方向に設定される。流れを表
面上で不平衡な状態で流し、ウエフアーを横方向
の制限部材に押しつけることもできる。米国特許
第3411770号においては、空気の噴流がシートの
スタツクに向けて、垂直方向下方へ流される。半
径方向への分岐部における垂直流の速度によつ
て、流れが所定の位置に置かれたときに、スタツ
クの最上シートを持ち上げるための、圧力差が生
じる。それゆえ、これら両公知特許の特徴は、軸
方向の気体流が平坦な表面に衝突し、ついて境界
流路において半径方向外方へ流れるときに発生す
る、反発力および吸引力の両方を使用することで
ある。適切な流れの条件においては、吸引力が支
配的となる傾向があり、物体が自由に動くのであ
れば、移送ヘツドの対抗面に向つて持ち上げら
れ、引き寄せられる。縁部が接触した状態にある
剛性の平面状材料を持ち上げ処理するためにベル
ヌーイ効果を利用する他の例が、IBM
Technical Disclosure Bulletin第18巻、第６号、
第1836−1839ページ（1975年11月）および第20
巻、第２号、第593−594ページ（1977年７月）に
示されている。

ベルヌーイの理論を利用する方法に属するもの
としては、縁部で接触している剛性の平面状ウエ
フアーを持ち上げるために使用される、引上げヘ
ツドのグループがある。この方法は米国特許第
3523706号及び米国特許第4257637号に示されてい
る。IBM Technical Disclosure Bulletin第11
巻、第２号第112ページ（1968年７月）；第17巻、
第１号、第84ページ（1974年６月）；第18巻、第
８号、第2447ページ（1976年１月）；および第22
巻、第５号、第1864−1865ページ（1979年10月）
にも、示されている。

公知技術のベルヌーイ効果とは別の方法は、真
空を応用したものであり、真空によつて物体が移
送ヘツドの列になつた吸引口を利用して持ち上げ
られ、この吸引口はついで遠隔の真空源に接続さ
れる。真空源は真空ポンプまたはベンチユリ管の
スロート部のいずれかである。典型的なものは、
米国特許第3648853号および米国特許第4185814号
に開示されている方法である。米国特許第
3648853号においては複数の引上げ真空カツプが
ベンチユリ管のスロート部に接続されており平坦
なワーク・ピースの持ち上げを行なう。米国特許
第3648853号においては、グリーン・シート材料
はマニフオルド・システムを用いた真空制御によ
つて、取り扱われ、その結果真空をかけた場合
に、引上げが行なわれ、また正圧が生じるように
圧力を逆にすることにより、シートの排出が行な
われる。真空法を利用する場合、ポート間の流れ
のつりあいを取ることが、非常に微妙である。効
率のよい方法で物体を持ち上げる方法は、したが
つて、かかる真空のアプローチに利用される圧力
が敏感なものであるため、難しいものである。

シートとスペーサを交互に積層したスタツクか
ら個々のグリーン・シートを引上げ移送する問題
を適用した場合の真空システムの難点を、第１図
乃至第３図に関連して説明する。第１Ａ図に示す
ように、引上げヘツド１は固定した垂直位置に配
置されており、ポートとスロツト２の構成を有し
ており、これらを通して吸引力が接続されている
真空源によつてかけられる。グリーン・シート３
とスペーサ４の交互の層からなるスタツク５は、
スタツク接近速度で引上げヘツドに向つて、上方
へ移動する。すなわち、スタツクは所定の速度
で、ヘツドに接近し、ついで最上部グリーン・シ
ートがヘツドの真空面に接近して配置される位置
で、停止する。実際には、最上部のグリーン・シ
ートは、このヘツド表面と本質的に接触してい
る。ヘツド表面の開口を通して連続的にポンピン
グすることにより、介在圧力が、個々のグリー
ン・シートの重量に等しい吸引力が達成されるレ
ベルまで下がる。それゆえ、スタツクが引き下げ
られた場合、最上部のグリーン・シートが引き上
げヘツドに引き寄せられ、保持されて、後に残
る。

しかしながら、このシステムには欠点があるこ
とが知られている。たとえば、吸引力が不十分で
あるため、ヘツドがシートを引き上げそこねるこ
とがある。スタツク接近速度ｖ、引き上げヘツド
近傍でのスタツクの滞留時間、シートの可撓性、
および接触位置における真の表面間隔などのシス
テム・パラメータによつて吸引力が左右されると
いう問題もある。真の表面間隔というパラメータ
は、第１Ａ図に示す如き、所定のヘツドとスタツ
クの間隔ｈでスタツクを停止させる精度、グリー
ン・シート材料の構成などを指す。さらに、主に
考慮されることは、ヘツド表面におけるポンピン
グ効率である。このパラメータは滞留期間中の
“真の”間隔に関する、吸引ポートの数、サイズ、
形状、および配置の関数である。

第１Ｂ図に示すように、スタツクが引き上げヘ
ツドに接近すると、最上部のグリーン・シートと
引上げヘツドの真空面との間に、空気が瞬間的に
捕えられる。周囲条件よりも上に圧力が上がる傾
向があるが、しかしこの傾向は吸引ポンピングに
より、また表面の間の空間からの最初の流れの放
出によつて、連続的に相殺される。放出流q_eを、
吸引流q_sと共に第１Ｂ図に示す。滞留期間中のポ
ンピング作用は必要な吸引力を生起するレベルま
で、圧力を急速に下げるのに十分なものでなけれ
ばならない。これが不十分であると、スタツクが
下げられたとき、グリーン・シートが引き上げヘ
ツドによつて保持されなくなる。

所定のポンピングの有効性に関する、第２図お
よび第３図に示すごときモデルの分析より、シー
トに作用する力が特徴として、最大値に達し、つ
いで大きさがシートの重量に等しい負の値まで間
断なく減少する。この挙動の範囲は、接近速度ｖ
の関数であり、したがつて接近速度が高くなれば
（すなわち、移動時間が短くなれば）、引上げ条件
を達成するためには、これに応じて最低滞留時間
を長くすることが必要となる。第２Ａ図は、平衡
状態に達しておらず、グリーン・シート３がヘツ
ド１によつて保持されない状態を示す力の線図で
あり、第２Ｂ図は引上げを行なうに必要な力の条
件を示すものである。第２Ａ図において、放出流
q_eは外方へ流れるようにされており、一方引上げ
状態においては第２Ｂ図の力q′_eが内方へ向けら
れている。第２Ａ図と第２Ｂ図に示された状態の
間の遷移期間中に、放出流はゼロを通過する。

第３図は時間の関数として、グリーン・シート
に作用する平均の力Ｆをプロツトしたものであ
り、所定のポンピングの有効性に対して、このプ
ロツトはシートにかかる力が最大の力となり、つ
いで一様に最小値へと低下していく、すなわちシ
ートの重量に等しくなるということを特徴として
いること示している。第３図において、t_fは移動
時間であり、t′_dは引上げ状態の高さh_fにおける滞
留時間である。これらの曲線はv₁＜v₂＜v₃なる関
係を示している。第３図において、ｔ＝t₀であれ
ば、第２Ａ図に示すようにｈ＝h₀である。ｔ＝t_f
の場合、第２Ｂ図に示すようにｈ＝h_fである。

かかる吸引システムに固有の作動上の変動を考
慮すれば、引上げ状態がスタツクのあらゆるサイ
クルで行なわれるものではないことになる。この
ことが発生する頻度を減らすひとつの方法は、接
近速度を下げ、同時に滞留時間を増加させること
である。このような方法は最大力を下げ、同時に
滞留時間を最低限度以上のものにして、引上げ力
を発生させる。第３図は引上げ状態h_fにおける滞
留時間t_dの増加を示している。このような方法
は、しかしながら、ポンプ・システム固有の他の
変動要因に鑑み、問題を解決するのに全面的に十
分なものというものではない。たとえばポンピン
グの有効性が、特に重要である。ポートとスロツ
トを真空ポンプと一緒に利用する既存の装置にお
いて、吸引工程はほ本質的に“吸込”タイプのも
のである。それゆえ、引上げヘツド下面のポート
によつて生ずる吸引場の効果を、最も有効に利用
するためには、一般に慎重にシートとヘツドを配
置するという要件が必要となる。吸引場の効果
を、たとえば、小直径のポートを真空ヘツド表面
のより広い部分に配置されるよう、数多く使用す
ることによつて、強化できる。このようなアプロ
ーチは、しかしながら、ポートとポンプとの間の
圧力低下、流れの制限、ポートの閉塞といつた実
用上の問題が増加するということを意味する。

〔発明の概要〕

公知技術の欠点に鑑み、本発明は吸引場を生成
することにより、持上げを行なう他の方法に関す
るものである。本発明はしかしながら、真空源を
必要とするものではなく、気体の噴流の吸気特性
が平坦できやしやな物体を、均等にかつ静かに持
ち上げ、保持するのに必要な力の特性をもたらす
ことを認識することに基づくものである。複数の
気体噴流が組み込まれた特殊な構造を使用するこ
とにより、集合的な吸気効果が、引上げ装置下面
における吸引効果として明らかとなる。したがつ
て、グリーン・シートがこの表面の近傍に置かれ
た場合、シートは引きつけられ、定置される。

それゆえ、本発明の目的は、グリーン・シート
のようなきやしやな物体を引き上げこれらを処理
のために移送する装置を提供することである。

本発明の他の目的は、装置表面の近傍に配置さ
れた、引き寄せられ定置保持されるべき平坦な表
面を引きつけるために、空気の噴流の吸気効果を
利用する引上げヘツドを提供することである。

本発明のさらに他の目的は、最低限の流れの要
件で一様な結果をもたらす、所定の重量持上げ能
力を提供する、単純な構造の引上げヘツドを画定
することである。

本発明のさらにまた他の目的は、真空源を必要
としない引上げヘツドを画定し、これによりライ
ンの閉塞の問題を除去し、かつ設定された流れの
実用上の変動の影響を受けない装置を手に入れる
ことである。

本発明のさらにまた他の目的は、吸気空気流で
あるため引上げられるべき物体をヘツドに自動的
に整合させ、物体の表面からあらゆる異物を本質
的に除去する、引上げヘツドを提供することであ
る。

本発明の上記目的および他の目的は、部分的に
閉じ込められた気体噴流の吸気力を利用した、引
上げヘツドによつて達成される。吸気噴流スロツ
トを、ヘツドの内側及び外側両方の周縁領域に設
けることもできる。スロツトの床部分に沿つて放
出される噴流は、流れの吸気性によつて局部的な
吸引効果をもたらす。このことによつて、ついで
強制流効果が生じ、この場合周囲の空気は複数の
スロツト中へ連続的に送り込まれ、噴流によつて
運び去られる。その結果、剛性のウエフアーまた
は可撓性のグリーン・シートであるとを問わず、
ある程度平坦な表面が装置表面の近傍に置かれる
と、これは装置表面に急速に引き寄せられ、定置
保持される。

保持力または持上げ力、あるいはその両方は、
スロツトの構成及び寸法、スロツトのパターン、
並びに供給流量の関数である。スロツトは細長い
ものでなければならない。連続して並べられた一
連の独立したポートでは、吸気状態を達成できな
い。実施例においては直線状のものとして示され
ているが、スロツトを湾曲したものにしたり、波
状のものにしたりすることもできる。重量持上げ
力が流量の関数であるため、基本装置の変更、た
とえばスロツトを引上げヘツドの外方周縁領域に
のみ利用することを、有効に利用できる。

真空ポンプに接続されたポートを利用する既存
の装置と比較すると、吸気性を使用することによ
り、構造が本質的に簡単なものとなり、しかも実
用上の性能の利点が得られる。主な利点のひとつ
は、吸気空気流という性質がヘツドの大きな領域
における、大きな一体的な吸引効果をもたらすと
いうことである。それゆえ、シートはより効率よ
く、装置の表面に引き寄せられるが、これは損傷
を受けやすい可撓性のグリーン・シートの場合に
は重要な基準である。さらに、加圧噴流を使用し
て、吸引を生じさせるため、ラインが閉塞される
傾向は、最低となる。作動時には、装置は流れの
状態の変動の影響を受けにくい。

本発明の他の目的、利点、および詳細な説明を
添付図面に関連する以下の詳細な説明及び特許請
求の範囲に関して記載する。

〔好ましい実施例の説明〕

第４図には、大気中に噴出する自由噴流の流線
が示されている。第４図において、供給ポート１
０は、壁部１２にほぼ垂直な流路を有する空気の
噴流をもたらしている。噴流によつて放出される
空気は、層流または乱流のいずれかである。吸気
流によつて作り出される流線が、第４図に矢印で
示すように発生する。すなわち、放出空気噴流に
より、内方へ向い、かつ壁面１２にほぼ平行な流
線が生じ、これはついで空気噴流にほぼ平行な流
線となる。軸方向の流量が増加する傾向がある。
空気噴流及び吸気流に関する典型的な速度分布５
０（軸方向に対し垂直なもの）を、第４図に示
す。それゆえ、大気中に放出される自由空気噴流
は、周囲の空気を同伴するという特徴がある。噴
流を３つの面で囲むことによつて、この流れの状
態を使用して、吸気効果をスロツトの領域に集中
させることができる。

本発明の一実施例を示す第５図について説明す
る。入口ポート１０が空気の供給を受け、これを
スロツトすなわち溝１４に放出する。この実施例
は、単一スロツトのシステムを示している。スロ
ツトは３つの壁面を有しており、また吸引スロツ
トを画定する開口をひとつ有している。スロツト
中への吸気空気流により、吸引領域が生じる。同
伴ないし吸気効果は、したがつて、スロツトの大
部分にわたつて存在するスロツト領域に集中させ
られる。吸引の強さ及び範囲は、スロツトの形状
と供給流の状態の関数である。第５図に示すよう
に、スロツト１４は細長く、直線状をしている。
スロツトの幅に対して細長いという寸法が、安定
した状態で吸気を行なうのに必要である。スロツ
トと同じ長さのところにある、それぞれが独立し
た一連のポートでは、安定した状態での吸気を達
成できない。

スロツトのエツジ１５は、鋭く、スロツト開口
に直交するものとして、図示されている。これら
のエツジに丸味をつけ、コーナー部分での層流を
促進することによつて、流れの特性を改善するこ
とができる。スロツトが直線状である必要はな
い。用途によつては、湾曲した、あるいは波状の
スロツトを採用することもできる。

これらの流れの特性および単一スロツトのシス
テムを利用した、本発明の第２実施例を、第６Ａ
図、第６Ｂ図、第６Ｃ図及び第６Ｄ図に示す。こ
の引上げヘツドすなわち吸引ヘツドの実施例は、
２つの構成部品からなつている。１つは、ノズル
１０およびプレナム２２（ノズル１０と連通した
空間領域）を有するプレート部材２０であり、も
う１つは、供給オリフイス３４によつてプレナム
２２と流体的に連通した一連の細長いスロツトす
なわち溝３２を有する第２のプレート部材３０で
ある。第６Ａ図〜第６Ｃ図から明らかなように、
スロツト３２は吸引ヘツドの吸引面となる下面１
２に沿つて延びる細長い開口を与えており、また
スロツト３２は吸引ヘツドの側面まで延びてい
る。第６Ｂ図および第６Ｃ図に示されるように、
供給オリフイス３４は吸引面１２に平行に形成さ
れており、またスロツト３２の断面寸法よりも小
さな断面寸法を有する。供給オリフイス３４は吸
引面１２に平行にスロツト３２内へ空気流を噴射
し、スロツト３２を通つた空気噴流は吸引ヘツド
の側面からそのまま外部へ放出される。供給オリ
フイス３４はスロツト３２の床部分すなわち溝の
底面に沿つて噴射流を与えている。スロツト３２
としては、短くて幅広い溝よりも、長くて幅の狭
い溝の方がはるかに効率的であることがわかつ
た。作動させる場合、第６図の装置は広い範囲の
流れ供給圧力で、作動可能である。剛性の材料だ
けではなく、可撓性の材料をも効率よく引上げ、
保持することができる。たとえば約4psigの供給
圧力において、テイツシユ・ペーパー、布あるい
はウエフアーのような材料を、移送ヘツドによつ
て容易に引き寄せ、保持することができる。同時
に、空気通路の寸法が小さいため、流れの消費条
件がゆるやかなものとなる。本質的に、スロツト
のポンピング作用は、一様で、穏やかで、安定し
た効果的な吸引作用をもたらす。また、動作幅が
広く、従つてシートとヘツドの配置に関する許容
変動幅が大きくなる。換言すれば、本発明によれ
ば、グリーン・シートの供給と吸引ヘツドの間の
位置合せが、より容易に達成される。

本発明の三番目の好ましい実施例を第７Ａ図お
よび第７Ｂ図に示す。グリーン・シート吸引ヘツ
ドのこの構成は、第６図の実施例と同じ吸気噴流
吸引方法を利用して大きな吸引ヘツドを構成した
ものである。第７Ａ図に示すように、ノズル１０
からの供給空気は、４つの部分からなる供給マニ
ホルド１６に送られ、次いで吸引ヘツドのプレナ
ム２２へ供給される。ヘツドは枠状の上部部材２
０および下部部材３０からなつており、プレナム
２２は枠状部分の中心部に枠状に設けられてい
る。一連のスロツト３２が、第６図の実施例のも
のと対応する態様で、プレナム２２から延びてい
る。スロツトの噴流は、したがつて、上述の実施
例に対応する態様で、スロツト３２から放出され
る。第７Ｂ図に示すように、部材３０のコーナー
部分は、グリーン・シートと接触する表面の大き
さに合うように、面２４のところで斜めに切られ
ている。すなわち、底面１２は下面１２の両側の
傾斜面２４の大きさによつて、選択的に変化す
る。したがつて、面１２と接触するグリーン・シ
ートの面積を、この傾斜面の関数として、最適化
することができる。また第５図の実施例における
ように、各スロツトのコーナーに丸味をつけ、流
れの特性を改善することもできる。

第７Ｂ図は、スロツトによつて開放される空気
の吸気効果によるものである、平均吸引力Ｆを示
している。この力がグリーン・シートの重量と等
しく、つり合つている場合、シートはヘツドにつ
く、すなわち面１２につく。

第７図の実施例は、共通の入口からの対称的な
マニフオルドの配置を示している。したがつて、
複数のスロツト３２から放出される空気は、面１
２に接近するシートを、均一に引き寄せる吸引力
を発生する。グリーン・シートが影響を受けやす
い性質であるため、傾斜構造は装置の吸引作用に
影響をおよぼさないが、最小限の、しかしながら
効率のよい接触を行なうことを可能とする。

本明細書記載の通り、本発明は真空ポンプを必
要としないため、他の吸引装置とは大幅に異なる
ものである。持上げ装置の閉塞および正確な位置
合せの問題が除去される。移送ならびに引上げヘ
ツドの他の実施例を、本発明の教示するところに
したがつて、その本質的な範囲を逸脱することな
く、作成できることは明らかである。たとえば、
スロツトが周辺領域に枠状に設けられた矩形のヘ
ツドを図示したが、ヘツドを持上げられる物体の
平面形状に合致した形状にすることもできる。さ
らに本装置が吸気空気流特性を使用して、従来の
真空装置よりも大きな流域におよぶ一体的な吸引
効果を達成しているので、スロツトの配置を変更
して他の列を画定することもできる。

本発明において、部分的に包囲された気体噴流
の集中吸気流特性は、可撓性のシートの平らな表
面と平行に移動する。この流れの状態は、スロツ
トおよびシートの表面によつて限定された領域に
おいて、連続的に発生する吸引効果を与える。同
時に、平行な気体流は、シート上で流れの方向に
作用する境界層抵抗を誘導する。好ましい実施例
で示したようなスロツトの列を設けることによ
り、これらの力の集中効果がシートを持上げ、ヘ
ツド上に保持する。したがつて、これらの原理に
したがつて、さまざまな異なるスロツトの配置を
画定できる。図示されていないが、スロツトを湾
曲させることもまた波状にすることもできる。ス
ロツトを半径方向外方に向ける必要はないが、引
上げ条件に応じて、引上げヘツドの中心に関し
て、かたよらせたり、斜めにしたりすることがで
きる。また、本発明の用途が可撓性の材料に使う
ものであるが、本発明を剛性のウエフアーを持ち
上げるのに用いられることも、明らかである。

【図面の簡単な説明】

第１Ａ図および第１Ｂ図は、引き上げられる物
体と装置との関係を示す、引上げ装置の略断面図
である。第２Ａ図および第２Ｂ図は、吸引方法を
利用した公知の引上げ装置の略断面図である。第
３図は、吸引装置の作動に関する、時間の関数と
しての力の関係を示すグラフである。第４図は、
吸気空気流を含む、大気中へ放出される自由噴流
の空気流線を示す略図である。第５図は、スロツ
ト壁システムにおける、包囲空気噴流の吸気特性
を示す、一実施例の斜視図である。第６Ａ図、第
６Ｂ図、第６Ｃ図及び第６Ｄ図は、本発明の第２
実施例の、それぞれ底面図、平面図、側面図、お
よび立面図である。第７Ａ図および第７Ｂ図は本
発明の第３実施例の、それぞれ平面図および側面
図である。 １０……入口ポート、３２……スロツト。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ シート状の材料を吸引面に引きつけて保持す
   るための吸引ヘツドであつて、 加圧された気体を受取るための入口ポートと、 上記吸引面に設けられ、上記吸引面に沿つて延
   びる細長い開口を与える複数の細長い溝と、 上記入口ポートと連通し、かつ上記溝よりも小
   さな寸法を有し、上記入口ポートに受取つた気体
   を上記吸引面と平行に上記溝内へ噴射させるため
   のオリフイスと、 を有し、上記溝は上記吸引ヘツドの側面部まで延
   びて、この側面部から上記溝内の気体噴射流を外
   部へ放出し、上記溝を通る気体噴射流によつて上
   記開口に吸引力を生じさせることを特徴とするシ
   ート状材料用の吸引ヘツド。