JPH0353836U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る両面研磨装置の一実施例
を示す断面図、第２図は従来の両面研磨装置の断
面図である。 １……上定盤ユニツト、２……上定盤、３……
被回転部材（ケース）、４……昇降機構、５……
下定盤、６……駆動部材（カツプリング）、７…
…キー溝、８……可動キー、８ａ……先端部、１
０……バネ、１５……駆動軸、１６……被加工物
、１７……キヤリア、１８……内歯部材、１９…
…外歯部材、２０……押え部材、２２……シリン
ダ、２３……スピードコントローラ、２４……レ
ギユレータ、２５……電磁弁、２５ａ……ソレノ
イド。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 対向面にそれぞれ研磨布を設けた上下両定盤間
   に、キヤリアにより保持された被加工物を配置し
   、かつこの被加工物を前記上定盤の下降により挾
   圧する一方、前記上定盤を回転駆動させる駆動部
   材のキー溝に、前記上定盤と一体な被回転部材に
   設けた可動キーを、前記駆動部材を回転させなが
   ら係合させるとともに、これら被回転部材と駆動
   部材とを互いに嵌合させることにより、前記上定
   盤に駆動部材の駆動力を伝達し、前記上下両定盤
   とキヤリアとを相対的に回転移動させて被加工物
   の両面研磨を行なう面研磨装置において、 前記被回転部材を駆動部材に嵌合させる際に、
   前記可動キーとキー溝との係合位置の位置ずれに
   伴い被回転部材が駆動部材の回転に共回りしない
   ように回転停止手段を設けたことを特徴とする両
   面研磨装置。