JPH0354736U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例の排気速度調整装置の
構成図。第２図は第１図の装置を真空槽および真
空ポンプと接続した図。第３図は従来の真空槽排
気の系統図である。 １……ニユーマチツクバルブ、２……弁体、３
……ニードルバルブ、４……チエツクバルブ、５
……開閉用電磁弁、６……バイパス用電磁弁、７
……排気速度調整装置、８……真空槽、９……真
空ポンプ、１０……大流量弁、１１……小流量制
御弁。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 排気弁の弁体に、その開閉移動の速度を制
   御する装置を備えたことを特徴とする真空装置の
   排気速度調整装置。 (2) 前記排気弁としてニユーマチツクバルブ、
   その弁の開閉移動の速度を制御する装置として、
   ニードルバルブとその開閉用電磁弁を使用したこ
   とを特徴とする実用新案登録願請求の範囲第１項
   記載の真空装置の排気速度調整装置。 (3) 前記排気弁として電動バルブ、その弁の開
   閉移動の速度を制御する装置として速度機付きの
   電気モーターを使用したことを特徴とする実用新
   案登録願請求の範囲第１項記載の真空装置の排気
   速度調整装置。