JPH0354878A - Manufacturing method of thickness vibrating piezoelectric ceramic transformer - Google Patents
Manufacturing method of thickness vibrating piezoelectric ceramic transformerInfo
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 16
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 3
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 claims 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 2
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 abstract description 4
- 229910003781 PbTiO3 Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract description 2
- 238000007569 slipcasting Methods 0.000 abstract description 2
- 238000001354 calcination Methods 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 6
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 6
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 3
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 230000002500 effect on skin Effects 0.000 description 1
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Dc-Dc Converters (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、高周波帯で動作可能な圧電トランスの製造方
法に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a method of manufacturing a piezoelectric transformer that can operate in a high frequency band.
（従来の技術）
近年、電源小型化のため、スイッチング電源の高周波化
が目ざましく行われている。従来より、このスイッチン
グ電源には、電磁型トランスが用いられており、電源を
小型化するためには、周知の如くスイッチング周波数の
高周′波化を図ることが望ましい。ところが、周波数を
高くするほど、電磁型トランスに用いられている磁性材
料のヒステリシス損失、渦電流損失、表皮効果による損
失が急激に増大する欠点を持つ。このため、電磁型トラ
ンスの実用的な周波数帯域の上限はせいぜい５００ｋＨ
ｚである。(Prior Art) In recent years, in order to miniaturize power supplies, the frequency of switching power supplies has been increased rapidly. Conventionally, electromagnetic transformers have been used in switching power supplies, and in order to downsize the power supply, it is desirable to increase the switching frequency, as is well known. However, as the frequency increases, losses due to hysteresis loss, eddy current loss, and skin effect of the magnetic material used in the electromagnetic transformer rapidly increase. For this reason, the upper limit of the practical frequency band of an electromagnetic transformer is at most 500kHz.
It is z.
これに対して、圧電トランスは、共振状態で使用され、
一般の電磁型トランスに比べて（１）同一周波数におい
て、エネルギー密度が高いため小型化がはかれること、
（２）不燃化がはかれること、（３）電磁誘導によるノ
イズが出ないことなど数多くの長所を有している。In contrast, piezoelectric transformers are used in a resonant state,
Compared to general electromagnetic transformers, (1) the energy density is higher at the same frequency, so it can be made smaller;
It has many advantages such as (2) being nonflammable and (3) not producing noise due to electromagnetic induction.
第５図に従来の代表的な圧電トランスであるローゼンタ
イプ圧電トランスの構造を示す。高電圧を取り出そうと
する場合、第５図について説明する？、表面に電極が設
けられた圧電板において、８１で示す部分は圧電トラン
スの低インピーダンスの駆動部分であり、その上下面に
電極８３．８４が設けられており、この部分は厚み方向
に分極されている（図中の矢印で示す）。また、同様に
８２で示す部分は高インピーダンスの発電部分であり、
その端面に電極８５が設けられており、発電部分８２は
圧電極の長さ方向に分極されている（図中の矢印で示す
）。この圧電トランスの動作は、駆動電極８３， ８４
に電圧が印加されると横効果３１モードで、電気機械結
合係数ｋ３■に依って縦振動が励振され、さらに発電部
分では、電気機械結合係数ｋ３３に依って、縦効果縦振
動モード（３３モード）により、高電圧が取り出される
。一方、高電圧を入力し、低電圧を出力させようとする
場合には、縦効果の高インピーダンス部分を入力側、横
効果の低インピーダンス部分を出力側とすれば良いこと
は言うまでもない。他のタイプの圧電トランスも、いず
れもローゼンタイプと同じ板の伸び振動を利用したもの
や円板の径拡がり振動を利用したものであり、適用周波
数は最高２００ｋＨ耐呈度である。FIG. 5 shows the structure of a Rosen type piezoelectric transformer, which is a typical conventional piezoelectric transformer. If you are trying to extract high voltage, can you explain about Figure 5? In the piezoelectric plate with electrodes provided on its surface, the part indicated by 81 is a low-impedance drive part of the piezoelectric transformer, and electrodes 83 and 84 are provided on its upper and lower surfaces, and this part is polarized in the thickness direction. (indicated by the arrow in the figure). Similarly, the part indicated by 82 is a high impedance power generation part,
An electrode 85 is provided on the end face, and the power generation portion 82 is polarized in the length direction of the piezoelectric electrode (indicated by an arrow in the figure). The operation of this piezoelectric transformer is performed by driving electrodes 83, 84
When a voltage is applied, longitudinal vibration is excited in the transverse effect 31 mode depending on the electromechanical coupling coefficient k3■, and furthermore, in the power generation part, the longitudinal effect longitudinal vibration mode (33 mode) is excited depending on the electromechanical coupling coefficient k33. ), high voltage is extracted. On the other hand, when a high voltage is input and a low voltage is to be output, it goes without saying that the high impedance portion of the longitudinal effect may be placed on the input side, and the low impedance portion of the transverse effect may be placed on the output side. Other types of piezoelectric transformers also use the same plate extension vibration as the Rosen type or the diameter expansion vibration of a disc, and the applicable frequency is a maximum of 200 kHz.
（発明が解決しようとする課題）
以上の従来例で示したように、圧電トランスの適用周波
数領域は、２００ｋＨｚ以下の低周波帯においてのみで
あった。また、ローゼンタイプの圧電トランスは、縦効
果の結合係数に比べて著しく小さい、横効果縦振動モー
ドの結合係数ｋ３１を用いざるを得ないため、小さい帯
域幅しか得られないという欠点があった。(Problems to be Solved by the Invention) As shown in the above conventional examples, the applicable frequency range of piezoelectric transformers is only in the low frequency band of 200 kHz or less. Furthermore, the Rosen type piezoelectric transformer has the disadvantage that only a small bandwidth can be obtained because it has no choice but to use the coupling coefficient k31 of the transverse effect longitudinal vibration mode, which is significantly smaller than the coupling coefficient of the longitudinal effect.
（課題を解決するための手段）
本発明は、ＩＭＨｚ以上の高周波帯において低損失で十
分な機能を有する圧電トランスの製造方法を提供するた
めになされたものである。本発明の圧電磁器トランスは
、第１図に示す如く、内部多層電極１３を有する低イン
ピーダンス部分１１と、単層（もしくはせいぜい２，３
層）の内部電極１３を有する高インピーダンス部分１２
から構成され、厚み縦振動モードで動作する。分極方向
（図において矢印で示す）は、すべて厚み方向で、隣接
する各層の分極方向は互いに逆向きである。このような
内部多層電極を有する圧電トランスは、積層セラミック
キャパシタ等で用いられている積層セラミック技術（ド
クターブレード法）で製造することが可能であり、この
ような方法で製造した圧電トランスでは、厚間隔が２５
ｐｍ程度まで薄く実現することが可能である。従って、
２分の１波長モード（両端自由の基本モード）、あるい
は１波長モード（両端自由の２次モード）厚み縦共振を
利用したとしても、積層セラミック技術を用いて、５Ｍ
Ｈｚ〜１０ＭＨｚ帯の超音周波領域で動作する圧電トラ
ンスも実現できる。厚みたて振動で動作する圧電トラン
スの出力Ｐ（ワット）は、簡単なエネルギー的考察によ
り、近似的にＰ ａｔ ｆｒ゜ｅ’３３゜■゜ｋ２ｔと
なる。ただし、ｆ，は厚みたて共振周波数、ε’３３は
拘束誘電率、■は圧電トランスの体積、ｋ２，は厚みた
て振動の電気機械結合係数である。従って圧電トランス
は、圧電セラミック材料の電気機械結合係数ｋ，が大き
いほど、共振周波数ｒ１が高いほど、単位体積当たりの
出力が大きくなり、それだけ小型化を図ることができる
。(Means for Solving the Problems) The present invention has been made in order to provide a method for manufacturing a piezoelectric transformer that has low loss and sufficient functionality in a high frequency band of IMHz or higher. The piezoelectric ceramic transformer of the present invention, as shown in FIG.
high impedance portion 12 with internal electrodes 13 of the layer)
It operates in thickness longitudinal vibration mode. All polarization directions (indicated by arrows in the figure) are in the thickness direction, and the polarization directions of adjacent layers are opposite to each other. Piezoelectric transformers with such internal multilayer electrodes can be manufactured using the multilayer ceramic technology (doctor blade method) used in multilayer ceramic capacitors, etc., and piezoelectric transformers manufactured using this method can interval is 25
It is possible to achieve a thickness as thin as pm. Therefore,
Even if half wavelength mode (fundamental mode with both ends free) or 1 wavelength mode (secondary mode with both ends free) thickness longitudinal resonance is used, 5M
A piezoelectric transformer that operates in the ultrasonic frequency range of Hz to 10 MHz can also be realized. The output P (watts) of a piezoelectric transformer operated by vertical vibration is approximately P at fr°e'33°■°k2t from a simple energy consideration. Here, f, is the thick vertical resonance frequency, ε'33 is the constraint permittivity, ■ is the volume of the piezoelectric transformer, and k2 is the electromechanical coupling coefficient of the thick vertical vibration. Therefore, the larger the electromechanical coupling coefficient k of the piezoelectric ceramic material and the higher the resonance frequency r1, the larger the output per unit volume of the piezoelectric transformer, and the smaller the piezoelectric transformer can be made.
（実施例）
第２図（ａ）， （ｂ）は本発明の圧電トランスの一実
施例の断面図である。第２図に示した四端子型圧電トラ
ンスは２ＭＨｚ帯厚み縦２次モードを用いており、圧電
材料としてはＰｂＴｉ０３系圧電材料を用いている。(Embodiment) FIGS. 2(a) and 2(b) are cross-sectional views of an embodiment of the piezoelectric transformer of the present invention. The four-terminal piezoelectric transformer shown in FIG. 2 uses a 2 MHz band thickness longitudinal quadratic mode, and uses a PbTi03-based piezoelectric material as the piezoelectric material.
本トランスでは端子１８． １９から高い高周波電圧を
印加し、端子１６． １７において低い高周波電圧が出
力される構成となっており、その幅は３．５ｍｍ、長さ
４．５ｍｍ、板厚は１．９８ｍｍで、このうち高インピ
ーダンス部分１２の板厚は約半分の１．０８ｍｍである
。また高インピーダンス部１２、低インピーダンス部１
１とも、内部電極と圧電材料が交互に積層された構造と
なっており、隣接層間において分極方向が互いに逆向き
になるように電気端子１６． １７より直流高電圧を印
加することによって分極処理が施されている。外部電極
１５はこの例では高インピーダンス部１２に接続するも
のと低インピーダンス部１１に接続するものはそれぞれ
異なる面に形成されている。In this transformer, terminal 18. A high high frequency voltage is applied from terminal 16. The structure is such that a low high frequency voltage is output at the high impedance portion 17, and the width is 3.5 mm, the length is 4.5 mm, and the plate thickness is 1.98 mm. It is .08mm. Also, the high impedance section 12 and the low impedance section 1
Both of the electrical terminals 16.1 have a structure in which internal electrodes and piezoelectric materials are alternately laminated, and the electrical terminals 16. Polarization treatment is performed by applying a DC high voltage from 17. In this example, the external electrodes 15 connected to the high impedance section 12 and those connected to the low impedance section 11 are formed on different surfaces.
しかし、外部電極１５が高インピーダンス部に接続する
部分と低インピーダンス部に接続する部分とが分離して
おり、同一面に形成されていてもよい。However, the portion of the external electrode 15 connected to the high impedance portion and the portion connected to the low impedance portion may be separated and formed on the same surface.
本圧電トランスの集中定数近似等価回路は第３図のよう
になる。図において、Ｃｄｌ， Ｃｄ２はそれぞれ入力
側、出力側の制動容量、Ａ１，Ａ２は力係数、ｍ，Ｃ，
騙は二次モードに関する等価質量、等価コンブライアン
ス、等価機械抵抗である。本圧電トランスは、第３図に
示した等価回路に基づき、バターワース１次のフィルタ
として設計された。第４図に、トランスの入出力側に適
当な抵抗負荷で終端したときの動作減衰量特性の実測値
を示す。中心周波数における減衰量は１ｄＢ以下であり
、３ｄＢ比帯域幅は１５％であった。また、電圧伝送に
関して、人力側に交流５０Ｖを印加したところ、安定に
出力側に５■の電圧を得ることができた。The lumped constant approximate equivalent circuit of this piezoelectric transformer is shown in FIG. In the figure, Cdl and Cd2 are the braking capacities on the input side and output side, respectively, A1 and A2 are the force coefficients, m, C,
The deceptions are the equivalent mass, equivalent conformance, and equivalent mechanical resistance for the secondary modes. This piezoelectric transformer was designed as a Butterworth first-order filter based on the equivalent circuit shown in FIG. FIG. 4 shows actual measured values of the operational attenuation characteristics when the input and output sides of the transformer are terminated with appropriate resistive loads. The amount of attenuation at the center frequency was 1 dB or less, and the 3 dB fractional bandwidth was 15%. Regarding voltage transmission, when AC 50V was applied to the human power side, a stable voltage of 5V could be obtained on the output side.
また、本圧電トランスは、駆動周波数をＩＭＨｚとして
、基本厚み縦振動モードを利用することも勿論可能であ
る。Moreover, it is of course possible for this piezoelectric transformer to use the basic thickness longitudinal vibration mode with the drive frequency set to IMHz.
次に本発明の製造方法について、第２図に示した圧電磁
器トランスを製造する場合について説明する。まず、グ
リーンシートの製造方法を説明する。まず圧電材料とし
てＰｂＴｉ０３系圧電セラミックス粉末、バインダーと
してポリビニルアルコール、可塑剤としてグリセリン、
溶剤として水を秤量し、撹拌器で混合する。それぞれの
量はセラミックスが約８０重量％、バインダー約１０重
量％、溶剤は約１０重量％であるが、泥漿と呼ばれる混
合物の粘度が５，０００センチボアズ程度になるように
溶剤が適宜添加される。次にこの泥漿をスリップキャス
ティング法により、厚さが約１３０ｐｍのグリーンシー
トとする。その後、熱プレス機で積層圧着するために必
要な形状、即ちプレス金型に適合する大きさにパンチン
グ器により打抜き切断する。Next, regarding the manufacturing method of the present invention, a case will be described in which the piezoelectric ceramic transformer shown in FIG. 2 is manufactured. First, a method for manufacturing a green sheet will be explained. First, PbTi03 piezoelectric ceramic powder is used as a piezoelectric material, polyvinyl alcohol is used as a binder, glycerin is used as a plasticizer,
Weigh out water as a solvent and mix with a stirrer. The respective amounts are approximately 80% by weight of the ceramic, approximately 10% by weight of the binder, and approximately 10% by weight of the solvent, and the solvent is appropriately added so that the viscosity of the mixture called slurry is approximately 5,000 centibore. Next, this slurry is formed into a green sheet with a thickness of about 130 pm by a slip casting method. Thereafter, the material is punched and cut using a punching machine into a shape necessary for lamination and pressure bonding using a hot press machine, that is, a size suitable for a press mold.
前述したグリーンシートに、Ａｇ， Ｐｄ、バインダー
、有機溶剤からなるＡｇ−Ｐｄペーストをスクリーン印
刷法により印刷する。その後、低インピダンス部１１に
なるべき部分としてはＡｇ−Ｐｄペーストの印刷された
グリーンシート（内部電極付グリーンシート）を１０枚
積層する。また高インピーダンス部１２になるべき部分
としては、グリーンシート２枚、内部電極付グリーンシ
ート１枚、グリーンシート２枚内部電極付グリーンシー
ト１枚、グリーンシート２枚、内部電極付グリーンシー
ト１枚、そして最後にグリーンシート１枚を積層する。An Ag-Pd paste consisting of Ag, Pd, a binder, and an organic solvent is printed on the green sheet described above by screen printing. Thereafter, ten green sheets (green sheets with internal electrodes) printed with Ag--Pd paste are laminated as a portion to become the low-impedance section 11. Also, the parts that should become the high impedance section 12 are: 2 green sheets, 1 green sheet with internal electrodes, 2 green sheets, 1 green sheet with internal electrodes, 2 green sheets, 1 green sheet with internal electrodes, Finally, one green sheet is laminated.
次に、この積層体を５００°Ｃ１０時間、空気中で熱処
理して脱バインダーを終了する、その後１３００’Ｃ２
時間、焼成し、所要寸法に切断する。さらに外部電極１
５を焼付けし、電極端子１６と１７間、１８と１９間に
５００Ｖを印加し分極させる。Next, this laminate is heat treated in air at 500°C for 10 hours to complete debinding, and then at 1300°C2
Bake for an hour and cut to required size. Furthermore, external electrode 1
5 is baked, and 500V is applied between electrode terminals 16 and 17 and between 18 and 19 to polarize.
本発明の他の製造方法は以下のようになる。まず空孔パ
ターンの作或であるが、これはアクリル系感光性樹脂（
厚さ５０ｐｍ）を用意し、これに第２図に示す電極と相
似形のパターン用マスクを用いて、露光し、現像するこ
とで空孔パターンが得られる。その後、本発明第２項で
の内部電極が作戒されるべき位置に空孔パターンが位置
するようにして、グリーンシートと空孔パターンを積層
し熱圧着する。次に第２項と同様にして焼結体を作威し
必要形状に切断する。その後、さらに真空中で、溶融し
たＣｕ中に、これを浸し、空孔パターンと相似形に形成
された空洞部に金属を注入し、これを引き上げた後、冷
却して第２図に示した圧電磁器トランスが得られる。本
発明の他の製造方法としてはＡｇ−Ｐｄペーストの替り
に、カーボン、バインダーと有機溶剤からなるペースト
をスクリーン印刷し、積層、熱プレス、脱バインダー焼
成を行う。その後焼結体中の空洞部にＣｕを注入し、冷
却した後、所要寸法に切断し、外部電極を形成すること
で同様に圧電磁器トランスが得られる。Another manufacturing method of the present invention is as follows. First, the hole pattern was created using acrylic photosensitive resin (
A hole pattern is obtained by preparing a layer (with a thickness of 50 pm), exposing it to light using a pattern mask similar to the electrode shown in FIG. 2, and developing it. Thereafter, the green sheet and the hole pattern are laminated and bonded by thermocompression so that the hole pattern is located at the position where the internal electrode in Section 2 of the present invention is to be placed. Next, the sintered body is prepared and cut into the required shape in the same manner as in Section 2. Thereafter, this was further immersed in molten Cu in a vacuum, metal was injected into the cavity formed in a similar shape to the hole pattern, and after being pulled out, it was cooled and shown in Figure 2. A piezoelectric ceramic transformer is obtained. In another manufacturing method of the present invention, instead of the Ag-Pd paste, a paste consisting of carbon, a binder and an organic solvent is screen printed, followed by lamination, hot pressing, and binder removal firing. Thereafter, Cu is injected into the cavity in the sintered body, cooled, and then cut into required dimensions to form external electrodes, thereby obtaining a piezoelectric ceramic transformer in the same manner.
これらの方法では焼結体が作威された後、内部電極を形
成するため、酸化され易いＡＩ， Ｃｕ等の任意の金属
を使用することのできる利点がある。In these methods, since the internal electrodes are formed after the sintered body is sintered, there is an advantage that any metal that is easily oxidized, such as AI or Cu, can be used.
（発明の効果）
以上詳述した如く、本発明の製造方法によれば、ＩＭＨ
ｚ以上の高周波帯に使用することができ、かつ小型で高
効率である圧電トランスを効率的に作製することができ
る。また内部電極としてＣｕやＡ１などを用いることが
できる。(Effect of the invention) As detailed above, according to the manufacturing method of the present invention, IMH
It is possible to efficiently manufacture a piezoelectric transformer that can be used in a high frequency band of z or more, and is small and highly efficient. Further, Cu, A1, or the like can be used as the internal electrode.
第ｌ図は本発明の厚み振動圧電磁器トランスの斜視図、
第２図（ａ）， （ｂ）は本発明の実施例に基づく圧電
磁器トランスの断面図、第３図は本発明の圧電磁器トラ
ンスの集中定数近似等価回路図、第４図は本発明の一実
施例における圧電磁器トランスの動作減衰量特性図、第
５図は従来のローゼンタイプ圧電磁器トランスの斜視図
を示す。
図において、ｌ１は本発明の圧電トランスの低インピー
ダンス部分、１２は高インピーダンス部分、１３は内部
電極、１５は外部電極、１６． １７， １８． １９
は電気端子、８１は従来のローゼンタイプ圧電トランス
の低インピーダンス部分、８２は高インピーダンス部分
、８３， ８４． ８５は電極。FIG. 1 is a perspective view of the thickness vibrating piezoelectric ceramic transformer of the present invention;
2(a) and (b) are cross-sectional views of a piezoelectric ceramic transformer according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a lumped constant approximate equivalent circuit diagram of a piezoelectric ceramic transformer of the present invention, and FIG. 4 is a diagram of a piezoelectric ceramic transformer according to an embodiment of the present invention. FIG. 5 is a diagram showing the operational attenuation characteristic of a piezoelectric ceramic transformer in one embodiment. FIG. 5 shows a perspective view of a conventional Rosen type piezoelectric ceramic transformer. In the figure, l1 is a low impedance portion of the piezoelectric transformer of the present invention, 12 is a high impedance portion, 13 is an internal electrode, 15 is an external electrode, 16. 17, 18. 19
81 is a low impedance portion of a conventional Rosen type piezoelectric transformer; 82 is a high impedance portion; 83, 84. 85 is an electrode.
Claims (3)
極層を介して隣接する圧電磁器層は互いに逆向きに分極
されている積層体であって、電極層は一層おきに所定の
外部電極と接続しており、該外部電極は低インピーダン
ス部を構成する一対と高インピーダンス部を構成する一
対とからなる厚み振動圧電磁器トランスの製造方法であ
って、圧電材料、分散媒、バインダーからなる泥漿より
グリーンシートを作製する工程と、グリーンシートに内
部電極を印刷し積層して熱圧着する工程と、脱バインダ
ーと焼成を行ない、所定形状に切断して外部電極を形成
した後、外部電極に電圧を印加し圧電材料を分極する工
程とを備えたことを特徴とする厚み振動圧電磁器トラン
スの製造方法。(1) A laminate in which a plurality of electrode layers and piezoelectric ceramic layers are alternately laminated, and the piezoelectric ceramic layers adjacent to each other via the electrode layers are polarized in opposite directions, and the electrode layers are arranged in a predetermined manner. A method for manufacturing a thickness vibrating piezoelectric ceramic transformer connected to external electrodes, the external electrodes comprising a pair constituting a low impedance section and a pair constituting a high impedance section, the method comprising: a piezoelectric material, a dispersion medium, a binder; There is a process of producing a green sheet from the slurry, a process of printing internal electrodes on the green sheet, laminating them and bonding them by thermocompression, removing the binder and baking them, cutting them into a predetermined shape to form external electrodes, and then forming external electrodes. 1. A method for manufacturing a thickness vibrating piezoelectric ceramic transformer, comprising the steps of applying a voltage to a piezoelectric material and polarizing a piezoelectric material.
極を介して隣接する圧電磁器層は互いに逆向きに分極さ
れている積層体であって、電極層は一層おきに所定の外
部電極と接続しており、該外部電極は低インピーダンス
部を構成する一対と高インピーダンス部を構成する一対
とからなる厚み振動圧電磁器トランスの製造方法であっ
て、圧電材料、分散媒、バインダーからなる泥漿よりグ
リーンシートを作製する工程と、前記圧電材料が焼結す
る温度までに飛散または消失する材料を所定形状に形成
した空孔パターンとを交互に積層する工程と、脱バイン
ダーと焼成を行ない、所定形状に切断した後、前記空孔
パターンにより形成された空孔部に導体材料を注入する
工程と、外部電極を形成し圧電材料を分極する工程とを
備えたことを特徴とする厚み振動圧電磁器トランスの製
造方法。(2) A laminate in which a plurality of electrode layers and piezoelectric ceramic layers are alternately laminated, and the piezoelectric ceramic layers adjacent to each other via the electrodes are polarized in opposite directions, and every other electrode layer is A method for manufacturing a thickness vibrating piezoelectric ceramic transformer connected to electrodes, the external electrodes comprising a pair constituting a low impedance section and a pair constituting a high impedance section, the external electrodes comprising a piezoelectric material, a dispersion medium, and a binder. A step of producing a green sheet from the slurry, a step of alternately laminating a hole pattern formed in a predetermined shape with a material that scatters or disappears up to the temperature at which the piezoelectric material is sintered, and removing the binder and firing, A thickness vibrating piezoelectric device comprising: a step of injecting a conductive material into the holes formed by the hole pattern after cutting into a predetermined shape; and a step of forming an external electrode and polarizing the piezoelectric material. A method of manufacturing a porcelain transformer.
極層を介して隣接する圧電磁器層は互いに逆向きに分極
されている積層体であって、電極層は一層おきに所定の
外部電極と接続しており、該外部電極は低インピーダン
ス部を構成する一対と高インピーダンス部を構成する一
対とからなる厚み振動圧電磁器トランスの製造方法であ
って、圧電材料、分散媒、バインダーからなる泥漿より
グリーンシートを作製する工程と、前記圧電材料が焼結
する温度までに飛散または消失する材料を印刷法により
グリーンシート上に形成する空孔パターン形成工程と、
前記空孔パターンが形成されたグリーンシートを積層す
る工程と、脱バインダーと焼成を行ない、前記空孔パタ
ーンにより形成された空孔部に導体材料を注入する工程
と、所定形状に切断し、外部電極を形成した後、外部電
極に電圧を印加し、圧電材料を分極する工程とを備えた
ことを特徴とする厚み振動圧電磁器トランスの製造方法
。(3) A laminate in which a plurality of electrode layers and piezoelectric ceramic layers are alternately laminated, and the piezoelectric ceramic layers adjacent to each other through the electrode layers are polarized in opposite directions, and every other electrode layer is polarized in a predetermined manner. A method for manufacturing a thickness vibrating piezoelectric ceramic transformer connected to external electrodes, the external electrodes comprising a pair constituting a low impedance section and a pair constituting a high impedance section, the method comprising: a piezoelectric material, a dispersion medium, a binder; a step of forming a hole pattern on the green sheet by a printing method with a material that scatters or disappears up to the temperature at which the piezoelectric material is sintered;
A step of stacking the green sheets with the hole pattern formed thereon, a step of removing the binder and firing, and injecting a conductive material into the hole portions formed by the hole pattern, and cutting the green sheets into a predetermined shape and removing the external material. A method for manufacturing a thickness vibrating piezoelectric ceramic transformer, comprising the steps of: forming an electrode, and then applying a voltage to an external electrode to polarize a piezoelectric material.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1191708A JP2531270B2 (en) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | Manufacturing method of thickness vibration piezoelectric ceramic transformer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1191708A JP2531270B2 (en) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | Manufacturing method of thickness vibration piezoelectric ceramic transformer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0354878A true JPH0354878A (en) | 1991-03-08 |
| JP2531270B2 JP2531270B2 (en) | 1996-09-04 |
Family
ID=16279159
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1191708A Expired - Fee Related JP2531270B2 (en) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | Manufacturing method of thickness vibration piezoelectric ceramic transformer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2531270B2 (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1989
- 1989-07-24 JP JP1191708A patent/JP2531270B2/en not_active Expired - Fee Related
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| US10297744B2 (en) | 2014-08-29 | 2019-05-21 | Kyocera Corporation | Piezoelectric ceramic plate, plate-shaped substrate and electronic component |
| US11094874B2 (en) | 2015-09-10 | 2021-08-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric vibration device |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2531270B2 (en) | 1996-09-04 |
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