JPH0355080Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、真空容器に取り付けられ、圧力測定
用真空計の挿入取付部を気密かつ出入自在に摩擦
保持するゲージポートの改良に関するものであ
る。

（従来の技術） 一般に、真空装置の真空容器には該真空容器内
の圧力を測定するため真空計がゲージポートを用
いて取り付けられる。この種のゲージポートとし
て第５図に示すものが周知である。第５図におい
て、ゲージポート本体１は真空容器の壁部２にパ
ンキン３を介して取付ねじ４等により固定され
る。このゲージポート１の中心部には真空装置に
通じる測定孔５が穿設されており、この測定孔５
の大径部に真空計の挿入取付部６が挿通されてい
る。そして、挿入取付部６の外面にはシール材と
してのエラストマ７が嵌め込まれ、このエラスト
マ７はスペーサ８を介して特殊ナツト９により締
付け固定されている。この特殊ナツト９の締付け
によりエラストマ７は圧縮変形して挿入取付部６
の外面と測定孔５の内面とに気密圧接し挿入取付
部６の摩擦保持が達成されるのである。

（考案が解決しようとする問題点） この種のゲージポートは真空時の真空計保持用
として使用されるため、真空容器内の圧力が大気
圧以上になるような異常な場合を考慮せずに設計
されていた。このため、真空容器内の圧力が何ら
かの原因により大気圧以上となり、エラストマ７
によるシール部の摺動抵抗の相当する圧力以上の
内圧が働らくと、この内圧により真空計はゲージ
ポートの測定孔５から押し出されて抜け落ち、真
空計の測定球が破損する等有害な不具合を起こす
欠点があつた。

本考案は上記従来の問題点を解決するためにな
されたものであり、その目的は、たとえ真空容器
内の圧力が大気圧以上になつた場合であつても、
真空計の抜け出しを確実に防止することができる
ゲージポートを提供することにある。

（問題点を解決するための手段） 本考案は上記目的を達成するために次のように
構成されている。すなわち、本考案は、真空容器
に固定され真空計の挿入取付部をシール部材を介
して気密に摩擦保持するゲージポーにおいて、該
ゲージポートは、前記挿入取付部とシール部材と
の摩擦抵抗に打ち勝つて前記真空計を外に押し出
すのに必要な圧力よりも小さい真空容器内圧力で
弁孔を開動作するリリーフ弁を有しているゲージ
ポートである。

（作用） 上記構成からなる本考案において、真空容器内
が真空状態にあるときには真空計は真空容器の方
へ吸引力を受けるので真空容器から抜け出すこと
がなく、従来と同様に所期の真空測定が行なわれ
る。

これに対し、真空容器内が何らかの原因で大気
圧以上となつたときには、真空計は内圧により外
方への押し出し力を受ける。しかしこの場合、ゲ
ージポート内に設けたリリーフ弁は前記真空計の
挿入取付部とシール部材との摩擦抵抗に打ち勝つ
て真空計を外に押し出すのに必要な圧力よりも小
さい真空容器内圧力で動作するので、真空容器内
の気体は真空計を押し出すのに要する圧力となら
ないうちに弁孔を開いて外部に排出される。

したがつて、真空容器内の圧力が真空計を押し
出すのに必要な圧力を越えることはなく、これに
より真空計の抜け出しは確実に防止されるもので
ある。

（実施例） 以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明す
る。なお、以下の各実施例の説明において、前記
従来例と同一部材には同一符号を付してその説明
を省略する。

第１図には本考案の第１実施例が示されてい
る。図において、ゲージポート本体１にはリリー
フ弁１０が設けられている。このリリーフ弁１０
は真空計の挿入取付部６の手前位置、すなわち挿
入取付部６から真空容器寄りに測定孔５と交差す
る通気孔１１を有している。一方、このゲージポ
ート本体１には前記通気孔１１を覆つて弁体ハウ
ジング１２が取付ねじ等により気密に固定されて
おり、この弁体ハウジング１２の中央部には前記
通気孔１１と連通する弁孔１３が設けられてい
る。

弁孔１３にはシール部材としてのエラストマ１
４が嵌め込まれており、このエラストマ１４によ
つて気密にシールされたピストン１５が弁孔１３
に摺動自在に挿通されている。このピストン１５
とエラストマ１４との摺動抵抗は、前記真空計を
挿入取付部６とエラストマ７との摩擦抵抗に打ち
勝つて押し出すのに必要な圧力よりも小さい真空
容器内圧力で移動できるような値に設計される。
弁孔１３にはさらにエラストマ１４よりも外方位
置（図においては下方位置）に空〓部１６が形成
されており、この空〓部１６の壁部には外気と通
じる排気孔１７が形成されている。

したがつて本第１実施例によれば、真空容器内
が何らかの原因で大気圧以上となつた場合には、
この内圧で真空計の挿入取付部６が押出されるよ
り以前にピストン１５を押し出す。そして、ピス
トン１５の先端がエラストマ１４の位置を越えて
摺動することにより、ピストン１５とエラストマ
１４による排気孔１７の閉鎖が解除され、真空容
器内の気体は通気孔１１および排気孔１７を通つ
て外に排出される。それ故、真空容器内の圧力が
真空計の挿入取付部６とエラストマ７の摺動抵抗
に相当する圧力を越えて上昇することがなく、こ
のため、真空計がゲージポート本体から抜け落ち
るという従来の不具合は確実に解消されることに
なる。

第２図には本考案の第２実施例が示されてい
る。本第２実施例が前記第１実施例と異なること
は、真空計の挿入取付部６を第１実施例における
スペーサ８や特殊ナツト９を省略しエラストマ１
８を溝１９に収容して保持していることと、リリ
ーフ弁１０を弁体２０と弁ばね２１を用いて構成
したことである。

前記リリーフ弁１０は第１実施例と同様に通気
孔１１を覆つてゲージポート本体１に固定された
弁体ハウジング１２を有しており、この弁体ハウ
ジング１２の周面には適当数の排気孔１７が穿設
されている。そしてこの弁体ハウジング１２の内
部には弁孔兼用の通気孔１１を開閉する弁体２０
と、この弁体２０の動作面２０ａを弁座２２に圧
接する弁ばね２１とが収容されている。

前記動作面２０ａにはリング状のエラストマ２
２が嵌め込み固定されており、このエラストマ２
２は弁ばね２１の付勢力によつて弁座２２に弾性
的に圧接し通気孔１１の閉鎖を行う。前記弁ばね
２１の付勢力は前記真空計の挿入取付部６とエラ
ストマ１８との摩擦抵抗の力に抗して真空計を押
し出すのに必要な圧力よりも小さい真空容器内圧
力で弁ばね２２が圧縮変形できるように設定され
ており、したがつて、真空容器２の圧力が大気圧
よりも大きくなつた場合には前記第１実施例の場
合と同様に、挿入取付部６が押し出される以前に
弁体２０が押されて通気孔１１、すなわち弁孔１
３を開く。このため、真空容器内の圧力が挿入取
付部６を押し出す危険値を越えることはなく、真
空計のゲージポート本体１からの抜け出しは確実
に防止されることとなる。

第３図には本考案の第３実施例が示されてい
る。本第３実施例において、真空計のゲージポー
ト本体１への取付け構造は従来例および前記第１
実施例とほぼ同様であるが、本第３実施例では挿
入取付部６とゲージポート本体１との摩擦保持力
を強めるため、挿入取付部６と特殊ナツト９間に
エラストマ２７が介設されている。さらに、本第
３実施例においては、リリーフ弁１０を第２実施
例における弁体２０の代わりに弁球２３を用いて
構成している。すなわち、第３図において、通気
孔１１の外端部（図においては下端部）にエラス
トマ２４が嵌め込まれ、このエラストマ２４の中
心に弁孔１３が穿設されている。

そして、この弁孔１３に弁球２３が当接されて
おり、弁球２３は弁ばね２１によつて弁孔１３に
向け付勢され、該弁孔１３を閉鎖している。弁ば
ね２１の付勢力は前記第２実施例と同様に挿入取
付部６とエラストマ７および同２７との摩擦抵抗
に抗して真空計を押し出すのに必要な圧力よりも
小さい圧力で弁ばね２１が圧縮変形できるように
弱くしてあり、したがつて、真空容器内が大気圧
以上となつた場合には真空容器内の気体は挿入取
付部６の脱出に至らないうちに弁球２３を押し出
して外に排出され、真空計の抜け出しは確実に防
止される。

第４図には本考案の第４実施例が示されてい
る。本第４実施例における真空計のゲージポート
本体１への取付け構造は前記第１実施例と同様で
ある。本第４実施例のおいて特徴的なことは、リ
リーフ弁１０を弁ばね２１や弁体２０（あるいは
弁球２３）を使用せず、エラストマによつて形成
されたボス状の弁栓２５をゲージポート本体１か
ら一体的に突設した弁筒２８内の通気孔１１（弁
孔１３を兼用している。）に気密に嵌め込んで構
成していることである。前記弁栓２５と通気孔１
１（弁孔１３）との摺動抵抗と、挿入取付部６と
エラストマ７との摩擦抵抗との関係は、前記同様
に設定されており、したがつて、真空容器内の圧
力が大気圧以上になつた場合には、この真空容器
内の気体は真空計を押し出す圧力となる前に弁栓
２５を内側から押し出し開栓して排出されること
となり、前記各実施例と同様に真空計の抜け出し
は確実に防止される。なお、この弁栓２５の開栓
時における弁栓２５の落下紛失を防止するため、
該弁栓２５は鎖や紐等からなる連結具２６によつ
てゲージポート本体１に結ばれている。

上述の如く、本考案は種々の態様により実施す
ることが可能であるが、上記各実施例において、
真空容器に種類の異なる真空計を取り付け交換す
る場合には、各真空計ごとにそれに適するリリー
フ弁１０を備えた専用のゲージポートを用意すれ
ば便利である。そうすることにより、取り付けた
い真空計とそれに適するリリーフ弁１０との組み
合わせをその都度考慮することを要せず、前記専
用のゲージポートを使用することにより自動的に
取り付けたい真空計とそれに合つたリリーフ弁１
０との組み合わせが得られるという利点がある。

（考案の効果） 本考案は以上説明したような構成および作用を
有しているので、たとえ真空容器内が何らかの原
因で大気圧以上となつても、真空容器内の気体は
真空計がゲージポート本体から抜け出す前にリリ
ーフ弁が開動作して外に排出されるから、真空容
器内がリリーフ弁の動作圧力以上になることがな
く、したがつて、真空計がゲージポート本体から
抜け落ちて破損する等の問題は確実に解消される
こととなる。また、真空容器の内圧による異常過
圧も未然に防止でき真空容器使用上の安全を確保
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の第１実施例の構成を示す断面
図、第２図は本考案の第２実施例の構成を示す断
面図、第３図は本考案の第３実施例の構成を示す
断面図、第４図は本考案の第４実施例の構成を示
す断面図、第５図は従来装置の構成を示す断面図
である。 １……ゲージポート本体、２……壁部、３……
パツキン、４……取付ねじ、５……測定孔、６…
…挿入取付部、７，１４，１８，２４，２７……
エラストマ、８……スペーサ、９……特殊ナツト
１０……リリーフ弁、１１……通気孔、１２……
弁体ハウジング、１３……弁孔、１５……ピスト
ン、１６……空〓部、１７……排気孔、１９……
溝、２０……弁体、２０ａ……動作面、２１……
弁ばね、２２……弁座、２３……弁球、２５……
弁栓、２６……連結具、２８……弁筒。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 真空容器に固定され真空計の挿入取付部をシー
   ル部材を介して気密に摩擦保持するゲージポート
   において、該ゲージポートは、前記挿入取付部と
   シール部材との摩擦抵抗に打ち勝つて前記真空計
   を外に押し出すのに必要な圧力よりも小さい真空
   容器内圧力で弁孔を開動作するリリーフ弁を有し
   ていることを特徴とするゲージポート。