JPH0355750A - 電子銃装置 - Google Patents
電子銃装置Info
- Publication number
- JPH0355750A JPH0355750A JP1188768A JP18876889A JPH0355750A JP H0355750 A JPH0355750 A JP H0355750A JP 1188768 A JP1188768 A JP 1188768A JP 18876889 A JP18876889 A JP 18876889A JP H0355750 A JPH0355750 A JP H0355750A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- heater
- electron gun
- temperature
- power supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電子銃加熱蒸発装置用の電子銃装置に係わり、
特にリニア型の電子銃装置に関する。
特にリニア型の電子銃装置に関する。
従来の電子銃装置は、米国特許第４，１７１，４６２号
に記載のように、電子ビームを放出するカソード，カソ
ード加熱用のヒータ手段、及びヒータ手段の電源を備え
，ヒータ手段は単一の加熱要素から構戊されていた。
に記載のように、電子ビームを放出するカソード，カソ
ード加熱用のヒータ手段、及びヒータ手段の電源を備え
，ヒータ手段は単一の加熱要素から構戊されていた。
しかしながら、上記従来技術ではカソード面の温度分布
の均一化の点について配慮がされておらず、カソート端
で熱の逃げ易い部位ではカソード面の温度に低下し、こ
れに対応して電子ビームの出力が低下するという問題が
あった。また、カソードの中央部分では、逆に温度が高
くなり、カソード素材の劣化が進という問題があった。
の均一化の点について配慮がされておらず、カソート端
で熱の逃げ易い部位ではカソード面の温度に低下し、こ
れに対応して電子ビームの出力が低下するという問題が
あった。また、カソードの中央部分では、逆に温度が高
くなり、カソード素材の劣化が進という問題があった。
本発明の目的は、カソード面の温度分布を制御できる電
子銃装置を提供することである。
子銃装置を提供することである。
上記目的は、ヒータ手段を複数のヒータで構或すると共
に、カソードの表面温度を測定する温度測定手段と、温
度測定手段の測定値に基づきヒータ電源手段を制御し、
ヒータの出力を個別に制御するヒータ電源制御手段を設
けることにより達戊される。
に、カソードの表面温度を測定する温度測定手段と、温
度測定手段の測定値に基づきヒータ電源手段を制御し、
ヒータの出力を個別に制御するヒータ電源制御手段を設
けることにより達戊される。
温度測定手段の測定値に基づき複数のヒータの出力を個
別に制御するヒータ電源制御手段を設けることにより、
複数のヒータに対応してカソード面の温度を変えること
ができ、カソード面の温度分布を制御できる。
別に制御するヒータ電源制御手段を設けることにより、
複数のヒータに対応してカソード面の温度を変えること
ができ、カソード面の温度分布を制御できる。
以下・本発明の一実施例を第１図〜第３図レこより説明
する。
する。
第１図において、本実施例の電子銃装置は、電子を放出
し、電子ブーム６を形成するカソート１，カソートｌに
隣接してその長手方向に配置された、カソード加熱用の
複数のヒータ２，複数のヒータ２に対応して設けられた
複数のヒータ電源３，複数のヒータ＠’ＦＡ３を制御す
るヒータ電源制御回路４、及びカソート１の表面温度を
ｉｌｌ！Ｉ定し，そのａｌｌ＋定データをヒータ電源制
御回路４に出力する放躬温度計５からなっている。
し、電子ブーム６を形成するカソート１，カソートｌに
隣接してその長手方向に配置された、カソード加熱用の
複数のヒータ２，複数のヒータ２に対応して設けられた
複数のヒータ電源３，複数のヒータ＠’ＦＡ３を制御す
るヒータ電源制御回路４、及びカソート１の表面温度を
ｉｌｌ！Ｉ定し，そのａｌｌ＋定データをヒータ電源制
御回路４に出力する放躬温度計５からなっている。
本実施例の動作原理を従来装置と比較して第２図及び第
３図により説明する。
３図により説明する。
従来の電子銃装置では、電子を放出するカソードを単一
のヒータで加熱してる。このため、熱の逃げ易いカソー
ド端では温度が低下するので，力ソード面上で第２図に
示すような温度分布を持ってしまう。カソード面の温度
がこのように低下すると、その部分で電子の放出が弱め
られ、電子ビームの出力分布も同様に布均一となる。
のヒータで加熱してる。このため、熱の逃げ易いカソー
ド端では温度が低下するので，力ソード面上で第２図に
示すような温度分布を持ってしまう。カソード面の温度
がこのように低下すると、その部分で電子の放出が弱め
られ、電子ビームの出力分布も同様に布均一となる。
これに対して、本実施例では、カソード１の加熱を複数
のヒータ２で行っているので、それによって，カソード
面の温度分布の劇定値を基に各ヒータ２の出力を制御し
、カンード面の温度分布を変えることができ，第３図に
示すようにカソード面の温度分布を一様に制御できる。
のヒータ２で行っているので、それによって，カソード
面の温度分布の劇定値を基に各ヒータ２の出力を制御し
、カンード面の温度分布を変えることができ，第３図に
示すようにカソード面の温度分布を一様に制御できる。
本実施例においてカソード１の表面温度を一様にする場
合は、まず、放射温度計５によりカソート面の温度分布
を劃定する。ヒータ電源制御回路４では、放射温度計５
により測定した温度分布に裁づき各ヒータ電ｇ３を制御
し、温度分布の低温部にあるヒータ２の出力を上げ，高
温部にあるヒータ２の出力を下げることにより、カソー
ド１の表面温度を一様にする。
合は、まず、放射温度計５によりカソート面の温度分布
を劃定する。ヒータ電源制御回路４では、放射温度計５
により測定した温度分布に裁づき各ヒータ電ｇ３を制御
し、温度分布の低温部にあるヒータ２の出力を上げ，高
温部にあるヒータ２の出力を下げることにより、カソー
ド１の表面温度を一様にする。
このように本実施例によれば、カソード１の表面温度分
布を制御できるため、カソードエからの電子放出がカソ
ード表面温度に比例することから電子ビーム６の出力分
布についても制御可能となる・また、カソード表面温度
が一様になるので、カソードが部分的に高温になること
が防止でき、カソードの劣化がなくなり、カソードの寿
命が延びる。
布を制御できるため、カソードエからの電子放出がカソ
ード表面温度に比例することから電子ビーム６の出力分
布についても制御可能となる・また、カソード表面温度
が一様になるので、カソードが部分的に高温になること
が防止でき、カソードの劣化がなくなり、カソードの寿
命が延びる。
なお、以上の実施例では、ヒータ電源制御回路４は、放
射温度計５により測定したカソード１の実際の表面温度
分布を用いて表面温度が一様になるようにヒータ出力を
制御したが、カソード端で熱の逃げ易い部位に位置する
ヒータ２の出力が予め高くむるように電源３を制御して
もよい。
射温度計５により測定したカソード１の実際の表面温度
分布を用いて表面温度が一様になるようにヒータ出力を
制御したが、カソード端で熱の逃げ易い部位に位置する
ヒータ２の出力が予め高くむるように電源３を制御して
もよい。
本発明によれば、電子を放出するカソードの表面温度分
布を制御可能となるので、カソードからの電子放出がカ
ソード表面温度に比例することから、電子ビーム出力分
布も制御できる。また、カソード上で局所的に温度が高
くなることが防止できるので、カソードの劣化が低減で
き、寿命が延びる。
布を制御可能となるので、カソードからの電子放出がカ
ソード表面温度に比例することから、電子ビーム出力分
布も制御できる。また、カソード上で局所的に温度が高
くなることが防止できるので、カソードの劣化が低減で
き、寿命が延びる。
第１図は本発明の一実施例による電子銃装置の１核略図
であり、第２図は従来の電子銃装置によるカソード表面
温度分布の説明図であり、第３図は本発明の電子銃装置
によるカソート表面温度分布の説明図である。 ２・・・カソート、２・ ヒータ、３・・電源、４・・
ヒータ電源制御回路、５ ・放射温度計、６ 電子ビー
馬 図
であり、第２図は従来の電子銃装置によるカソード表面
温度分布の説明図であり、第３図は本発明の電子銃装置
によるカソート表面温度分布の説明図である。 ２・・・カソート、２・ ヒータ、３・・電源、４・・
ヒータ電源制御回路、５ ・放射温度計、６ 電子ビー
馬 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、電子を放出するカソード、カソーザ加熱用のヒータ
手段、及び前記ヒータ手段の電源手段を備えた電子銃装
置において、 前記ヒータ手段を複数のヒータで構成すると共に、前記
カソードの表面温度を測定する温度測定手段と、前記温
度測定手段の測定値に基づき前記電源手段を制御し、前
記ヒータの出力を個別に制御するヒータ電源制御手段を
設けたことを特徴とする電子銃装置。 ２、請求項１記載の電子銃装置において、前記温度測定
手段は前記カソードの表面温度分布を測定する手段であ
り、前記ヒータ電源制御手段は、前記カソードの表面温
度分布を調節することにより、電子ビーム出力分布を制
御することを特徴とする電子銃装置。 ３、電子を放出するカソード、カソード加熱用のヒータ
手段、及び前記ヒータ手段の電源手段を備えた電子銃装
置において、 前記ヒータ手段を複数のヒータで構成すると共に、前記
電源手段を複数のヒータに対応して複数の電源で構成し
、カソード端で熱の逃げ易い部位に位置するヒータの出
力が予め高くなるように前記電源手段を制御するヒータ
電源制御手段を設けたことを特徴とする電子銃装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1188768A JPH0355750A (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | 電子銃装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1188768A JPH0355750A (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | 電子銃装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0355750A true JPH0355750A (ja) | 1991-03-11 |
Family
ID=16229440
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1188768A Pending JPH0355750A (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | 電子銃装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0355750A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6676288B1 (en) * | 1998-09-14 | 2004-01-13 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of National Aeronautics And Space Administration | Process for thermal imaging scanning of a swaged heater for an anode subassembly of a hollow cathode assembly |
| JP2009187767A (ja) * | 2008-02-06 | 2009-08-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 電子源構造体及び電子源構造体駆動装置 |
-
1989
- 1989-07-24 JP JP1188768A patent/JPH0355750A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6676288B1 (en) * | 1998-09-14 | 2004-01-13 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of National Aeronautics And Space Administration | Process for thermal imaging scanning of a swaged heater for an anode subassembly of a hollow cathode assembly |
| JP2009187767A (ja) * | 2008-02-06 | 2009-08-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 電子源構造体及び電子源構造体駆動装置 |
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