JPH0355800A - Ｓｏｒ装置 - Google Patents
Ｓｏｒ装置Info
- Publication number
- JPH0355800A JPH0355800A JP19058489A JP19058489A JPH0355800A JP H0355800 A JPH0355800 A JP H0355800A JP 19058489 A JP19058489 A JP 19058489A JP 19058489 A JP19058489 A JP 19058489A JP H0355800 A JPH0355800 A JP H0355800A
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- JP
- Japan
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- sor
- light
- port
- sor light
- absorber
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、電子または陽電子の軌道を偏向させ、放出
される軌道放射光（ＳＯＲ光〉を取出して利用するＳＯ
Ｒ装置に関するものである。
される軌道放射光（ＳＯＲ光〉を取出して利用するＳＯ
Ｒ装置に関するものである。
［従来の技術コ
第２図〜第４図は、従来のＳＯＲ装置を示す。
第２図は、例えば、分子科学研究所発行の“ＵＶＳＯＲ
！ ストレージリングの設計″ （１９８２年１２月＞Ｘ〜
９ページ、５６〜５７ページに記載されたような、従来
のＳＯＲ装置の偏向部で、ＳＯＲ光を取出すポート（１
）、真空ダクト（２）、電子または陽電子のビームライ
ン（３）、磁極間に真空ダクト（２）が設置されている
偏向電磁石（１０）等からなっている。
！ ストレージリングの設計″ （１９８２年１２月＞Ｘ〜
９ページ、５６〜５７ページに記載されたような、従来
のＳＯＲ装置の偏向部で、ＳＯＲ光を取出すポート（１
）、真空ダクト（２）、電子または陽電子のビームライ
ン（３）、磁極間に真空ダクト（２）が設置されている
偏向電磁石（１０）等からなっている。
第３図は偏向部であり、真空ダクト（２）を接続するた
めのべローズ（６）、ＳＯＲ光からべｏ−ズ（６）を保
護するための固定アブソーバ（７）、ｓｏＲ光を、例え
ばテレビカメラ等で観測するためのＳＯＲ光モニタ（８
）、ＳＯＲ光利用゛設備とこのＳＯＲ装置とを真空的に
隔絶するための真空バルブ（９）ナどからなっている。
めのべローズ（６）、ＳＯＲ光からべｏ−ズ（６）を保
護するための固定アブソーバ（７）、ｓｏＲ光を、例え
ばテレビカメラ等で観測するためのＳＯＲ光モニタ（８
）、ＳＯＲ光利用゛設備とこのＳＯＲ装置とを真空的に
隔絶するための真空バルブ（９）ナどからなっている。
第４図はＳＯＲ装置であり、電子、陽電子を収束発散さ
せてビーム径を調整する四極電磁石（ｌ１）、電子、陽
電子に運動エネルギー資供給する高周波加速空胴（ｌ２
）等を備えている。
せてビーム径を調整する四極電磁石（ｌ１）、電子、陽
電子に運動エネルギー資供給する高周波加速空胴（ｌ２
）等を備えている。
なお、上記各図において、同一符号は同一部分を示して
いる。
いる。
以上の構成により、ビームライン（３）上を進行する電
子、陽電子は、偏向電磁石（１Ｇ）を通過する際、その
磁場によって軌道が偏向される。そのとき、偏向された
ビームライン（３）の接線方向に軌道放射光（ＳＯＲ光
）を放射する。この放射光を、真空ダクト（２〉の外側
に設置したＳＯＲ光取出ポート（１）より装置外部に取
り出し、利用に供する。
子、陽電子は、偏向電磁石（１Ｇ）を通過する際、その
磁場によって軌道が偏向される。そのとき、偏向された
ビームライン（３）の接線方向に軌道放射光（ＳＯＲ光
）を放射する。この放射光を、真空ダクト（２〉の外側
に設置したＳＯＲ光取出ポート（１）より装置外部に取
り出し、利用に供する。
［発明が解決しようとする課題］
従来のＳＯＲ装置は以上のように構或されているので、
ＳＯＲ光を利用しない場合にも、取出ポート＜１）にＳ
ＯＲ光が進入し、ＳＯＲ光モニタ（８）の観測機器や真
空バルブが、ＳＯＲ先の熱や放射線のために早く損傷す
る。また、常時ＳＯＲ光が取出しポート（ｌ）から出て
いるため、ＳＯＲ先の利用者や観測者に危険を及ぼす恐
れがあるなどの問題点があった。
ＳＯＲ光を利用しない場合にも、取出ポート＜１）にＳ
ＯＲ光が進入し、ＳＯＲ光モニタ（８）の観測機器や真
空バルブが、ＳＯＲ先の熱や放射線のために早く損傷す
る。また、常時ＳＯＲ光が取出しポート（ｌ）から出て
いるため、ＳＯＲ先の利用者や観測者に危険を及ぼす恐
れがあるなどの問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので取出ポート上の機器の損傷を軽減できるととも
に、ＳＯＲ先の利用者、観測者の安全を図ることができ
るＳＯＲ装置を得ることを目的とする。
たもので取出ポート上の機器の損傷を軽減できるととも
に、ＳＯＲ先の利用者、観測者の安全を図ることができ
るＳＯＲ装置を得ることを目的とする。
［課題／を解決するための手段］
この発明に係るＳＯＲ装置は、ＳＯＲ光取出ポートの前
方に、可動のＳＯＲ光を遮るアブソーバが配設されてい
る。
方に、可動のＳＯＲ光を遮るアブソーバが配設されてい
る。
［作 用］
この発明においては、取出ポート前方の可動アブソーバ
を、ＳＯＲ光を利用に供さない際にビームライン側へ突
き出／すことにより、ＳＯＲ光を遮り、取出ポートへＳ
ＯＲ光が照射されないようにする。
を、ＳＯＲ光を利用に供さない際にビームライン側へ突
き出／すことにより、ＳＯＲ光を遮り、取出ポートへＳ
ＯＲ光が照射されないようにする。
［実施例］
第１図はこの発明の一実施例を示し、同図（ａ）におい
て、取出ポート（１）前方にベローズ付きの可動アブソ
ーバ（４）が配設されている。（５）はＳＯＲ先の照射
される領域である。
て、取出ポート（１）前方にベローズ付きの可動アブソ
ーバ（４）が配設されている。（５）はＳＯＲ先の照射
される領域である。
その他、第２図〜第４図と同一符号は同一部分である。
次に動作について説明する。第１図（ａ）は、ＳＯＲ光
を取出ポート（ｌ）より取出されない場合を示すもので
、ビームライン（３）の接線方向に取出ポート（１）に
向って照射されたＳＯＲ先は真空ダクト（２）から突き
出された可動アブソーバ（４）によって遮られ、取出し
ポート（ｌ）へ進入できないため、取出しポート（１）
上の機器やＳＯＲ光利用者、観測者を、ＳＯＲ光から保
護することができる。
を取出ポート（ｌ）より取出されない場合を示すもので
、ビームライン（３）の接線方向に取出ポート（１）に
向って照射されたＳＯＲ先は真空ダクト（２）から突き
出された可動アブソーバ（４）によって遮られ、取出し
ポート（ｌ）へ進入できないため、取出しポート（１）
上の機器やＳＯＲ光利用者、観測者を、ＳＯＲ光から保
護することができる。
第１図（ｂ）は、ＳＯＲ光を取出ポート（１）より取り
出す場合を示すもので、可動アブソーバ（４）を引っ込
めることによって、ＳＯＲ光を取出ポート（１）へ導く
ことができる。
出す場合を示すもので、可動アブソーバ（４）を引っ込
めることによって、ＳＯＲ光を取出ポート（１）へ導く
ことができる。
なお、上記実施例では、可動アブソーバ（４）の可動方
法がベローズである場合を示したが、ネジ込み式でもよ
い。また、上記実施例ではアブソーバ（４〉を真空ダク
ト（２）から直角に突き出す例を示したが、取出ボート
（ｌ）に直角になるように突き出せば、同様の効果を得
るための突き出し量を小さくできる。
法がベローズである場合を示したが、ネジ込み式でもよ
い。また、上記実施例ではアブソーバ（４〉を真空ダク
ト（２）から直角に突き出す例を示したが、取出ボート
（ｌ）に直角になるように突き出せば、同様の効果を得
るための突き出し量を小さくできる。
さらに、上記実施例では、アブソーバ（４〉でＳＯＲ光
を完全に遮る例を示したが、突き出し量を適当に調節す
ることにより、取出ポート（１）に放射されるＳＯＲ光
の量や、断面積を利用時の条件によって調整することも
可能である。
を完全に遮る例を示したが、突き出し量を適当に調節す
ることにより、取出ポート（１）に放射されるＳＯＲ光
の量や、断面積を利用時の条件によって調整することも
可能である。
［発明の効果］
以上のように、この発明によれば、ＳＯＲ光取出ポート
の前方に可動アブソーバを設置したので、ＳＯＲ光を利
用しないとき、取出ポート上の機器や利用者、観測者を
保護することができる効果がある。
の前方に可動アブソーバを設置したので、ＳＯＲ光を利
用しないとき、取出ポート上の機器や利用者、観測者を
保護することができる効果がある。
第ｌ図はこの発明の一実施例平断面図、第２図は従来の
ＳＯＲ装置の偏向部の平断面図、第３図は第２図の取出
ポート部の拡大平断面図、第４図は従来のＳＯＲ装置の
平面図である。 （１）・・ＳＯＲ光取出ポート、（２）・・真空ダクト
、（４）・・可勤アブソーバ。 なお、各図中、同一符号は同一又は相当部分を示す。
ＳＯＲ装置の偏向部の平断面図、第３図は第２図の取出
ポート部の拡大平断面図、第４図は従来のＳＯＲ装置の
平面図である。 （１）・・ＳＯＲ光取出ポート、（２）・・真空ダクト
、（４）・・可勤アブソーバ。 なお、各図中、同一符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 電子、陽電子が軌道偏向時に放射するＳＯＲ光を利用
するＳＯＲ装置において、真空ダクトのＳＯＲ光取出ポ
ートの前方に前記ＳＯＲ光不使用時に前記ＳＯＲ光を遮
る可動アブソーバを配設したことを特徴とするＳＯＲ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19058489A JPH0355800A (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 | Ｓｏｒ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19058489A JPH0355800A (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 | Ｓｏｒ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0355800A true JPH0355800A (ja) | 1991-03-11 |
Family
ID=16260497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19058489A Pending JPH0355800A (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 | Ｓｏｒ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0355800A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5581590A (en) * | 1991-09-03 | 1996-12-03 | Canon Kabushiki Kaisha | SOR exposure system and method of manufacturing semiconductor devices using same |
-
1989
- 1989-07-25 JP JP19058489A patent/JPH0355800A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5581590A (en) * | 1991-09-03 | 1996-12-03 | Canon Kabushiki Kaisha | SOR exposure system and method of manufacturing semiconductor devices using same |
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