JPH0356441B2 - - Google Patents
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- JPH0356441B2 JPH0356441B2 JP6725682A JP6725682A JPH0356441B2 JP H0356441 B2 JPH0356441 B2 JP H0356441B2 JP 6725682 A JP6725682 A JP 6725682A JP 6725682 A JP6725682 A JP 6725682A JP H0356441 B2 JPH0356441 B2 JP H0356441B2
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- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 17
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 9
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/02—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the intensity of light
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、例えば、光波距離計の発光ダイオー
ドの光減衰装置等に用いる光減衰器の改良に関す
るものである。
ドの光減衰装置等に用いる光減衰器の改良に関す
るものである。
従来から上述の装置等に用いる光減衰器として
はNDフイルターが用いられていた。NDフイル
ターは、中心角の変化と共に連続的に光の透過率
が変化するように形成された原板を用いて撮影す
ることにより、写真フイルム上に焼付を行つて現
像処理を行い、第１図、第２図に示す如きマスク
を有する、中心角の変化と共に連続的に光の透過
率が変化するフイルム１を作成していた。２は軸
取付孔である。上述の公知のNDフイルターはフ
イルムにより形成されているため耐熱性に乏し
く、又中心角の変化にともなう光の透過率の変化
を原板の撮影、焼付、現像によりおこない、専ら
原板の特性に依存しているため、撮影むら、焼付
むら、現像むらが生じ易く、又写真現像による処
理であるため良好な再現性が得難い欠点があるの
みならず、暗室作業を行わなければならない関係
上、手勝手が悪く、非能率的であり、大量製産に
不向きであるという欠点もあつた。また、実公昭
46−5559にあるような、円板形光減衰器の如く、
透明部分、不透明部分の形、大きさを順次変化さ
せることで、光量調整を行う構造のものもある
が、透明部分、不透明部分の形、大きさが全て同
じではないため、製作が困難であり、かつ精度の
維持も困難であるという欠点があつた。
はNDフイルターが用いられていた。NDフイル
ターは、中心角の変化と共に連続的に光の透過率
が変化するように形成された原板を用いて撮影す
ることにより、写真フイルム上に焼付を行つて現
像処理を行い、第１図、第２図に示す如きマスク
を有する、中心角の変化と共に連続的に光の透過
率が変化するフイルム１を作成していた。２は軸
取付孔である。上述の公知のNDフイルターはフ
イルムにより形成されているため耐熱性に乏し
く、又中心角の変化にともなう光の透過率の変化
を原板の撮影、焼付、現像によりおこない、専ら
原板の特性に依存しているため、撮影むら、焼付
むら、現像むらが生じ易く、又写真現像による処
理であるため良好な再現性が得難い欠点があるの
みならず、暗室作業を行わなければならない関係
上、手勝手が悪く、非能率的であり、大量製産に
不向きであるという欠点もあつた。また、実公昭
46−5559にあるような、円板形光減衰器の如く、
透明部分、不透明部分の形、大きさを順次変化さ
せることで、光量調整を行う構造のものもある
が、透明部分、不透明部分の形、大きさが全て同
じではないため、製作が困難であり、かつ精度の
維持も困難であるという欠点があつた。
本発明の円板形光減衰器は公知のNDフイルタ
ーの上述の欠点を除去することを目的とするもの
であつて、透明な円形ガラス板面に、等しい中心
角を有する多数の放射状透明部分が形成せられる
ように写真腐蝕可能な素材により反射防止蒸着マ
スク層が設けられ、上記反射防止蒸着マスク層に
おける各放射状透明部分間の各中心角が対数曲線
的に変化するように形成された円板形光減衰器を
要旨とするものである。
ーの上述の欠点を除去することを目的とするもの
であつて、透明な円形ガラス板面に、等しい中心
角を有する多数の放射状透明部分が形成せられる
ように写真腐蝕可能な素材により反射防止蒸着マ
スク層が設けられ、上記反射防止蒸着マスク層に
おける各放射状透明部分間の各中心角が対数曲線
的に変化するように形成された円板形光減衰器を
要旨とするものである。
図面に示す実施例について本発明を説明すれば
次の通りである。
次の通りである。
第４図は第１実施例を示すものであつて中心に
軸取付孔１２を設けた円形ガラス板１１の一面
に、円形ガラス板１１の外周１１′と軸取付孔１
２の縁部１２′とにわたり、等しい中心角θを有
する多数の放射状透明部分１３，１４，１５，１
６が形成せられるようにして、写真腐蝕可能な素
材例えば第３図に示す如く酸化クロム膜２０、ク
ロム膜２１、酸化クロム膜２２の順に蒸着して三
層から成る反射防止蒸着マスク層１７を形成す
る。上記反射防止蒸着マスク層１７の各放射状透
明部分１３，１４，１５，１６間に位置する各中
心角θ1，θ2，θ3は順次対数曲線的に密から粗に、
或は粗から密に変化して形成されている。即ち、
次式を満足する曲線変化が順次与えられて反射防
止蒸着マスク層１７の各中心角θ1，θ2，θ3が形成
されている。
軸取付孔１２を設けた円形ガラス板１１の一面
に、円形ガラス板１１の外周１１′と軸取付孔１
２の縁部１２′とにわたり、等しい中心角θを有
する多数の放射状透明部分１３，１４，１５，１
６が形成せられるようにして、写真腐蝕可能な素
材例えば第３図に示す如く酸化クロム膜２０、ク
ロム膜２１、酸化クロム膜２２の順に蒸着して三
層から成る反射防止蒸着マスク層１７を形成す
る。上記反射防止蒸着マスク層１７の各放射状透
明部分１３，１４，１５，１６間に位置する各中
心角θ1，θ2，θ3は順次対数曲線的に密から粗に、
或は粗から密に変化して形成されている。即ち、
次式を満足する曲線変化が順次与えられて反射防
止蒸着マスク層１７の各中心角θ1，θ2，θ3が形成
されている。
ψ＝−Klogθ／θ＋θx
但し、
ψ＞θ
θは多数の放射状透明部分１３，１４，１５，
１６の等しい中心角を示し、θxは反射防止蒸着マ
スク層１７の各放射状透明部分１３，１４，１
５，１６間に位置する中心角を示し、Ｋは濃度
（dB）／反射防止蒸着マスク層１７で現わされる
定数を示す。
１６の等しい中心角を示し、θxは反射防止蒸着マ
スク層１７の各放射状透明部分１３，１４，１
５，１６間に位置する中心角を示し、Ｋは濃度
（dB）／反射防止蒸着マスク層１７で現わされる
定数を示す。
第５図は、第２実施例を示すものであつて、中
心に軸取付孔１２を設けた円形ガラス板１１上に
円形ガラス板１１の外周１１′より内方１１ａで
あつて軸取付孔１２の縁部１２′よりも外方１２
ａとの間に、等しい中心角θを有する多数の放射
状透明部分１３，１４，１５，１６が形成される
ようにして、酸化クロム膜２０、クロム膜２１、
酸化クロム膜２２の順に蒸着して三層から成る反
射防止蒸着マスク層１７を形成する。上記反射防
止蒸着マスク層１７の、各放射状透明部分１３，
１４，１５，１６間に位置する各中心角θ1，θ2，
θ3は前述の第１実施例に記載した式により現わさ
れる対数曲線的に密から粗に、或は粗から密に変
化して形成されていることは、第１実施例と同様
である。
心に軸取付孔１２を設けた円形ガラス板１１上に
円形ガラス板１１の外周１１′より内方１１ａで
あつて軸取付孔１２の縁部１２′よりも外方１２
ａとの間に、等しい中心角θを有する多数の放射
状透明部分１３，１４，１５，１６が形成される
ようにして、酸化クロム膜２０、クロム膜２１、
酸化クロム膜２２の順に蒸着して三層から成る反
射防止蒸着マスク層１７を形成する。上記反射防
止蒸着マスク層１７の、各放射状透明部分１３，
１４，１５，１６間に位置する各中心角θ1，θ2，
θ3は前述の第１実施例に記載した式により現わさ
れる対数曲線的に密から粗に、或は粗から密に変
化して形成されていることは、第１実施例と同様
である。
第６図は、第３実施例を示すものであつて、中
心軸取付孔１２を設けた円形ガラス板１１上に残
存して形成せられた等しい中心角を有する多数の
放射状透明部分１３，１４，１５，１６の各々
は、円形ガラス板１１の中心寄りから外周に向う
中心線上に、次第に径の大なる円形透明部分１３
ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ，１４ａ，１４ｂ，
１４ｃ，１４ｄ，１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５
ｄ，１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄが連続され
て形成され各円形透明部分の接線ｌ，ｍ，ｎ，
ｏ，ｐ，ｑ，ｒ，ｓにより形成される中心角θ，
θ，θ，θが互に等しく形成されるようにして酸
化クロム膜２０、クロム膜２１、酸化クロム膜２
２の順に蒸着して三層から成る反射防止蒸着マス
ク層１７を形成する。而して接線ｍ，ｎ，ｏ，
ｐ，ｑ，ｒ、……により形成される反射防止蒸着
マスク層１７の中心角θ1，θ2，θ3……は第１実施
例に記載した式により現わされる対数曲線的に密
から粗に或は粗から密に変化して形成されるよう
にする。
心軸取付孔１２を設けた円形ガラス板１１上に残
存して形成せられた等しい中心角を有する多数の
放射状透明部分１３，１４，１５，１６の各々
は、円形ガラス板１１の中心寄りから外周に向う
中心線上に、次第に径の大なる円形透明部分１３
ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ，１４ａ，１４ｂ，
１４ｃ，１４ｄ，１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５
ｄ，１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄが連続され
て形成され各円形透明部分の接線ｌ，ｍ，ｎ，
ｏ，ｐ，ｑ，ｒ，ｓにより形成される中心角θ，
θ，θ，θが互に等しく形成されるようにして酸
化クロム膜２０、クロム膜２１、酸化クロム膜２
２の順に蒸着して三層から成る反射防止蒸着マス
ク層１７を形成する。而して接線ｍ，ｎ，ｏ，
ｐ，ｑ，ｒ、……により形成される反射防止蒸着
マスク層１７の中心角θ1，θ2，θ3……は第１実施
例に記載した式により現わされる対数曲線的に密
から粗に或は粗から密に変化して形成されるよう
にする。
第１実施例乃至第３実施例において反射防止蒸
着マスク層１７は、酸化クロム膜２０、クロム膜
２１、酸化クロム膜２２の順に蒸着して三層から
なる反射防止蒸着マスク層１７を示したが、蒸着
膜は反射防止とマスク作用をいとなみ且写真腐蝕
可能な素材であればよく、必ずしも上記素材の膜
に限るものではなく、又必ずしも三層である必要
はない。
着マスク層１７は、酸化クロム膜２０、クロム膜
２１、酸化クロム膜２２の順に蒸着して三層から
なる反射防止蒸着マスク層１７を示したが、蒸着
膜は反射防止とマスク作用をいとなみ且写真腐蝕
可能な素材であればよく、必ずしも上記素材の膜
に限るものではなく、又必ずしも三層である必要
はない。
又等しい中心角を有する多数の放射状透明部分
が形成せられるように反射防止蒸着マスク層が設
けられ、上記反射防止蒸着マスク層における各放
射状透明部分間の各中心角が対数曲線的に変化す
るように形成された構成は、透明な円形ガラス板
１１の全面に設けらてもよいし、一部に設けられ
てもよい。
が形成せられるように反射防止蒸着マスク層が設
けられ、上記反射防止蒸着マスク層における各放
射状透明部分間の各中心角が対数曲線的に変化す
るように形成された構成は、透明な円形ガラス板
１１の全面に設けらてもよいし、一部に設けられ
てもよい。
而して上述の如く構成された本発明の円板形光
減衰器は公知のNDフイルターと同様に、その軸
取付孔１２を例えば光波距離計の発光ダイオード
の光減衰装置の回転軸に取付けて使用する。
減衰器は公知のNDフイルターと同様に、その軸
取付孔１２を例えば光波距離計の発光ダイオード
の光減衰装置の回転軸に取付けて使用する。
本発明においては、各中心角が対数曲線的に変
化する反射防止蒸着マスク層間に等しい中心角を
有する放射状透明部分が形成される。然しながら
反射防止蒸着マスク層の中心角θ1，θ2，θ3……及
び放射透明部分の中心角θを極めて小さくとるこ
とにより、事実上NDフイルターの濃度変化と同
様な連続的変化が得られるものである。
化する反射防止蒸着マスク層間に等しい中心角を
有する放射状透明部分が形成される。然しながら
反射防止蒸着マスク層の中心角θ1，θ2，θ3……及
び放射透明部分の中心角θを極めて小さくとるこ
とにより、事実上NDフイルターの濃度変化と同
様な連続的変化が得られるものである。
本発明は以上述べた如く、透明な円形ガラス板
上に等しい中心角を有する多数の放射状透明部分
が形成せられるように写真腐蝕可能な素材により
反射防止蒸着マスク層が設けられ、上記反射防止
蒸着マスク層における各放射状透明部分間の各中
心角が対数曲線的に変化するように形成せられて
いるため、耐熱性にとみ、反射防止蒸着マスク層
で囲まれた多数の放射状透明部分は正確な形状に
形成することができ、また、この放射状透明部分
は全て等しい中心角を有するため、同一透明部分
の繰り返しとなり、製作が容易であり、かつ精度
の維持が容易であり、また、各放射状透明部分間
の中心角の設定により、周方向の光減衰の度合を
自由に変化させることができ、写真腐蝕による複
製を可能として焼付、現像をおこなう必要がない
から焼付むら、現像むらを生ずることなく、更に
暗室作業を必要としないから手勝手良く大量製産
をすることが可能である等の効果がある。
上に等しい中心角を有する多数の放射状透明部分
が形成せられるように写真腐蝕可能な素材により
反射防止蒸着マスク層が設けられ、上記反射防止
蒸着マスク層における各放射状透明部分間の各中
心角が対数曲線的に変化するように形成せられて
いるため、耐熱性にとみ、反射防止蒸着マスク層
で囲まれた多数の放射状透明部分は正確な形状に
形成することができ、また、この放射状透明部分
は全て等しい中心角を有するため、同一透明部分
の繰り返しとなり、製作が容易であり、かつ精度
の維持が容易であり、また、各放射状透明部分間
の中心角の設定により、周方向の光減衰の度合を
自由に変化させることができ、写真腐蝕による複
製を可能として焼付、現像をおこなう必要がない
から焼付むら、現像むらを生ずることなく、更に
暗室作業を必要としないから手勝手良く大量製産
をすることが可能である等の効果がある。
第１図は公知のNDフイルターの正面図、第２
図は第１図−′線の縦断面図、第３図は本発
明の円板形光減衰器の一部の拡大縦断面図、第４
図は本発明の第１実施例の正面図、第５図は本発
明の第２実施例の正面図、第６図は本発明の第３
実施例の正面図、第７図は第４図、第５図、第６
図におけるＸ−X′線の縦断面図である。 １１……円形ガラス板、１２……軸取付孔、１
１′……円形ガラス板の外周、１２′……軸取付孔
の縁部、１３，１４，１５，１６……放射状透明
部分、１７……反射防止蒸着マスク層、２０，２
２……酸化クロム膜、２１……クロム膜、θ……
放射状透明部分の中心角、θx……反射防止蒸着マ
スク層の中心角。
図は第１図−′線の縦断面図、第３図は本発
明の円板形光減衰器の一部の拡大縦断面図、第４
図は本発明の第１実施例の正面図、第５図は本発
明の第２実施例の正面図、第６図は本発明の第３
実施例の正面図、第７図は第４図、第５図、第６
図におけるＸ−X′線の縦断面図である。 １１……円形ガラス板、１２……軸取付孔、１
１′……円形ガラス板の外周、１２′……軸取付孔
の縁部、１３，１４，１５，１６……放射状透明
部分、１７……反射防止蒸着マスク層、２０，２
２……酸化クロム膜、２１……クロム膜、θ……
放射状透明部分の中心角、θx……反射防止蒸着マ
スク層の中心角。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 透明な円形ガラス板面に、等しい中心角を有
する多数の放射状透明部分が形成せられるように
写真腐蝕可能な素材により反射防止蒸着マスク層
が設けられ、上記反射防止蒸着マスク層における
各放射状透明部分間の各中心角が対数曲線的に変
化するように形成された円板形光減衰器。 ２ 等しい中心角を有する多数の放射状透明部分
は、円形ガラス板の外周と、軸取付孔とにわたり
設けられた特許請求の範囲第１項記載の円板形光
減衰器。 ３ 等しい中心角を有する多数の放射状透明部分
は、円形ガラス板の外周より内方であつて、軸取
付孔よりも外方との間に設けられた特許請求の範
囲第１項記載の円板形光減衰器。 ４ 等しい中心角を有する多数の放射状透明部分
は、円形ガラス板の中心寄りから外周寄りに向か
い、次第に径の大なる円形透明部分が連続して設
けられた特許請求の範囲第１項記載の円板形光減
衰器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6725682A JPS58184908A (ja) | 1982-04-23 | 1982-04-23 | 円板形光減衰器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6725682A JPS58184908A (ja) | 1982-04-23 | 1982-04-23 | 円板形光減衰器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58184908A JPS58184908A (ja) | 1983-10-28 |
| JPH0356441B2 true JPH0356441B2 (ja) | 1991-08-28 |
Family
ID=13339675
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6725682A Granted JPS58184908A (ja) | 1982-04-23 | 1982-04-23 | 円板形光減衰器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58184908A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62146916U (ja) * | 1986-03-12 | 1987-09-17 | ||
| JPH02113202A (ja) * | 1988-10-21 | 1990-04-25 | Nippon Shinku Kogaku Kk | 中性濃度フィルター |
| KR100618377B1 (ko) | 2005-05-23 | 2006-08-30 | 나노옵틱(주) | 광 전달을 제어하기 위한 광학 플레이트 및 이를 이용한회절형 가변 광 감쇄기 |
| WO2014115236A1 (ja) * | 2013-01-22 | 2014-07-31 | パイオニア株式会社 | 光源モジュール、投影装置、光源モジュールの制御方法、投影装置の制御方法及びプログラム、並びに記録媒体 |
| EP4707746A2 (en) * | 2020-03-31 | 2026-03-11 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Reflection-type optical encoder scale and reflection-type optical encoder |
-
1982
- 1982-04-23 JP JP6725682A patent/JPS58184908A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58184908A (ja) | 1983-10-28 |
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