JPH035701A - 光学用窓材 - Google Patents
光学用窓材Info
- Publication number
- JPH035701A JPH035701A JP13989289A JP13989289A JPH035701A JP H035701 A JPH035701 A JP H035701A JP 13989289 A JP13989289 A JP 13989289A JP 13989289 A JP13989289 A JP 13989289A JP H035701 A JPH035701 A JP H035701A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diamond
- film
- window material
- optical window
- mesh
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野〕
本発明は、紫外線、可視光線、赤外線あるいはＸ線等の
光学系に使用される窓材に関するものである。
光学系に使用される窓材に関するものである。
本発明の光学用窓材は、格子状または網状の炭素繊維で
補強されたフィルム状ダイヤモンドから成るものである
。
補強されたフィルム状ダイヤモンドから成るものである
。
極めて細く、Ｘ＆？ｌｉ３過性も良好で、さらに引張り
強度も高い炭素繊維で補強することにより、フィルム状
ダイヤモンド本来の光やＸ線に対する透過性を損なうこ
となく、窓材の大面積化と低コスト化、耐圧強度の向上
を図ることができる。
強度も高い炭素繊維で補強することにより、フィルム状
ダイヤモンド本来の光やＸ線に対する透過性を損なうこ
となく、窓材の大面積化と低コスト化、耐圧強度の向上
を図ることができる。
公知の如くダイヤモンドは、波長約０．３μｍの紫外線
領域から波長約２５μｍの遠赤外線領域に到る広い範囲
において光の透過性に優れており、また、原子番号の小
さい炭素原子から成るため、Ｘ線の透過性も極めて良好
である。しかも、耐熱性も、真空中で約１２００℃、大
気中で約６００℃と高いため、光学用窓材としての普及
が期待されている。
領域から波長約２５μｍの遠赤外線領域に到る広い範囲
において光の透過性に優れており、また、原子番号の小
さい炭素原子から成るため、Ｘ線の透過性も極めて良好
である。しかも、耐熱性も、真空中で約１２００℃、大
気中で約６００℃と高いため、光学用窓材としての普及
が期待されている。
従来の技術では、ダイヤモンドから成る光学用窓材を製
造しようとする場合、直径敗報程度の天然あるいは人口
合成ダイヤモンド結晶を原料として、研磨、研削等の機
械加工により薄く仕上げる等の方法が考えられる。
造しようとする場合、直径敗報程度の天然あるいは人口
合成ダイヤモンド結晶を原料として、研磨、研削等の機
械加工により薄く仕上げる等の方法が考えられる。
しかしこの場合、大粒のダイヤモンド結晶は存在自体が
稀であり、しかも極めて高価なため、大面積（例えば直
ｐｋ１ｃｍ以上）の窓材の製造は非常に困難であり、ま
た、ダイヤモンドが物質中最高の硬度をもつため、機械
加工に要するコストも極めて高いという欠点があった。
稀であり、しかも極めて高価なため、大面積（例えば直
ｐｋ１ｃｍ以上）の窓材の製造は非常に困難であり、ま
た、ダイヤモンドが物質中最高の硬度をもつため、機械
加工に要するコストも極めて高いという欠点があった。
本発明は、これらの問題点を解決し、安価で大面積化が
可能な、光透過性の良いダイヤモンドから成る光学用窓
材を製造する方法を提供することを目的としたものであ
る。
可能な、光透過性の良いダイヤモンドから成る光学用窓
材を製造する方法を提供することを目的としたものであ
る。
上記課題を解決するために、本発明では、光学用窓材に
おいて気相法で合成したフィルム状ダイヤモンドを窓材
として使用し、その窓部を該フィルム状ダイヤモンドと
格子状または網状の炭素繊維の２層構造とする。
おいて気相法で合成したフィルム状ダイヤモンドを窓材
として使用し、その窓部を該フィルム状ダイヤモンドと
格子状または網状の炭素繊維の２層構造とする。
この様に本発明による光学用窓材は、第１図及び第２図
に示す様にフィルム状ダイヤモンドが引張り強度の高い
炭素繊維の格子または網で補強されているため、フィル
ム状ダイヤモンドの反りやうねりの発生を防ぎ、かつ、
耐圧強度を著しく向上させて破損を防止することができ
る（注：例えば市販の炭素繊維は、直径７μｍ前後で引
張り強度３００〜５００ｋｇ／鵬膳２もの値を有する）
。
に示す様にフィルム状ダイヤモンドが引張り強度の高い
炭素繊維の格子または網で補強されているため、フィル
ム状ダイヤモンドの反りやうねりの発生を防ぎ、かつ、
耐圧強度を著しく向上させて破損を防止することができ
る（注：例えば市販の炭素繊維は、直径７μｍ前後で引
張り強度３００〜５００ｋｇ／鵬膳２もの値を有する）
。
また、直径数μｍ程度の極めて細い炭素繊維を用いてい
るため、この炭素繊維の格子または網が窓部を透過する
光またはＸ線を遮断する量は極めて少なく無視し得る程
度である。さらに、炭素繊維はｘｖＡｉｉ過性の良いＣ
原子から成るため、Ｘ線の透過用としては特に有利であ
る。
るため、この炭素繊維の格子または網が窓部を透過する
光またはＸ線を遮断する量は極めて少なく無視し得る程
度である。さらに、炭素繊維はｘｖＡｉｉ過性の良いＣ
原子から成るため、Ｘ線の透過用としては特に有利であ
る。
又、フィルム状ダイヤモンドの成膜方法は、熱ＣＶＤ法
、プラズマＣｖＤ法、光ＣＶＤ法、イオン化蒸着法、イ
オンビーム法、プラズマジェット法等があり、いづれを
用いても、本発明に何ら支障がな（、成膜可能面積が従
来のダイヤモンド結晶より機械加工で窓材に加工する方
法に比べ、大幅に第面積化が達成され、大幅な製造コス
トの低減が図られるものである。
、プラズマＣｖＤ法、光ＣＶＤ法、イオン化蒸着法、イ
オンビーム法、プラズマジェット法等があり、いづれを
用いても、本発明に何ら支障がな（、成膜可能面積が従
来のダイヤモンド結晶より機械加工で窓材に加工する方
法に比べ、大幅に第面積化が達成され、大幅な製造コス
トの低減が図られるものである。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第３
図（Ａ）〜（［））は、本発明の光学用窓材の製造工程
の一例の説明図であり、以下、これらを（＾）図〜（Ｄ
）図と略す。
図（Ａ）〜（［））は、本発明の光学用窓材の製造工程
の一例の説明図であり、以下、これらを（＾）図〜（Ｄ
）図と略す。
まず（Ａ）図に示す様に、直径３（ｉｎ、厚さ２００
μｍのＳｉ基板材１を用意し、この片面に、マイクロ波
ブラズ７ＣＶＤ法（特開昭５８−１１０４９４）を用い
て表１に示す合成条件により、厚さ２μｍのフィルム状
ダイヤモンド２を析出させた。
μｍのＳｉ基板材１を用意し、この片面に、マイクロ波
ブラズ７ＣＶＤ法（特開昭５８−１１０４９４）を用い
て表１に示す合成条件により、厚さ２μｍのフィルム状
ダイヤモンド２を析出させた。
表１
次に、この表裏全面にフォトレジスト３を塗布した後、
（Ｂ）図に示す様にフォトリソグラフィー技術を用いて
３１基板の中央部分を露出させた（露出部直径２０ｍ）
。
（Ｂ）図に示す様にフォトリソグラフィー技術を用いて
３１基板の中央部分を露出させた（露出部直径２０ｍ）
。
これをＨＦ＋ＨＮＯ３のｆＡ酸溶液中に浸漬して（Ｃ）
図の様に露出部のＳｔのみをエツチング除去した。
図の様に露出部のＳｔのみをエツチング除去した。
次に、フォトレジストを剥離して洗浄した後、（Ｄ）図
に示す様に、フィルム状ダイヤモンドの２上に直径７μ
ｍの炭素繊維のメツシュ４ （メツシュ間隔２．５ ｔ
ｍ）を載せた。
に示す様に、フィルム状ダイヤモンドの２上に直径７μ
ｍの炭素繊維のメツシュ４ （メツシュ間隔２．５ ｔ
ｍ）を載せた。
さらにその上に第２図の様にステンレス類の窓枠５を金
属ロウ６で固着することにより、炭素繊維メツシュ４と
フィルム状ダイヤモンド２とを固定して、第１図に示す
様な光学用窓材を得た。
属ロウ６で固着することにより、炭素繊維メツシュ４と
フィルム状ダイヤモンド２とを固定して、第１図に示す
様な光学用窓材を得た。
この窓材を、真空チャンバー外壁の窓取付は部にセット
して真空チャンバー内を減圧する方法により、窓材が大
気圧（１気圧）に耐え得るか否かのテストを行った結果
、フィルム状ダイヤモンドの破損やリークは全く発生せ
ず、本窓材が大気圧に充分耐え得る強度を有することが
確認できた。
して真空チャンバー内を減圧する方法により、窓材が大
気圧（１気圧）に耐え得るか否かのテストを行った結果
、フィルム状ダイヤモンドの破損やリークは全く発生せ
ず、本窓材が大気圧に充分耐え得る強度を有することが
確認できた。
上述の如く、本発明によればダイヤモンドから成る光学
用窓材の大面積化が可能で、原料費、製造コストともに
低減できる。
用窓材の大面積化が可能で、原料費、製造コストともに
低減できる。
しかも、窓部のフィルム状ダイヤモンドを炭素繊維が補
強するため、反りやうねりの発生を防ぎ、耐圧強度を著
しく向上させて破損を防止することができる。
強するため、反りやうねりの発生を防ぎ、耐圧強度を著
しく向上させて破損を防止することができる。
また、広範囲の光の透過性を有し、かつ、低エネルギー
のＸ線透過率も良好である。
のＸ線透過率も良好である。
第１図及び第２図は、本発明によるフィルム状ダイヤモ
ンドから成る光学用窓材の実施例を示す斜視図及び断面
図である。 また、第３図（Ａ）から（Ｄ）は本発明の光学用窓材の
製造工程の一例の説明図である。 １・・・基板材 ２・・・フィルム状ダイヤモンド ３・・・フォトレジスト ４・・・炭素繊維製メツシュ ５・・・窓枠 ６・・・金属ロウ
ンドから成る光学用窓材の実施例を示す斜視図及び断面
図である。 また、第３図（Ａ）から（Ｄ）は本発明の光学用窓材の
製造工程の一例の説明図である。 １・・・基板材 ２・・・フィルム状ダイヤモンド ３・・・フォトレジスト ４・・・炭素繊維製メツシュ ５・・・窓枠 ６・・・金属ロウ
Claims (1)
- 気相法により合成したフィルム状ダイヤモンドから成る
光学用窓材において、その窓部がフィルム状ダイヤモン
ドと格子状または網状の炭素繊維の２層構造から成るこ
とを特徴とする光学用窓材。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13989289A JPH035701A (ja) | 1989-06-01 | 1989-06-01 | 光学用窓材 |
| EP90110382A EP0400655A1 (en) | 1989-06-01 | 1990-05-31 | Optical window piece |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13989289A JPH035701A (ja) | 1989-06-01 | 1989-06-01 | 光学用窓材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH035701A true JPH035701A (ja) | 1991-01-11 |
Family
ID=15256037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13989289A Pending JPH035701A (ja) | 1989-06-01 | 1989-06-01 | 光学用窓材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH035701A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997004346A1 (fr) * | 1995-07-14 | 1997-02-06 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Fenetre optique et son procede de fabrication |
| WO2001075500A1 (en) * | 2000-04-03 | 2001-10-11 | De Beers Industrial Diamonds (Proprietary) Limited | Composite diamond window |
-
1989
- 1989-06-01 JP JP13989289A patent/JPH035701A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997004346A1 (fr) * | 1995-07-14 | 1997-02-06 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Fenetre optique et son procede de fabrication |
| WO2001075500A1 (en) * | 2000-04-03 | 2001-10-11 | De Beers Industrial Diamonds (Proprietary) Limited | Composite diamond window |
| US6956706B2 (en) | 2000-04-03 | 2005-10-18 | John Robert Brandon | Composite diamond window |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3026284B2 (ja) | Ｘ線窓材とその製造方法 | |
| US4608326A (en) | Silicon carbide film for X-ray masks and vacuum windows | |
| JPH02208601A (ja) | 光学用窓材及びその製造方法 | |
| US5258091A (en) | Method of producing X-ray window | |
| EP0400655A1 (en) | Optical window piece | |
| EP0103280B1 (en) | Fabrication method of membrane structure | |
| JP3171590B2 (ja) | Ｘ線マスクとその製造方法 | |
| GB2101353A (en) | Radiation lithography mask and method of manufacturing same | |
| JPH035701A (ja) | 光学用窓材 | |
| US4971851A (en) | Silicon carbide film for X-ray masks and vacuum windows | |
| JPH06289145A (ja) | Ｘ線窓材及びその製造方法 | |
| JPH03282400A (ja) | 光学用窓材 | |
| US5335256A (en) | Semiconductor substrate including a single or multi-layer film having different densities in the thickness direction | |
| JPS6035819B2 (ja) | Ｘ線露光用マスクの製造方法 | |
| JPS61245160A (ja) | Ｘ線マスクの製造方法 | |
| JP2588397B2 (ja) | 光学用窓材及びその製造方法 | |
| JP2768595B2 (ja) | Ｘ線マスク構造体の製造方法 | |
| JPS63201601A (ja) | 光学用窓材及びその製造方法 | |
| JP2712447B2 (ja) | 露光用マスク | |
| JPS61126551A (ja) | Ｘ線リソグラフイ−用マスク構造体の製造方法 | |
| JP2527009Y2 (ja) | ダイヤモンドウィンドー | |
| JPS59129851A (ja) | Ｘ線露光用マスクの製造方法 | |
| JPS58207635A (ja) | メンブラン・マスクの製造方法 | |
| WO2025182055A1 (ja) | Ｅｕｖ透過膜、ペリクル、及び露光方法 | |
| JPS63115332A (ja) | Ｘ線露光用マスク |