JPH0357190U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0357190U JPH0357190U JP11715989U JP11715989U JPH0357190U JP H0357190 U JPH0357190 U JP H0357190U JP 11715989 U JP11715989 U JP 11715989U JP 11715989 U JP11715989 U JP 11715989U JP H0357190 U JPH0357190 U JP H0357190U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- truck
- air supply
- jigs
- pipe joint
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Automatic Assembly (AREA)
- Automobile Manufacture Line, Endless Track Vehicle, Trailer (AREA)
- Pipe Accessories (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す斜視図、第２
図は側面図、第３図は平面図、第４図は管継手ユ
ニツトの構成を示す正面図、第５図は第４図の側
断面図、第６図ないし第８図は管継手を示す図、
第９図および第１０図は従来例を示す説明図であ
る。 ２２……台車、２３……治具、２５……エア供
給用配管、２９……エア供給ユニツト、２６，３
０……管継手ユニツト、２７，３１……管継手。
図は側面図、第３図は平面図、第４図は管継手ユ
ニツトの構成を示す正面図、第５図は第４図の側
断面図、第６図ないし第８図は管継手を示す図、
第９図および第１０図は従来例を示す説明図であ
る。 ２２……台車、２３……治具、２５……エア供
給用配管、２９……エア供給ユニツト、２６，３
０……管継手ユニツト、２７，３１……管継手。
Claims (1)
- 複数のエア駆動式治具を搭載した台車と、この
台車の走行位置に待機し前記各治具にエア供給を
行うエア供給ユニツトとを備えたものにおいて、
前記台車の各治具のエア供給用配管と前記エア供
給ユニツトとを、前記台車の治具に対応する複数
の管継手を有する２次側管継手ユニツトと、この
２次側管継手ユニツトの管継手に対応する複数の
管継手を有して前記エア供給ユニツトに進退可能
に設けられた１次側管継手ユニツトとにより接続
可能としたことを特徴とする治具台車用エア供給
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11715989U JPH0357190U (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11715989U JPH0357190U (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0357190U true JPH0357190U (ja) | 1991-05-31 |
Family
ID=31665398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11715989U Pending JPH0357190U (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0357190U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007187289A (ja) * | 2006-01-16 | 2007-07-26 | Tokyo Electron Ltd | 減圧容器および減圧処理装置 |
| KR20190051654A (ko) * | 2017-11-07 | 2019-05-15 | 삼성전자주식회사 | 기판 처리 장치 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58156449A (ja) * | 1982-03-12 | 1983-09-17 | マツダ株式会社 | ワ−ク搬送台車 |
-
1989
- 1989-10-06 JP JP11715989U patent/JPH0357190U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58156449A (ja) * | 1982-03-12 | 1983-09-17 | マツダ株式会社 | ワ−ク搬送台車 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007187289A (ja) * | 2006-01-16 | 2007-07-26 | Tokyo Electron Ltd | 減圧容器および減圧処理装置 |
| KR20190051654A (ko) * | 2017-11-07 | 2019-05-15 | 삼성전자주식회사 | 기판 처리 장치 |