JPH0357243A - バーコード埋め込み式のウェハーキャリアボックス - Google Patents
バーコード埋め込み式のウェハーキャリアボックスInfo
- Publication number
- JPH0357243A JPH0357243A JP1193023A JP19302389A JPH0357243A JP H0357243 A JPH0357243 A JP H0357243A JP 1193023 A JP1193023 A JP 1193023A JP 19302389 A JP19302389 A JP 19302389A JP H0357243 A JPH0357243 A JP H0357243A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer carrier
- carrier box
- bar code
- main body
- recognition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はバーコード埋め込み式のウェハーキャリアボッ
クスの関する。
クスの関する。
従来、この種のウェハーキャリアボックスは、ウェハー
キャリアボックスを認識する為にウェハーキャリアボッ
クス本体に文字や数字を記入又は刻印したり、ウェハー
キャリアボックス本体とは別に、ウェハーキャリアボッ
クスを認識する為のウェハーキャリア認識媒体を作成し
て、ウェハーキャリアボックス本体に取り付けたりして
いた。
キャリアボックスを認識する為にウェハーキャリアボッ
クス本体に文字や数字を記入又は刻印したり、ウェハー
キャリアボックス本体とは別に、ウェハーキャリアボッ
クスを認識する為のウェハーキャリア認識媒体を作成し
て、ウェハーキャリアボックス本体に取り付けたりして
いた。
上述した従来のウェハーキャリアボックスでは、ウェハ
ーキャリアボックスを認識する為にウェハーキャリアボ
ックス本体に文字や数字を記入又は刻印したり、ウェハ
ーキャリアボックス本体とは別にウェハーキャリアボッ
クスをｆＲ ３Ｍする為のウェハーキャリアボックス認
識媒体を作成してウェハーキャリアボックス本体に取り
付けたりしていたので、ウェハーキャリアボックス本体
に刻印された文字や数字を人間が読み取る為に読み間違
いや自動読み取りが難しいという問題が発生した。
ーキャリアボックスを認識する為にウェハーキャリアボ
ックス本体に文字や数字を記入又は刻印したり、ウェハ
ーキャリアボックス本体とは別にウェハーキャリアボッ
クスをｆＲ ３Ｍする為のウェハーキャリアボックス認
識媒体を作成してウェハーキャリアボックス本体に取り
付けたりしていたので、ウェハーキャリアボックス本体
に刻印された文字や数字を人間が読み取る為に読み間違
いや自動読み取りが難しいという問題が発生した。
またウェハーキャリアボックス認識媒体がウェハーキャ
リアボックス本体と別の場合には、ウェハーキャリアボ
ックス３２識媒体の取り付け間違いによるウェハーキャ
リアボックスの認識間違いや、ウェハーキャリアボック
ス本体にウェハーキャリアボックス認識媒体を取り付け
る為にごみが発生しやすくなるという問題がある。
リアボックス本体と別の場合には、ウェハーキャリアボ
ックス３２識媒体の取り付け間違いによるウェハーキャ
リアボックスの認識間違いや、ウェハーキャリアボック
ス本体にウェハーキャリアボックス認識媒体を取り付け
る為にごみが発生しやすくなるという問題がある。
本発明のバーコード埋め込み式のウェハーキャリアボッ
クスは、透明あるいは半透明素材のウェハーキャリアボ
ックス本体に、バーコードとして読み取れるようにウェ
ハーキャリアボックス認識媒体であるバーコードを埋め
込んでいる。
クスは、透明あるいは半透明素材のウェハーキャリアボ
ックス本体に、バーコードとして読み取れるようにウェ
ハーキャリアボックス認識媒体であるバーコードを埋め
込んでいる。
次に、本発明について図面を参照して説明する。第１図
は本発明の一実施例の正面図である。
は本発明の一実施例の正面図である。
１はウェハーキャリアボックス本体、２はウェハーキャ
リアボックス認識用バーコードである。
リアボックス認識用バーコードである。
第２図は、第１図のＡ−Ａ線断面図である．ウェハーキ
ャリアボックス本体１は、透明あるいは半透明の素材で
できており、ウェハーキャリアボックス認識用バーコー
ド２が、第２図に示したようにウェハーキャリアボック
ス本体１の内部に埋め込まれた構造になっている。第１
図に示したように、ウエハーキャリアボックス本体１の
正面にウェハーキャリアボックス認識用バーコード２が
埋め込まれ、ウェハーキャリアボックス１上からウェハ
ーキャリアボックス認識用バーコード２を読み取ること
ができる。ウェハーキャリアボックス認識用バーコード
２を読み取ることにより、ウェハーキャリアボックス本
体１を認識することが可能となる。また、バーコードで
ある為に自動の読み取りも可能である。
ャリアボックス本体１は、透明あるいは半透明の素材で
できており、ウェハーキャリアボックス認識用バーコー
ド２が、第２図に示したようにウェハーキャリアボック
ス本体１の内部に埋め込まれた構造になっている。第１
図に示したように、ウエハーキャリアボックス本体１の
正面にウェハーキャリアボックス認識用バーコード２が
埋め込まれ、ウェハーキャリアボックス１上からウェハ
ーキャリアボックス認識用バーコード２を読み取ること
ができる。ウェハーキャリアボックス認識用バーコード
２を読み取ることにより、ウェハーキャリアボックス本
体１を認識することが可能となる。また、バーコードで
ある為に自動の読み取りも可能である。
第３図は、本発明の応用例を示す第１図の側面図である
。１はウェハーキャリアボックス本体、２はウエハーキ
ャリアボックス認識用バーコードである。この応用例で
は、ウェハーキャリアボックス本体１の側面にウェハー
キャリアボックス認識用バーコード２を埋め込むことに
より、正面がらだけでなく側面からもウェハーキャリア
ボックス認識用バーコード２を読むことが可能であると
いう利点がある。
。１はウェハーキャリアボックス本体、２はウエハーキ
ャリアボックス認識用バーコードである。この応用例で
は、ウェハーキャリアボックス本体１の側面にウェハー
キャリアボックス認識用バーコード２を埋め込むことに
より、正面がらだけでなく側面からもウェハーキャリア
ボックス認識用バーコード２を読むことが可能であると
いう利点がある。
以上説明したように本発明は、ウエハーキャリアボック
ス認識用バーコードを透明あるいは半透明な素材からな
るウェハーキャリアボックス本体の内部に埋め込むこと
により、ウェハーキャリアボックス認識用バーコードを
読み取り、ウエハーキャリアボックスを認識でき、又ウ
ェハーキャリアボックス本体の表面にウェハーキャリア
ボックスｆＲ識媒体を取りつけないので、この媒体の剥
離．切断，摩耗もなく、ウェハーキャリアボックス認識
用バーコードが読みにくくなることもない また、ウェハーキャリアボックス本体の表面にウェハー
キャリアボックス認識媒体を取り付けた場合に生じるよ
うな、媒体の剥離，切断，摩耗によるごみの発生もない
。
ス認識用バーコードを透明あるいは半透明な素材からな
るウェハーキャリアボックス本体の内部に埋め込むこと
により、ウェハーキャリアボックス認識用バーコードを
読み取り、ウエハーキャリアボックスを認識でき、又ウ
ェハーキャリアボックス本体の表面にウェハーキャリア
ボックスｆＲ識媒体を取りつけないので、この媒体の剥
離．切断，摩耗もなく、ウェハーキャリアボックス認識
用バーコードが読みにくくなることもない また、ウェハーキャリアボックス本体の表面にウェハー
キャリアボックス認識媒体を取り付けた場合に生じるよ
うな、媒体の剥離，切断，摩耗によるごみの発生もない
。
第１図は本発明の一実施例の正面図、第２図は第１図の
Ａ−Ａ線断面図、第３図は第１図の側面図で本発明の応
用例を示す。 １・・・ウェハーキャリアボックス本体、２・・・ウェ
ハーキャリアボックス認識用バーコード。
Ａ−Ａ線断面図、第３図は第１図の側面図で本発明の応
用例を示す。 １・・・ウェハーキャリアボックス本体、２・・・ウェ
ハーキャリアボックス認識用バーコード。
Claims (1)
- 半導体素子製造に用いるウェハーキャリアボックスの透
明あるいは半透明のウェハーキャリアボックス素材の内
部に、ウェハーキャリアボックスを認識するためのウェ
ハーキャリアボックス認識媒体であるバーコードを埋め
込んだことを特徴とするバーコード埋め込み式のウェハ
ーキャリアボックス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1193023A JPH0357243A (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 | バーコード埋め込み式のウェハーキャリアボックス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1193023A JPH0357243A (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 | バーコード埋め込み式のウェハーキャリアボックス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0357243A true JPH0357243A (ja) | 1991-03-12 |
Family
ID=16300891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1193023A Pending JPH0357243A (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 | バーコード埋め込み式のウェハーキャリアボックス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0357243A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03173454A (ja) * | 1989-12-02 | 1991-07-26 | Dainichi Shoji Kk | 基板収納用容器及びその容器の成形法 |
| US5651798A (en) * | 1994-05-23 | 1997-07-29 | Advanced Micro Devices, Inc. | Workpiece monitoring process using a workpiece carrier having an identification code |
| KR100521314B1 (ko) * | 1997-10-13 | 2005-12-30 | 삼성전자주식회사 | 반도체장치제조용웨이퍼이송기구 |
| JP2007123513A (ja) * | 2005-10-27 | 2007-05-17 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 精密基板収納容器 |
-
1989
- 1989-07-25 JP JP1193023A patent/JPH0357243A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03173454A (ja) * | 1989-12-02 | 1991-07-26 | Dainichi Shoji Kk | 基板収納用容器及びその容器の成形法 |
| US5651798A (en) * | 1994-05-23 | 1997-07-29 | Advanced Micro Devices, Inc. | Workpiece monitoring process using a workpiece carrier having an identification code |
| KR100521314B1 (ko) * | 1997-10-13 | 2005-12-30 | 삼성전자주식회사 | 반도체장치제조용웨이퍼이송기구 |
| JP2007123513A (ja) * | 2005-10-27 | 2007-05-17 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 精密基板収納容器 |
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