JPH0357680A - 熱転写プリンタのカラーリボン頭出し方法 - Google Patents
熱転写プリンタのカラーリボン頭出し方法Info
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- JPH0357680A JPH0357680A JP1193702A JP19370289A JPH0357680A JP H0357680 A JPH0357680 A JP H0357680A JP 1193702 A JP1193702 A JP 1193702A JP 19370289 A JP19370289 A JP 19370289A JP H0357680 A JPH0357680 A JP H0357680A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- marker
- winding
- ribbon
- color
- length
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Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 6
- 239000003550 marker Substances 0.000 claims abstract description 29
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 4
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 55
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 5
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 241001638456 Manica Species 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J35/00—Other apparatus or arrangements associated with, or incorporated in, ink-ribbon mechanisms
- B41J35/16—Multicolour arrangements
- B41J35/18—Colour change effected automatically
Landscapes
- Impression-Transfer Materials And Handling Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
E産業上の利用分野]
本発明は熱転写プリンタに係り、特にそのカラーリボン
を用いた場合の所望の色の頭出し方法に関する。
を用いた場合の所望の色の頭出し方法に関する。
[従来の技術]
第3図は従来の一般的なプリンタを示したちので、プリ
ンタのフレーム1のほぼ中央部には、平板状のプラテン
2がその印字面がほぼ垂直となるように配設されており
、前記フレーム1の前記プラテン2の前側下方には、キ
ャリッジシャフト3が前記プラテン2と平行に配設され
ている。また、前記フレーム1の前端縁には、フランジ
状のガイド部4が形或されており、前記キャリッジシャ
フト3および前記ガイド部4には、キャリッジ5が前記
キャリツジシャフト3およびガイド部4に沿って往復動
自在に取付けられている。前記キャリッジ5の先端部に
は、前記プラテン2に対向するように印字ヘッド6が取
付けられており、前記キャリッジ5の上面には、インク
リボンを収納し、このインクリボンを前記印字ヘッド6
とプラテン2との間に案内するリボンカセット(図示せ
ず)が装着ざれるようになされている。
ンタのフレーム1のほぼ中央部には、平板状のプラテン
2がその印字面がほぼ垂直となるように配設されており
、前記フレーム1の前記プラテン2の前側下方には、キ
ャリッジシャフト3が前記プラテン2と平行に配設され
ている。また、前記フレーム1の前端縁には、フランジ
状のガイド部4が形或されており、前記キャリッジシャ
フト3および前記ガイド部4には、キャリッジ5が前記
キャリツジシャフト3およびガイド部4に沿って往復動
自在に取付けられている。前記キャリッジ5の先端部に
は、前記プラテン2に対向するように印字ヘッド6が取
付けられており、前記キャリッジ5の上面には、インク
リボンを収納し、このインクリボンを前記印字ヘッド6
とプラテン2との間に案内するリボンカセット(図示せ
ず)が装着ざれるようになされている。
また、前記キャリッジ5には、巻取り機構7が配設され
ている。この巻取り機構7は、第4図および第5図に示
すように、巻取り軸8を有している。この巻取り軸8の
下端部には、外方に突出する支持フランジ9が一体に形
或されているとともに、巻取りギア10が前記巻取り軸
8と独立して回転自在に遊嵌されている。また、前記巻
取リギア10の下面側と前記巻取り軸8の支持フランジ
9との間には、スリップ機構としてのフエルト11が介
設されており、前記巻取り軸8の上端部には、前記キャ
リッジ5の上面に露出して前記リボンカセットの巻取り
孔(共に図示せず)に係合される巻取りボビン12が固
着ざれている。この巻取りボビン12の外周面には、3
個の係合爪13が周方向3等分位置に突出形成ざれてお
り、前記巻取リボビン12の下面には、環状の保持溝1
4が形成ざれている。前記巻取り軸8の外周側には、上
端部が前記巻取リボビン12の保持溝14に保持ざれる
とともに、下端部が前記巻取りギア10の上面に当接ざ
れる付勢ばね15が配設ざれている。この付勢ばね15
の付勢力により、゛前記巻取リギア10を前記フエルト
11を介して前記巻取り軸8の支持フランジ9に圧接さ
せるようになされている。
ている。この巻取り機構7は、第4図および第5図に示
すように、巻取り軸8を有している。この巻取り軸8の
下端部には、外方に突出する支持フランジ9が一体に形
或されているとともに、巻取りギア10が前記巻取り軸
8と独立して回転自在に遊嵌されている。また、前記巻
取リギア10の下面側と前記巻取り軸8の支持フランジ
9との間には、スリップ機構としてのフエルト11が介
設されており、前記巻取り軸8の上端部には、前記キャ
リッジ5の上面に露出して前記リボンカセットの巻取り
孔(共に図示せず)に係合される巻取りボビン12が固
着ざれている。この巻取りボビン12の外周面には、3
個の係合爪13が周方向3等分位置に突出形成ざれてお
り、前記巻取リボビン12の下面には、環状の保持溝1
4が形成ざれている。前記巻取り軸8の外周側には、上
端部が前記巻取リボビン12の保持溝14に保持ざれる
とともに、下端部が前記巻取りギア10の上面に当接ざ
れる付勢ばね15が配設ざれている。この付勢ばね15
の付勢力により、゛前記巻取リギア10を前記フエルト
11を介して前記巻取り軸8の支持フランジ9に圧接さ
せるようになされている。
また、前記巻取リギア10には、リボン巻取りモータ1
6の回転軸17に固着された駆動ギア18が噛合されて
おり、前記リボン巻取りモータ16の回転駆動により前
記駆動ギア18を回転させ、前記巻取りギア10を回転
させることにより、前記巻取りギア10の付勢ばね15
の付勢力により生じるフエルト11の摩擦力により、こ
の回転駆動力を前記巻取り軸8に伝達するようになされ
ている。
6の回転軸17に固着された駆動ギア18が噛合されて
おり、前記リボン巻取りモータ16の回転駆動により前
記駆動ギア18を回転させ、前記巻取りギア10を回転
させることにより、前記巻取りギア10の付勢ばね15
の付勢力により生じるフエルト11の摩擦力により、こ
の回転駆動力を前記巻取り軸8に伝達するようになされ
ている。
また、前記プラテン2の後方には、用紙(図示せず)を
プラテン2の前方に送る用紙挿入口19が形或されてお
り、前記用紙挿入口19部分には、所定速度で前記用紙
を搬送する紙送りローラ20が配設されている。この紙
送りローラ20の下方には、この紙送り口ーラ20に圧
接ざれる圧接口−ラ21が回転自在に配設されており、
前記紙送りローラ20とこの圧接ローラ21との間に用
紙挿入口19から挿入ざれる用紙を挟持して搬送される
ようになされている。
プラテン2の前方に送る用紙挿入口19が形或されてお
り、前記用紙挿入口19部分には、所定速度で前記用紙
を搬送する紙送りローラ20が配設されている。この紙
送りローラ20の下方には、この紙送り口ーラ20に圧
接ざれる圧接口−ラ21が回転自在に配設されており、
前記紙送りローラ20とこの圧接ローラ21との間に用
紙挿入口19から挿入ざれる用紙を挟持して搬送される
ようになされている。
前記従来のプリンタにおいては、前記用紙挿入口19か
ら用紙を挿入し、この用紙を前記紙送り口−ラ20と圧
接ローラ21との間に挟み込んで、前記ステッピングモ
ータにより前記紙送りローラ20を回転駆動させること
により、前記用紙をキャリッジ5の移動方向と直交方向
に所定速度で搬送する。一方、前記キャリッジ5を駆動
するとともに、前記リボン巻取リモータ16を駆動して
巻取りギア10を介して巻取り軸8を回転ざせることに
より、巻取りボビン12を回転させてリボンカセットの
インクリボンを巻取りながら、前記印字ヘッド6を所望
の印字信号に基づいて駆動することにより、前記用紙に
所望の印字を行なうものである。
ら用紙を挿入し、この用紙を前記紙送り口−ラ20と圧
接ローラ21との間に挟み込んで、前記ステッピングモ
ータにより前記紙送りローラ20を回転駆動させること
により、前記用紙をキャリッジ5の移動方向と直交方向
に所定速度で搬送する。一方、前記キャリッジ5を駆動
するとともに、前記リボン巻取リモータ16を駆動して
巻取りギア10を介して巻取り軸8を回転ざせることに
より、巻取りボビン12を回転させてリボンカセットの
インクリボンを巻取りながら、前記印字ヘッド6を所望
の印字信号に基づいて駆動することにより、前記用紙に
所望の印字を行なうものである。
また、前記リボンカセットに収容されるインクリボンと
して複数色のマルチカラーインクリボンを用いる場合は
、第6図曽吟に示すように、例えば、インクリボン22
のイエロー(Y)、マゼンダ(M〉、シアン(C)の各
色の境界部分に、各色毎に長手方向寸法の異なるマニカ
23を設けるようにしている。そして、このインクリボ
ン22の各色を検出する場合は、前記インクリボン巻取
り時と同様に、前記リボン巻取リモータ16を駆動して
巻取りボビン12を回転させることにより、前記インク
リボン22を巻取りながら、前記マーカ23を読取るこ
とにより。各色を検出するようになされている。
して複数色のマルチカラーインクリボンを用いる場合は
、第6図曽吟に示すように、例えば、インクリボン22
のイエロー(Y)、マゼンダ(M〉、シアン(C)の各
色の境界部分に、各色毎に長手方向寸法の異なるマニカ
23を設けるようにしている。そして、このインクリボ
ン22の各色を検出する場合は、前記インクリボン巻取
り時と同様に、前記リボン巻取リモータ16を駆動して
巻取りボビン12を回転させることにより、前記インク
リボン22を巻取りながら、前記マーカ23を読取るこ
とにより。各色を検出するようになされている。
{−1,て、この色検出がなされると、更にリボン巻取
リモータ16を駆動してリボンを送ることにより、印字
位置において所望の色が対向するようになされている。
リモータ16を駆動してリボンを送ることにより、印字
位置において所望の色が対向するようになされている。
[発明が解決しようとする課題]
しかしながら、前記従来のカラーリボンの頭出しにおい
ては、インクリボンを使用するに従って巻取りボビン7
側のリボンの径が異なってくるため(大きくなってくる
ため)、巻取りモータ16を同じ量(同じステップ数)
だけ回転させても巻取られるインクリボンの量は異なる
ことになる。
ては、インクリボンを使用するに従って巻取りボビン7
側のリボンの径が異なってくるため(大きくなってくる
ため)、巻取りモータ16を同じ量(同じステップ数)
だけ回転させても巻取られるインクリボンの量は異なる
ことになる。
すなわち、リボンの色を検出するセンサ位置から送られ
る量が異なり、印字位置へ確実に所望の色が対向するよ
うにするため、巻取りボビン7側への巻取られたインク
リボンが少ない状態(インクリボンの使用開始時〉で確
実に所望の色が印字位置に対向するようにインクリボン
を巻取るように巻取りモータ16の回転量を設定してお
く必要があるが、このような設定を行なった場合、ある
程度インクリボンを使用した状態においても、リボンの
巻取り量が大きくなり、インクリボンが無駄に使用ざれ
ることになる。この無駄に使用ざれる量が巻取り側の径
が大きくなるにつれて大きくなる。このようなリボンの
使用無駄をなくすために、通常の印字時と同様ヘッドb
をプラテンに押圧し、ヘッドの押圧力を利用してリボン
を引き出し、巻取りボビンのスリップ機構を利用してキ
ャリツジ5(ヘッド〉の移動量と同じ距離だけリボンを
供給する方法があるが、この方法によると印字を行なわ
ないにもかかわらず、キャリツジ5を移動させる必要が
あり、リボンを送るための時間がかかるという欠点があ
った。
る量が異なり、印字位置へ確実に所望の色が対向するよ
うにするため、巻取りボビン7側への巻取られたインク
リボンが少ない状態(インクリボンの使用開始時〉で確
実に所望の色が印字位置に対向するようにインクリボン
を巻取るように巻取りモータ16の回転量を設定してお
く必要があるが、このような設定を行なった場合、ある
程度インクリボンを使用した状態においても、リボンの
巻取り量が大きくなり、インクリボンが無駄に使用ざれ
ることになる。この無駄に使用ざれる量が巻取り側の径
が大きくなるにつれて大きくなる。このようなリボンの
使用無駄をなくすために、通常の印字時と同様ヘッドb
をプラテンに押圧し、ヘッドの押圧力を利用してリボン
を引き出し、巻取りボビンのスリップ機構を利用してキ
ャリツジ5(ヘッド〉の移動量と同じ距離だけリボンを
供給する方法があるが、この方法によると印字を行なわ
ないにもかかわらず、キャリツジ5を移動させる必要が
あり、リボンを送るための時間がかかるという欠点があ
った。
[課題を解決するための手段]
本発明は、上述の課題を解決するためになされたもので
、長尺なインクリボンにその長さ方向に沿って複数色の
インク層が連続する繰返し単位で配列されるとともに、
各色区分間に各色を表わすマーカ部が形成されたカラー
インクリボンを用いる熱転写プリンタにおいて、前記マ
ーカ部の長さをセンサで検出し、この検出されたマーカ
部の所定倍の距離だけ送ることにより印字部での所望の
各色の頭出しを行なうことを特徴とする。
、長尺なインクリボンにその長さ方向に沿って複数色の
インク層が連続する繰返し単位で配列されるとともに、
各色区分間に各色を表わすマーカ部が形成されたカラー
インクリボンを用いる熱転写プリンタにおいて、前記マ
ーカ部の長さをセンサで検出し、この検出されたマーカ
部の所定倍の距離だけ送ることにより印字部での所望の
各色の頭出しを行なうことを特徴とする。
[作 用]
上述の手段は以下のように作用する。
リボンの径の大小にかかわらず、センサから印字位置ま
での短い距離のみを考えると、巻取リモータの1ステッ
プの回転量における巻取り量はほぼ同じであると考える
ことができる。従って、リボンの色識別マーカの長さを
一定にしておくと、このマーカを送るステップ数をカウ
ントすると、このセンサ位置から印字位置まで送るには
決められた整数倍のステップ数だけ送ればよいことにな
る。
での短い距離のみを考えると、巻取リモータの1ステッ
プの回転量における巻取り量はほぼ同じであると考える
ことができる。従って、リボンの色識別マーカの長さを
一定にしておくと、このマーカを送るステップ数をカウ
ントすると、このセンサ位置から印字位置まで送るには
決められた整数倍のステップ数だけ送ればよいことにな
る。
[実施例]
以下、本発明の一実施例について図面を用いて説明する
。第1図および第2図は、本発明の熱転写プリンタの略
構或図であり、第1図は、インクリボンの使用開始時の
状態(巻取り側にほとんど巻取られていない状態〉、第
2図はインクリボンをある程度使用した状態(巻取り側
に多くのリボンが巻取られた状態)を示す。
。第1図および第2図は、本発明の熱転写プリンタの略
構或図であり、第1図は、インクリボンの使用開始時の
状態(巻取り側にほとんど巻取られていない状態〉、第
2図はインクリボンをある程度使用した状態(巻取り側
に多くのリボンが巻取られた状態)を示す。
図からも明らかなように、第1図の状態で巻取りボビン
51によりリボンを巻取った時と、第2図の状態で同じ
ようにリボンを巻取った時では、同じ量だけ巻取りボビ
ン51を回転させてもその巻取り量に差が生じる。
51によりリボンを巻取った時と、第2図の状態で同じ
ようにリボンを巻取った時では、同じ量だけ巻取りボビ
ン51を回転させてもその巻取り量に差が生じる。
そこで、本発明においてはセンサ52と印字位置53と
の距離が常に一定で、かつその距離があまり長くない(
ぜいぜい100mm程度〉ことから、センサ位置から印
字位置まで送られる時、巻取りボビン側51のリボン径
にあまり影響なく、そのスピードはほぼ一定であること
に注目したものである。つまり、各色を識別するための
マ一力23の長さは各色においては一定であることから
、このマ一カ23の長さとセンサ52および印字位置5
3間の距離(2〉との比は常に一定であることから、こ
のマーカ23の長さとRとの比をあらかじめ求めておき
それを記録させておくことにより、センサ51で検出し
たマーカ23の長さを送るためのモータの回転ステップ
数の整数倍(比から求めた数)だけ送れば、常に正確な
距離だけリボンを送ることが可能になるわけである。
の距離が常に一定で、かつその距離があまり長くない(
ぜいぜい100mm程度〉ことから、センサ位置から印
字位置まで送られる時、巻取りボビン側51のリボン径
にあまり影響なく、そのスピードはほぼ一定であること
に注目したものである。つまり、各色を識別するための
マ一力23の長さは各色においては一定であることから
、このマ一カ23の長さとセンサ52および印字位置5
3間の距離(2〉との比は常に一定であることから、こ
のマーカ23の長さとRとの比をあらかじめ求めておき
それを記録させておくことにより、センサ51で検出し
たマーカ23の長さを送るためのモータの回転ステップ
数の整数倍(比から求めた数)だけ送れば、常に正確な
距離だけリボンを送ることが可能になるわけである。
もちろん、リボンの巻取り径によりモータの1ステップ
当りのマーカ23の送られる距離も異なってくるが、こ
のマーカ23は繰り返して決まった色を表わすマーカ2
3が検出ざれ、更にこのマー力23の長さは各色に応じ
て常に一定の距離であるために、基準となる色のマーカ
23を検出すれば、その後何色のマーカ23であるかは
簡単に識別することができる。つまり、例えば、黒色を
基準とし、この黒色のマーカ23を検出するようなシー
ケンスを組んでおくとよい。
当りのマーカ23の送られる距離も異なってくるが、こ
のマーカ23は繰り返して決まった色を表わすマーカ2
3が検出ざれ、更にこのマー力23の長さは各色に応じ
て常に一定の距離であるために、基準となる色のマーカ
23を検出すれば、その後何色のマーカ23であるかは
簡単に識別することができる。つまり、例えば、黒色を
基準とし、この黒色のマーカ23を検出するようなシー
ケンスを組んでおくとよい。
第1図あるいは第2図において、センサ52によってマ
一カ23の長さを読みとる。つまり、このマー力による
センサのON時間が巻取りモータの何ステップであった
かを検出する。例えば、2が100mmで、マーカの長
さをイエローの場合5mmであると設定しておくと、こ
のマーカの検出時に巻取りモータのステップ数が20で
あった場合、この色を印字位置まで送るには100/5
X20=400ステップとなり、400ステップモー夕
を回転させればよいことになる。必要ならば、若干の余
裕を持ってこのステップ数を設定すればよい。同様に、
その他の各色においても各マー力の長さは一定であるの
で、同様の方法により正確な頭出しができる。
一カ23の長さを読みとる。つまり、このマー力による
センサのON時間が巻取りモータの何ステップであった
かを検出する。例えば、2が100mmで、マーカの長
さをイエローの場合5mmであると設定しておくと、こ
のマーカの検出時に巻取りモータのステップ数が20で
あった場合、この色を印字位置まで送るには100/5
X20=400ステップとなり、400ステップモー夕
を回転させればよいことになる。必要ならば、若干の余
裕を持ってこのステップ数を設定すればよい。同様に、
その他の各色においても各マー力の長さは一定であるの
で、同様の方法により正確な頭出しができる。
[効 果1・
上述のように本発明によれば、簡単な機構により各色の
インク層が確実に無駄なく、印字位置に対向するように
給送できるという顕著な効果を奏する。
インク層が確実に無駄なく、印字位置に対向するように
給送できるという顕著な効果を奏する。
第1図および第2図は、いずれも本発明の一実施例であ
る熱転写プリンタの概略構成図、第3図は、従来の一般
的な熱転写プリンタを示す斜視図、第4図は、従来の巻
取り機構の巻取り軸部分の縦断面図、第5図は、従来の
巻取り機構の斜視図、第6図004:は悼はそれぞれ色
識別用のマ一力が形成されたインクリボンを示す説明図
である。 7・・・巻取り機構,8・・・巻取り軸.10・・・巻
取りギア,12巻取りボビン,14・・・保持溝,15
・・・付勢ばね,16・・・リボン巻取リモータ,18
・・・駆動ギア,24・・・検出駆動ギア,25・・・
主伝達ギア,26・・・揺動アーム,27・・・巻取り
用補助伝達ギア,28・・・検出駆動用補助伝達ギア.
51・・・巻取りボビン,52・・・センサ,53・・
・印字位置。 第 4 図 ネ 5 g
る熱転写プリンタの概略構成図、第3図は、従来の一般
的な熱転写プリンタを示す斜視図、第4図は、従来の巻
取り機構の巻取り軸部分の縦断面図、第5図は、従来の
巻取り機構の斜視図、第6図004:は悼はそれぞれ色
識別用のマ一力が形成されたインクリボンを示す説明図
である。 7・・・巻取り機構,8・・・巻取り軸.10・・・巻
取りギア,12巻取りボビン,14・・・保持溝,15
・・・付勢ばね,16・・・リボン巻取リモータ,18
・・・駆動ギア,24・・・検出駆動ギア,25・・・
主伝達ギア,26・・・揺動アーム,27・・・巻取り
用補助伝達ギア,28・・・検出駆動用補助伝達ギア.
51・・・巻取りボビン,52・・・センサ,53・・
・印字位置。 第 4 図 ネ 5 g
Claims (1)
- 長尺なインクリボンにその長さ方向に沿つて複数色のイ
ンク層が連続する繰返し単位で配列されるとともに、各
色区分間に各色を表わすマーカ部が形成されたカラーイ
ンクリボンを用いる熱転写プリンタにおいて、前記マー
カ部の長さをセンサで検出し、この検出されたマーカ部
の所定倍の距離だけ送ることにより印字部での所望の各
色の頭出しを行なうことを特徴とする熱転写プリンタの
カラーインクリボン頭出し方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1193702A JPH0357680A (ja) | 1989-07-26 | 1989-07-26 | 熱転写プリンタのカラーリボン頭出し方法 |
| GB9015909A GB2234940B (en) | 1989-07-26 | 1990-07-19 | Setting the colour,of a colour ink ribbon,to be printed by a thermal transfer printer |
| US07/558,289 US5162816A (en) | 1989-07-26 | 1990-07-26 | Method for setting color of color ink ribbon in thermal transfer printer |
| DE4023784A DE4023784A1 (de) | 1989-07-26 | 1990-07-26 | Verfahren zum einstellen einer farbe eines mehrfarben-farbbands bei einem thermotransferdrucker |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1193702A JPH0357680A (ja) | 1989-07-26 | 1989-07-26 | 熱転写プリンタのカラーリボン頭出し方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0357680A true JPH0357680A (ja) | 1991-03-13 |
Family
ID=16312362
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1193702A Pending JPH0357680A (ja) | 1989-07-26 | 1989-07-26 | 熱転写プリンタのカラーリボン頭出し方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5162816A (ja) |
| JP (1) | JPH0357680A (ja) |
| DE (1) | DE4023784A1 (ja) |
| GB (1) | GB2234940B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8256774B2 (en) | 2006-09-12 | 2012-09-04 | Semes Co., Ltd. | Chucking member and spin head and method for chucking substrate using the chucking member |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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