JPH035805Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この考案は、クリーンルームに用いるフアンフ
イルタユニツトの風量調整機構に関する。

〈従来の技術〉 従来、この種のフアンフイルタユニツトの風量
調整機構としては、第３図に示すようなものがあ
る。この風量調整機構は、クリーンルームの天井
面１上に下方より順次フイルタ４と風量調整ダン
パ５とフアン６を一列に配置している。そして、
風量を調整する際には、フイルタ４を取外し、風
量調整ダンパ５の開度を調整し、再度、上記フイ
ルタ４を天井面１に取付け、フイルタ４の下面で
風速を測定して所定の風量になつているか否かを
判断し、所定の風量になつていない場合には、再
度フイルタ４を取外して調整を行なつている。

このように、上記風量調整機構では、風量調整
ダンパ５で所定の風量に設定するまでフイルタ４
を幾度となく天井面１から取外さなければなら
ず、作業員にとつてはその手間が大きな負担とな
る上に、事実上風量の微調整が不可能である。

そこで、第４図に示すような風量調整機構が用
いられている。この風量調整機構は、クリーンル
ームの天井面１上に下方より順次フイルタ４とフ
アン８と風量調整ダンパ９を一列に配置し、その
上方にメンテナンス通路１１を設けている。そし
て、一人の作業員がフイルタ４の下面で風速を測
定しながら他の作業員が風量調整ダンパ９の背後
のメンテナンス通路１１で風量調整ダンパ９の開
度を調整して風量調整を行なう。

ところが、上記風量調整機構では、本来狭くあ
るべき天井面１上の空間にメンテナンス通路１１
を余分に設けなければならず、天井面１上の空間
が大きくなるという問題がある。また、風量調整
に作業員が２人いるという問題がある。

〈考案の目的〉 そこで、この考案の目的は、狭いスペースに納
まり、フイルタ面風速を測定しながら風量の調整
ならびに微調整も一人の作業者でもつて容易かつ
簡単に行なえるようにすることにある。

〈考案の構成〉 上記目的を達成するため、この考案のフアンフ
イルタユニツトの風量調整機構は、クリーンルー
ムの天井面を形成するケーシングの一面に設けら
れて清浄域と汚染域を仕切るフイルタの上流側の
汚染域の上記ケーシングの他の一面にフアンを設
けると共に、上記ケーシングの外側にスライドダ
ンパと、上記スライドダンパと螺合して上記スラ
イドダンパを送る送りロツドと、上記送りロツド
と直交する方向でかつ上記天井面の清浄域側から
回転可能な操作ロツドとを設け、さらに上記送り
ロツドと上記操作ロツドとをウオーム歯車装置で
連結してなることを特徴とする。また、このフア
ンフイルタユニツトの風量調整機構は、上記天井
面の上記操作ロツドをアクセスする箇所を液状シ
ール材でシールすることができる。

〈考案の作用〉 そして、上記構成により、第１図に例示するよ
うに、清浄域２０より操作ロツド２１を回転させ
ると、操作ロツド２１の回転力がウオーム歯車装
置２２を介して操作ロツド２１と直交する送りロ
ツド２４に伝達され、送りロツド２４の回転によ
りスライドダンパ２５がスライドさせられ、風量
が調整される。このとき、操作ロツド２１の領域
はケーシング３１の外側でフアン２８の吸引作用
により負圧になつているため、汚染域２７の汚染
空気が、天井面の上記操作ロツド２１をアクセス
する箇所から清浄域２０へ混入することはない。
また、上記アクセスする箇所を液状シール材５５
によりシールすることにより、シール状態を維持
したまま操作ロツドの操作が可能となる。

〈実施例〉 以下、この考案を図示の実施例により詳細に説
明する。

第２図は全体の配置を示す図で、フアンフイル
タユニツト３０，３０を互いに隣接して複数個並
接し、クリーンルームを形成し、２６，２６，…
はクリーンルームの天井面に設けられて清浄域２
０と汚染域２７を仕切るフイルタ、２８，２８，
…は上記フイルタ２６，２６，…の上方に設置さ
れたフアン、２５，２５，…は上記フアン２８，
２８，…の吐出量を調整するスライドダンパであ
る。上記フイルタ２６と２台のフアン２８，２８
と２台のスライドダンパ２５，２５から各フアン
フイルタユニツト３０，３０が構成される。

上記フアンフイルタユニツト３０は、第１図ａ
および第１図ｂに示すように、下面が開口した箱
形のケーシング３１の下面にフイルタ２６を設け
ている。上記ケーシング３１は図示しない吊りボ
ルトにより天井部に固定されている。そして、上
記ケーシング３１の側部の下端部に略Ｌ字形状の
取付部３２を設ける一方、フイルタ２６の両側部
の下端に略Ｌ字形状の取付部３４を設けている。
そして、上記ケーシング３１の取付部３２とフイ
ルタ２６の取付部３４との間にパツキン３５を介
在させて、第５図、第６図に示すストツパ７０，
７０，…により下方よりフイルタ２６の取付部３
４を上方に向けて押し付けてフイルタ２６をケー
シング３１の取付部３２に固定している。このス
トツパ７０，７０，…はケーシング３１，３１，
…の下端に取り付けられた支持部材７１，７１，
…にボルトで固定される。清浄域２０と汚染域２
７との間は完全にシールされている。また、上記
フアンフイルタユニツト３０の上部をプレート３
１ａ，３１ｂにより上段Ａと下段Ｂとの二段に形
成する一方、上段Ａと下段Ｂに股つて略コ字形状
の型鋼３６ａ，３６ｂ，３６ｂを中央と両端に
夫々設けている。上記中央の型鋼３６ａを挟んだ
左右に等しい距離にある上段Ａの底面の位置に矩
形の空気用吸込口３８，３８を夫々設けている。
上記２個の吸込口３８，３８を開閉する、内部が
空洞で断面が矩形のスライドダンパ２５，２５を
夫々設けている。上記左右のスライドダンパ２
５，２５を中央の型鋼３６ａを貫通した複数本の
ネジロツド３９，３９，…とナツト４１，４１，
…で連結している。一方のスライドダンパ２５の
底面の端部に設けた矩形の孔４４には案内板４２
の上端部を嵌入している。上記案内板４２の下端
部には送りナツト４５を固定している。この送り
ナツト４５を下段Ｂに設けた送りロツド２４に螺
合している。上記送りロツド２４の先端部は中央
の型鋼３６ａに支持され、送りロツド２４の先端
部にナツト４６をピン４８で固定し、送りロツド
２４が型鋼３６ａから脱落しないようにしてい
る。一方、上記送りロツド２４の後端部を端部の
型鋼３６ｂから突出させてホイール歯車４８に取
付けている。上記ホイール歯車４８にウオーム歯
車４９を噛合している。上記ホイール歯車４８と
ウオーム歯車４９とでウオーム歯車装置２２を構
成している。上記ウオーム歯車４９の上下端部を
型鋼３６ｂに固定した略コ字形状の型鋼５０に回
転自在に支持している。ウオーム歯車４９の下端
を操作ロツド２１の上端と連結プレート５１およ
びピンを介して連結する一方、操作ロツド２１の
下端面にドライバー溝２１ａを設けている。ま
た、上記操作ロツド２１の下端部は、ケーシング
３１の取付部３２に設けた孔５３に対応する上記
取付部３２の裏面に立設して固定した短かいパイ
プ５４に摺動自在に嵌合している。上記取付部３
２の孔５３を通してパイプ５４内に液状シール材
５５を充填して上記孔５３をグロメツト５２で栓
している。上記フアンフイルタユニツト３０の上
面の下段Ｂの底面には、中央の型鋼３６ａを挟ん
で左右に等しい距離の位置にフアン２８，２８用
の案内ダクト５６，５６を設けている。このよう
に構成されるフアンフイルタユニツト３０は天井
部に取り付けられる前に、フイルタ２６、取付部
３４およびパツキン３５を除くその他の部材をケ
ーシング３１に予め一体に組み立てておき、その
ケーシング３１を天井部に吊りボルトで固定した
のち、上記フイルタ２６、取付部３４およびパツ
キン３５を一体に組み立てたものを前述したよう
にストツパ７０，７０，…で上記ケーシング３１
の取付部３２に固定する。

上記構成のフアンフイルタユニツトの風量調整
機構によれば、フイルタ２６を取付けた後フアン
２８を駆動する一方、清浄域２０からグロメツト
５２を取外して、パイプ５４内の液状シール材５
５を取出す。その後、フイルタ２６の下面で風速
を測定しながら同時に操作ロツド２１の下端面の
溝２１ａにドライバーを嵌めて操作ロツド２１を
回転させる。操作ロツド２１が回転すると、ウオ
ーム歯車４９が回転し、ウオーム歯車４９と直交
方向のホイール歯車４８が回転して、送りロツド
２４が回転する。上記送りロツド２４は回転する
が左右方向の移動が拘束されているため、ケーシ
ング３１のプレート３１ｂにより回転が阻止さ
れ、スライドのみするスライドダンパ２５，２５
に連結された送りナツト４５が左右に移動する。
これにより、両方のスライドダンパ２５，２５が
左または右に移動する。その結果、吸込口３８の
開度が調整されてフイルタ２６の下面の風速が変
わる。このように、フイルタ２６の出口側の風速
を測りながら、清浄域２０から操作ロツド２１の
下端を回転させることによつて所定の風速つまり
風量に容易に設定することができる。もちろん、
風量の微調整も可能である。このとき、操作ロツ
ド２１はケーシング３１の外側でフアン２８の吸
引作用により負圧になつているため、操作ロツド
２１とパイプ５４との間などを介して汚染域２７
の汚染空気が清浄域２０へ混入することはない。
所定の風量にスライドダンパ２５を調整した後
は、再びパイプ５４内に液状シール材５５を充填
してグロメツト５２で孔５３を栓する。このよう
に、パイプ５４を液状シール材５５に加えてグロ
メツト５２で栓しているので気密度が高い。ま
た、この液状シール材５５は、硬化しないため再
利用が可能となり、工事完了後でもいつでも清浄
域２０から風量変更の調整が容易にできる。ま
た、操作ロツド２１の操作位置を隣接するフイル
タ２６，２６の間の取付部３２に定めたので、操
作ロツド２１の操作スペースを小さくすることが
できて、フイルタ２６の有効面積を妨げることは
ない。

上記実施例では、スライドダンパ２５の下方に
フアン２８を設けた場合について説明したが、ス
ライドダンパの背後にフアンを設けてもよい。

なお、第５図および第６図に示すように、一つ
の支持部材７１から互いに逆方向に千鳥状にスト
ツパ７０，７０，…を設ければ、隣接するフイル
タ２６，２６に対して一つの支持部材７１を共用
でき、支持部材７１に要するスペースを小さくで
きて、フイルタ２６の有効面積を大きくとれる利
点が得られる。

〈考案の効果〉 以上の説明で明らかなように、この考案のフア
ンフイルタユニツトの風量調整機構は、清浄域と
汚染域を仕切るフイルタの背面側の汚染域にフア
ンとスライドダンパとスライドダンパと螺合する
送りロツドと送りロツドと直交する方向の操作ロ
ツドとを設けたので、フイルタを取り外すことな
く、フイルタの出口の風速を測定しながら清浄域
から一人の作業員でもつて、操作ロツドを回転し
て容易に風量調整を行なうことができる。また、
この考案によれば、工事完了後でもいつでも容易
に風量を変更でき、所定の風量に設定できる。ま
た、清浄域で操作ロツドを操作するため、天井空
間にメンテナンス通路を必要とせず、天井空間を
狭くでき、空間を有効に利用できる。さらに、送
りロツドとそれに直交する操作ロツドとウオーム
歯車装置でスライドダンパを操作するのにスペー
スが小さくてすみ、フイルタの有効面積を大きく
できる。また、フイルタが取付けられたケーシン
グの外側に操作ロツドを配置するので、操作ロツ
ドの存する汚染域は負圧となり、汚染域の汚染空
気が清浄域に混入するのを防止できる。更に、フ
イルタよりも下方に操作桿などの突起物がないの
で空気の流れを妨げることがなく、このことは超
清浄空間を作る垂直層流システムにおいて特に有
効である。

【図面の簡単な説明】

第１図ａはこの考案の一実施例を示す断面図、
第１図ｂは第１図ａの−線矢視図、第２図は
実施例の模式図、第３図は従来例の模式図、第４
図は別の従来例の模式図、第５図はフイルタを取
付けるストツパの配置図、第６図は第５図の−
線矢視図である。 ２０……清浄域、２１……操作ロツド、２２…
…ウオーム歯車装置、２４……送りロツド、２５
……スライドダンパ、２６……フイルタ、２７…
…汚染域、２８……フアン。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) クリーンルームの天井面を形成するケーシン
   グの一面に設けられて清浄域と汚染域を仕切る
   フイルタの上流側の汚染域の上記ケーシングの
   他の一面にフアンを設けると共に、上記ケーシ
   ングの外側にスライドダンパと、上記スライド
   ダンパと螺合して上記スライドダンパを送る送
   りロツドと、上記送りロツドと直交する方向で
   かつ上記天井面の清浄域側から回転可能な操作
   ロツドとを設け、さらに上記送りロツドと上記
   操作ロツドとをウオーム歯車装置で連結してな
   ることを特徴とするフアンフイルタユニツトの
   風量調整機構。 (2) 実用新案登録請求の範囲第１項に記載の風量
   調整機構において、上記天井面の上記操作ロツ
   ドをアクセスする箇所を液状シール材でシール
   した風量調整機構。