JPH0360376B2 - - Google Patents
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- JPH0360376B2 JPH0360376B2 JP61182886A JP18288686A JPH0360376B2 JP H0360376 B2 JPH0360376 B2 JP H0360376B2 JP 61182886 A JP61182886 A JP 61182886A JP 18288686 A JP18288686 A JP 18288686A JP H0360376 B2 JPH0360376 B2 JP H0360376B2
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- JP
- Japan
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- light emitting
- synchronization signal
- light
- camera
- video camera
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- Expired - Lifetime
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- Led Devices (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レーザーダイオード、発光ダイオー
ド等、半導体発光素子の特性測定装置に関する。
ド等、半導体発光素子の特性測定装置に関する。
特に計測媒体となる光の発生源に使用する半導
体発光素子（以下、発光素子という。）には、良
好な発光特性が要求されるため、当該発光特性を
測定することは重要である。
体発光素子（以下、発光素子という。）には、良
好な発光特性が要求されるため、当該発光特性を
測定することは重要である。
周知のように発光素子の発光特性は、当該発光
素子の発光を発光点から離隔した位置で観察する
フアーフイールドパターン特性と、当該発光素子
の発光点に於ける発光状態を観察するニアフイー
ルドパターン特性とがある。
素子の発光を発光点から離隔した位置で観察する
フアーフイールドパターン特性と、当該発光素子
の発光点に於ける発光状態を観察するニアフイー
ルドパターン特性とがある。
従来のフアーフイールドパターン特性の測定装
置はフオトダイオードアレー上に被測定発光素子
からの光を投影し、上記フオトダイオードアレー
の各セルをデマルチプレクサーで切換えて各セル
毎の受光レベルを検出して処理装置（CPU）で
処理して特性を得るようにしている。
置はフオトダイオードアレー上に被測定発光素子
からの光を投影し、上記フオトダイオードアレー
の各セルをデマルチプレクサーで切換えて各セル
毎の受光レベルを検出して処理装置（CPU）で
処理して特性を得るようにしている。
また、従来のニアフイールドパターン特性の測
定装置は被測定発光素子の発光端面の像を光学系
により拡大してフオトダイオードアレー上に結像
させ、上記と同様に当該フオトダイオードアレー
の各セルの受光レベルを検出して処理装置で処理
するようにしている。
定装置は被測定発光素子の発光端面の像を光学系
により拡大してフオトダイオードアレー上に結像
させ、上記と同様に当該フオトダイオードアレー
の各セルの受光レベルを検出して処理装置で処理
するようにしている。
上記従来の測定装置によると、被測定発光素子
の発光駆動は、フオトダイオードアレーのセル数
だけ繰り返す必要があり、従つて被測定発光素子
に熱的ストレスが加わることとなるので、発光素
子チツプに充分な放熱手段を講じた状態、すなわ
ち、発光素子チツプをケース内に封止して製品と
しての形態が整つた段階で測定測定を行う必要が
あり、不良品の数だけのケース及び当該ケース内
への発光素子チツプの封止工数が無駄となるの
で、発光素子の製造工程に於ける特性測定の手段
としては、従来の測定装置は適していない。
の発光駆動は、フオトダイオードアレーのセル数
だけ繰り返す必要があり、従つて被測定発光素子
に熱的ストレスが加わることとなるので、発光素
子チツプに充分な放熱手段を講じた状態、すなわ
ち、発光素子チツプをケース内に封止して製品と
しての形態が整つた段階で測定測定を行う必要が
あり、不良品の数だけのケース及び当該ケース内
への発光素子チツプの封止工数が無駄となるの
で、発光素子の製造工程に於ける特性測定の手段
としては、従来の測定装置は適していない。
また、フアーフイールドパターン特性とニアフ
イールドパターン特性とは同一の発光条件（温度
等、環境条件が同じであること、及び印加駆動電
流が同一であること、等）で測定されるのが望ま
しいが、従来の測定装置ではフアーフイールドパ
ターン特性とニアフイールドパターン特性とが別
個の装置で測定されるので、測定の条件を同一と
することがむづかしいという問題点がある。
イールドパターン特性とは同一の発光条件（温度
等、環境条件が同じであること、及び印加駆動電
流が同一であること、等）で測定されるのが望ま
しいが、従来の測定装置ではフアーフイールドパ
ターン特性とニアフイールドパターン特性とが別
個の装置で測定されるので、測定の条件を同一と
することがむづかしいという問題点がある。
本発明は以上の問題点を解決すべく提案するも
ので、発光素子をチツプ状態又はそれに近い状態
（例えばケース内でのヒートシンクにチツプを搭
載した状態）の段階で測定が可能な装置を得るこ
とを目的とし、更にフアーフイールドパターン特
性及びニアフイールドパターン特性を同時に上記
段階で測定できる装置を得ることを目的とする。
ので、発光素子をチツプ状態又はそれに近い状態
（例えばケース内でのヒートシンクにチツプを搭
載した状態）の段階で測定が可能な装置を得るこ
とを目的とし、更にフアーフイールドパターン特
性及びニアフイールドパターン特性を同時に上記
段階で測定できる装置を得ることを目的とする。
以上の目的のため、本発明は被測定発光素子の
発光駆動時間を当該発光素子のチツプに熱的スト
レスが残らない程度の極めて短い時間（例えば
100nSec程度）とし、この時間での当該発光素子
の瞬間的発光を固体撮像素子を使用したビデオカ
メラ（CCD型又はMOS型ビデオカメラ）で撮像
し、上記瞬間的発光が終つた後にも固体撮像素子
の特性によつて上記ビデオカメラに残つている受
光画像を処理して発光素子の発光特性を得るよう
にしたものであり、また上記発光素子の瞬間的発
光を分光手段（例えばハーフミラー）によつて２
方路に分光し、一方の方路の光はスクリーンに投
影し、これを上記ビデオカメラで撮像してフアー
フイールドパターン特性を得、他方の方路の光は
直接上記ビデオカメラで撮像してニアフイールド
パターン特性を得るようにしたものである。
発光駆動時間を当該発光素子のチツプに熱的スト
レスが残らない程度の極めて短い時間（例えば
100nSec程度）とし、この時間での当該発光素子
の瞬間的発光を固体撮像素子を使用したビデオカ
メラ（CCD型又はMOS型ビデオカメラ）で撮像
し、上記瞬間的発光が終つた後にも固体撮像素子
の特性によつて上記ビデオカメラに残つている受
光画像を処理して発光素子の発光特性を得るよう
にしたものであり、また上記発光素子の瞬間的発
光を分光手段（例えばハーフミラー）によつて２
方路に分光し、一方の方路の光はスクリーンに投
影し、これを上記ビデオカメラで撮像してフアー
フイールドパターン特性を得、他方の方路の光は
直接上記ビデオカメラで撮像してニアフイールド
パターン特性を得るようにしたものである。
第１図は本発明の実施例に係る装置の光学系の
配置関係と処理系の各部を示したブロツク図であ
る。
配置関係と処理系の各部を示したブロツク図であ
る。
第１図に示すように、光学系は、被測定発光素
子１の発光光の進路(イ)の前方に反斜面を当該発光
素子１側に向けて設けた例えばハーフミラーの様
な分光手段（以下、ハーフミラーを例とする）
２、該ハーフミラー２で２方路の分光された第１
の光の進路（以下、方路という。）(ロ)及び第２の
方路(ハ)（ハーフミラー２の透過光の進路を第１の
方路(ロ)とし、反射光の進路を第２の方路(ハ)とす
る。）にそれぞれ設けられたスクリーン３及び拡
大レンズ４、第１の方路(ロ)及び第２の方路(ハ)にそ
れぞれ撮像方向（レンズの向き）が設定された２
台のビデオカメラ５及び６で構成されている。
子１の発光光の進路(イ)の前方に反斜面を当該発光
素子１側に向けて設けた例えばハーフミラーの様
な分光手段（以下、ハーフミラーを例とする）
２、該ハーフミラー２で２方路の分光された第１
の光の進路（以下、方路という。）(ロ)及び第２の
方路(ハ)（ハーフミラー２の透過光の進路を第１の
方路(ロ)とし、反射光の進路を第２の方路(ハ)とす
る。）にそれぞれ設けられたスクリーン３及び拡
大レンズ４、第１の方路(ロ)及び第２の方路(ハ)にそ
れぞれ撮像方向（レンズの向き）が設定された２
台のビデオカメラ５及び６で構成されている。
ビデオカメラ５及び６は、その撮像手段として
例えばCCD撮像素子、MOS撮像素子等の固体撮
像素子を有する。この固体撮像素子は受光画像を
受光がなくなつた後も暫時保持する残像特性を持
つている。
例えばCCD撮像素子、MOS撮像素子等の固体撮
像素子を有する。この固体撮像素子は受光画像を
受光がなくなつた後も暫時保持する残像特性を持
つている。
また、ビデオカメラ５，６にはそれぞれ入射光
量を制御する電動絞り機構５１，６１が設けられ
ている。この電動絞り機構５１，６１は例えば被
測定発光素子１がレーザーダイオードのように発
光強度が強いものであるときにはビデオカメラ
５，６の固体撮像素子が飽和しないように入射光
量を少なくするものであり、発光素子１が発光強
度の弱い素子の場合には必要のないものである。
尚、当該電動絞り機構５１，６１はビデオカメラ
５，６のレンズに組み込まれたものが使用できる
ものであり、レンズ組込みの絞り機構で抑制しき
れない入射光量のときには絞り能力のより大きな
絞り機構を別途設けるようにする。
量を制御する電動絞り機構５１，６１が設けられ
ている。この電動絞り機構５１，６１は例えば被
測定発光素子１がレーザーダイオードのように発
光強度が強いものであるときにはビデオカメラ
５，６の固体撮像素子が飽和しないように入射光
量を少なくするものであり、発光素子１が発光強
度の弱い素子の場合には必要のないものである。
尚、当該電動絞り機構５１，６１はビデオカメラ
５，６のレンズに組み込まれたものが使用できる
ものであり、レンズ組込みの絞り機構で抑制しき
れない入射光量のときには絞り能力のより大きな
絞り機構を別途設けるようにする。
また、スクリーン３は発光素子１の発光光を投
影するものでこのスクリーン３上の投影像を第１
のビデオカメラ５（２台のビデオカメラを区別し
ていうときには記号“５”のものを、“第１のビ
デオカメラ”、記号“６”のものを第２のビデオ
カメラという。）で撮像してフアーフイールドパ
ターン特性を得る。すなわち、当該第１のビデオ
カメラ５の焦点はスクリーン３上の投撮像に合わ
せられている。
影するものでこのスクリーン３上の投影像を第１
のビデオカメラ５（２台のビデオカメラを区別し
ていうときには記号“５”のものを、“第１のビ
デオカメラ”、記号“６”のものを第２のビデオ
カメラという。）で撮像してフアーフイールドパ
ターン特性を得る。すなわち、当該第１のビデオ
カメラ５の焦点はスクリーン３上の投撮像に合わ
せられている。
また、拡大レンズ４は発光素子１の発光点を拡
大するもので、この拡大レンズ４で拡大された発
光素子１の発光点を第２のビデオカメラ６で撮像
してニアフイールドパターン特性を得る。すなわ
ち、当該第２のビデオカメラ６の焦点は発光素子
１の発光点の拡大レンズ４による結像位置（当該
発光点と等価な位置）に合わせられている。
大するもので、この拡大レンズ４で拡大された発
光素子１の発光点を第２のビデオカメラ６で撮像
してニアフイールドパターン特性を得る。すなわ
ち、当該第２のビデオカメラ６の焦点は発光素子
１の発光点の拡大レンズ４による結像位置（当該
発光点と等価な位置）に合わせられている。
尚、上記光学系の構成に於いて、第１の方路(ロ)
に拡大レンズ４を設け、第２の方路(ハ)にスクリー
ン３を設けて第１のビデオカメラ５でニアフイー
ルドパターン特性を、第２のビデオカメラ６でフ
アーフイールドパターン特性を得るようにしても
よい。
に拡大レンズ４を設け、第２の方路(ハ)にスクリー
ン３を設けて第１のビデオカメラ５でニアフイー
ルドパターン特性を、第２のビデオカメラ６でフ
アーフイールドパターン特性を得るようにしても
よい。
また、フアーフイールドパターン特性又はニア
フイールドパターン特性のいずれか一方の測定の
みを必要とする場合にはハーフミラー２による分
光を必要とせず、発光素子１の発光光の進路(イ)に
スクリーン３又は拡大レンズ４を設ければよく、
ビデオカメラも１台でよい。
フイールドパターン特性のいずれか一方の測定の
みを必要とする場合にはハーフミラー２による分
光を必要とせず、発光素子１の発光光の進路(イ)に
スクリーン３又は拡大レンズ４を設ければよく、
ビデオカメラも１台でよい。
また、発光素子１の発光面積が大きかつたり、
あるいはニアフイールドパターン撮像用のビデオ
カメラ６自体に映像拡大機能を有するときなど、
拡大レンズ４を必要としない場合もある。
あるいはニアフイールドパターン撮像用のビデオ
カメラ６自体に映像拡大機能を有するときなど、
拡大レンズ４を必要としない場合もある。
次に処理系は、第１図に示すように、ビデオカ
メラ５，６からの画像信号がそれぞれＡ／Ｄ変換
する２つのＡ／Ｄ変換器７，８、被測定発光素子
１に極めて短い時間巾の駆動パルスを供給する駆
動パルス発生器９、上記ビデオカメラ５，６と
Ａ／Ｄ変換器７，８に同期信号を送出し、かつ上
記駆動パルス発生器９に駆動パルスの送出タイミ
ング信号を送出する同期信号発生器１０、ビデオ
カメラ５，６の電動絞り機構５１，６１の絞り値
の設定等、システム制御を一括して行うととも
に、上記Ａ／Ｄ変換器７，８を経てビデオカメラ
５及び６から送られる画像信号を処理して発光特
性（フアーフイールドパターン特性及びニアフイ
ールドパターン特性）を得る処理装置（所謂、
CPU）１１、該処理装置１１で得た発光特性を
表示し又は／及び記録する表示／記録装置１２で
構成される。
メラ５，６からの画像信号がそれぞれＡ／Ｄ変換
する２つのＡ／Ｄ変換器７，８、被測定発光素子
１に極めて短い時間巾の駆動パルスを供給する駆
動パルス発生器９、上記ビデオカメラ５，６と
Ａ／Ｄ変換器７，８に同期信号を送出し、かつ上
記駆動パルス発生器９に駆動パルスの送出タイミ
ング信号を送出する同期信号発生器１０、ビデオ
カメラ５，６の電動絞り機構５１，６１の絞り値
の設定等、システム制御を一括して行うととも
に、上記Ａ／Ｄ変換器７，８を経てビデオカメラ
５及び６から送られる画像信号を処理して発光特
性（フアーフイールドパターン特性及びニアフイ
ールドパターン特性）を得る処理装置（所謂、
CPU）１１、該処理装置１１で得た発光特性を
表示し又は／及び記録する表示／記録装置１２で
構成される。
駆動パルス発生器９から発光素子１への発光電
力の供給機構は当該発光素子１の種類及び測定段
階での加工度によつて適宜な構造とすればよい
が、例えば発光素子１がレーザーダイオードであ
つて、そのチツプの段階で発光特性の測定を行う
場合には、当該チツプは両面が電極であつて端面
に発光点が存在するので、第１図に示すように、
発光素子１の載置台１３を導電性部材で形成して
駆動パルス発生器９の出力の一方の極を当該載置
台１３に接続し、駆動パルス発生器９の出力の他
方の極に接続したプローブ１４を上記載置台１３
上の発光素子１の上面の電極に接触させるように
した構造とすればよい。
力の供給機構は当該発光素子１の種類及び測定段
階での加工度によつて適宜な構造とすればよい
が、例えば発光素子１がレーザーダイオードであ
つて、そのチツプの段階で発光特性の測定を行う
場合には、当該チツプは両面が電極であつて端面
に発光点が存在するので、第１図に示すように、
発光素子１の載置台１３を導電性部材で形成して
駆動パルス発生器９の出力の一方の極を当該載置
台１３に接続し、駆動パルス発生器９の出力の他
方の極に接続したプローブ１４を上記載置台１３
上の発光素子１の上面の電極に接触させるように
した構造とすればよい。
第２図は実施例の作用を説明するタイムチヤー
トであり、第１図に示すＡ点〜Ｆ点に送出される
信号を示している。この第２図を参照して第１図
に示す実施例の動作を説明する。尚、以下の動作
は被測定発光素子１が発光強度の高いレーザーダ
イオードである場合の動作である。
トであり、第１図に示すＡ点〜Ｆ点に送出される
信号を示している。この第２図を参照して第１図
に示す実施例の動作を説明する。尚、以下の動作
は被測定発光素子１が発光強度の高いレーザーダ
イオードである場合の動作である。
処理装置１１にはデータ投入装置（図示せず）
から発光素子１の発光強度の予想最大値データが
投入されており、当該処理装置１１は上記予想最
大値データからビデオカメラ５，６への入射光レ
ベルがその固体撮像素子を飽和させない（最大撮
像レベルに達しない）ような最適絞り値を演算し
てそれぞれの電動絞り機構５１，６１を上記最適
絞り値に設定する。
から発光素子１の発光強度の予想最大値データが
投入されており、当該処理装置１１は上記予想最
大値データからビデオカメラ５，６への入射光レ
ベルがその固体撮像素子を飽和させない（最大撮
像レベルに達しない）ような最適絞り値を演算し
てそれぞれの電動絞り機構５１，６１を上記最適
絞り値に設定する。
同期信号発生器１０は第２図Ａに示すようにビ
デオカメラ５，６及びＡ／Ｄ変換器７，８にカメ
ラ同期信号を設定周期t1で送出しており、これに
よつてビデオカメラ５，６は撮像動作を繰り返
し、Ａ／Ｄ変換器７，８はビデオカメラ５，６の
撮像動作と同期してデイジタル信号に変換した画
像信号を処理装置１１に送出している。但し、こ
の段階では発光素子１は発光していないので測定
に係る信号は未だ送出されない。
デオカメラ５，６及びＡ／Ｄ変換器７，８にカメ
ラ同期信号を設定周期t1で送出しており、これに
よつてビデオカメラ５，６は撮像動作を繰り返
し、Ａ／Ｄ変換器７，８はビデオカメラ５，６の
撮像動作と同期してデイジタル信号に変換した画
像信号を処理装置１１に送出している。但し、こ
の段階では発光素子１は発光していないので測定
に係る信号は未だ送出されない。
載置台１３に発光素子１を乗せプローブ１４を
当該発光素子１にセツトしたのち処理装置１１に
測定開始指令を投入すると、当該処理装置１１は
第２図Ｂに示すように同期信発生器１０にシヨツ
ト信号を送出する。同期信発生器１０は上記Ｂ点
に送出されたシヨツト信号が入力されたのち最初
に送出するカメラ同期信号と同時に、すなわち、
カメラ同期信号と同期して駆動パルス発生器９に
第２図Ｃに示す駆動パルス送出タイミング信号を
送出する。これにより当該駆動パルス発生器９は
第２図Ｄに示すようにパルス巾t2の駆動パルスを
プローブ１４に出力する。この駆動パルスのパル
ス巾t2は100nSec程度の極めて短い時間に設定さ
れており、この駆動パルスがプローブ１４を通し
て発光素子１に印加され、当該発光素子１が瞬間
的に発光する。この発光素子１の瞬間的発光はカ
メラ同期信号に同期して生ずるので、後で述べる
ビデオカメラ５，６の撮像動作の１周期間で当該
ビデオカメラ５，６に確実に把えられる。尚、上
記駆動パルスのパルス巾t2は同期信号発生器１０
に於いて規定しても、あるいは駆動パルス発生器
９に於いて規定してもよい。
当該発光素子１にセツトしたのち処理装置１１に
測定開始指令を投入すると、当該処理装置１１は
第２図Ｂに示すように同期信発生器１０にシヨツ
ト信号を送出する。同期信発生器１０は上記Ｂ点
に送出されたシヨツト信号が入力されたのち最初
に送出するカメラ同期信号と同時に、すなわち、
カメラ同期信号と同期して駆動パルス発生器９に
第２図Ｃに示す駆動パルス送出タイミング信号を
送出する。これにより当該駆動パルス発生器９は
第２図Ｄに示すようにパルス巾t2の駆動パルスを
プローブ１４に出力する。この駆動パルスのパル
ス巾t2は100nSec程度の極めて短い時間に設定さ
れており、この駆動パルスがプローブ１４を通し
て発光素子１に印加され、当該発光素子１が瞬間
的に発光する。この発光素子１の瞬間的発光はカ
メラ同期信号に同期して生ずるので、後で述べる
ビデオカメラ５，６の撮像動作の１周期間で当該
ビデオカメラ５，６に確実に把えられる。尚、上
記駆動パルスのパルス巾t2は同期信号発生器１０
に於いて規定しても、あるいは駆動パルス発生器
９に於いて規定してもよい。
以上のようにして発光素子１が発光すると、第
２図Ｅに示すように光の進路(イ)方向に発光光が放
射され、当該発光光はハーフミラー２によつて第
１の方路(ロ)と第２の方路(ハ)に分光されて進む。
２図Ｅに示すように光の進路(イ)方向に発光光が放
射され、当該発光光はハーフミラー２によつて第
１の方路(ロ)と第２の方路(ハ)に分光されて進む。
第１の方路(ロ)に進んだ発光光はスクリーン３上
に投影像を描き、この投影像は焦点が上記スクリ
ーン３に合わされた第１のビデオカメラ５で撮像
される。また第２の方路(ハ)に進んだ発光光は、焦
点が拡大レンズ４による発光素子１の発光点の結
像位置（拡大レンズ４がないときには発光素子１
の発光点）に合わせられた第２のビデオカメラ６
で撮像される。
に投影像を描き、この投影像は焦点が上記スクリ
ーン３に合わされた第１のビデオカメラ５で撮像
される。また第２の方路(ハ)に進んだ発光光は、焦
点が拡大レンズ４による発光素子１の発光点の結
像位置（拡大レンズ４がないときには発光素子１
の発光点）に合わせられた第２のビデオカメラ６
で撮像される。
以上の動作に於いて、２台のビデオカメラ５，
６の撮像時間は発光素子１の発光時間である
100nSec程度であるが、当該ビデオカメラ５，６
に使用されている固体撮像素子の特性により、撮
像された画像は当該それぞれのビデオカメラ５，
６に暫時残留し、第２図Ｆに示すように処理装置
１１に残留画像による画像信号が送出される。そ
して同期信発生器１０から送出されているカメラ
同期信号によつて、ビデオカメラ５，６から出力
されている画像信号が当該ビデオカメラ５，６の
撮像動作と同期してＡ／Ｄ変換器７，８でそれぞ
れデイジタル信号に変換され処理装置１１に入力
される。尚、ビデオカメラ５，６の撮像画面の走
査はカメラ同期信号の１周期で終了するものとす
る。
６の撮像時間は発光素子１の発光時間である
100nSec程度であるが、当該ビデオカメラ５，６
に使用されている固体撮像素子の特性により、撮
像された画像は当該それぞれのビデオカメラ５，
６に暫時残留し、第２図Ｆに示すように処理装置
１１に残留画像による画像信号が送出される。そ
して同期信発生器１０から送出されているカメラ
同期信号によつて、ビデオカメラ５，６から出力
されている画像信号が当該ビデオカメラ５，６の
撮像動作と同期してＡ／Ｄ変換器７，８でそれぞ
れデイジタル信号に変換され処理装置１１に入力
される。尚、ビデオカメラ５，６の撮像画面の走
査はカメラ同期信号の１周期で終了するものとす
る。
ところで、ビデオカメラ５，６に残留している
画像の保持レベルは時間の経過とともにゆつくり
と減衰していくので上記画像信号のレベルは第２
図Ｆに示すように徐々に低下していく。しかしな
がら発光素子１の発光タイミングをカメラ同期信
号と同期させていることから、当該発光素子１の
発光時とビデオカメラ５，６からの画像読出し間
隔が一定に保たれているので、当該画像信号の最
大レベルl1と最少レベルl2の比率（l2／l1）は一定
であるのでこの画像信号の低下は処理装置１１に
於ける処理によつて補正できる。
画像の保持レベルは時間の経過とともにゆつくり
と減衰していくので上記画像信号のレベルは第２
図Ｆに示すように徐々に低下していく。しかしな
がら発光素子１の発光タイミングをカメラ同期信
号と同期させていることから、当該発光素子１の
発光時とビデオカメラ５，６からの画像読出し間
隔が一定に保たれているので、当該画像信号の最
大レベルl1と最少レベルl2の比率（l2／l1）は一定
であるのでこの画像信号の低下は処理装置１１に
於ける処理によつて補正できる。
処理装置１１では、以上のようにしてビデオカ
メラ５，６から送られた画像信号を予め投入され
ている電動絞り機構の絞り値データ及び上記画像
信号レベルの減衰の補正値を加味して発光特性を
演算して表示／記録装置１２に送出し、当該表
示／記録装置１２は発光素子１のフアーフイール
ドパターン及びニアフイールドパターンを出力す
る。
メラ５，６から送られた画像信号を予め投入され
ている電動絞り機構の絞り値データ及び上記画像
信号レベルの減衰の補正値を加味して発光特性を
演算して表示／記録装置１２に送出し、当該表
示／記録装置１２は発光素子１のフアーフイール
ドパターン及びニアフイールドパターンを出力す
る。
以上の動作に於いて、発光素子１への発光電力
の印加時間は100nSec程度で極めて短い時間であ
り、発光素子１はケーシング以前の状態であつて
も熱的ストレスが残るような温度上昇を受けるこ
とはない。
の印加時間は100nSec程度で極めて短い時間であ
り、発光素子１はケーシング以前の状態であつて
も熱的ストレスが残るような温度上昇を受けるこ
とはない。
以上の説明で明らかなように、本発明によれば
被測定発光素子への発光電力の印加時間は
100nSec程度と極めて短い時間であるので、被測
定発光素子がケーシング以前の状態であつても当
該発光素子は熱的ストレスが残るような温度上昇
を受けることがない。従つてチツプ又はそれに近
い加工段階に於いて発光特性が測定できるので、
不良品に対するケーシング作業の無駄を省くこと
ができる。
被測定発光素子への発光電力の印加時間は
100nSec程度と極めて短い時間であるので、被測
定発光素子がケーシング以前の状態であつても当
該発光素子は熱的ストレスが残るような温度上昇
を受けることがない。従つてチツプ又はそれに近
い加工段階に於いて発光特性が測定できるので、
不良品に対するケーシング作業の無駄を省くこと
ができる。
また、被測定発光素子の発光光を分光してフア
ーフイールドパターン特性とニアフイールドパタ
ーン特性とを同時に測定するので、２つの特性は
同一環境条件下で測定でき、極めて信頼性の高い
測定データが得られる。
ーフイールドパターン特性とニアフイールドパタ
ーン特性とを同時に測定するので、２つの特性は
同一環境条件下で測定でき、極めて信頼性の高い
測定データが得られる。
第１図は本発明の実施例を示すブロツク図、第
２図は動作を示すタイムチヤートである。 主な記号、１……被測定発光素子、２……ハー
フミラー、３……スクリーン、４……拡大レン
ズ、５，６……ビデオカメラ、９……駆動パルス
発生器、１１……処理装置。
２図は動作を示すタイムチヤートである。 主な記号、１……被測定発光素子、２……ハー
フミラー、３……スクリーン、４……拡大レン
ズ、５，６……ビデオカメラ、９……駆動パルス
発生器、１１……処理装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ カメラ同期信号と、外部からの測定開始指令
によつて上記カメラ同期信号と同期した駆動パル
ス送出タイミング信号を出力する同期信号発生器
と、該同期信号発生器からの駆動パルス送出タイ
ミング信号によつて被測定半導体発光素子に極め
て短い時間発光電力を供給する駆動パルス発生器
と、固体撮像素子を有し、上記同期信号発生器か
らのカメラ同期信号によつて動作して上記駆動パ
ルス発生器から発光電力が供給されたときの上記
半導体発光素子の瞬間的発光を撮像するビデオカ
メラと、上記固体撮像素子の残像特性によつて上
記発光電力の供給停止後に於いて上記カメラ同期
信号の１周期間上記ビデオカメラに残留保持され
ている受光画像を処理して発光特性を演算する処
理装置でなる半導体発光素子の発光特性測定装
置。 ２ ビデオカメラがCCD型ビデオカメラである
特許請求の範囲第１項に記載の半導体発光素子の
発光特性測定装置。 ３ ビデオカメラがMOS型ビデオカメラである
特許請求の範囲第１項に記載の半導体発光素子の
発光特性測定装置。 ４ カメラ同期信号と、外部からの測定開始指令
によつて上記カメラ同期信号と同期した駆動パル
ス送出タイミング信号を出力する同期信号発生器
と、該同期信号発生器からの駆動パルス送出タイ
ミング信号によつて被測定半導体発光素子に極め
て短い時間発光電力を供給する駆動パルス発生器
と、該駆動パルス発生器から発光電力が供給され
たときの上記半導体発光素子の瞬間的発光による
光の進路を２つの方路に分割する分光手段と、一
方の方路に送光した光を投影するスクリーンと、
固体撮像素子を有し、撮像方向が上記一方の方路
に設定されていて上記スクリーンに焦点が合わさ
れており、上記同期信号発生器からカメラ同期信
号によつて動作して上記スクリーンへの投影像を
撮像する第１のビデオカメラと、固体撮像素子を
有し、撮像方向が上記方路とは他方の方路に設定
されていて上記半導体発光素子の発光点もしくは
当該発光点と等価な位置に焦点が合わされてお
り、上記同期信号発生器からのカメラ同期信号に
よつて動作して上記発光点もしくはこれと等価な
位置の光像を撮像する第２のビデオカメラと、上
記固体撮像素子の残像特性によつて上記発光電力
の供給停止後に於いて上記カメラ同期信号の１周
期間上記２つのビデオカメラに残留保持されてい
る受光画像を処理してそれぞれ上記半導体発光素
子のフアーフイールドパターン特性及びニアフイ
ールドパターン特性を演算する処理装置でなる半
導体発光素子の発光特性測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61182886A JPS6338175A (ja) | 1986-08-04 | 1986-08-04 | 半導体発光素子の発光特性測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61182886A JPS6338175A (ja) | 1986-08-04 | 1986-08-04 | 半導体発光素子の発光特性測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6338175A JPS6338175A (ja) | 1988-02-18 |
| JPH0360376B2 true JPH0360376B2 (ja) | 1991-09-13 |
Family
ID=16126125
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61182886A Granted JPS6338175A (ja) | 1986-08-04 | 1986-08-04 | 半導体発光素子の発光特性測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6338175A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0446691A (ja) * | 1990-06-14 | 1992-02-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Ｙａｇレーザー光の拡がり角計測方法 |
| JP2008180661A (ja) * | 2007-01-26 | 2008-08-07 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 電子デバイス検査装置及び電子デバイス検査方法 |
| JP6079693B2 (ja) * | 2014-04-24 | 2017-02-15 | 豊田合成株式会社 | 光学測定装置および発光素子の波長測定方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58108423A (ja) * | 1981-12-21 | 1983-06-28 | Mitsubishi Electric Corp | 発光素子の輝度分布測定装置 |
| JPH07111370B2 (ja) * | 1984-10-09 | 1995-11-29 | 明星電気株式会社 | 信号の送・受信特性パターン計測装置 |
-
1986
- 1986-08-04 JP JP61182886A patent/JPS6338175A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6338175A (ja) | 1988-02-18 |
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