JPH0361631B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0361631B2 JPH0361631B2 JP60249361A JP24936185A JPH0361631B2 JP H0361631 B2 JPH0361631 B2 JP H0361631B2 JP 60249361 A JP60249361 A JP 60249361A JP 24936185 A JP24936185 A JP 24936185A JP H0361631 B2 JPH0361631 B2 JP H0361631B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- melt
- crystal
- seed
- band
- shaped
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は例えば帯状シリコン結晶等の帯状結晶
の製造装置に関する。
の製造装置に関する。
［発明の技術的背景とその問題点］
底部に２個の小孔のあいたるつぼに、シリコン
融液を収容し、またこの小孔それぞれに結晶端支
持材を配置し、種子を、支持材同志間のシリコン
融液及び支持材に接触させた後、種子を引上げる
ことによる帯状シリコン結晶の製造方法で、帯状
シリコン結晶を引上げる際に、帯状シリコン結晶
が平坦にならず、うねりが発生することがある。
うねり発生を防止するには、帯状シリコン結晶を
２板の平坦な板で挾み、その間隙を通して引上げ
を行えば良い。
融液を収容し、またこの小孔それぞれに結晶端支
持材を配置し、種子を、支持材同志間のシリコン
融液及び支持材に接触させた後、種子を引上げる
ことによる帯状シリコン結晶の製造方法で、帯状
シリコン結晶を引上げる際に、帯状シリコン結晶
が平坦にならず、うねりが発生することがある。
うねり発生を防止するには、帯状シリコン結晶を
２板の平坦な板で挾み、その間隙を通して引上げ
を行えば良い。
以後この様な結晶のゆれ防止機構をリミツタと
称することとする。リミツタ４はカーボン板より
なり第３図に示す様に引上げ駆動部３の下部の開
閉機構部に取付けられ、リミツタ４の間隙０〜10
mmの範囲で調整出来る構造になつている。一方種
子１の形状は厚さ0.76mm、幅100mm、長さ1200mm
のカーボンフオイルを使用し、この種子１の先端
部をシリコン融液２の中に浸漬させ良くなじませ
た後、るつぼ６の下部よりシリコン融液２内を貫
通してある２本のカーボン糸を各々種子１の両端
に固着させた後、所定の速度で引上げ駆動部３に
より種子１を引上げ帯状シリコン結晶を成長させ
る。５は加熱ヒータである。しかし実際に、この
ような構成を用いて帯状シリコン結晶を引上げて
見た所、不都合が発生した。引上げ開始時点の帯
状シリコン結晶は部厚く（ｔ＝５〜７mm）なる。
従つてリミツタ４の間隙をこれ以上広げない限り
帯状シリコン結晶はリミツタ４内を通過せず、広
げた状態でのリミツタ４の間隔では以後の正常な
厚さの帯状シリコン結晶に対しては、ゆれ防止の
機能は発揮できず帯状シリコン結晶に、うねりが
発生することがある。
称することとする。リミツタ４はカーボン板より
なり第３図に示す様に引上げ駆動部３の下部の開
閉機構部に取付けられ、リミツタ４の間隙０〜10
mmの範囲で調整出来る構造になつている。一方種
子１の形状は厚さ0.76mm、幅100mm、長さ1200mm
のカーボンフオイルを使用し、この種子１の先端
部をシリコン融液２の中に浸漬させ良くなじませ
た後、るつぼ６の下部よりシリコン融液２内を貫
通してある２本のカーボン糸を各々種子１の両端
に固着させた後、所定の速度で引上げ駆動部３に
より種子１を引上げ帯状シリコン結晶を成長させ
る。５は加熱ヒータである。しかし実際に、この
ような構成を用いて帯状シリコン結晶を引上げて
見た所、不都合が発生した。引上げ開始時点の帯
状シリコン結晶は部厚く（ｔ＝５〜７mm）なる。
従つてリミツタ４の間隙をこれ以上広げない限り
帯状シリコン結晶はリミツタ４内を通過せず、広
げた状態でのリミツタ４の間隔では以後の正常な
厚さの帯状シリコン結晶に対しては、ゆれ防止の
機能は発揮できず帯状シリコン結晶に、うねりが
発生することがある。
従来技術において結晶引上げ開始時の帯状シリ
コン結晶が部厚くなる理由は種子先端のみならず
種子の平坦な壁面にまで、シリコン融液が種子引
上げにより持ち上げられ冷却固化して帯状シリコ
ン結晶の部厚い部分を形成する。この様子は第４
図に示される。即ち、第４図に於て１はカーボン
フオイルを用いた種子、２はシリコン融液であ
り、７は引上げられた部厚い結晶部よりなる種子
付け部の断面図である。これを避けるには種々の
方法が考えられる。第一には種子にシリコン融液
と同材質のものを用いる。この先端はシリコン融
液中で融解するため種子先端がシリコン融液中に
侵入した形とはならずに、第５図の種子付け部７
に示す如く種子１の先端のみがシリコン融液２と
接触した形となる。この方法は既知であるが長尺
の結晶質の種子自体を用意しなければならないと
言う欠点を持つている。結晶質はもろく取扱いが
困難であり長尺の種子結晶となると更にこれが著
しい。第二の方法は種子の側面には撥液性の処理
を施し先端部のみがシリコン融液との濡れ性を保
つようにする事である。しかしこれはあまり容易
でない。撥液性処理として、そのような物質で種
子先端壁面を被覆することがあげられるが、高温
時にはがれやすい。
コン結晶が部厚くなる理由は種子先端のみならず
種子の平坦な壁面にまで、シリコン融液が種子引
上げにより持ち上げられ冷却固化して帯状シリコ
ン結晶の部厚い部分を形成する。この様子は第４
図に示される。即ち、第４図に於て１はカーボン
フオイルを用いた種子、２はシリコン融液であ
り、７は引上げられた部厚い結晶部よりなる種子
付け部の断面図である。これを避けるには種々の
方法が考えられる。第一には種子にシリコン融液
と同材質のものを用いる。この先端はシリコン融
液中で融解するため種子先端がシリコン融液中に
侵入した形とはならずに、第５図の種子付け部７
に示す如く種子１の先端のみがシリコン融液２と
接触した形となる。この方法は既知であるが長尺
の結晶質の種子自体を用意しなければならないと
言う欠点を持つている。結晶質はもろく取扱いが
困難であり長尺の種子結晶となると更にこれが著
しい。第二の方法は種子の側面には撥液性の処理
を施し先端部のみがシリコン融液との濡れ性を保
つようにする事である。しかしこれはあまり容易
でない。撥液性処理として、そのような物質で種
子先端壁面を被覆することがあげられるが、高温
時にはがれやすい。
［発明の目的］
本発明は前述した従来に於ける欠陥を排除し、
帯状結晶引上げ開始時に於ても帯状結晶が部厚く
ならない様な種子を用いることにより、リミツタ
間隙を十分に狭くすることができ、帯状結晶の振
れが防止され平坦な帯状結晶が作成され得る。帯
状結晶製造装置を提供することを目的とする。
帯状結晶引上げ開始時に於ても帯状結晶が部厚く
ならない様な種子を用いることにより、リミツタ
間隙を十分に狭くすることができ、帯状結晶の振
れが防止され平坦な帯状結晶が作成され得る。帯
状結晶製造装置を提供することを目的とする。
［発明の概要］
本発明は結晶種子としてカーボン糸等の融液に
濡れ、かつ融液によつて変形することのない材料
によつて作られた糸状体を用いるもので、糸状体
の長手方向が水平になる様に他の構造物により保
持し全体を一度に融液中になじませる様に融液に
浸し垂直方向に引上げた場合、引上げ開始部分の
結晶が部厚くなるのを防ぐものである。
濡れ、かつ融液によつて変形することのない材料
によつて作られた糸状体を用いるもので、糸状体
の長手方向が水平になる様に他の構造物により保
持し全体を一度に融液中になじませる様に融液に
浸し垂直方向に引上げた場合、引上げ開始部分の
結晶が部厚くなるのを防ぐものである。
［発明の実施例］
以下図面を参照して本発明の実施例を詳細に説
明する。
明する。
即ち、シリコン融液が収容されるたるつぼの底
部に成長すべき帯状シリコン結晶の幅と略等間隔
にあけられた小孔より、シリコン融液を通してシ
リコン融液面と垂直に一対の結晶端持材を配置
し、この一対の結晶端支持材間のシリコン融液及
び結晶端支持材に種子を接触させ、この種子を引
上げることによつて帯状シリコン結晶を製造する
装置において、第１図に示すように、種子はシリ
コン融液に濡れ、かつシリコン融液によつて変形
することのない材料によつて作られた糸状体例え
ばカーボン糸８であり、このカーボン糸８は引上
げ方向と直角な他の構造物例えばカーボンフオイ
ル１０１の両端先端突出部９ａ，９ｂに張設され
て保持される。
部に成長すべき帯状シリコン結晶の幅と略等間隔
にあけられた小孔より、シリコン融液を通してシ
リコン融液面と垂直に一対の結晶端持材を配置
し、この一対の結晶端支持材間のシリコン融液及
び結晶端支持材に種子を接触させ、この種子を引
上げることによつて帯状シリコン結晶を製造する
装置において、第１図に示すように、種子はシリ
コン融液に濡れ、かつシリコン融液によつて変形
することのない材料によつて作られた糸状体例え
ばカーボン糸８であり、このカーボン糸８は引上
げ方向と直角な他の構造物例えばカーボンフオイ
ル１０１の両端先端突出部９ａ，９ｂに張設され
て保持される。
この様な構成をとることによつて、カーボン糸
８は水平に張られることになる。この構成をとつ
た種子を用いて引上げた場合、その両端先端突出
部９ａ，９ｂでの引上げ開始部分の結晶は部厚く
なり避けることは出来ない。しかしこれには第２
図ａ，ｂに示すようなリミツタを用いればリミツ
タ振れ防止の効果は十分発揮され、実質上困るこ
とはない。第２図ａはリミツタ正面図であり、第
２図ｂはこの第２図ａのＡ−A′線断面図である。
第２図ａ，ｂの如くリミツタを構成する２枚の板
４０１，４０２は端部が薄く中央部を厚くする。
これによりリミツタ間隔は中央部が狭く、部厚い
結晶が通過する両端部は広くする。この結果結晶
の振れは中央部で制限され平坦な結晶が得られ
る。
８は水平に張られることになる。この構成をとつ
た種子を用いて引上げた場合、その両端先端突出
部９ａ，９ｂでの引上げ開始部分の結晶は部厚く
なり避けることは出来ない。しかしこれには第２
図ａ，ｂに示すようなリミツタを用いればリミツ
タ振れ防止の効果は十分発揮され、実質上困るこ
とはない。第２図ａはリミツタ正面図であり、第
２図ｂはこの第２図ａのＡ−A′線断面図である。
第２図ａ，ｂの如くリミツタを構成する２枚の板
４０１，４０２は端部が薄く中央部を厚くする。
これによりリミツタ間隔は中央部が狭く、部厚い
結晶が通過する両端部は広くする。この結果結晶
の振れは中央部で制限され平坦な結晶が得られ
る。
なおカーボンフオイル１０１をより大きくし
て、突出部９ａ，９ｂの内側の間隔が帯状シリコ
ン結晶の幅と同等になるようにした場合は、２枚
の板４０１，４０２の厚くなつた部分の幅を引上
げられる帯状シリコン結晶とほぼ同等な長さにす
ることが可能となり、帯状結晶の振れ防止はより
完全なものになる。
て、突出部９ａ，９ｂの内側の間隔が帯状シリコ
ン結晶の幅と同等になるようにした場合は、２枚
の板４０１，４０２の厚くなつた部分の幅を引上
げられる帯状シリコン結晶とほぼ同等な長さにす
ることが可能となり、帯状結晶の振れ防止はより
完全なものになる。
［発明の効果］
本発明は帯状結晶のうねりを防止する目的でな
されたものであり、十分その効果は認められる
が、それ以外に以下の効果のある事が判つた。ま
ず帯状結晶純度に関しては、不純物の主流である
カーボンフオイルが融液に接する部分をごく少く
出来るため純度低下もごく少い。カーボン糸はフ
オイルよりも純度が高い。カーボン材の純度向上
のためには、これをハロゲン系ガス下で高温処理
し、金属成分を揮発性化合物として追い出す事が
一般的であるが、フオイル状のものよりは糸状の
ものの方がその効果は高く、しかもコンパクトで
処理が容易であるからである。
されたものであり、十分その効果は認められる
が、それ以外に以下の効果のある事が判つた。ま
ず帯状結晶純度に関しては、不純物の主流である
カーボンフオイルが融液に接する部分をごく少く
出来るため純度低下もごく少い。カーボン糸はフ
オイルよりも純度が高い。カーボン材の純度向上
のためには、これをハロゲン系ガス下で高温処理
し、金属成分を揮発性化合物として追い出す事が
一般的であるが、フオイル状のものよりは糸状の
ものの方がその効果は高く、しかもコンパクトで
処理が容易であるからである。
次なる効果は温度制御が容易になることであ
る。第１図に示す如き種子を融液に接触させる事
は、単なる一枚の板状の種子を融液に接する場合
よりも融液温度変化が少ない。そのため温度制御
が容易であり、引上げも容易となる。種子を伝導
する上方向への熱の逃げが少なくなるためであ
る。前述の如く本発明は帯状結晶引上げの上で数
多くの利点を持つものである。
る。第１図に示す如き種子を融液に接触させる事
は、単なる一枚の板状の種子を融液に接する場合
よりも融液温度変化が少ない。そのため温度制御
が容易であり、引上げも容易となる。種子を伝導
する上方向への熱の逃げが少なくなるためであ
る。前述の如く本発明は帯状結晶引上げの上で数
多くの利点を持つものである。
第１図は本発明に係る種子の一例を示す正面
図、第２図ａは本発明に係るリミツタの一例を示
す正面図、第２図ｂは同図ａのＡ−A′断面図、
第３図は帯状結晶製造装置の一例を示す断面図、
第４図及び第５図は従来の種子とシリコ融液との
関係を説明するための断面図である。 １……種子、２……融液、３……引上げ駆動
部、４……リミツタ、６……るつぼ、８……カー
ボン糸、１０１……カーボンフオイル。
図、第２図ａは本発明に係るリミツタの一例を示
す正面図、第２図ｂは同図ａのＡ−A′断面図、
第３図は帯状結晶製造装置の一例を示す断面図、
第４図及び第５図は従来の種子とシリコ融液との
関係を説明するための断面図である。 １……種子、２……融液、３……引上げ駆動
部、４……リミツタ、６……るつぼ、８……カー
ボン糸、１０１……カーボンフオイル。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 融液が収容されたるつぼの底部に成長すべき
帯状結晶の幅と略等間隔にあけられた小孔より、
融液を通して融液面と垂直に一対の結晶端支持材
を配置し、この一対の結晶端支持材間の融液及び
結晶端支持材に種子を接触させ、この種子をリミ
ツタの間〓を通過させながら引上げることによつ
て帯状結晶を製造する装置において、前記種子は
融液に濡れ、かつ融液によつて変形することのな
い材料によつて作られた糸状体であり、この糸状
体は引上げ方向と直角に他の構造物により保持さ
れることを特徴とする帯状結晶製造装置。 ２ 種子として、カーボンフオイル先端に水平に
張られたカーボン糸を用い、このカーボン糸を２
枚のカーボン板の間を通過させるようにしたこと
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の帯状結
晶製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60249361A JPS62108797A (ja) | 1985-11-07 | 1985-11-07 | 帯状結晶製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60249361A JPS62108797A (ja) | 1985-11-07 | 1985-11-07 | 帯状結晶製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62108797A JPS62108797A (ja) | 1987-05-20 |
| JPH0361631B2 true JPH0361631B2 (ja) | 1991-09-20 |
Family
ID=17191879
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60249361A Granted JPS62108797A (ja) | 1985-11-07 | 1985-11-07 | 帯状結晶製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62108797A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2195475B1 (en) | 2007-07-27 | 2012-11-14 | Max Era, Inc. | Wafer/ribbon crystal and method for its manufacture |
-
1985
- 1985-11-07 JP JP60249361A patent/JPS62108797A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62108797A (ja) | 1987-05-20 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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