JPH0361866B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0361866B2 JPH0361866B2 JP60259178A JP25917885A JPH0361866B2 JP H0361866 B2 JPH0361866 B2 JP H0361866B2 JP 60259178 A JP60259178 A JP 60259178A JP 25917885 A JP25917885 A JP 25917885A JP H0361866 B2 JPH0361866 B2 JP H0361866B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve body
- stepping motor
- rotating shaft
- housing
- sleeve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
- F16K31/04—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a motor
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/6851—With casing, support, protector or static constructional installations
- Y10T137/7043—Guards and shields
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
- Magnetically Actuated Valves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はステツピングモータの回転を直線運
動に変換して弁体の位置を制御することにより流
量を制御する流量制御弁装置に関するものであ
る。
動に変換して弁体の位置を制御することにより流
量を制御する流量制御弁装置に関するものであ
る。
この種の流量制御弁装置としては、例えば特開
昭59−194658号公報に示されるような回転を直線
運動に変換する機構を内蔵するステツピングモー
タの出力軸の先端に弁体を固定するものが考えら
れるが、このステツピングモータの回転−直線変
換機構は、ステツピングモータの回転軸を中空軸
とし、その中空軸に軸方向のみ移動可能に回り止
めされた出力軸をねじ嵌合させる構造であり、こ
れを流量制御弁の駆動に利用する際には上記出力
軸の先端に弁体を固定し、ステツピングモータの
回転軸の回転量に対応して出力軸を軸方向に移動
させ、弁座に対する弁体の位置を制御して流量を
制御することになる。
昭59−194658号公報に示されるような回転を直線
運動に変換する機構を内蔵するステツピングモー
タの出力軸の先端に弁体を固定するものが考えら
れるが、このステツピングモータの回転−直線変
換機構は、ステツピングモータの回転軸を中空軸
とし、その中空軸に軸方向のみ移動可能に回り止
めされた出力軸をねじ嵌合させる構造であり、こ
れを流量制御弁の駆動に利用する際には上記出力
軸の先端に弁体を固定し、ステツピングモータの
回転軸の回転量に対応して出力軸を軸方向に移動
させ、弁座に対する弁体の位置を制御して流量を
制御することになる。
ところで、上記構造によれば、ステツピングモ
ータの回転軸は直線運動する出力軸を内部に保持
した構造であるため、回転軸の軸径は大型化し、
これをハウジングに支承する軸受も大型高価にな
ると共に出力軸も軸支する必要があり、同一ハウ
ジング内での両軸の軸受構造が複雑となり、この
ためステツピングモータの大型化をまねく問題が
あり、又、出力軸によつて弁体を駆動する場合に
は、この弁体と出力軸が一体となつて直線運動を
行うため、直線駆動される部分の重量が両者の和
となつて増大し、かつ慣性も増大し、高応答の高
速制御を行うことは困難で、高速高精度な流量制
御は行い難いものであつた。
ータの回転軸は直線運動する出力軸を内部に保持
した構造であるため、回転軸の軸径は大型化し、
これをハウジングに支承する軸受も大型高価にな
ると共に出力軸も軸支する必要があり、同一ハウ
ジング内での両軸の軸受構造が複雑となり、この
ためステツピングモータの大型化をまねく問題が
あり、又、出力軸によつて弁体を駆動する場合に
は、この弁体と出力軸が一体となつて直線運動を
行うため、直線駆動される部分の重量が両者の和
となつて増大し、かつ慣性も増大し、高応答の高
速制御を行うことは困難で、高速高精度な流量制
御は行い難いものであつた。
この発明に係る流量制御弁装置は、ステツピン
グモータの回転軸のみをハウジングから突出さ
せ、この突出部に軸方向にも移動可能に回止めさ
れた弁体をねじ嵌合させることにより弁体のみを
軸方向に移動させる構造とし、又、上記ねじ嵌合
された部分を包囲するようにステツピングモータ
ハウジングと固定的な筒状体と弁体に支持された
筒状体とを互いに微小空〓をもつて重合配置した
ものである。
グモータの回転軸のみをハウジングから突出さ
せ、この突出部に軸方向にも移動可能に回止めさ
れた弁体をねじ嵌合させることにより弁体のみを
軸方向に移動させる構造とし、又、上記ねじ嵌合
された部分を包囲するようにステツピングモータ
ハウジングと固定的な筒状体と弁体に支持された
筒状体とを互いに微小空〓をもつて重合配置した
ものである。
この発明における回転を直線に変換する機構は
ステツピングモータの外側でモータ回転軸に弁体
をねじ嵌合させて成るため、ステツピングモータ
の軸受は回転軸だけを支承すればよく構成が簡素
化し、小型化でき、しかも直線駆動される部分の
重量も小さく慣性も小さくできるので応答性のよ
い流量制御を可能にし、又、ねじ嵌合部分を包囲
する互いに重合配置される各筒状体は弁体が直線
運動をしても、流体中に含まれる塵埃等の異物が
弁体と回転軸との摺動部に侵入することを防止す
る。
ステツピングモータの外側でモータ回転軸に弁体
をねじ嵌合させて成るため、ステツピングモータ
の軸受は回転軸だけを支承すればよく構成が簡素
化し、小型化でき、しかも直線駆動される部分の
重量も小さく慣性も小さくできるので応答性のよ
い流量制御を可能にし、又、ねじ嵌合部分を包囲
する互いに重合配置される各筒状体は弁体が直線
運動をしても、流体中に含まれる塵埃等の異物が
弁体と回転軸との摺動部に侵入することを防止す
る。
以下図に示すこの発明の一実施例について説明
する。第1図において1はステツピングモータで
あり、次の如く構成されている。2は円周上交互
に異極に着磁された円筒状の永久磁石3と、この
永久磁石を回転軸4に固定するモールド成形され
た保持部材3aとから成るロータであり、その回
転軸4はベアリング5,6を介してハウジング
7,8に支承され、その一端はハウジング7を貫
通して外部へ突出している。上記ハウジング7は
有底円筒状を成し、その開口端を閉塞するように
ほゞ円板状のハウジング8が嵌合して固定されて
いる。9はベアリング6とハウジング8との軸方
向間〓部に設けられ、このベアリング6を介して
ロータ2を軸方向一側に押圧偏寄させて回転軸4
の軸方向位置を規定させる。10は上記ハウジン
グ7内に収納されたステータ部分であり、ステー
タコイル11,12と端面ヨーク13,14と中
間ヨーク15,16を有し、この端面ヨークと中
間ヨークはコイル内周で軸方向に突出する歯状極
片をそれぞれ有し、これらを交互に空〓を介して
かみ合せ配置しており、この中間ヨークと端面ヨ
ークとステータコイルから成る組み合せ体を軸方
向に2組配置して成るものである。尚、上記各コ
イル11,12はボビン17,18上に巻装さ
れ、更に合成樹脂19,20によつて一体成形さ
れ、更にコイル端部(中間タツプを含む)はター
ミナル21,22を介してリード線23,24に
よつて外部に引き出されている。このリード線は
ハウジング8に配設されたゴム製のパツキン25
を貫通している。
する。第1図において1はステツピングモータで
あり、次の如く構成されている。2は円周上交互
に異極に着磁された円筒状の永久磁石3と、この
永久磁石を回転軸4に固定するモールド成形され
た保持部材3aとから成るロータであり、その回
転軸4はベアリング5,6を介してハウジング
7,8に支承され、その一端はハウジング7を貫
通して外部へ突出している。上記ハウジング7は
有底円筒状を成し、その開口端を閉塞するように
ほゞ円板状のハウジング8が嵌合して固定されて
いる。9はベアリング6とハウジング8との軸方
向間〓部に設けられ、このベアリング6を介して
ロータ2を軸方向一側に押圧偏寄させて回転軸4
の軸方向位置を規定させる。10は上記ハウジン
グ7内に収納されたステータ部分であり、ステー
タコイル11,12と端面ヨーク13,14と中
間ヨーク15,16を有し、この端面ヨークと中
間ヨークはコイル内周で軸方向に突出する歯状極
片をそれぞれ有し、これらを交互に空〓を介して
かみ合せ配置しており、この中間ヨークと端面ヨ
ークとステータコイルから成る組み合せ体を軸方
向に2組配置して成るものである。尚、上記各コ
イル11,12はボビン17,18上に巻装さ
れ、更に合成樹脂19,20によつて一体成形さ
れ、更にコイル端部(中間タツプを含む)はター
ミナル21,22を介してリード線23,24に
よつて外部に引き出されている。このリード線は
ハウジング8に配設されたゴム製のパツキン25
を貫通している。
26は上記回転軸4の回転に対応して直線方向
に駆動される弁装置であり、次の如く構成されて
いる。4aは上記ハウジング7から突出した回転
軸4の一部外周に形成されたおねじ、27はこの
おねじに嵌合しためねじ27aと外周部に第2図
に明示するように径方向外側へ突出した突起27
bを有するスリーブ、28は上記回転軸4の先端
部に配設された弁体であり、中空穴28aを有し
この中空穴28aには上記回転軸4が嵌入してい
る。この弁体28は上記スリーブ27をアルミ成
形によつて一端で埋設保持した筒状ホルダ29の
他端に嵌入し、その端部がかしめられて上記スリ
ーブ27と一体化されている。30は焼結合金に
潤滑油を含侵し自己潤滑性を有する円筒状のガイ
ドメタルであり上記弁体28の中空穴28a内に
圧入され、上記回転軸4の先端部が密接に嵌入し
ており、弁体28を回転軸上で倒れなく直線移動
させる。
に駆動される弁装置であり、次の如く構成されて
いる。4aは上記ハウジング7から突出した回転
軸4の一部外周に形成されたおねじ、27はこの
おねじに嵌合しためねじ27aと外周部に第2図
に明示するように径方向外側へ突出した突起27
bを有するスリーブ、28は上記回転軸4の先端
部に配設された弁体であり、中空穴28aを有し
この中空穴28aには上記回転軸4が嵌入してい
る。この弁体28は上記スリーブ27をアルミ成
形によつて一端で埋設保持した筒状ホルダ29の
他端に嵌入し、その端部がかしめられて上記スリ
ーブ27と一体化されている。30は焼結合金に
潤滑油を含侵し自己潤滑性を有する円筒状のガイ
ドメタルであり上記弁体28の中空穴28a内に
圧入され、上記回転軸4の先端部が密接に嵌入し
ており、弁体28を回転軸上で倒れなく直線移動
させる。
31は上記モータハウジング7に固定保持され
互いに同心的な内側、外側筒状部材31a,31
bを有するホルダで内側筒状部材31aの内周に
はスリーブ27が嵌合し、更に該スリーブの突起
27bが係合する軸方向に延びた案内溝31cか
形成され、スリーブ27の回り止め機構を構成し
ている。この筒状部材31aの長さは、弁体28
が最大突出位置まで移動してもスリーブの突起2
7bが露出しないような充分長い長さに設定され
ている。32は上記弁体28を図の右方向に押圧
しているスプリング、33はこのスプリング外周
に設けられ弁体28と一体に移動する円筒状のス
プリングガイドであり、スプリング32によつて
端部が弁体28に押圧されて弁体28に保持され
ている。このスプリングガイドは上記ホルダの外
側筒状部材31bと微小間〓をもつて重合配置さ
れ、その内側の各摺動部への異物の侵入を防止す
る。この重合している軸方向寸法は弁体28の最
大移動量より大きく設定されており、弁体28が
最大突出位置まで移動しても重合状態を保持す
る。34は流量制御される流体通路35を構成す
る通路ハウジングであり、これは例えば内燃機関
のスロツトル弁部の吸気管によつて構成されスロ
ツトル弁をバイパスする通路が流体通路35に対
応する。この通路ハウジング34には上記ステツ
ピングモータのハウジング7がねじ36によつて
固定され上記弁体28が流体通路35に形成され
た弁座37に対向するように配置されている。
互いに同心的な内側、外側筒状部材31a,31
bを有するホルダで内側筒状部材31aの内周に
はスリーブ27が嵌合し、更に該スリーブの突起
27bが係合する軸方向に延びた案内溝31cか
形成され、スリーブ27の回り止め機構を構成し
ている。この筒状部材31aの長さは、弁体28
が最大突出位置まで移動してもスリーブの突起2
7bが露出しないような充分長い長さに設定され
ている。32は上記弁体28を図の右方向に押圧
しているスプリング、33はこのスプリング外周
に設けられ弁体28と一体に移動する円筒状のス
プリングガイドであり、スプリング32によつて
端部が弁体28に押圧されて弁体28に保持され
ている。このスプリングガイドは上記ホルダの外
側筒状部材31bと微小間〓をもつて重合配置さ
れ、その内側の各摺動部への異物の侵入を防止す
る。この重合している軸方向寸法は弁体28の最
大移動量より大きく設定されており、弁体28が
最大突出位置まで移動しても重合状態を保持す
る。34は流量制御される流体通路35を構成す
る通路ハウジングであり、これは例えば内燃機関
のスロツトル弁部の吸気管によつて構成されスロ
ツトル弁をバイパスする通路が流体通路35に対
応する。この通路ハウジング34には上記ステツ
ピングモータのハウジング7がねじ36によつて
固定され上記弁体28が流体通路35に形成され
た弁座37に対向するように配置されている。
このように構成された実施例において、図示し
ない外部の制御装置からリード線23,24、タ
ーミナル21,22を介して各コイル11,12
の各相に所定の順序でパルス状駆動信号を印加す
ることにより、各ヨーク13,14,15,16
の極片が交互に異極に磁化され所定の順序でこの
磁界が切替り、ロータの永久磁石3との間で吸
引、反発力を発生し、印加される駆動信号に応じ
てロータ2はステツプ的に回転する。このロータ
2の回転によつて回転軸4が回転するとこの回転
軸4にねじ嵌合され、ホルダの内側筒状部31a
によつて回り止めされたスリーブ27は弁体28
と共に案内溝31cに沿つて軸方向に直線移動す
る。従つて、各コイル11,12の各相に与えら
れるパルス状駆動信号に応じて弁体28は弁座に
対して位置変化し、流体通路35の流路面積を制
御して流量を制御する。尚、流体通路35か機関
のスロツトル弁のバイパス通路にある場合には機
関の吸気量を制御して機関のアイドル回転数を制
御する。
ない外部の制御装置からリード線23,24、タ
ーミナル21,22を介して各コイル11,12
の各相に所定の順序でパルス状駆動信号を印加す
ることにより、各ヨーク13,14,15,16
の極片が交互に異極に磁化され所定の順序でこの
磁界が切替り、ロータの永久磁石3との間で吸
引、反発力を発生し、印加される駆動信号に応じ
てロータ2はステツプ的に回転する。このロータ
2の回転によつて回転軸4が回転するとこの回転
軸4にねじ嵌合され、ホルダの内側筒状部31a
によつて回り止めされたスリーブ27は弁体28
と共に案内溝31cに沿つて軸方向に直線移動す
る。従つて、各コイル11,12の各相に与えら
れるパルス状駆動信号に応じて弁体28は弁座に
対して位置変化し、流体通路35の流路面積を制
御して流量を制御する。尚、流体通路35か機関
のスロツトル弁のバイパス通路にある場合には機
関の吸気量を制御して機関のアイドル回転数を制
御する。
ここで、本実施例装置において、ステツピング
モータ1の回転を弁体28の直線運動に変換する
ための構成は、モータハウジング7から回転軸4
を突出させ、この回転軸上に弁体28と一体のス
リーブ27をねじ嵌合させるものであるため、ス
テツピングモータのハウジング7,8内ではロー
タの回転軸4のみを軸支すればよくその軸受構造
は小型で簡単なものとなり、ロータの小型軽量化
が図れると共に、直線運動をする部分はスリーブ
27を有する弁体28のみで、従来の如くステツ
ピングモータ内部から外部まで延びた出力軸も共
に直線運動を行わせる必要もないことから、その
部分の軽量化を図ることができ、慣性を低減させ
て高応答の流量制御が可能となる。しかも、上記
弁体28は中空穴28aを有し、この中空穴内で
回転軸4を自己潤滑性を有するガイドメタル30
で軸支しているため、弁体28が回転軸上で倒れ
を生じることなく直線移動させることができ弁座
37に対して正確な位置に制御でき正確な流量制
御ができる。又、弁体28に保持されるスプリン
グガイド33と、ホルダ31の外側筒状部材31
bとは微小空〓をもつて径方向に重合配置されて
いるため、弁体28が進退移動しても、その内側
の各摺動部を包囲し、流体中の塵埃等の異物が侵
入し難く、この塵埃等の異物による摺動不良の発
生を防止する。更にスリーブ27はホルダの内側
筒状部材31aの内周で回り止め嵌合して軸方向
に摺動するが、この際内側筒状部材31aは、ス
リーブの最大移動位置(弁体28の最大突出位
置)においてもスリーブ27が露出しない充分の
長さに設定されるため、スリーブ27の外周摺動
面に塵埃が付着し難く、この点からも摺動不良の
発生を防止し得る。加えて、スリーブ27と弁体
28とを結合するホルダ29の外周部を段付形状
とし、ホルダの内側筒状部材31aの端面との間
で絞りを形成しているため、流体中の塵埃は摺動
部に対して侵入し難いものとなつている。
モータ1の回転を弁体28の直線運動に変換する
ための構成は、モータハウジング7から回転軸4
を突出させ、この回転軸上に弁体28と一体のス
リーブ27をねじ嵌合させるものであるため、ス
テツピングモータのハウジング7,8内ではロー
タの回転軸4のみを軸支すればよくその軸受構造
は小型で簡単なものとなり、ロータの小型軽量化
が図れると共に、直線運動をする部分はスリーブ
27を有する弁体28のみで、従来の如くステツ
ピングモータ内部から外部まで延びた出力軸も共
に直線運動を行わせる必要もないことから、その
部分の軽量化を図ることができ、慣性を低減させ
て高応答の流量制御が可能となる。しかも、上記
弁体28は中空穴28aを有し、この中空穴内で
回転軸4を自己潤滑性を有するガイドメタル30
で軸支しているため、弁体28が回転軸上で倒れ
を生じることなく直線移動させることができ弁座
37に対して正確な位置に制御でき正確な流量制
御ができる。又、弁体28に保持されるスプリン
グガイド33と、ホルダ31の外側筒状部材31
bとは微小空〓をもつて径方向に重合配置されて
いるため、弁体28が進退移動しても、その内側
の各摺動部を包囲し、流体中の塵埃等の異物が侵
入し難く、この塵埃等の異物による摺動不良の発
生を防止する。更にスリーブ27はホルダの内側
筒状部材31aの内周で回り止め嵌合して軸方向
に摺動するが、この際内側筒状部材31aは、ス
リーブの最大移動位置(弁体28の最大突出位
置)においてもスリーブ27が露出しない充分の
長さに設定されるため、スリーブ27の外周摺動
面に塵埃が付着し難く、この点からも摺動不良の
発生を防止し得る。加えて、スリーブ27と弁体
28とを結合するホルダ29の外周部を段付形状
とし、ホルダの内側筒状部材31aの端面との間
で絞りを形成しているため、流体中の塵埃は摺動
部に対して侵入し難いものとなつている。
従つて、ステツピングモータ外部の回転一直線
変換機構部、及び弁体28の直線移動部における
摺動部に対する流体中の塵埃の侵入、付着を防止
して、弁体28を安定に位置制御できる。
変換機構部、及び弁体28の直線移動部における
摺動部に対する流体中の塵埃の侵入、付着を防止
して、弁体28を安定に位置制御できる。
以上のようにこの発明によれば、ステツピング
モータの回転軸の突出部で弁体をスリーブを介し
てねじ嵌合して回転を直線移動に変換するように
構成したので、ステツピングモータの軸受構造は
回転軸のみを支承すれば足り、極めて簡単で、装
置の小型軽量化が図り得、しかも、直線駆動され
る部分は従来のような長い出力軸はなく弁体部分
のみとなり軽量化でき、高応答の流量制御が可能
となる。又、弁体に支持された筒状部材をステツ
ピングモータハウジングに保持された筒状部材と
を互いに微小空〓を介して重合配置して摺動部を
包囲するようにしたので、摺動部に対して流体中
の塵埃が侵入付着することを防止して弁体を安全
に位置制御できる効果がある。
モータの回転軸の突出部で弁体をスリーブを介し
てねじ嵌合して回転を直線移動に変換するように
構成したので、ステツピングモータの軸受構造は
回転軸のみを支承すれば足り、極めて簡単で、装
置の小型軽量化が図り得、しかも、直線駆動され
る部分は従来のような長い出力軸はなく弁体部分
のみとなり軽量化でき、高応答の流量制御が可能
となる。又、弁体に支持された筒状部材をステツ
ピングモータハウジングに保持された筒状部材と
を互いに微小空〓を介して重合配置して摺動部を
包囲するようにしたので、摺動部に対して流体中
の塵埃が侵入付着することを防止して弁体を安全
に位置制御できる効果がある。
第1図はこの発明の一実施例を示す断面図、第
2図は第1図のスリーブ部分の断面図である。 図中、1はステツピングモータ、4は回転軸、
7,8はハウジング、27はスリーブ、28は弁
体、27a,4aはねじ、27bは突起、30は
ガイドメタル、31a,31bは筒状部、31c
は案内溝、32はスプリング、33はスプリング
ガイドである。 尚、図中、同一符号は同一部分を示す。
2図は第1図のスリーブ部分の断面図である。 図中、1はステツピングモータ、4は回転軸、
7,8はハウジング、27はスリーブ、28は弁
体、27a,4aはねじ、27bは突起、30は
ガイドメタル、31a,31bは筒状部、31c
は案内溝、32はスプリング、33はスプリング
ガイドである。 尚、図中、同一符号は同一部分を示す。
Claims (1)
- 1 ステツピングモータと、このステツピングモ
ータのハウジングから外部へ突出した回転軸と、
この回転軸の突出部にねじ嵌合し、かつ軸方向の
み移動可能に回り止めされたスリーブと、このス
リーブと一体的に結合して上記回転軸の突出端部
外周に嵌合し、流体通路の弁座に対して位置変化
して流量を制御する弁体と、上記弁体に支持され
た円筒状の第1のカバー部材と、上記ステツピン
グモータのハウジングに支持され上記第1のカバ
ー部材と径方向に微小空〓を介して重合配置され
上記第1のカバー部材と共働してその内側の各部
摺動部への塵埃の侵入を防止する筒状の第2カバ
ー部材を備えた流量制御弁装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60259178A JPS62124378A (ja) | 1985-11-19 | 1985-11-19 | 流量制御弁装置 |
| KR1019860006665A KR890004253B1 (ko) | 1985-11-19 | 1986-08-13 | 유량제어 밸브장치 |
| US06/931,819 US4723753A (en) | 1985-11-19 | 1986-11-18 | Flow rate control valve system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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