JPH0363127A - 透明ハイバリヤープラスチックフイルム - Google Patents
透明ハイバリヤープラスチックフイルムInfo
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- JPH0363127A JPH0363127A JP20088289A JP20088289A JPH0363127A JP H0363127 A JPH0363127 A JP H0363127A JP 20088289 A JP20088289 A JP 20088289A JP 20088289 A JP20088289 A JP 20088289A JP H0363127 A JPH0363127 A JP H0363127A
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は透明性、ガスバリヤ−性、レトルト殺菌耐性な
どにすぐれ、飲食品、医療品、電子材料などの分野にお
ける包装材料またはガス遮断材料として有用な性能を安
定してえることができる透明ハイバリヤープラスチック
フィルムに関する。
どにすぐれ、飲食品、医療品、電子材料などの分野にお
ける包装材料またはガス遮断材料として有用な性能を安
定してえることができる透明ハイバリヤープラスチック
フィルムに関する。
従来プラスチックフィルムのガスバリヤ−性を向上させ
る目的で、珪素酸化物をフィルム表面に蒸着させること
は、特公昭53−12953号公報に示される通りであ
る。 また、同方法により半連続式巻取り蒸着において得られ
る珪素酸化物蒸着プラスチックフィルムは、透湿度:
3.0 glm”・24Hrs、以下、酸素透過率:
2.Occ/m”・24Hrs、以下の値が得られ、実
用上。 有効であることが知、られている。 しかしながら透湿度: 1.Oglm”−24Hrs、
以下、酸素透過率: 0.5 cc/m2・2411r
s、以下の値が得られる珪素酸化物蒸着プラスチックフ
ィルムを工業規模での生産に於て、安定した製品の製造
が困難であった。 その理由は、蒸発材料として、 Si:SiO*=1:l(モル比) の混合物を用い、蒸着過程に於て、510mなる膜を形
成する故である。 一方、蒸発物質を、SiOで行なえばおおむね満足する
性能のものが得られるが生産コストが高くつき、実用に
供するには問題があった。 また、珪素酸化物蒸着プラスチックフィルムの単体の場
合には、極僅かながら、珪素酸化物蒸着膜に存在する微
少ピンホール、微少クラック等の欠陥の為に例えば透湿
度: 2.:1g/s”・24Hrs、、酸素透過率:
1.8cc/a”・24Hrs、等の値を示すのが普
通である。 更に透湿度、酸素透過率の小さい優れた透明なフィルム
を得ようとして珪素酸化物蒸着膜の厚みを厚くすること
も試みられたが、実際問題としては、単に厚みを増加し
ても微少ピンホール、微少クラック等の欠陥は改良され
ることなく、得られる膜の着色が醜くなるだけであって
透明性が悪くなるという新たな問題点が生ずる。
る目的で、珪素酸化物をフィルム表面に蒸着させること
は、特公昭53−12953号公報に示される通りであ
る。 また、同方法により半連続式巻取り蒸着において得られ
る珪素酸化物蒸着プラスチックフィルムは、透湿度:
3.0 glm”・24Hrs、以下、酸素透過率:
2.Occ/m”・24Hrs、以下の値が得られ、実
用上。 有効であることが知、られている。 しかしながら透湿度: 1.Oglm”−24Hrs、
以下、酸素透過率: 0.5 cc/m2・2411r
s、以下の値が得られる珪素酸化物蒸着プラスチックフ
ィルムを工業規模での生産に於て、安定した製品の製造
が困難であった。 その理由は、蒸発材料として、 Si:SiO*=1:l(モル比) の混合物を用い、蒸着過程に於て、510mなる膜を形
成する故である。 一方、蒸発物質を、SiOで行なえばおおむね満足する
性能のものが得られるが生産コストが高くつき、実用に
供するには問題があった。 また、珪素酸化物蒸着プラスチックフィルムの単体の場
合には、極僅かながら、珪素酸化物蒸着膜に存在する微
少ピンホール、微少クラック等の欠陥の為に例えば透湿
度: 2.:1g/s”・24Hrs、、酸素透過率:
1.8cc/a”・24Hrs、等の値を示すのが普
通である。 更に透湿度、酸素透過率の小さい優れた透明なフィルム
を得ようとして珪素酸化物蒸着膜の厚みを厚くすること
も試みられたが、実際問題としては、単に厚みを増加し
ても微少ピンホール、微少クラック等の欠陥は改良され
ることなく、得られる膜の着色が醜くなるだけであって
透明性が悪くなるという新たな問題点が生ずる。
本発明は、透明ハイバリヤープラスチックフィルムの構
成に於て、プラスチックフィルムの片面に直接または下
塗層を介して、珪素酸化物蒸着膜を設けた珪素酸化物蒸
着プラスチックフィルム2枚を珪素酸化物蒸着膜の側が
内側になるように貼り合せるようにしたことで、透明性
、ガスバリヤ−性、レトルト殺菌耐性などにすぐれ、飲
食品、医療品、電子材料などの分野における包装材料ま
たはガス遮断材料として有用な性能を安定してえること
ができる透明ハイバリヤープラスチックフィルムを提供
することにある。
成に於て、プラスチックフィルムの片面に直接または下
塗層を介して、珪素酸化物蒸着膜を設けた珪素酸化物蒸
着プラスチックフィルム2枚を珪素酸化物蒸着膜の側が
内側になるように貼り合せるようにしたことで、透明性
、ガスバリヤ−性、レトルト殺菌耐性などにすぐれ、飲
食品、医療品、電子材料などの分野における包装材料ま
たはガス遮断材料として有用な性能を安定してえること
ができる透明ハイバリヤープラスチックフィルムを提供
することにある。
本発明は、プラスチックフィルムの片面に直接または下
塗層を介して、珪素酸化物蒸着膜を設けた珪素酸化物蒸
着プラスチックフィルム2枚を珪素酸化物蒸着膜の側が
内側になるように貼り合せたことを特徴とする透明ハイ
バリヤープラスチックフィルムである。 即ち本発明は、プラスチックフィルムの片面に直接また
は下塗層を介して、珪素酸化物蒸着膜を設けた珪素酸化
物蒸着プラスチックフィルム2枚を珪素酸化物蒸着膜の
側が内側になるようは貼り合せることにより、透明性、
ガスバリヤ−性、レトルト殺菌耐性にすぐれ、飲食品、
医療品、電子材料などの分野における包装材料またはガ
ス遮断材料として有用なフィルムを安定してえることが
できる透明ハイバリヤープラスチックフィルムな提供す
ることを可能としたものである。 本発明の透明ハイバリヤープラスチックフィルムの製造
方法におけるプラスチックフィルムとしては、充分な自
己保持性を有するものであればいずれも用いられるが、
例えばポリエチレンテレフタレート、ポリアミド、ボリ
アくトイミド、ポリエチレン、ポリプロピレン、セルロ
ースアセテート、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル、
フッ素樹脂などのフィルム状物またはシート状物が適宜
用いられる。特にプラスチックフィルムとしては前記樹
脂類のフィルム状物で厚さが3〜100μs程度のもの
を用いるのが、しわや亀裂などのない透明ハイバリヤー
プラスチックフィルムの製造が連続的に大量生産できる
点から好ましい。 またプラスチックフィルムは、−軸延伸や二軸延伸され
たものであってもよく、光沢1強度などの面からは二軸
延伸されたものが好ましく用いられる。 またプラスチックフィルムは、その表面かコロナ放電処
理、低温プラズマ処理などの表面処理がされたものであ
ってもよく、一般にフィルムと蒸着した珪素酸化物との
密着性を良くすることができて好ましい。 さらにまたプラスチックフィルムは、その表面に下塗層
を設けたものであってもよく、下塗層を形成するための
樹脂としては、例えば熱可塑性樹脂、8硬化性棚脂、電
子線硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂のいずれもが用いら
れ、例えばアクリル系樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共
重合体、ポリビニルブチラール、ポリカーボネート、ニ
トロセルロース、セルロースアセテート、ウレタン系樹
脂、尿素系樹脂、メラミン系樹脂、尿素−メラミン系樹
脂、エポキシ糸捌脂、アルキッド系樹脂、アミノアルキ
ッド系樹脂、ロジン変性マレイン酸樹脂などの単独また
は混合物や、シランカップリング剤が好ましく用いられ
る。 下塗層の形成には、前記下塗層を形成するための樹脂の
有機溶剤溶液、水溶液などやカップリング剤をロールコ
ーティング法、グラビアコーティング法、リバースコー
ティング法、スプレイコーティング法などの通常のコー
ティング法により塗布し、乾燥(熱硬化性樹脂、電子線
硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂などの場合は硬化)する
ことによって行なわれる。 下塗層は汎用の染料または顔料などの着色材で着色して
もよい。 染料または顔料などの着色材は前記下塗層を形成するた
めの樹脂に対しゴー30%程度の範囲から適宜選ばれる
。 本発明の透明ハイバリヤープラスチックフィルムにおけ
る蒸発原料としては、−酸化珪素単独。 はぼ等モル%の珪素および二酸化珪素とからなる混合物
、はぼ等モル%の珪素および二酸化珪素と1モル%以上
〜30モル%未満の一酸化珪素とからなる混合物が用い
られて、公知の真空蒸着法により蒸着形成される。 従来の珪素および二酸化珪素の等モルの蒸発材料に一酸
化珪素を1〜30モル%添加した場合、Si+SiO,
42510m・・・・・(1)の反応系において、−酸
化珪素は反応促進の起爆材的役割りを果たし、上記(1
)の反応をスムーズに行なわせる役割りを果たす。 それが故に経済性および得られる製品品質からみて好ま
しい蒸発原料である。 本発明において、珪素酸化物蒸着膜の厚さとしては特に
制限はないが、その製品の用途と所望される性能等によ
って適宜選択決定されるが、ガスバリヤ−性と耐屈曲性
などを考慮して通常はlO〜1000n−程度の範囲か
ら、好ましくは50〜200n銀程度の範囲から選ばれ
る。 本発明の透明ハイバリヤープラスチックフィルムにおけ
る接着剤および接着方法に特に制限はなく1通常のラミ
ネート法および接着剤が使用される。接着方法としては
、例えば押出しラミネート法、乾式ラミネート法や無溶
剤型ラミネート法などが適宜使用される。また接着剤と
しては、例えばアクリル−塩化ビニル−酢酸ビニル系、
アクリル系、エチレン−酢酸ビニル系、エポキシ系、ス
チレン−ブタジェン系、ポリエステル−イソシアネート
系、ポリエチレン系、塩化ビニル−酢酸ビニル系、塩化
ビニル系、酢酸ビニル系、塩素化ポリプロピレン系、ウ
レタン系などの接着剤が単独または適宜ブレンドして用
いられる。 接着剤層の厚さは通常2〜100JJIsの範囲より好
ましくは3〜tonの範囲から選ばれる。接着剤層の厚
さが2μs未満では充分な接着強度が得られず好ましく
ない、一方1OO−を越えても接着強度に寄与する程度
に変化が認められない。 なお、プラスチックフィルム面には常法により保!I塗
膜、保護フィルム、ヒートシール層などのほか文字図柄
などの印刷層を設けるようにしてもよく、その用途を拡
大することができる。 つぎに実施例をあげて本発明を説明する。
塗層を介して、珪素酸化物蒸着膜を設けた珪素酸化物蒸
着プラスチックフィルム2枚を珪素酸化物蒸着膜の側が
内側になるように貼り合せたことを特徴とする透明ハイ
バリヤープラスチックフィルムである。 即ち本発明は、プラスチックフィルムの片面に直接また
は下塗層を介して、珪素酸化物蒸着膜を設けた珪素酸化
物蒸着プラスチックフィルム2枚を珪素酸化物蒸着膜の
側が内側になるようは貼り合せることにより、透明性、
ガスバリヤ−性、レトルト殺菌耐性にすぐれ、飲食品、
医療品、電子材料などの分野における包装材料またはガ
ス遮断材料として有用なフィルムを安定してえることが
できる透明ハイバリヤープラスチックフィルムな提供す
ることを可能としたものである。 本発明の透明ハイバリヤープラスチックフィルムの製造
方法におけるプラスチックフィルムとしては、充分な自
己保持性を有するものであればいずれも用いられるが、
例えばポリエチレンテレフタレート、ポリアミド、ボリ
アくトイミド、ポリエチレン、ポリプロピレン、セルロ
ースアセテート、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル、
フッ素樹脂などのフィルム状物またはシート状物が適宜
用いられる。特にプラスチックフィルムとしては前記樹
脂類のフィルム状物で厚さが3〜100μs程度のもの
を用いるのが、しわや亀裂などのない透明ハイバリヤー
プラスチックフィルムの製造が連続的に大量生産できる
点から好ましい。 またプラスチックフィルムは、−軸延伸や二軸延伸され
たものであってもよく、光沢1強度などの面からは二軸
延伸されたものが好ましく用いられる。 またプラスチックフィルムは、その表面かコロナ放電処
理、低温プラズマ処理などの表面処理がされたものであ
ってもよく、一般にフィルムと蒸着した珪素酸化物との
密着性を良くすることができて好ましい。 さらにまたプラスチックフィルムは、その表面に下塗層
を設けたものであってもよく、下塗層を形成するための
樹脂としては、例えば熱可塑性樹脂、8硬化性棚脂、電
子線硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂のいずれもが用いら
れ、例えばアクリル系樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共
重合体、ポリビニルブチラール、ポリカーボネート、ニ
トロセルロース、セルロースアセテート、ウレタン系樹
脂、尿素系樹脂、メラミン系樹脂、尿素−メラミン系樹
脂、エポキシ糸捌脂、アルキッド系樹脂、アミノアルキ
ッド系樹脂、ロジン変性マレイン酸樹脂などの単独また
は混合物や、シランカップリング剤が好ましく用いられ
る。 下塗層の形成には、前記下塗層を形成するための樹脂の
有機溶剤溶液、水溶液などやカップリング剤をロールコ
ーティング法、グラビアコーティング法、リバースコー
ティング法、スプレイコーティング法などの通常のコー
ティング法により塗布し、乾燥(熱硬化性樹脂、電子線
硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂などの場合は硬化)する
ことによって行なわれる。 下塗層は汎用の染料または顔料などの着色材で着色して
もよい。 染料または顔料などの着色材は前記下塗層を形成するた
めの樹脂に対しゴー30%程度の範囲から適宜選ばれる
。 本発明の透明ハイバリヤープラスチックフィルムにおけ
る蒸発原料としては、−酸化珪素単独。 はぼ等モル%の珪素および二酸化珪素とからなる混合物
、はぼ等モル%の珪素および二酸化珪素と1モル%以上
〜30モル%未満の一酸化珪素とからなる混合物が用い
られて、公知の真空蒸着法により蒸着形成される。 従来の珪素および二酸化珪素の等モルの蒸発材料に一酸
化珪素を1〜30モル%添加した場合、Si+SiO,
42510m・・・・・(1)の反応系において、−酸
化珪素は反応促進の起爆材的役割りを果たし、上記(1
)の反応をスムーズに行なわせる役割りを果たす。 それが故に経済性および得られる製品品質からみて好ま
しい蒸発原料である。 本発明において、珪素酸化物蒸着膜の厚さとしては特に
制限はないが、その製品の用途と所望される性能等によ
って適宜選択決定されるが、ガスバリヤ−性と耐屈曲性
などを考慮して通常はlO〜1000n−程度の範囲か
ら、好ましくは50〜200n銀程度の範囲から選ばれ
る。 本発明の透明ハイバリヤープラスチックフィルムにおけ
る接着剤および接着方法に特に制限はなく1通常のラミ
ネート法および接着剤が使用される。接着方法としては
、例えば押出しラミネート法、乾式ラミネート法や無溶
剤型ラミネート法などが適宜使用される。また接着剤と
しては、例えばアクリル−塩化ビニル−酢酸ビニル系、
アクリル系、エチレン−酢酸ビニル系、エポキシ系、ス
チレン−ブタジェン系、ポリエステル−イソシアネート
系、ポリエチレン系、塩化ビニル−酢酸ビニル系、塩化
ビニル系、酢酸ビニル系、塩素化ポリプロピレン系、ウ
レタン系などの接着剤が単独または適宜ブレンドして用
いられる。 接着剤層の厚さは通常2〜100JJIsの範囲より好
ましくは3〜tonの範囲から選ばれる。接着剤層の厚
さが2μs未満では充分な接着強度が得られず好ましく
ない、一方1OO−を越えても接着強度に寄与する程度
に変化が認められない。 なお、プラスチックフィルム面には常法により保!I塗
膜、保護フィルム、ヒートシール層などのほか文字図柄
などの印刷層を設けるようにしてもよく、その用途を拡
大することができる。 つぎに実施例をあげて本発明を説明する。
比較例1
厚さ12μsのポリエチレンテレフタレートフィルム面
上にsx 10−’Torrの真空下で一酸化珪素を。 1100nの厚さに真空蒸着して珪素酸化物蒸着プラス
チックフィルムを得た。 実施例1 比較例1で得た珪素酸化物蒸着プラスチックフィルム2
枚をポリウレタン樹脂−ポリイソシアネート捌脂系トラ
イラミネート用接着剤を用いて珪素酸化物蒸着膜側か内
側になるように貼り合せて本発明の透明ハイバリヤープ
ラスチックフィルムを得た。 実施例2 実施例1で得た本発明の透明ハイバリヤープラスチック
フィルムの片面にリニアーローデンシティポリエチレン
をポリウレタン樹脂−ポリイソシアネート樹脂系ドライ
ラミネート用接着剤を用いて貼り合せて本発明の透明ハ
イバリヤープラスチックフィルムの応用フィルムを得た
。 このフィルムで゛成子部品の包装にはヒートシールが使
用でき包装作業が簡便で開封せずに内容物が確認でき、
しかも充分に品質を保持できる性能を右していた。 [以下余白]
上にsx 10−’Torrの真空下で一酸化珪素を。 1100nの厚さに真空蒸着して珪素酸化物蒸着プラス
チックフィルムを得た。 実施例1 比較例1で得た珪素酸化物蒸着プラスチックフィルム2
枚をポリウレタン樹脂−ポリイソシアネート捌脂系トラ
イラミネート用接着剤を用いて珪素酸化物蒸着膜側か内
側になるように貼り合せて本発明の透明ハイバリヤープ
ラスチックフィルムを得た。 実施例2 実施例1で得た本発明の透明ハイバリヤープラスチック
フィルムの片面にリニアーローデンシティポリエチレン
をポリウレタン樹脂−ポリイソシアネート樹脂系ドライ
ラミネート用接着剤を用いて貼り合せて本発明の透明ハ
イバリヤープラスチックフィルムの応用フィルムを得た
。 このフィルムで゛成子部品の包装にはヒートシールが使
用でき包装作業が簡便で開封せずに内容物が確認でき、
しかも充分に品質を保持できる性能を右していた。 [以下余白]
比較例1で得られた珪素酸化物蒸着プラスチックフィル
ムおよび実施例1および2で得られた透明ハイバリヤー
プラスチックフィルムを用いて各5サンプルのそれぞれ
の透湿度および酸素透過率を測定した。 実施例1および2の透明ハイバリヤープラスチックフィ
ルムの透湿度および酸素透過率は極めて安定しいて、従
来の珪素酸化物蒸着プラスチックフィルム(比較例1)
に見られない高性能を示したく表1参照〉。
ムおよび実施例1および2で得られた透明ハイバリヤー
プラスチックフィルムを用いて各5サンプルのそれぞれ
の透湿度および酸素透過率を測定した。 実施例1および2の透明ハイバリヤープラスチックフィ
ルムの透湿度および酸素透過率は極めて安定しいて、従
来の珪素酸化物蒸着プラスチックフィルム(比較例1)
に見られない高性能を示したく表1参照〉。
【特許出願人】 尾池工業株式会社
Claims (1)
- 1 プラスチックフィルムの片面に直接または下塗層を
介して、珪素酸化物蒸着膜を設けた珪素酸化物蒸着プラ
スチックフィルム2枚を珪素酸化物蒸着膜の側が内側に
なるように貼り合せたことを特徴とする透明ハイバリヤ
ープラスチックフィルム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20088289A JP2892695B2 (ja) | 1989-08-02 | 1989-08-02 | 透明ハイバリヤープラスチックフイルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20088289A JP2892695B2 (ja) | 1989-08-02 | 1989-08-02 | 透明ハイバリヤープラスチックフイルム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0363127A true JPH0363127A (ja) | 1991-03-19 |
| JP2892695B2 JP2892695B2 (ja) | 1999-05-17 |
Family
ID=16431811
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20088289A Expired - Lifetime JP2892695B2 (ja) | 1989-08-02 | 1989-08-02 | 透明ハイバリヤープラスチックフイルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2892695B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05117841A (ja) * | 1991-10-22 | 1993-05-14 | Toray Ind Inc | 蒸着ポリエステルフイルム |
| JP2002178439A (ja) * | 2000-12-18 | 2002-06-26 | Dainippon Printing Co Ltd | レトルト用パウチ |
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| US6749940B1 (en) | 1999-05-07 | 2004-06-15 | Kureha Chemical Industry Co., Ltd. | Moistureproof multilayered film |
| JP2011523387A (ja) * | 2008-05-29 | 2011-08-11 | コーロン インダストリーズ インク | 保護フィルム |
| CN103613946A (zh) * | 2013-11-08 | 2014-03-05 | 苏州新颖新材料科技股份有限公司 | 一种利用废弃塑料制备抗菌薄膜的方法 |
| WO2014050743A1 (ja) | 2012-09-28 | 2014-04-03 | 日本ゼオン株式会社 | 複合ガスバリア積層体及びその製造方法、並びに複合電極 |
| WO2015115337A1 (ja) | 2014-01-29 | 2015-08-06 | 日本ゼオン株式会社 | 複合ガスバリア積層体及びその製造方法 |
| JP2018134844A (ja) * | 2017-02-23 | 2018-08-30 | 三菱ケミカル株式会社 | バリアフィルム及びバリアフィルムを備えた半導体デバイス |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7829041B2 (en) | 2006-02-21 | 2010-11-09 | Council Of Scientific And Industrial Research | Jet-wheel impact atomizer for spray drying |
-
1989
- 1989-08-02 JP JP20088289A patent/JP2892695B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US8617697B2 (en) | 2008-05-29 | 2013-12-31 | Kolon Industries, Inc. | Protective film |
| US10707442B2 (en) | 2012-09-28 | 2020-07-07 | Zeon Corporation | Composite gas barrier multilayer body, method for producing the same, and composite electrode |
| WO2014050743A1 (ja) | 2012-09-28 | 2014-04-03 | 日本ゼオン株式会社 | 複合ガスバリア積層体及びその製造方法、並びに複合電極 |
| KR20150065671A (ko) | 2012-09-28 | 2015-06-15 | 니폰 제온 가부시키가이샤 | 복합 가스 배리어 적층체 및 그의 제조 방법, 및 복합 전극 |
| CN103613946A (zh) * | 2013-11-08 | 2014-03-05 | 苏州新颖新材料科技股份有限公司 | 一种利用废弃塑料制备抗菌薄膜的方法 |
| KR20160114064A (ko) | 2014-01-29 | 2016-10-04 | 니폰 제온 가부시키가이샤 | 복합 가스 배리어 적층체 및 그의 제조 방법 |
| US10559778B2 (en) | 2014-01-29 | 2020-02-11 | Zeon Corporation | Composite gas barrier laminate and method for producing same |
| WO2015115337A1 (ja) | 2014-01-29 | 2015-08-06 | 日本ゼオン株式会社 | 複合ガスバリア積層体及びその製造方法 |
| JP2018134844A (ja) * | 2017-02-23 | 2018-08-30 | 三菱ケミカル株式会社 | バリアフィルム及びバリアフィルムを備えた半導体デバイス |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2892695B2 (ja) | 1999-05-17 |
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