JPH0363582U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0363582U JPH0363582U JP12274489U JP12274489U JPH0363582U JP H0363582 U JPH0363582 U JP H0363582U JP 12274489 U JP12274489 U JP 12274489U JP 12274489 U JP12274489 U JP 12274489U JP H0363582 U JPH0363582 U JP H0363582U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bubbler
- carrier gas
- raw material
- liquid raw
- integration
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims description 7
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 6
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図は本考案装置の一実施例を示し、同図ａ
はその原料供給系を示す部分概略図、同図ｂはそ
の回路系を示す回路図、第２図は従来装置を示す
概略図である。 １……バブラ、２……液体原料、３……導入管
、４……導出管、１５……積算回路、１７……表
示回路、Ｓ１……バルブ動作信号、Ｓ２……キヤ
リアガス信号。
はその原料供給系を示す部分概略図、同図ｂはそ
の回路系を示す回路図、第２図は従来装置を示す
概略図である。 １……バブラ、２……液体原料、３……導入管
、４……導出管、１５……積算回路、１７……表
示回路、Ｓ１……バルブ動作信号、Ｓ２……キヤ
リアガス信号。
Claims (1)
- 液体原料が充填されたバブラと、一端が上記バ
ブラに接続され、上記バブラ外部からキヤリアガ
スを上記バブラ内部の上記液体原料中に導入する
導入管と、一端が上記バブラに接続され、上記バ
ブラ内部から上記キヤリアガスを上記バブラ外部
に導出する導出管と、上記バブラに導入されるキ
ヤリアガス流量を検出するキヤリアガス流量検出
手段と、該キヤリアガス量検出手段から得られる
情報に基づく値を積算する積算手段と、該積算手
段から得られる積算情報に基づき、上記液体原料
の総消費量あるいは残量からなる液体原料情報の
出力を行う出力手段と、を備えることを特徴とす
る液体原料供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12274489U JPH0363582U (ja) | 1989-10-19 | 1989-10-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12274489U JPH0363582U (ja) | 1989-10-19 | 1989-10-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0363582U true JPH0363582U (ja) | 1991-06-20 |
Family
ID=31670737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12274489U Pending JPH0363582U (ja) | 1989-10-19 | 1989-10-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0363582U (ja) |
-
1989
- 1989-10-19 JP JP12274489U patent/JPH0363582U/ja active Pending
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