JPH0364037A - 半導体測定装置 - Google Patents
半導体測定装置Info
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- JPH0364037A JPH0364037A JP20052789A JP20052789A JPH0364037A JP H0364037 A JPH0364037 A JP H0364037A JP 20052789 A JP20052789 A JP 20052789A JP 20052789 A JP20052789 A JP 20052789A JP H0364037 A JPH0364037 A JP H0364037A
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- JP
- Japan
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- socket
- measuring
- measurement
- measuring device
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明はデュアルインフィンパッケージｃ以下ｎｘｐ
と呼ぶ）ＩＣ及び２方向フラツトパツケージＣ以下ｓｏ
ｐと呼ぶ）ＩＣの！９ＩＣ的特性測定用ソケットの共用
性を高めるための改良に関し、特にこのソケットをキャ
リアソケットとして使用することによりＤＩＰ工Ｃ及び
ＥＩＯＰＩＣのレール方式測定用ハンドラの共用性を高
め、筐たテスタ用パフォーマンスボードとＤＩＰＩＣ及
ヒｓ。 ＰＩＣの測定用ソケットとを接続するソケットアダプタ
ーの共用性あるいは省略するための改良に関するもので
ある。 ［従来の技術］ 第４図の（１）はＤＩＰＩＣの斜視図、（２）はＤＩＰ
ＩＣ（１）の電気的特性測定用ソケット本体の斜視図を
示す。（３）ば５ＯＰＩＣの斜視図、（４）は５ＯＰＩ
Ｃ（３）の電気的特性測定用ソケット本体の斜視図を示
す。これらのソケットの外形（２ａ）及び（４ａ）は絶
縁材料で構成され、巾（２Ｃ）と巾（４ｃ）、高さ（２
ｄ）と高さ（４ｄ）とはそれぞれ異なっている。（２ｂ
）、（４ｂ）は各ＩＣ（１）（３）のａｇＣ的特性を測
定するための電気的信号を伝達する外部リードである。 外部リード（２ｈ）は左右一列に平行に配列され、外部
リード（４ｂ）は千鳥二剤のものが左右平行に配列され
、リード巾（２ｗ） 、 （４ｗ＋） 、 （４Ｗ２）
がそれぞれ異なっている。 また、第５図の（１）はＤ工Ｐ Ｉ Ｃ（ｌａ）のレー
ル方式測定用ハンドラの断面図で、（２）はＳ ＯＰ
Ｘ Ｃ（２ａ）のレール方式測定用ハンドラの断面図を
示す。（ｌａ）はＤｒＰ被測定ＩＣ，（２ａ）はｓａｐ
被測定ＩＣを示す。これらのハンドラは（１ｃ）と（２
ｃ）の上レール、（１ｄ）と（２ｄ）の下レール、（１
ｅ）と（２ｅ）の測定部被測定ＩＣストッパー （１ｇ
）と（２ｇ）の測定部に被測定ＩＣを１個づつ送り出す
ためのセパレート用ストッパー （１ｂ）と（２ｈ）の
測定部での被測定ＩＣを電気的測定するためのＩＣソケ
ット、（１ｈ）と（２ｈ）の測定終了後のＩＣを排出す
る部分から構成されている。そして図示右上から被測定
Ｉ Ｃ（ｌａ）オたは（２ａ）が上下レールの間を流れ
、セパレート用ストッパー（Ｉｇ） （２ｇ）でＩ Ｃ
（ｌａ） （２ａ）が１個づつ測定部に送られ、ストッ
パー（Ｉｓ） （２ｅ）でＩＣがストップされる。電気
的測定器（図示せず）に接続されたＩＣソケット（ｌｂ
） （２ｂ）にストッパ（ｌｅ） （２ｅ）でストップ
されたＩＣが挿入されて測定終了後、ソケットから抜き
出され排出部（ｌｈ） （２ｈ）へＩＣが排出される。 上、下レールの形状と上、下レールの間隔は被測定ＩＣ
毎に異なっている。すなわち、被測定ＩＣ毎にレール方
式ハンドラが必要である。 第６図の（１）、（２）はそれぞれＤＩＰＩＣソケット
用ソケットアダプタ、５ＯＰＩＣソケツト用ソケツトア
ダプタを示し、ガヲスエボキ￥ｍ脂などの基板と、基板
上下に、スルーホールと半田によるパターン配線及びパ
フォーマンスボード（３）と接続する外部リード（６）
から構成されている。スルーホールはＩＣソケットのリ
ードと接続するために設けられ、パターン配線は外部リ
ードと接続するために設けられている。（４）はパフォ
ーマンスボード上に配線されたＩＥＸ的回路部分を示し
、（５）はパフォーマンスボードと測定器を接続するケ
ーブルを示すＯ パフォーマンスボードは、測定器から伝達された電気的
信号をボード上のＩＥ電気的回路加工、整形しソケット
アダプタ及びＩＣソケットを介して被測定ＩＣに印加す
るため、また、被測定ＩＣの電気信号をＩＣソケット及
びソケットアダプタを介し、ボード上の電気的回路にて
加工し測定器へ伝達する役目を行うものである。 ソケットアダプタは被測定ＩＣのソケット毎に必要であ
る。 〔発明が解決しようとする課題〕 従来のＤＩＰＫＣ及び５ＯＰＩＣの測定用ソケットは以
上のように構成されていたので、外形寸法が異なりかつ
電気的に接続するための外部リードの巾及び左右のリー
ドの配列が異なるため、ＩＣＣハンドラー測定用ソケッ
トとして使用する場合、被測定ＩＣのソケット挿入位置
決め治具をソケット毎に製作することが必要で、またパ
フォーマンスボードに被測定ＩＣ用ソケットを接続する
場合、それぞれのソケットに応じてソケットアダプタが
必要であるなどの問題点があった。 櫨た、従来のＤ工Ｐ４Ｃ及び５ＯＰＩＣの！気的特性を
自動測定するために使用するレール方式ハンドラーは、
ＩＣの形状が異なるためそれぞれのＩＣ測定用に必要で
経済的にも問題点があった。 さらに、従来のパフォーマンスボード上に付ケルソケッ
トアダプタはＤＩＰＩＣと５ＯＰＩＣのそれぞれに必要
であるという問題点があった。 この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、ＩＣＣハンドラー於いて、ソケット挿入位置
決め治具が共用でき、ソケットアダプタも共用あるいは
省略できることを目的とし、またソケットに於いてはソ
ケットをキャリアソケットとして使用し、このキャリア
ソケットを流すハンドラーを製作し、ＤＩＰＩＣも８０
ＰＩＣも共通のハンドラーで測定できることを目的とす
る。 さらにソケットアダプタに於いては上記ソケットを使用
することにより１共通のソケットアダプタにすること、
あるいは上記ソケットをパフォーマンスボードに直接接
続することによシンケラトアダプタを省略することを目
的とする。 〔課題を解決するための手段〕 この発明に係るＤＩＰＩＣ及び８ＯＰＩＣ測定用請求項
１のソケットは、それぞれのソケットの外形の高さ、巾
を同一にするとともに、電気的に接続するための外部リ
ードの巾を同一にして左右一列に平行に配列したもので
ある。 また、この発明に係るＤＩＰＩＣ及び８０ＰＩＣ’の自
動電気的特性用請求項２のレール方式ハンドヲーｔ′ｉ
％請求項１のソケットをキャリアソケットとして使用し
てＤＩＰ及び８ＯＰＩＣ両方に使用できるようにしたも
のである。 さらに、この発明に係るＤＩＰＩＣ及び５ａｐＩＣ用請
求項３のソケットアダ１夕ば、請求項１のソケットを使
用してＤＩＰ及び８ＯＰＩＣ両方に共用できるようにあ
るいは省略するようにしたものである。 〔作用」 この発明にかける半導体測定装置の測定検査用ソケット
、測定用ハンドラーおよびソケットアダプターは、上記
のような構成により外形上の特性を同一にした測定ソケ
ットにより異形パッケージでもソケットアダプタの共用
化、ハンドラの共用化ができる。 ［５ｊ！施例〕 以下、この発明の一実施例を図について説明する口 第１図の（１） 、 （３）はそれぞれＤＩＰＩＣ，５
ＯＰＩＣを示し、（２）、（４）はこの発明の一実施例
である電気的特性測定用ＩＣソケット本体を示す。それ
ぞれのソケット外形（２ａ）は絶縁材料で構成され巾（
２ｃ）、高さ（２ｄ）を同じにしである。筐た、ｔ９Ｃ
的特性を測定するための電気的信号を伝達する外部リー
ドを持ち、リード巾（２ｗ）を同じにしてかつリードを
左右一列平行に配列する様にしである。 第２図はこの発明の一実施例であるＤＩＰ及びＳｏｐ両
ＩＣｏｔ気的測定を自動的に行うためのレール方式ハン
ドラの断面図である。図において、（ｌａ）は上記第１
図の実施例で説明したソケットに被測定ＩＣを挿入した
状態のキャリアソケットで（ｌｃ）上レール及び（１ｄ
）下レールの間をこのキャリアソケットが流れて青き、
（Ｉｇ）のセパレート部でキャリアソケットが１個づつ
測定部に送られ、（ｌｅ）のストッパーでキャリアソケ
ットがストップされる。このＩＣを挿入されたキャリア
ソケットが、測定器に接続されたソケットに接続され電
気的特性が測定される。測定後キャリアソケットは（１
ｂ）排出部へ排出される。 即ち、この実施例はＤＩＰ及びｓｏｐの両方、の被測定
ＩＣをキャリアソケットとともに共通のハンドラーで測
定できるようにしたものである。 第３図の（１）はこの発明の一実施例であるソケットア
ダプタの斜視図である。図において、（ｌａ）のガヲス
エボキシ崗脂基板上に第１図のソケットを取付ケるため
のスルーホール（１ｂ）、パターン配Ｍ（ｌｃ）を有し
、パフォーマンスボード（２）と接続するためのり一部
（１ｄ）で構成されている。 従来のソケットアダプタは、ＤＩＰＩＣ及びｓ。 ＰＩＣごとにソケットが異なるためそのソケットごとに
上記スルーホール及びパターン配線した２種類のソケッ
トアダプタが必要であったが、この実施例では一種類の
ソケットアダプタで共用ができる。 尚、ＤＩＰＩＣと８０ＰＩＣがＩＣの回路が同じでパッ
ケージのみが異なる場合は、第１図のソケットを直接パ
フォーマンスボード（２）に取付けることができる。即
ちソケットアダプタは省略できる。
と呼ぶ）ＩＣ及び２方向フラツトパツケージＣ以下ｓｏ
ｐと呼ぶ）ＩＣの！９ＩＣ的特性測定用ソケットの共用
性を高めるための改良に関し、特にこのソケットをキャ
リアソケットとして使用することによりＤＩＰ工Ｃ及び
ＥＩＯＰＩＣのレール方式測定用ハンドラの共用性を高
め、筐たテスタ用パフォーマンスボードとＤＩＰＩＣ及
ヒｓ。 ＰＩＣの測定用ソケットとを接続するソケットアダプタ
ーの共用性あるいは省略するための改良に関するもので
ある。 ［従来の技術］ 第４図の（１）はＤＩＰＩＣの斜視図、（２）はＤＩＰ
ＩＣ（１）の電気的特性測定用ソケット本体の斜視図を
示す。（３）ば５ＯＰＩＣの斜視図、（４）は５ＯＰＩ
Ｃ（３）の電気的特性測定用ソケット本体の斜視図を示
す。これらのソケットの外形（２ａ）及び（４ａ）は絶
縁材料で構成され、巾（２Ｃ）と巾（４ｃ）、高さ（２
ｄ）と高さ（４ｄ）とはそれぞれ異なっている。（２ｂ
）、（４ｂ）は各ＩＣ（１）（３）のａｇＣ的特性を測
定するための電気的信号を伝達する外部リードである。 外部リード（２ｈ）は左右一列に平行に配列され、外部
リード（４ｂ）は千鳥二剤のものが左右平行に配列され
、リード巾（２ｗ） 、 （４ｗ＋） 、 （４Ｗ２）
がそれぞれ異なっている。 また、第５図の（１）はＤ工Ｐ Ｉ Ｃ（ｌａ）のレー
ル方式測定用ハンドラの断面図で、（２）はＳ ＯＰ
Ｘ Ｃ（２ａ）のレール方式測定用ハンドラの断面図を
示す。（ｌａ）はＤｒＰ被測定ＩＣ，（２ａ）はｓａｐ
被測定ＩＣを示す。これらのハンドラは（１ｃ）と（２
ｃ）の上レール、（１ｄ）と（２ｄ）の下レール、（１
ｅ）と（２ｅ）の測定部被測定ＩＣストッパー （１ｇ
）と（２ｇ）の測定部に被測定ＩＣを１個づつ送り出す
ためのセパレート用ストッパー （１ｂ）と（２ｈ）の
測定部での被測定ＩＣを電気的測定するためのＩＣソケ
ット、（１ｈ）と（２ｈ）の測定終了後のＩＣを排出す
る部分から構成されている。そして図示右上から被測定
Ｉ Ｃ（ｌａ）オたは（２ａ）が上下レールの間を流れ
、セパレート用ストッパー（Ｉｇ） （２ｇ）でＩ Ｃ
（ｌａ） （２ａ）が１個づつ測定部に送られ、ストッ
パー（Ｉｓ） （２ｅ）でＩＣがストップされる。電気
的測定器（図示せず）に接続されたＩＣソケット（ｌｂ
） （２ｂ）にストッパ（ｌｅ） （２ｅ）でストップ
されたＩＣが挿入されて測定終了後、ソケットから抜き
出され排出部（ｌｈ） （２ｈ）へＩＣが排出される。 上、下レールの形状と上、下レールの間隔は被測定ＩＣ
毎に異なっている。すなわち、被測定ＩＣ毎にレール方
式ハンドラが必要である。 第６図の（１）、（２）はそれぞれＤＩＰＩＣソケット
用ソケットアダプタ、５ＯＰＩＣソケツト用ソケツトア
ダプタを示し、ガヲスエボキ￥ｍ脂などの基板と、基板
上下に、スルーホールと半田によるパターン配線及びパ
フォーマンスボード（３）と接続する外部リード（６）
から構成されている。スルーホールはＩＣソケットのリ
ードと接続するために設けられ、パターン配線は外部リ
ードと接続するために設けられている。（４）はパフォ
ーマンスボード上に配線されたＩＥＸ的回路部分を示し
、（５）はパフォーマンスボードと測定器を接続するケ
ーブルを示すＯ パフォーマンスボードは、測定器から伝達された電気的
信号をボード上のＩＥ電気的回路加工、整形しソケット
アダプタ及びＩＣソケットを介して被測定ＩＣに印加す
るため、また、被測定ＩＣの電気信号をＩＣソケット及
びソケットアダプタを介し、ボード上の電気的回路にて
加工し測定器へ伝達する役目を行うものである。 ソケットアダプタは被測定ＩＣのソケット毎に必要であ
る。 〔発明が解決しようとする課題〕 従来のＤＩＰＫＣ及び５ＯＰＩＣの測定用ソケットは以
上のように構成されていたので、外形寸法が異なりかつ
電気的に接続するための外部リードの巾及び左右のリー
ドの配列が異なるため、ＩＣＣハンドラー測定用ソケッ
トとして使用する場合、被測定ＩＣのソケット挿入位置
決め治具をソケット毎に製作することが必要で、またパ
フォーマンスボードに被測定ＩＣ用ソケットを接続する
場合、それぞれのソケットに応じてソケットアダプタが
必要であるなどの問題点があった。 櫨た、従来のＤ工Ｐ４Ｃ及び５ＯＰＩＣの！気的特性を
自動測定するために使用するレール方式ハンドラーは、
ＩＣの形状が異なるためそれぞれのＩＣ測定用に必要で
経済的にも問題点があった。 さらに、従来のパフォーマンスボード上に付ケルソケッ
トアダプタはＤＩＰＩＣと５ＯＰＩＣのそれぞれに必要
であるという問題点があった。 この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、ＩＣＣハンドラー於いて、ソケット挿入位置
決め治具が共用でき、ソケットアダプタも共用あるいは
省略できることを目的とし、またソケットに於いてはソ
ケットをキャリアソケットとして使用し、このキャリア
ソケットを流すハンドラーを製作し、ＤＩＰＩＣも８０
ＰＩＣも共通のハンドラーで測定できることを目的とす
る。 さらにソケットアダプタに於いては上記ソケットを使用
することにより１共通のソケットアダプタにすること、
あるいは上記ソケットをパフォーマンスボードに直接接
続することによシンケラトアダプタを省略することを目
的とする。 〔課題を解決するための手段〕 この発明に係るＤＩＰＩＣ及び８ＯＰＩＣ測定用請求項
１のソケットは、それぞれのソケットの外形の高さ、巾
を同一にするとともに、電気的に接続するための外部リ
ードの巾を同一にして左右一列に平行に配列したもので
ある。 また、この発明に係るＤＩＰＩＣ及び８０ＰＩＣ’の自
動電気的特性用請求項２のレール方式ハンドヲーｔ′ｉ
％請求項１のソケットをキャリアソケットとして使用し
てＤＩＰ及び８ＯＰＩＣ両方に使用できるようにしたも
のである。 さらに、この発明に係るＤＩＰＩＣ及び５ａｐＩＣ用請
求項３のソケットアダ１夕ば、請求項１のソケットを使
用してＤＩＰ及び８ＯＰＩＣ両方に共用できるようにあ
るいは省略するようにしたものである。 〔作用」 この発明にかける半導体測定装置の測定検査用ソケット
、測定用ハンドラーおよびソケットアダプターは、上記
のような構成により外形上の特性を同一にした測定ソケ
ットにより異形パッケージでもソケットアダプタの共用
化、ハンドラの共用化ができる。 ［５ｊ！施例〕 以下、この発明の一実施例を図について説明する口 第１図の（１） 、 （３）はそれぞれＤＩＰＩＣ，５
ＯＰＩＣを示し、（２）、（４）はこの発明の一実施例
である電気的特性測定用ＩＣソケット本体を示す。それ
ぞれのソケット外形（２ａ）は絶縁材料で構成され巾（
２ｃ）、高さ（２ｄ）を同じにしである。筐た、ｔ９Ｃ
的特性を測定するための電気的信号を伝達する外部リー
ドを持ち、リード巾（２ｗ）を同じにしてかつリードを
左右一列平行に配列する様にしである。 第２図はこの発明の一実施例であるＤＩＰ及びＳｏｐ両
ＩＣｏｔ気的測定を自動的に行うためのレール方式ハン
ドラの断面図である。図において、（ｌａ）は上記第１
図の実施例で説明したソケットに被測定ＩＣを挿入した
状態のキャリアソケットで（ｌｃ）上レール及び（１ｄ
）下レールの間をこのキャリアソケットが流れて青き、
（Ｉｇ）のセパレート部でキャリアソケットが１個づつ
測定部に送られ、（ｌｅ）のストッパーでキャリアソケ
ットがストップされる。このＩＣを挿入されたキャリア
ソケットが、測定器に接続されたソケットに接続され電
気的特性が測定される。測定後キャリアソケットは（１
ｂ）排出部へ排出される。 即ち、この実施例はＤＩＰ及びｓｏｐの両方、の被測定
ＩＣをキャリアソケットとともに共通のハンドラーで測
定できるようにしたものである。 第３図の（１）はこの発明の一実施例であるソケットア
ダプタの斜視図である。図において、（ｌａ）のガヲス
エボキシ崗脂基板上に第１図のソケットを取付ケるため
のスルーホール（１ｂ）、パターン配Ｍ（ｌｃ）を有し
、パフォーマンスボード（２）と接続するためのり一部
（１ｄ）で構成されている。 従来のソケットアダプタは、ＤＩＰＩＣ及びｓ。 ＰＩＣごとにソケットが異なるためそのソケットごとに
上記スルーホール及びパターン配線した２種類のソケッ
トアダプタが必要であったが、この実施例では一種類の
ソケットアダプタで共用ができる。 尚、ＤＩＰＩＣと８０ＰＩＣがＩＣの回路が同じでパッ
ケージのみが異なる場合は、第１図のソケットを直接パ
フォーマンスボード（２）に取付けることができる。即
ちソケットアダプタは省略できる。
以上のようにこの発明によれば、ＤＩＰＩＣ及び８０Ｐ
ＩＣのソケットの外形、外部リード巾を同一にしリード
を左右一列平行に配列することにより、ソケットの製作
が標準化され安価にでき、このソケットを使用した測定
装置に於いて、装置を安価にできる。 また請求項２の発明によれば、ＤＩＰＩＣ及び５ＱＰＩ
Ｃのそれぞれの測定用ハンドラが請求項１のソケットを
キャリアソケットとして使用することにより、このソケ
ットの外形に合わせてハンドラを製作すれば１台で共用
できるためハンドラ製作が安価となりまた、ハンドラの
床面積が省スペース化できる。 會た請求項３の発明によれば、請求項１のソケットを搭
載できるため、従来のＤＩＰＩＣ及び５ＯＰＩＣソケツ
トごとに必要であったソケットアダプタが１種類ででき
るためソケットアダプタの製作費が削減できる。
ＩＣのソケットの外形、外部リード巾を同一にしリード
を左右一列平行に配列することにより、ソケットの製作
が標準化され安価にでき、このソケットを使用した測定
装置に於いて、装置を安価にできる。 また請求項２の発明によれば、ＤＩＰＩＣ及び５ＱＰＩ
Ｃのそれぞれの測定用ハンドラが請求項１のソケットを
キャリアソケットとして使用することにより、このソケ
ットの外形に合わせてハンドラを製作すれば１台で共用
できるためハンドラ製作が安価となりまた、ハンドラの
床面積が省スペース化できる。 會た請求項３の発明によれば、請求項１のソケットを搭
載できるため、従来のＤＩＰＩＣ及び５ＯＰＩＣソケツ
トごとに必要であったソケットアダプタが１種類ででき
るためソケットアダプタの製作費が削減できる。
第１図（ａ） （Ｃ） ＞よび（ｂ） （ｄ）はこの発
明の一実施例であるＢＩＰＩＣおよび！９’０ＰＩＣ用
電気的測定用ソケットの展開正面図会よび展開側面図、
第２図はこの発明のＢ Ｉ Ｐ Ｉ Ｃ＆よび５ＯＰＩ
Ｃ共用の一実施例である自動測定用レール方式ハンドラ
の動作状態を説明する断面図、第３図はこの発明の一実
施例であるソケットアダプタの展開斜視図、第４図（ａ
）（ｂ）は従来のＥＩＰＩＣ用ソケツ）＆よび５ＯＰＩ
Ｃ用ソケツトのそれぞれ斜視図、第５図（ａ） （ｂ）
は従来ＯＢ Ｉ Ｐ Ｉ Ｃ＞よび５ＯＰＩＣ用自動測
定用レ一ル方式ハンドラの動作状態を説明する断面図、
第６図（ａ） （ｂ）は従来０ＢＩＰＩＣおよび５ＯＰ
ＩＣ用ソケツトアダプタの展開斜視図である。 図において、（１）はＤＩＰＩＣ，（２）ばＤＩＰＩＣ
用ンケット、（２ａ）はソケット伐）の外形、（２ｂ）
は外部リード、（２Ｃ）はソケット外形（２ａ）の巾、
（２ｄ）はソケット外形（２ａ）の高さ、（３）ばＳ
ＯＰ Ｉ Ｃ、（０は５ＯＰＩＣ用ソケツトを示す。
明の一実施例であるＢＩＰＩＣおよび！９’０ＰＩＣ用
電気的測定用ソケットの展開正面図会よび展開側面図、
第２図はこの発明のＢ Ｉ Ｐ Ｉ Ｃ＆よび５ＯＰＩ
Ｃ共用の一実施例である自動測定用レール方式ハンドラ
の動作状態を説明する断面図、第３図はこの発明の一実
施例であるソケットアダプタの展開斜視図、第４図（ａ
）（ｂ）は従来のＥＩＰＩＣ用ソケツ）＆よび５ＯＰＩ
Ｃ用ソケツトのそれぞれ斜視図、第５図（ａ） （ｂ）
は従来ＯＢ Ｉ Ｐ Ｉ Ｃ＞よび５ＯＰＩＣ用自動測
定用レ一ル方式ハンドラの動作状態を説明する断面図、
第６図（ａ） （ｂ）は従来０ＢＩＰＩＣおよび５ＯＰ
ＩＣ用ソケツトアダプタの展開斜視図である。 図において、（１）はＤＩＰＩＣ，（２）ばＤＩＰＩＣ
用ンケット、（２ａ）はソケット伐）の外形、（２ｂ）
は外部リード、（２Ｃ）はソケット外形（２ａ）の巾、
（２ｄ）はソケット外形（２ａ）の高さ、（３）ばＳ
ＯＰ Ｉ Ｃ、（０は５ＯＰＩＣ用ソケツトを示す。
Claims (3)
- （１）デユアルインラインパツケージＩＣ及び２方向フ
ラツトパツケージＩＣのそれぞれの測定検査用ソケット
において外形寸法を同一にし、かつ電気的に接続するた
めの外部リードの巾を同一にし平行に左右一列に配列し
たリードを設けてなるソケットを備えたことを特徴とす
る半導体測定装置。 - （２）デユアルインラインパツケージＩＣ及び２方向フ
ラツトパツケージＩＣの電気的特性測定において、それ
ぞれで使用するレール方式測定用ハンドラを請求項１記
載のソケットをキャリアソケットとして使用し、被測定
ＩＣをキャリアソケットに搭載することによつて共通に
したレール方式測定用ハンドラーを備えた請求項１記載
の半導体測定装置。 - （３）デユアルインラインパッケージＩＣ及び２方向フ
ラツトパツケージＩＣの電気的特性測定において、テス
タ用パフォーマンスボードと被測定用ＩＣソケットを接
続するためのそれぞれのソケツトアダプターを請求項１
記載のソケットを被測定用ＩＣソケットとして使用する
ことにより、共用化あるいは省略したことを特徴とする
請求項１記載の半導体測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20052789A JPH0364037A (ja) | 1989-08-01 | 1989-08-01 | 半導体測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20052789A JPH0364037A (ja) | 1989-08-01 | 1989-08-01 | 半導体測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0364037A true JPH0364037A (ja) | 1991-03-19 |
Family
ID=16425795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20052789A Pending JPH0364037A (ja) | 1989-08-01 | 1989-08-01 | 半導体測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0364037A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04117448U (ja) * | 1991-03-29 | 1992-10-21 | 関西日本電気株式会社 | 電子部品試験用治具 |
| EP0673190A1 (en) * | 1994-03-16 | 1995-09-20 | Texas Instruments Incorporated | IC socket |
-
1989
- 1989-08-01 JP JP20052789A patent/JPH0364037A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04117448U (ja) * | 1991-03-29 | 1992-10-21 | 関西日本電気株式会社 | 電子部品試験用治具 |
| EP0673190A1 (en) * | 1994-03-16 | 1995-09-20 | Texas Instruments Incorporated | IC socket |
| US5628635A (en) * | 1994-03-16 | 1997-05-13 | Texas Instruments Incorporated | Test socket for an integrated circuit |
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