JPH0364715B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0364715B2 JPH0364715B2 JP11184883A JP11184883A JPH0364715B2 JP H0364715 B2 JPH0364715 B2 JP H0364715B2 JP 11184883 A JP11184883 A JP 11184883A JP 11184883 A JP11184883 A JP 11184883A JP H0364715 B2 JPH0364715 B2 JP H0364715B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diameter
- members
- buttful
- buffle
- cryopump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、真空排気用のクライオポンプに適用
されるバツフル装置に関する。
されるバツフル装置に関する。
従来、この種装置としては、例えば第１図示の
ように、上方に向つて漸次小径の上半部a1と、下
方に向つて漸次小径の下半部a2とから成るクライ
オポンプの環状のバツフル部材ａを径の異なる複
数個に用意し、これらバツフル部材を互に同心に
配置して隣接するバツフル部材同士が上下方向に
オーバーラツプ部ｂを有するように構成したもの
は知られるが、この場合、該上半部a1と該下半部
a2とは同図示のように互い非対称に作られるのが
一般であり、かかるものでは各部材ａの上下の開
口はその内側に位置するバツフル部材の外径より
も小径となり、かくて各バツフル部材を予め別個
に用意したとき、そのままでは相互の組込みが不
能であり、これを換言すれば、その製作が面倒と
なる不都合を伴う。
ように、上方に向つて漸次小径の上半部a1と、下
方に向つて漸次小径の下半部a2とから成るクライ
オポンプの環状のバツフル部材ａを径の異なる複
数個に用意し、これらバツフル部材を互に同心に
配置して隣接するバツフル部材同士が上下方向に
オーバーラツプ部ｂを有するように構成したもの
は知られるが、この場合、該上半部a1と該下半部
a2とは同図示のように互い非対称に作られるのが
一般であり、かかるものでは各部材ａの上下の開
口はその内側に位置するバツフル部材の外径より
も小径となり、かくて各バツフル部材を予め別個
に用意したとき、そのままでは相互の組込みが不
能であり、これを換言すれば、その製作が面倒と
なる不都合を伴う。
本発明は、かかる不都合のないバツフル装置を
得ることをその目的としたもので、上方に向つて
漸次小径となる上半部と、下方に向つて漸次小径
となる下半部とから成るクライオポンプの環状の
バツフル部材を、径の異る複数個に用意し、これ
らを互に同心に配置して隣接するバツフル部材同
士が上下方向に互にオーバーラツプ部を有するよ
うにしたものにおいて、各バツフル部材を上半部
と下半部とで互に非対称となして上下の開口の一
方を内側に位置するバツフル部材の外径よりも大
径に構成させ、その大径の開口を介してその内側
の各バツフル部材を挿入自在として成る。
得ることをその目的としたもので、上方に向つて
漸次小径となる上半部と、下方に向つて漸次小径
となる下半部とから成るクライオポンプの環状の
バツフル部材を、径の異る複数個に用意し、これ
らを互に同心に配置して隣接するバツフル部材同
士が上下方向に互にオーバーラツプ部を有するよ
うにしたものにおいて、各バツフル部材を上半部
と下半部とで互に非対称となして上下の開口の一
方を内側に位置するバツフル部材の外径よりも大
径に構成させ、その大径の開口を介してその内側
の各バツフル部材を挿入自在として成る。
本発明の実施例を別紙図面に付き説明すると、
第２図のバツフル装置は、上方に向つて漸次小径
となる上半部１ａと、下方に向つて漸次小径とな
る下半部１ｂとから成るクライオポンプの環状の
バツフル部材１を径の異なる複数個に用意し、こ
れらを互に同心に配置して隣接するバツフル部材
１，１同士が上下方向に互にオーバーラツプ部Ａ
を有するようにした。
第２図のバツフル装置は、上方に向つて漸次小径
となる上半部１ａと、下方に向つて漸次小径とな
る下半部１ｂとから成るクライオポンプの環状の
バツフル部材１を径の異なる複数個に用意し、こ
れらを互に同心に配置して隣接するバツフル部材
１，１同士が上下方向に互にオーバーラツプ部Ａ
を有するようにした。
この点は従来のものと特に異ならないが、本発
明によれば、各部材１につきその上半部１ａと下
半部１ｂとを互に非対称とし、上下の開口２ａ，
２ｂの一方を内側に位置する他のバツフル部材の
外径Ｄよりも大径に構成させ、その大径の開口を
介してその内側に各バツフル部材１を挿入自在と
した。
明によれば、各部材１につきその上半部１ａと下
半部１ｂとを互に非対称とし、上下の開口２ａ，
２ｂの一方を内側に位置する他のバツフル部材の
外径Ｄよりも大径に構成させ、その大径の開口を
介してその内側に各バツフル部材１を挿入自在と
した。
これを詳述するに、図示のものでは３個のバツ
フル部材１ｃ，１ｄ，１ｅを組込んでバツフル装
置としたもので、各バツフル部材１はその上半部
１ａの長さL1と下半部１ｂの長さL2とを互に相
違させて非対称とし、上下の開口２ａ，２ｂはそ
の下方の開口２ｂを内側に位置する他のバツフル
部材、例えば中間のバツフル部材１ｄの場合、そ
の下方の開口２ｂを内側に隣接するバツフル部材
１ｃの外径D1よりも大径に構成し、その大径の
開口２ｂを介してその内側にバツフル部材１ｃを
自在に挿入できるようにした。図面で３は最内側
のバツフル部材１ｃの環状内に設けられる円盤状
のバツフル板を示し、該バツフル板３はバツフル
部材１ｃの下方の開口２ｂを介して挿入され、該
バツフル部材１ｃの上半部１ａとでオーバーラツ
プ部Ｂを形成する。
フル部材１ｃ，１ｄ，１ｅを組込んでバツフル装
置としたもので、各バツフル部材１はその上半部
１ａの長さL1と下半部１ｂの長さL2とを互に相
違させて非対称とし、上下の開口２ａ，２ｂはそ
の下方の開口２ｂを内側に位置する他のバツフル
部材、例えば中間のバツフル部材１ｄの場合、そ
の下方の開口２ｂを内側に隣接するバツフル部材
１ｃの外径D1よりも大径に構成し、その大径の
開口２ｂを介してその内側にバツフル部材１ｃを
自在に挿入できるようにした。図面で３は最内側
のバツフル部材１ｃの環状内に設けられる円盤状
のバツフル板を示し、該バツフル板３はバツフル
部材１ｃの下方の開口２ｂを介して挿入され、該
バツフル部材１ｃの上半部１ａとでオーバーラツ
プ部Ｂを形成する。
このように本発明によるときは、各バツフル部
材を上半部と下半部とで互に非対称にすると共に
上下の開口の一方を内側に位置するバツフル部材
の外径よりも大径とし、この大径の開口を介して
内部に他のバツフル部材を挿入自在としたので、
各バツフル部材を予め別個に用意した状態から次
で順次に組込むことが出来てバツフル装置の製作
を簡単且つ容易にすることが出来、各バツフル部
材間にはオーバーラツプ部が確保されてバツフル
としての機能を損なうことがない等の効果を有す
る。
材を上半部と下半部とで互に非対称にすると共に
上下の開口の一方を内側に位置するバツフル部材
の外径よりも大径とし、この大径の開口を介して
内部に他のバツフル部材を挿入自在としたので、
各バツフル部材を予め別個に用意した状態から次
で順次に組込むことが出来てバツフル装置の製作
を簡単且つ容易にすることが出来、各バツフル部
材間にはオーバーラツプ部が確保されてバツフル
としての機能を損なうことがない等の効果を有す
る。
第１図は従来例の截断側面図、第２図は本発明
の実施例の截断側面図である。 １，１ｃ，１ｄ，１ｅ…バツフル部材、１ａ…
上半部、１ｂ…下半部、２ａ…上方の開口、２ｂ
…下方の開口、Ａ…オーバーラツプ部、Ｄ…外
径。
の実施例の截断側面図である。 １，１ｃ，１ｄ，１ｅ…バツフル部材、１ａ…
上半部、１ｂ…下半部、２ａ…上方の開口、２ｂ
…下方の開口、Ａ…オーバーラツプ部、Ｄ…外
径。
Claims (1)
- １ 上方に向つて漸次小径となる上半部と、下方
に向つて漸次小径となる下半部とから成るクライ
オポンプの環状のバツフル部材を、径の異る複数
個に用意し、これらを互に同心に配置して隣接す
るバツフル部材同士が上下方向に互にオーバーラ
ツプ部を有するようにしたものにおいて、各バツ
フル部材を上半部と下半部とで互に非対称となし
て上下の開口の一方を内側に位置するバツフル部
材の外径よりも大径に構成させ、その大径の開口
を介してその内側の各バツフル部材を挿入自在と
して成るクライオポンプにおけるバツフル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11184883A JPS606087A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | クライオポンプにおけるバツフル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11184883A JPS606087A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | クライオポンプにおけるバツフル装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS606087A JPS606087A (ja) | 1985-01-12 |
| JPH0364715B2 true JPH0364715B2 (ja) | 1991-10-08 |
Family
ID=14571677
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11184883A Granted JPS606087A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | クライオポンプにおけるバツフル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS606087A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6368371B1 (en) | 1998-01-22 | 2002-04-09 | Ebara Corporation | Trap device and trap system |
| JP6057782B2 (ja) * | 2013-03-05 | 2017-01-11 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
-
1983
- 1983-06-23 JP JP11184883A patent/JPS606087A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS606087A (ja) | 1985-01-12 |
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