JPH0364754A - 感光性樹脂組成物及び硬化物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はガラス、固体撮像素子等の基材をアニオン性染
料により任意な色調に容易に染色する為の感光性樹脂組
成物及びその硬化物に関するものである。

近年ガラス等の基材を着色し名種デスプレー等に使用さ
れつつあるや特にガラス等の基材を着色し色分解用フィ
ルターとして液晶のカラーテレビジランに応用したり、
カラーテレビジョン用カメラのカラー化の為に固体撮像
素子の染色に益々需要が増大しつつある。本発明はかか
る需要を満たす為になされたガラス等の基材の染色の為
の感光性樹脂組成物及びその硬化物に関するものである
。

（従来の技術） 従来この分野に於いては主としてカゼイン、ゼラチン等
蛋白質系天然高分子物質が用いられているが、これらの
用いられ方はカゼイン、ゼラチン等を温水で溶解した液
に光硬化剤として重クロム酸カリウム又はアンモニウム
を添加してこれをガラス板にスピンコード法で塗布し、
次にマスクを介して活性光線を照射してガラス板上に可
染性層の潜像を形成させ、次に現像により可染性層を顕
在化させる。次にこれを染料により染色する等天然高分
子物質が用いられている。又最近に至り、合成高分子を
用いたものも実用に供されつつある。

（発明が解決しようとする課題） このカゼイン、ゼラチン等を用いる場合、これらが天然
物である為に腐敗し易いとか、品質が一定せず原料ソー
スによるバラツキが大きく色の再現性が極めて劣るとか
、熱水中で剥離し易く、又熱による物性劣化が大きく、
加工条件が制約される等の欠点かある。更に染色時の染
浴温度が制約される為濃色が得難い等の染色上の問題が
ある。

更に、これらカゼイン、ゼラチン等を使用する場合、光
硬化剤として重クロム酸アンモニウム又は重クロム酸カ
リウム等を用いるから、これらの作業工程及び廃棄の際
に公害の問題等を解決しなければならなく、更にゼラチ
ンに取り込まれたクロムが完全に除去できず、残存した
クロムが悪影響を与える等の問題もある。

本発明者等はこれらの問題を解決すべく合成高分子の検
討を行った。その結果特願昭６１−１１４６８１　。

特願昭６３−８８９９３の方法を発明し、実用に供しつ
つある。

しかし最近に至り高解像度の品質、工程のスピードアッ
プ、省エネルギー等の要求の為に、感光性樹脂組成物の
硬化に用いる光量の一層の減少を求められていた。一般
に感光性樹脂組成物に対する光量が不足すると膜が弱く
染色時に膜荒れ現象を起し、染色膜は不透明となる。又
染色性も悪く、解倣性も劣る。更に又、画像の寸法安定
性も悪い等の問題がある。かかる要求を満たす為に感光
性樹脂Ｍ酸物中のアジド化合物の光反応速度を早める為
に従来公知の種々の方法を検討したが満足の得られるも
のはなかった。

（課題を解決する為の手段） 本発明者等はかかる問題を解決する為に更に検討を重ね
た結果、本発明を完成した。

即ち、本発明は、 １、（ａ）同一分子内にアニオン性染料と親和性を有す
る基（イ）及びアジド化合物と反応可能な不飽和基（ロ
）とも共に有するポリマー（Ａ） （ｂ）アジド感光性化合物（Ｂ）及び （ｃ）同一分子内にアクリロイル基及び／又はメタクリ
ロイル基を２ヶ以上有する化合物（Ｃ） を含む感光性樹脂組成物（Ｄ）、 ２、上記感光性樹脂組成物（Ｄ）の硬化物、に関する。

本発明の感光性樹脂組成物（Ｄ）は化合物（Ｃ）を用い
なかった場合に比して数分の１の光量で硬化反応を行い
目的が達成される。

一般に化合物（Ｃ）はこれ単独ではアジド感光性化合物
（Ｂ）の数倍も多く光量を必要とする。所が、アジド感
光性化合物（Ｂ）と化合物（Ｃ）を同時に用いる事によ
り、少量の光量で目的を連成出来る。これはポリマー（
Ａ）中の不飽和基（ロ）、アジド感光性化合物（Ｂ）中
のアジド基及び化合物（ｃ）中のアクリロイル基及び／
又はメタクリロイル基との間に架橋効率良く反応させる
好ましい相互作用が働く為に化合物（Ｃ）を加えなかっ
た場合に比して少量の光量で目的が達成されるものと推
定される。

本発明で用いられるポリマー（Ａ）は可染性モノマー（
ハ）、アジド化合物と反応可能な不飽和基を有するモノ
マー（ニ）、親水性モノマー（ホ）、疎水性モノマー（
へ）を構成成分としている事が好ましい、又、ポリマー
（Ａ）は従来公知の重合方法を用いる事により作成出来
る。

ここで可染性モノマー（ハ）としては次のものが挙げら
れる。

（Ｎ、　Ｎ−ジメチルアよ））エチルアクリレート、 （Ｎ、　Ｎ−ジメチルアミ））エチルメタクリレート、 （Ｎ、　Ｎ−ジエチルア主））エチルアクリレート、 （Ｎ、　Ｎ−ジエチルアミノ）エチルメタクリレート、 （Ｎ、　Ｎ−ジメチルアミ））プロピルアクリルアミド
、 （Ｎ、　Ｎ−ジメチルアミノ）プロピルメタクリルアミ
ド、 （Ｉｌｌ、Ｎ−シメチルアら））ヱチルビニルエーテル
、 （Ｎ、　Ｎ−ジメチルア改））プロビルアクリレト、 （Ｎ、　Ｎ−ジメチルアミ））プロごルメタクリレート
、 ４−ビニールピリジン、ジアリールア丞ン、２−ヒドロ
キシ−３−メタクリロイルオキシプロピルトリメチルア
ン量ニウムクロライド、メタクリロイルオキシエチルト
リメチルアンモニウムクロライド 又、アジド化合物と反応可能な不飽和基を有するモノマ
ー（ニ）占しては、 アリルアクリレート、アリルメタクリレート、アリルア
クリルア逅ド、アリルメタクリルアミド、 ジアリルア壽ン、 Ｐ−アリルスチレン、Ｐ−ビニルフ黒ニルシンナメート
、 １−アクリルオキシ　１−ヒドロキシ２−シンナモイル
オキシエタン、 ４−アクリロイルオキシスチルベン 等が挙げられる。

ヌ、親水性モノマー（ホ）としては例えば次のものが挙
げられる。

ヒドロキシエチルアクリレート、 ヒドロキシエチルメタクリレ−１・、 ヒドロキシエチルアクリルアミド、 ヒドロキシエチルメタクリルア逅ド、 アクリルア穐ド、メタクリルアミド、 ビニールピロリドン、 ジメチルアミノアフリルア逅ド、 メチルア主ノアクリルアミド、 ジメチルアミノメタクリルア壽ド ヌ、疎水性モノマー（へ）としては次のものが挙げられ
る。

メチルアクリＩ／−ト、メチルメタクリレート、 エチルアクリレート、エチルメタクリレート、 スチレン、Ｐ−メチルスチレン、 ブチルアクリレート、ブチルメタクリレート、 ２−エチルへキシルアクリレート、 ２−エチルへキシルメタクリレート、 これら可染性モノマー（ハ）、反窓可能な不飽和基を有
するモノマー（ニ）、親木性モノマー（ホ）、 疎水性モノマー　（へ）の配合割合は可染性モノマー（
ハ）１０〜８０重置％、不飽和基を有するモノマー（ニ
）１〜２０重量％、親水性モノマー（ホ）２〜６０重置
％、疎水性モノマー（へ）５〜・５０重髪％である事が
好ましい。

又、場合によっては予めアジド化合物と反応可能な不飽
和基を有するモノマー（ニ）を含まないポリマーを合成
して置を公知の方法例えばエステル化、アミド化、４級
化反応等により不飽和基を導入する方法もある。この場
合用いられる化合物として例えば次のようなものが挙げ
られる。

アリルクロライド、アリルブロマイド、３−クロロ−２
−メチルプロペン、 ３−クロロ−１−メチルプロペン、 ４−ブロモ−１−ブテン、 クロロアセチックアシドアリルエステル、クロロアセチ
ックアシドビニルエステル、Ｔ−クロロ−イソブチン、 ｍ−クロロメチルスチレン、 ３−クロロ−２−ヒドロキシブロビルメタク　　リ　　
し　−　　ト　、 β−クロロエチル桂皮酸エステル、 β−ブロモエチル桂皮酸エステル、 β−ブロモエチルシンナミリデン酢酸エステル、 β−ブロモエチルフリルアクリル酸エステル、 Ｐ−β−ブロモエチルオキシカルボニルベンザルアセト
フェノン、 β−クロロアセトキシスチルベン、 クロトン酸クロライド、 桂皮酸クロライド、 β−フリルアクリル酸クロライド、 Ｎ−（クロルカルボニルメチル）フェニルマレイミド、 又、このようにして作成されたポリマー（Ａ）の分子量
は２，０００〜２００．０００が好ましく、特にｓ、ｏ
ｏｏ〜１００，０００である事が好ましい。

又本発明で用いられるアジド感光性化合物（Ｂ）として
は次のものが挙げられる。

４１４′−ジアジドカルコン、 ２．６−ビス（４”−アジドベンザル）シクロヘキサノ
ン、 ２．６−ビス（４’−アジドベンザル）４−メチルシク
ロヘキサノン、 １．３−ビス（４°−アジドベンザ、ル）−２−プロパ
ノン、 Ｐ−アジドベンザルアセトフェノン、 Ｐ−アジドベンザルアセトン、 １、３−ビス（４′−アジドベンザル）−２−プロパノ
ン−２°−スルホン酸、 ４．４°−ジアジドスチルベン−２，２’−ジスルホン
酸、 ４．４°−ジアジドスチルベン−２，２′−ジスルホン
酸ソーダ、 １．３−ビス（４°−アジド−２′−スルホン酸−ベン
ザル）−２−プロパノン、 １．３−ビス（４゛−アジド−２”−スルホン酸ソーダ
ーベンザル）−２−プロパノン、２．６−ビス（４’−
アジド−２°−スルホン酸−ベンザル）シクロヘキサノ
ン、 ２、６−ビス（４’−アジド−２′−スルホン酸−ベン
ザル）メチルシクロヘキサノン、２．６−ビス（４゛−
アジド−２°−スルホン酸ソーダーベンザル）メチルシ
クロヘキサノン、 これらアジド感光性化合物（Ｂ）の使用量はポリ？−（
Ａ）１００部に対し７０．１〜２０部が好ましく、特に
０．５〜ｌＯ部が好ましい。

又本発明で用いられる化合物（Ｃ）としては例えば次の
ものが挙げられる。

スピログリコールジアクリレート〔３，９−ビス（２−
アクリロイルオキシ−１，１−ジメチル）　−２，４，
８，１０−テトラオキサスピロ（５，５）ウンデカン〕
、 シクロヘキサンジメチロールジアクリレート、 エチレングリコールジアクリレート、 ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレング
リコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジア
クリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート
、ブチレングリコールジアクリレート、 ネオペンチルグリコールジアクリレート、１、４−ブタ
ンジオールジアクリレート、１．６−ヘキサンジオール
ジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート
、ペンタエリスリトールトリアクリレート、トリメチロ
ールプロパントリアクリレート、ノボラック系エポキシ
アクリレート、 ビスフェノールＡ系エポキシアクリレート、アルキレン
グリコールジェポキシアクリレート、 グリシジルエステルアクリレート、 ポリエステル系ジアクリレート、 ビスフェノールＡ系ジアクリレート、 ウレタン系ジアクリレート、 メチレンビスアクリルアミド、 エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリ
コールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメ
タクリレート、ポリエチレングリコールジメタクリレー
ト、プロピレングリコールジメタクリレート、ブチレン
グリコールジメタクリレート、ネオペンチルグリコール
ジメタクリレート、１．４−ブタンジオールジメタクリ
レート、１．６−ヘキサンジオールジアクリレート、ト
リメチロールブロバントリメタクリレート、 これら化合物（Ｃ）の使用型はポリマ （Ａ）１００部に対して０．１−２０部が好ましく、特
に０．５〜１０部が好ましい。

以上の組成より戒る感光性樹脂組成物（ｊ、通常有ｌｌ
溶剤等により希釈されて使用される。

有機溶剤としては例えば、メチルセロソルブ、エチルセ
ロソルブ、トルエン、キシレン、Ｎ−メチルピロリドン
、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテ−１・
、 ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレング
リコールジエチルエーテル、メチルイソブチルケトン、
メチルエチルケトン等・が挙げられるが、これらは１種
又は２種以上の混合系でも良い。この感光性樹脂液中に
占める有Ｉｌ溶剤の割合は、これら樹脂液中に占める組
成によって異なるので一概に規定出来ないが、樹脂液と
基材表面に塗布可能な粘度となるようにすることが好ま
しい。

この樹脂液を波布したガラス等の基材は通常マスクを介
して紫外線等により蕗光される。

未露光部ｔｊ、水溶液により現像される。

現像は常温−・６０°Ｃが好ましい。このように現像さ
れた樹脂の膜厚は例えば０．２〜１０μの任意の厚さに
腹を作成出来る。現像された所定のパターンを有するガ
ラス、プラスチック等の基材はアニオン染料により染色
される。

アニオン性染料としてはカラーインデック久（Ｓｏｅｌ
ｅｉｙ　ｏｆ　Ｄｙｅｒ！１ａｎｄ　Ｃｏｌｏｕｒｉｓ
ｔｓ発行）にＣ，Ｋ　Ａｃ１ｄとして記載されている酸
性染料、同じ（Ｃ，Ｉ　ｌ１ｉｒｅｃｔとして記載され
ている直接染料及び同じ＜　Ｃ，Ｘ　Ｒｅａｃｔｉｖｅ
として記載されている反め性染料等が挙げられるが、特
に酸性染料が好ましい、酸性染料としてはＣ，１＾ａｉ
ｄ　Ｙ＠ｌｌｏｗ１７　、同４９、同６７、同７２、同
１２７同１１０、同１３５゜、同１６１　、　Ｃ，Ｉ　
Ａｃ１ｄ　Ｒｅｄ　３７、同５０、同１１１、同１１４
、同２５７、同２６６、同３１７　、Ｃ，Ｉ　Ａｃ１ｄ
　Ｂ１ｕｅ４１　、同８３、同９０、同１１３、同１２
９、同１８２、同１２５　、Ｃ，Ｉ　ＡｃｉｄＯｒａｎ
ｇｅ７　、同５６、Ｃ，Ｉ　＾ｃｉｄ　Ｇｒｅｅｎ２５
、同４１、Ｃ，Ｉ　Ａｃ１ｄ　Ｖｉｏｌｅｔ　９７、同
２７、同２８、同４８、等が挙げられる。

これらを用いて染色する方法は染料０．０１〜２００重
量部は水１０００重量部に溶解する。

この除液の＋ｌＨは弱アルカリ−酸性の範囲で良い、こ
の染料溶液にて室温〜１００℃の温度範囲で染色するも
のであるが、高温で染色すると短時間で染色出来るので
高温で行うことが好ましい。このようにして染色を行っ
たのち染色物はタンニン酸等の染料固着剤により固着処
理を行い、従来公知の方法Ｃより赤、緑、青等のカラー
フィルターを作成することが出来る。

（実施例） 実施例１ ジメチルアミノプロピルアクリルア逅ド３１部 ２−ヒドロキシエチルメタクリレート　１４部ビニルビ
Ｏリドン　　　　　　　　　　１５ｓメチルメタクリレ
ート　　　　　　　　１２　Ｉメチルアクリレート　　
　　　　　　　１３＃ジメチルアミノアクリルア為ド　
　　　１０−アリルメタクリレ−１−２，５＃ ジアリルア漬ン　　　　　　　　　　　　５　〃イソプ
ロピルアルコール　　　　　　　２００部２．２°−ア
ゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）　　　　　
　　　　　　　　　　２部上記処方の液体を窃素雰囲気
中４０”Ｃ１８時間本合反応を行わせたのち、この重合
液を多量のイソプロピルエーテル中に役人しポリマー分
を沈澱させたのちポリマーを取出し乾燥を行う。

この乾燥ポリマー１７部に４．４′−ジアジドカルコン
０．６８部、シクロへキサンジメチロールジアクリレー
）　０．７０部、エチルセロソルブ１００部、ジエチレ
ングリコールジメチルエーテル３４部、シランカフプリ
ング剤ＫＢＭ６０３　　（信絨化学工業■）　０．６０
部を混合溶解させた溶液を感光性樹脂液とした。次にこ
れをスピンコード法によりガラス板にコートし、８０°
Ｃｌ２Ｏ分乾燥後解像度テスト用パターンを有するマス
クを介して面照度１３＊Ｗ／ｃｄのＩＩＶ照射を５秒間
行い、エマルアン９１３（花王石鹸■製、ポリオキシエ
チレンノニルフェノールエーテル型非イオン界面活性剤
）を水１０００部に対して２部含有する４０°Ｃの現像
液にて攪拌下、５分間現像を行うと照射部のみ可染膜を
有するガラス板が得られた。

このガラス板を更に１５０℃、３０分間ボストベーク後
の膜厚は０．６μであった。このガラス板をブルー４３
ｐ　　（日本化薬■製、カラーフィルター用色素）を０
．２％となるように水に溶解させ、６０℃、１０分間染
色を行うと濃厚青色のパターンに染色差せたガラス板が
得られた。このガラス板のパターンの解像度は３．５μ
で染色膜の透明性、画像の寸法安定性共に満足のいくも
のであった。

実施例２ 実施例１の処方に於いて、ジアリル７１７５部の代りに
１０部用いた以外はすべて同様の操作を行った。この場
合最適照射時間は２０秒で得られたポストベーク後の膜
厚は０．６μ、パターンの解像度は３．１μであった。

染色膜の透明性、画像の寸法安定性共に満足のいくもの
であった。

実施例３ 実施例２に於いて４，４°−ジアジドカルコンの代りに
１．３−ビス（４°−アジドベンザル）−２−プロパノ
ンを用いて、光反応性樹脂液１００部に更にトルエン２
０部を追加して同様の操作を行った。この場合の最適照
射時間は５秒でポストベーク後の膜厚は０．５μ、得ら
れたパターンの解像度は３．５μであった。染色膜の透
明性、画像の寸法安定性、共に満足のいくものであった
。

実施例４ 実施例１の処方に於いてジアリルアミン５部の代りに１
５部として同様の操作を行った。

この場合最適照射時間は２０秒で、ポストベーク後の膜
厚は０．６μ、パターンの解像度は２．５μであった。

染色膜の透明性、Ｗｉ倣の寸法安定性、共に満足のいく
ものであった。

実施例５ 実施例１に於いてジアリルアミン５部の代りに２部とし
、シクロヘキサンジメチロールジアクリレートの代りに
カヤハードＤ−３２０（ジペンタエリスリトール　テト
ラアクリレート、アルキロール変性品、日本化薬■製）
を用いて乾燥温度を８０℃の代りに６０°Ｃとした以外
は同様の操作を行った。

この場合最適照射時間は１０秒でポストベーク後の膜厚
は０．５μ、パターンの解像度は２．０μであった。染
色膜の透明性、画像の寸法安定性、共に満足のいくもの
であった。

実施例６ 実施例５に於いてカヤハードＤ　−３２０の代りにジペ
ンタエリスリトールへキサアクリレートを用いて同様の
操作を行った。この場合最適照射時間は１０秒でポスト
ベーク後の膜厚は０．５μ、パターン解像度は２．０μ
であった。染色膜の透明性、画像の寸法安定性、共に満
足のいくものであった。

実施例７ 実施例４に於いてアリルメタクリレート２．５部の代り
に５．０部を用いて同様の操作を行った。

この場合最適照射時間は５秒でボネストベーク後の膜厚
は０，６μ、パターンの解像度は１．８μであった。染
色膜の透明性、画像の寸法安定性、共に満足のいくもの
であった。

実施例８ メチルメタアクリレート　　　　　　　５部Ｎ、Ｎ’−
ジメチルアξノプロビルアクリルアミド３０部 ２−ヒドロキシエチルメタクリレートＩＯ＃ビニールピ
ロリドン　　　　　　　　　１５〃ジメチルアミノアク
リルアξド　　　　１０〃ブチルアクリレート　　　　
　　　　　　３０１α、α°−アゾビス（イソブチロニ
トリル）２部 ジオキサン　　　　　　　　　　　　　２５０＃上記処
方の液体を窒素雰囲気中、７０”Ｃ１８時間重合反応を
行ったのち、この重合溶液をイソプロピルエーテル中に
投入しポリマーを沈澱させた。

ポリマーを取出し、乾燥後このポリマー３０部に対して
エチルセロソルブ１００部を添加溶解した溶液にアリル
クロライド３２部を添加、常温にて４８時間反応後、イ
ソプロピルエーテル中に投入しポリマーを沈澱させた。

このポリマーを乾燥後このボリマー１５部、４．４”−
ジアドカル１７００６部、シクロヘキサンジメチロール
ジアクリレート０゜６８部、ＫＲＭ、０．５部、エチル
セロソルブ８５部を含む光反応性＃Ｍ詣液を作成した。

次にガラス板にスピンコード法により前記光反応性樹脂
液を塗布し、これを８０℃、２０分乾燥後、所定のパタ
ーンを有するマスクを介して面照度８ｍＷ／ｃｆｆｌの
ＵＶ照射を５秒間行い、水を現像液として常温で５分間
現像を行うＣ照射部のみ可染性膜を有するガラス板が得
られた。このガラス板を１５０℃、３０分間乾燥後、グ
リーンＩＰ（日本化薬■製カラーフィルター用色素）を
Ｏｏｌ　％となるように水に溶解させ６０℃、１０分間
染色を行う、！：ＷＡ厚緑色のパターンに染色されたガ
ラス板が得られた。

パターンの膜厚はＯ０８μであった。染色浴のｐＨは７
．５であった。グリーンＩＰの代りにレッド１３７ｐ、
ブルー４３ｐ）いずれも日本化薬■製カラーフィルター
用色素）を使用して同様の操作を行うと各々濃淳赤色及
び青電に染色されたパターンを有するガラス板が得られ
た。このパターンの解像度は５μであった。

実施例９ 実施例７に於いてシフ０ヘキサンジメチ○−ルジアクリ
レー）０．７０部の代りにエチレングリコールジメタク
リレート０．３部、シクロヘキサンジメチロールジアク
リレート０．４部を用いて同様の操作を行った。この場
合最適照射時間は１０秒でボストベーク後の膜厚は０．
６μ、パターンの解像度は２．０μであった。染色膜の
透明性、画像の寸法安定性、共に満足のいくものであっ
た。

実施例１０ 実施例１紀於いて用いた感光性樹脂液を用いてガラス板
にスピンコード法によりツー１−Ｌ、８０”Ｃ７２０分
間乾燥後カラーフィルター作成用２００μのストライブ
パターンを有するマスクを介して実施例１のＵＶ照射装
Ｗで２０秒照射を行い、実施例１と同様に乾燥、現像、
ポストベークを行ったのち、レフト１３７Ｐ　（日本化
薬■製カラーフィルター用染ｔ？４）を０゜１％含む浴
にて７０″Ｃｌ２Ｏ分間染色を行い赤色ストライブパタ
ーンを有するガラス板が得られた。

次にこれをタンニン酸３　ｇ／　ｊ１、酢酸２ｇ／ｌを
含ム浴に７０℃、５分間処理し、更に二１−パワロン（
大日本製薬■製、酒石酸アンチモンナトリウム溶液）５
ｇ／ｊ！を含む浴に７０℃、５分間処理後、このガラス
板を１５０℃、２０分間処理することにより染料の固着
処理を行った。次にこのガラス板を先の感光性樹脂液を
用いて同様にコート、乾燥、先に染色されなかった部分
のＵＶ照射、現像、ボストベークを行ったのち、ＣＦＧ
−５１１３（日本化薬１１！製カラーフィルター用染料
）０．１％を含む浴にて６０℃、１０分間染色後、前述
の処方に従ってタンニン、ニューパワロンによる固着処
理を行うと赤、緑のストライブパターンを有するガラス
板が得られた。

次にこのガラス板に先の感光性樹脂液を用いて同様にコ
ート、乾燥、先に染色されなかった部分のＵＶ照射、現
像、ポストベークを行ったのち、ブルー４３ｐ（日本化
薬■製カラーフィルター用染＄１４）０．１％を含む浴
にて６０℃、１０分間染色を行うた赤、緑、青の３色の
ストライブパターンを有するカラーフィルター用ガラス
板が得られた。

参考例１ 実施例１に於いてシクロヘキサンジメチロールジアクリ
レート０．７０部を添加しないで同様の操作を行った。

その結果画像の解像度は６．２μであり実施例１より画
像の寸法安定性も劣っていた。

参考ｆ！４２ 実施例２に於いてシクロヘキサンジメチロールジアクリ
レート０．７０部を添加しないで同様の操作を行った。

その結果膜剥離があり画像を作成することは出来なかっ
た。

参考例３ 実施例３に於いてシクロヘキサンジメチロールジアクリ
レート０．７０部を添加しないで同様の操作を行った。

その結果膜剥離があり画像を作成するこεは出来なかっ
た。

参考例４ 実施例４に於いてシクロヘキサンジメチロールジアクリ
レート０．７０部を添加しないで同様の操作を行った。

その結果画像の解像度は６．２μであり、実施例４より
画像の寸法安定性も劣っていた。

参考例５ 実施例５に於いてカヤハードＤ−３２０，０，７０部を
添加しないで同様の操作を行った。その結果画像の解像
度はｌＯμであり、実施例５より画像の寸法安定性も劣
っていた。

参考例６ 実施例７に於いてシクロヘキサンジメチロールジアクリ
レート０．７０部を添加しないで同様の操作を行った。

この場合の最適照射時間は４０秒であり、画像の解像度
は３．１μであった。

参考例７ 実施例８に於いてシクロヘキサンジメチロールジアクリ
レート０．６８部を用いないで同様の操作を行った。そ
の結果画像の解像度は１５μであり、実施例８より画像
の寸法安定性も劣っていた。

（発明の効果） 本発明は従来の天然物であるゼラチン、又はカゼイン重
クロム酸塩系感光性組威物に比べて腐敗し組成とか、原
料によるバラツキが大きいとかの問題がない、又腐敗に
よる６価クロム公害の問題もない。

更に又本発明の感光性樹脂Ｍ酸物（Ｄ）は化合物（Ｃ）
を用いなかった場合に比して少量の光量で樹脂が硬化す
るので微細パターンの作成、省エネルギー、工程の合理
化、コストダウンに役立つ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、（ａ）同一分子内にアニオン性染料と親和性を有す
   る基（イ）及びアジド化合物と反応可能な不飽和基（ロ
   ）とを共に有するポリマー（Ａ） （ｂ）アジド感光性化合物（Ｂ）及び （ｃ）同一分子内にアクリロイル基及び／又はメタクリ
   ロイル基を２ケ以上有する化 合物（ｃ） を含む感光性樹脂組成物。 ２、第１項記載の感光性樹脂組成物の硬化物。