JPH0364816B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0364816B2 JPH0364816B2 JP24078186A JP24078186A JPH0364816B2 JP H0364816 B2 JPH0364816 B2 JP H0364816B2 JP 24078186 A JP24078186 A JP 24078186A JP 24078186 A JP24078186 A JP 24078186A JP H0364816 B2 JPH0364816 B2 JP H0364816B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- preform
- refractive index
- lens
- order diffraction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
- G01N21/412—Index profiling of optical fibres
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
光フアイバやロツドレンズの製造方法として、
最終製品と同様な半径方向の屈折率分布を有する
プリフオームを作製し、これを細く引伸ばすこと
により製品を得る方法がある。
最終製品と同様な半径方向の屈折率分布を有する
プリフオームを作製し、これを細く引伸ばすこと
により製品を得る方法がある。
これらの製造に際して、プリフオームの屈折率
分布測定は、フアイバ化前のフイードバツクデー
タとして特に重要である。
分布測定は、フアイバ化前のフイードバツクデー
タとして特に重要である。
プリフオームの屈折率測定方法は、多種類ある
が、この発明は、その中の、非破壊で、精度の良
い屈折率分布測定方法に関するものである。
が、この発明は、その中の、非破壊で、精度の良
い屈折率分布測定方法に関するものである。
代表的な測定構成を第4図に示す。
He−Neレーザ10の光線12をミラー14に
よつて任意の角度θ方向に曲げる。その光線12
を第一のレンズ16によつて光軸11と平行な光
とし、マツチングオイル18中のプリフオーム2
0に入射させる。
よつて任意の角度θ方向に曲げる。その光線12
を第一のレンズ16によつて光軸11と平行な光
とし、マツチングオイル18中のプリフオーム2
0に入射させる。
入射光線は、プリフオーム20の屈折率分布に
より、角度φ方向に曲がり、第2のレンズ22と
シリンドリカルレンズ24とを通り、観察面25
にあるラインセンサ26に入る。
より、角度φ方向に曲がり、第2のレンズ22と
シリンドリカルレンズ24とを通り、観察面25
にあるラインセンサ26に入る。
28はラインセンサ26の電源ならびに位置検
出回路である。
出回路である。
以下の説明の都合上、x,yの方向を矢印30
のようにきめる。なお、y方向は母材20の軸と
同方向で、紙面に対して直角の方向であり、x方
向は、y方向と光軸11の両方に対して直角な方
向である。
のようにきめる。なお、y方向は母材20の軸と
同方向で、紙面に対して直角の方向であり、x方
向は、y方向と光軸11の両方に対して直角な方
向である。
出射角θは、次式から求められる。
φ=tan-1(x/f) (1)
f:第2のレンズ22の焦点距離
x:出射光のスポツト位置
この出射角φから、プリフオーム20の屈折率
分布n(r)は、次式で求められる。
分布n(r)は、次式で求められる。
n(r)=n2{1−1/π∫a rφ(y)
dy/(y2−r2)1/2 (2)
n2:マツチングオイル18の屈折率
a:プリフオーム20の半径
〔発明が解決しようとする問題点〕
プリフオーム20への光線12の入射位置を、
x方向に順次ずらせてゆくと(y方向の高さ一
定)、第5a図のように、出射光のレーザスポツ
ト32は、観察面25にあるライセンサ26上
(x軸方向上)を順次移動する。
定)、第5a図のように、出射光のレーザスポツ
ト32は、観察面25にあるライセンサ26上
(x軸方向上)を順次移動する。
その各位置のxから、式(1)を用いて、φを求め、
それから(2)式により屈折率分布を得る。
それから(2)式により屈折率分布を得る。
しかし、母材には作製時に形成される屈折率の
ゆらぎが存在する。
ゆらぎが存在する。
そのため、レーザスポツトはただ一つだけ存在
するのではなく、第5b図のように、0次回析光
33の他に高次回析光34が付随して存在する
(0次回析光33だけが母材の軸と直角な平面内
に出射する)。
するのではなく、第5b図のように、0次回析光
33の他に高次回析光34が付随して存在する
(0次回析光33だけが母材の軸と直角な平面内
に出射する)。
ところが従来は、これら複数の回析光を、シリ
ンドリカルレンズ24を使つて強制的にx軸上に
圧縮して、第5a図のレーザスポツト32として
いた。
ンドリカルレンズ24を使つて強制的にx軸上に
圧縮して、第5a図のレーザスポツト32として
いた。
したがつて、正確な情報が得られなかつた。
この発明は、第1a図、第1b図のように、
(1) シリンドリカルレンズ24を使用して光線1
2の複数個の回析光スポツトを圧縮するという
ことはしないので、その代りに観察面25に
TVカメラ38のような2次元の受光素子を置
き、 (2) 出射光を2次元的に解析して、当該出射光の
中の0次回析光の出射角だけを測定すること、 によつて、上記問題の解決を図つたものである。
2の複数個の回析光スポツトを圧縮するという
ことはしないので、その代りに観察面25に
TVカメラ38のような2次元の受光素子を置
き、 (2) 出射光を2次元的に解析して、当該出射光の
中の0次回析光の出射角だけを測定すること、 によつて、上記問題の解決を図つたものである。
第1a図は本発明の実施例の測定構成をy方向
から見た説明図であり、第1b図は同じくx方向
から見た状態の説明図である。
から見た説明図であり、第1b図は同じくx方向
から見た状態の説明図である。
これらの図において、10はHe−Neレーザ、
16は第一のレンズ。
16は第一のレンズ。
18はマツチングオイル、20はプリフオー
ム、19はそれらが入つている容器で、21はプ
リフオーム20の中心面。
ム、19はそれらが入つている容器で、21はプ
リフオーム20の中心面。
容器19全体を、ステツピングモータ36によ
り、x,y両方向に移動できるようにする。
り、x,y両方向に移動できるようにする。
22は第2のレンズ。38はTVカメラある
(外にCCD、半導体位置検出器などの2次元の受
光素子も使用できる)。
(外にCCD、半導体位置検出器などの2次元の受
光素子も使用できる)。
40は信号処理回路、42は出力である。
(1) He−Neレーザ10の光線12を第一のレン
ズ16で集光する。その光線をプリフオーム2
0の入つている容器19に対して垂直に入射
し、光線12の最小スポツトサイズがプリフオ
ーム20の中心面21に合うように、第一のレ
ンズ16を調節する。
ズ16で集光する。その光線をプリフオーム2
0の入つている容器19に対して垂直に入射
し、光線12の最小スポツトサイズがプリフオ
ーム20の中心面21に合うように、第一のレ
ンズ16を調節する。
(2) そして、プリフオーム20の任意の位置に光
線12をあてるために、ステツピングモータ3
6で容器19全体をx方向に移動する。
線12をあてるために、ステツピングモータ3
6で容器19全体をx方向に移動する。
(3) プリフオーム20から出射した光を、第2の
レンズ22を通してTVカメラ38に入射させ
る。
レンズ22を通してTVカメラ38に入射させ
る。
上記のように、プリフオーム20に屈折率の
ゆらぎが存在するとき、0次回析光33だけ
が、母材の軸と直角な平面内に存在する。
ゆらぎが存在するとき、0次回析光33だけ
が、母材の軸と直角な平面内に存在する。
この場合は、上記のように、0次回析光33
だけを取り出すようにするのであるから、入射
光線12を含みプリフオーム軸と直角な面と
TVカメラ38の光電面との交線上の光だけを
取り出せばよいように考えられるが、しかし、
測定系には多少の測定誤差、たとえばプリフオ
ームを置いたときの傾きなどが付随するので、
それを考慮して、上記の交線上だけでなく、そ
の近傍に存在する領域の光をも拾い出すように
する。
だけを取り出すようにするのであるから、入射
光線12を含みプリフオーム軸と直角な面と
TVカメラ38の光電面との交線上の光だけを
取り出せばよいように考えられるが、しかし、
測定系には多少の測定誤差、たとえばプリフオ
ームを置いたときの傾きなどが付随するので、
それを考慮して、上記の交線上だけでなく、そ
の近傍に存在する領域の光をも拾い出すように
する。
(4) また、光ビームには広がりがあるので、実際
の解析は、画像の強度分布を2次元的にとらえ
て、その中心の位置を決定する。
の解析は、画像の強度分布を2次元的にとらえ
て、その中心の位置を決定する。
(5) 0次回析光33か高次回析光34かの判別
は、次のように行う。
は、次のように行う。
すなわち、上記のように、0次回析光33は
プリフオーム軸に直角な面内を動くのに対し
て、高次回析光34はプリフオームの軸方向に
も位置を変化させる(第1b図参照)。
プリフオーム軸に直角な面内を動くのに対し
て、高次回析光34はプリフオームの軸方向に
も位置を変化させる(第1b図参照)。
そこで、プリフオーム20への光線12の入
射位置を微少量(プリフオーム外径の1〜数%
程度)変えてみる。すると、0次回析光33の
中心位置だけが直線的に移動し、高次回析光3
4は円弧を画いて移動するので、区別がつく。
射位置を微少量(プリフオーム外径の1〜数%
程度)変えてみる。すると、0次回析光33の
中心位置だけが直線的に移動し、高次回析光3
4は円弧を画いて移動するので、区別がつく。
(6) このようにして、TVカメラ38のような2
次元光センサの面における0次回析光33の位
置が分かる。
次元光センサの面における0次回析光33の位
置が分かる。
容器19をx方向のみ移動させたとき、0次回
析光33の像は、第2図のようになる。
析光33の像は、第2図のようになる。
各位置の0次回析光33のxの値から上記(1)式
により、φxが求められ、それから屈折率分布が
計算される。
により、φxが求められ、それから屈折率分布が
計算される。
そ一例を第3図に示す。
出射光を2次元的に解析して、当該出射光の中
の0次回析光の出射角だけを測定するので、 従来のようにシリンドリカルレンズを使用して全
ての回析光をモニタいたのと異なり、高次回析光
による測定誤差がなくなつて、全体の測定精度が
向上する。
の0次回析光の出射角だけを測定するので、 従来のようにシリンドリカルレンズを使用して全
ての回析光をモニタいたのと異なり、高次回析光
による測定誤差がなくなつて、全体の測定精度が
向上する。
第1a図は本発明の実施例の測定構成をy方向
から見た状態の説明図、第1b図は本発明の実施
例の測定構成をx方向から見た状態の説明図、第
2図はTVカメラ38で検出するレーザスポツト
32の像の説明図、第3図はプリフオーム20の
半径方向のゆらぎによる屈折率分布図、第4図は
従来の測定方法の説明図、第5a図はラインセン
サ26により検出されるレーザスポツト32の状
態の説明図、第5b図シリンドリカルレンズ24
を用いなかつた場合のレーザスポツトの説明図。 10…He−Neレーザ、11…光軸、12…光
線、14…ミラー、16…第一のレンズ、18…
マツチングオイル、19…容器、20…プリフオ
ーム、21…中心面、22…第2のレンズ、24
…シリンドリカルレンズ、25…観察面、26…
ラインセンサ、30…矢印、31…矢印、32…
レーザスポツト、33…0次回析光スポツト、3
4…高次回析光スポツト、36…ステツピングモ
ータ、38…TVカメラ、40…信号処理回路、
42…出力。
から見た状態の説明図、第1b図は本発明の実施
例の測定構成をx方向から見た状態の説明図、第
2図はTVカメラ38で検出するレーザスポツト
32の像の説明図、第3図はプリフオーム20の
半径方向のゆらぎによる屈折率分布図、第4図は
従来の測定方法の説明図、第5a図はラインセン
サ26により検出されるレーザスポツト32の状
態の説明図、第5b図シリンドリカルレンズ24
を用いなかつた場合のレーザスポツトの説明図。 10…He−Neレーザ、11…光軸、12…光
線、14…ミラー、16…第一のレンズ、18…
マツチングオイル、19…容器、20…プリフオ
ーム、21…中心面、22…第2のレンズ、24
…シリンドリカルレンズ、25…観察面、26…
ラインセンサ、30…矢印、31…矢印、32…
レーザスポツト、33…0次回析光スポツト、3
4…高次回析光スポツト、36…ステツピングモ
ータ、38…TVカメラ、40…信号処理回路、
42…出力。
Claims (1)
- 1 プリフオームの軸の垂直方向から光線を照射
し、その出射光の出射角を測定することにより、
プリフオーム内の屈折率分布を決定する方法にお
いて、前記出射光を2次元的に解析して、当該出
射光の中の0次回析光の出射角だけを測定するこ
とを特徴とする、屈折率分布の測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24078186A JPS6395336A (ja) | 1986-10-10 | 1986-10-10 | 屈折率分布の測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24078186A JPS6395336A (ja) | 1986-10-10 | 1986-10-10 | 屈折率分布の測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6395336A JPS6395336A (ja) | 1988-04-26 |
| JPH0364816B2 true JPH0364816B2 (ja) | 1991-10-08 |
Family
ID=17064608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24078186A Granted JPS6395336A (ja) | 1986-10-10 | 1986-10-10 | 屈折率分布の測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6395336A (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5365329A (en) * | 1988-11-15 | 1994-11-15 | York Technology Limited | Apparatus and method for measuring refractive index |
| GB8826643D0 (en) * | 1988-11-15 | 1988-12-21 | York Technology Ltd | Measurement of refractive index |
| JPH07109381B2 (ja) * | 1989-04-17 | 1995-11-22 | 理化学研究所 | 屈折率分布測定装置 |
| JP2661001B2 (ja) * | 1989-04-17 | 1997-10-08 | 理化学研究所 | 屈折率分布の測定方法及び測定装置 |
| JPH0812130B2 (ja) * | 1989-05-24 | 1996-02-07 | 信越化学工業株式会社 | 屈折率分布の測定方法及び測定装置 |
| JPH07117476B2 (ja) * | 1989-05-24 | 1995-12-18 | 信越化学工業株式会社 | 屈折率分布の測定方法及び測定装置 |
| JP3735063B2 (ja) * | 2001-12-13 | 2006-01-11 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ母材の屈折率測定方法 |
| KR20030097242A (ko) * | 2002-06-20 | 2003-12-31 | 학교법인 한양학원 | 광굴절재료의 이득계수 측정장치 |
| CN102494639B (zh) * | 2011-10-18 | 2013-11-13 | 北京理工大学 | 基于全自动套孔法激光发散角的测量装置及测量方法 |
-
1986
- 1986-10-10 JP JP24078186A patent/JPS6395336A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6395336A (ja) | 1988-04-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3922093A (en) | Device for measuring the roughness of a surface | |
| US4859861A (en) | Measuring curvature of transparent or translucent material | |
| JP2954708B2 (ja) | 多焦点結像システム | |
| JPH0364816B2 (ja) | ||
| JPH0648229B2 (ja) | 物体の屈折率測定装置 | |
| CN110836642A (zh) | 一种基于三角测量法的彩色三角位移传感器及其测量方法 | |
| JPH05332733A (ja) | 検出光学系並びに立体形状検出方法 | |
| CN1230692C (zh) | 无接触地测量光源距离的光学设备 | |
| JP3726028B2 (ja) | 3次元形状計測装置 | |
| US4279513A (en) | Optical inspection system for large parts and for multiple measurements | |
| JP2004000004U6 (ja) | 表面計測のためのプローブ | |
| JP2004000004U (ja) | 表面計測のためのプローブ | |
| US3619067A (en) | Method and apparatus for determining optical focal distance | |
| JP3162364B2 (ja) | 光センサ装置 | |
| CN1204047A (zh) | 光束方向微小漂移检测系统 | |
| JPH07209169A (ja) | 浮遊粒子群の濃度と粒度の空間分布の測定方法と装置 | |
| JP2000509825A (ja) | 光走査デバイス | |
| JP2519775B2 (ja) | 屈折角測定装置 | |
| JPH06102028A (ja) | 光学式非接触距離測定機及び測定方法 | |
| JP2661001B2 (ja) | 屈折率分布の測定方法及び測定装置 | |
| JP2947418B2 (ja) | 光フアイバ母材の屈折率分布測定方法 | |
| JPH0587681A (ja) | 被覆状態測定方法及び装置 | |
| JPS63138204A (ja) | 形状測定方法 | |
| RU2055311C1 (ru) | Способ измерения угла скручивания удаленного объекта и устройство для его осуществления | |
| JP2577008B2 (ja) | 屈折角測定装置 |