JPH0366406U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0366406U JPH0366406U JP12680489U JP12680489U JPH0366406U JP H0366406 U JPH0366406 U JP H0366406U JP 12680489 U JP12680489 U JP 12680489U JP 12680489 U JP12680489 U JP 12680489U JP H0366406 U JPH0366406 U JP H0366406U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- mass flow
- flow controller
- controller
- actual
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Flow Control (AREA)
Description
第１図はこの考案の流量制御機能付マスフロー
コントローラの断面図である。第２図は従来のマ
スフローコントローラの断面図である。 １……マスフローコントローラ本体、２……ガ
ス入口、３……ガス出口、４……センサ、５……
バイパス、６……バルブ、１０……実流量演算機
能回路。
コントローラの断面図である。第２図は従来のマ
スフローコントローラの断面図である。 １……マスフローコントローラ本体、２……ガ
ス入口、３……ガス出口、４……センサ、５……
バイパス、６……バルブ、１０……実流量演算機
能回路。
Claims (1)
- マスフローコントローラ本体に、センサとバイ
パスと流量制御用バルブとを備えたマスフローコ
ントローラにおいて、前記マスフローコントロー
ラ本体に使用ガスの実流量を演算する機能を配設
したことを特徴とする実流量演算機能付マスフロ
ーコントローラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12680489U JPH0366406U (ja) | 1989-10-30 | 1989-10-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12680489U JPH0366406U (ja) | 1989-10-30 | 1989-10-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0366406U true JPH0366406U (ja) | 1991-06-27 |
Family
ID=31674595
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12680489U Pending JPH0366406U (ja) | 1989-10-30 | 1989-10-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0366406U (ja) |
-
1989
- 1989-10-30 JP JP12680489U patent/JPH0366406U/ja active Pending