JPH0366920U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案に係る真空室内搬送装置の真
空室内への装着状態を示す斜視図、第２図は第１
図で示した真空室内搬送装置の分解斜視図、第３
図はこの考案で使用する吸引・浮上手段、牽引手
段と搬送手段との関係を示す部分拡大断面図、第
４図は第３図のＢ−Ｂ線に沿う断面図、第５図は
従来の真空室内搬送装置の一部透視斜視図である
。 １……真空室内搬送装置、４，４′，４′……
真空室、５……搬送用パイプ、６……リニアウエ
イ、７，７……ガイドレール、８……搬送手段、
９……吸引・浮上手段、９ａ……電磁石、９ｂ…
…センサー、１０……牽引手段、Ｗ……ワーク。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 非磁性体で薄肉の筒状体より形成されるとと
   もに、その筒状体の外周部が真空室内に露呈し、
   かつ、その筒状体の内部が大気と連通するように
   配設された搬送用パイプと、 この搬送用パイプの内部に、そのパイプの長手
   方向に向け延出するように装着された支持部材と
   、 上記搬送用パイプの外周部に、そのパイプの長
   手方向に沿つて取付けられたガイドレールと、 そのガイドレールに、上記搬送用パイプの軸心
   方向に向け移動可能なように磁性材料からなる基
   部側が緩嵌合され、かつ、その基部側から延出す
   る自由端側にワーク搬送用の荷台が形成された搬
   送手段と、 上記支持部材に、その支持部材の長手方向に沿
   つて移動可能に装着され、上記搬送手段を搬送用
   パイプの軸心に向け吸引する電磁石とともに、上
   記ガイドレールに搬送手段を浮上状態に位置決め
   するセンサーを有する吸引・浮上手段と、 上記吸引・浮上手段にて上記ガイドレールから
   浮上する搬送手段を上記搬送用パイプの長手方向
   に向け進退動せしめる牽引手段と、 から構成されていることを特徴とする真空室内搬
   送装置。 ２ 上記搬送用パイプの長手方向に沿つて、補強
   部材を介装したことを特徴とする請求項１記載の
   真空室内搬送装置。