JPH0367058U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0367058U JPH0367058U JP12805389U JP12805389U JPH0367058U JP H0367058 U JPH0367058 U JP H0367058U JP 12805389 U JP12805389 U JP 12805389U JP 12805389 U JP12805389 U JP 12805389U JP H0367058 U JPH0367058 U JP H0367058U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- metal film
- deposition apparatus
- film deposition
- elastic body
- Prior art date
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- Granted
Links
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Description
第１図はこの考案に係る金属膜蒸着装置の端子
取付要部の斜視図、第２図は第１図の固定側端子
部分の他の実施例の斜視図、第３図は本考案の前
提となる金属膜蒸着装置の要部断面図、及び第４
図は従来の端子取付構造の斜視図である。 １２……セラミツクヒータ、１４，２１……ヘ
ツド（端子）、１６，１７……支持台、１８……
導電性弾性体。
取付要部の斜視図、第２図は第１図の固定側端子
部分の他の実施例の斜視図、第３図は本考案の前
提となる金属膜蒸着装置の要部断面図、及び第４
図は従来の端子取付構造の斜視図である。 １２……セラミツクヒータ、１４，２１……ヘ
ツド（端子）、１６，１７……支持台、１８……
導電性弾性体。
Claims (1)
- 両端に給電用取付ヘツドを有するセラミツクヒ
ータからなり、このヒータの少なくとも一端に可
動自在の保持手段と共に導電性弾性体を用いて電
気的接続したことを特徴とする金属膜蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989128053U JPH0543089Y2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989128053U JPH0543089Y2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0367058U true JPH0367058U (ja) | 1991-06-28 |
| JPH0543089Y2 JPH0543089Y2 (ja) | 1993-10-29 |
Family
ID=31675785
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989128053U Expired - Lifetime JPH0543089Y2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0543089Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004512864A (ja) * | 2000-07-18 | 2004-04-30 | モトローラ・インコーポレイテッド | 無線心電計システム及びその方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS599008U (ja) * | 1982-07-08 | 1984-01-20 | 兼村 利博 | きもの |
-
1989
- 1989-10-31 JP JP1989128053U patent/JPH0543089Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS599008U (ja) * | 1982-07-08 | 1984-01-20 | 兼村 利博 | きもの |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004512864A (ja) * | 2000-07-18 | 2004-04-30 | モトローラ・インコーポレイテッド | 無線心電計システム及びその方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0543089Y2 (ja) | 1993-10-29 |