JPH0367704U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例である流体圧シリン
ダ装置を一部切欠して示す断面図、第２図はその
流体圧シリンダ装置におけるピストンロツドの一
部を示す拡大断面図である。 １……本体、２，３……シリンダ室、２ａ，３
ａ……左側流体室、２ｂ，３ｂ……右側流体室、
４，５……給排ポート、６，７……ピストン、８
ａ，８ｂ……連通路、９，１０……ピストンロツ
ド、１１……軸受、１２……連結部材、１３……
磁性ロツド、１３ａ……凹溝、１４……非磁性体
層、１４ａ……表面硬化層、１５……磁気検出セ
ンサ、１５ａ，１５ｂ……磁気抵抗素子、１６…
…検出回路ユニツト。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 軸方向に沿つた等ピツチで螺旋状に延在する
   角ねじ状の凹溝が外周面に形成されている磁性ロ
   ツドおよびこの磁性ロツドの凹溝を埋めて少なく
   とも前記磁性ロツドの凹溝の延在領域における外
   周面全体を被覆している非磁性体層からなるピス
   トンロツドと、このピストンロツドの外周面側の
   磁気特性によつて該ピストンロツドの位置を検出
   する検出センサと、前記ピストンロツドの空転を
   防止する空転防止手段とを備えていることを特徴
   とする流体圧シリンダ装置。 ２ 前記ピストンロツドの外周面が表面硬化層に
   よつて被覆されていることを特徴とする請求項１
   記載の流体圧シリンダ装置。 ３ 前記検出センサの磁気抵抗素子が前記角ねじ
   状の凹溝におけるねじ進み角に合致する方向に配
   置されていることを特徴とする請求項１、または
   ２記載の流体圧シリンダ装置。