JPH0369872B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0369872B2 JPH0369872B2 JP4736984A JP4736984A JPH0369872B2 JP H0369872 B2 JPH0369872 B2 JP H0369872B2 JP 4736984 A JP4736984 A JP 4736984A JP 4736984 A JP4736984 A JP 4736984A JP H0369872 B2 JPH0369872 B2 JP H0369872B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic
- sintered body
- silicon nitride
- metallizing
- ceramic sintered
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 11
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 9
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 7
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 6
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 5
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N silicic acid Chemical compound O[Si](O)(O)O RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims description 4
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 3
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 claims description 3
- -1 magnesium aluminate Chemical class 0.000 claims description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 11
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- ZXSQEZNORDWBGZ-UHFFFAOYSA-N 1,3-dihydropyrrolo[2,3-b]pyridin-2-one Chemical compound C1=CN=C2NC(=O)CC2=C1 ZXSQEZNORDWBGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005995 Aluminium silicate Substances 0.000 description 1
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N Calcium oxide Chemical compound [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000012211 aluminium silicate Nutrition 0.000 description 1
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 1
- 235000012255 calcium oxide Nutrition 0.000 description 1
- OMZSGWSJDCOLKM-UHFFFAOYSA-N copper(II) sulfide Chemical compound [S-2].[Cu+2] OMZSGWSJDCOLKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UAMZXLIURMNTHD-UHFFFAOYSA-N dialuminum;magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Mg+2].[Al+3].[Al+3] UAMZXLIURMNTHD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005187 foaming Methods 0.000 description 1
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- NLYAJNPCOHFWQQ-UHFFFAOYSA-N kaolin Chemical compound O.O.O=[Al]O[Si](=O)O[Si](=O)O[Al]=O NLYAJNPCOHFWQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910001958 silver carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- LKZMBDSASOBTPN-UHFFFAOYSA-L silver carbonate Substances [Ag].[O-]C([O-])=O LKZMBDSASOBTPN-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Description
〔産業上の利用分野〕
本発明はセラミツクの金属化法、特に窒化珪素
を主成分とするセラミツク焼結体の金属材との接
合面の金属化法に関するものである。 〔従来技術〕 セラミツク材と金属材とは一般に接合しにくい
ためにセラミツク材の表面に金属化面を形成し、
この金属化面を介してセラミツク材と金属材との
接合が行なわれている。 セラミツク材の金属化法としては従来、テレフ
ンケン法や活性金属法が知られている。しかしな
がらこれ等の方法はセラミツク材がアルミナであ
る場合には有効であるが、窒化珪素を主成分とす
るセラミツク材である場合には適用不可能であ
る。 一方、セラミツク材が窒化珪素を主成分とする
ものの金属化法としては、例えば硫化銅およびカ
オリンの混合物でセラミツク材を被覆し、加熱後
炭酸銀を塗布し、加熱する方法、モリブデンもし
くはタングステンに窒化珪素を加え、かつアルミ
ナ、シリカ、マグネシヤ、カルシヤ、イツトリヤ
等の１種または２種以上を添加した混合物でセラ
ミツク材を被覆し、焼成する方法、モリブデン、
マンガンおよびアルミナの混合物でセラミツク材
を被覆し焼成する方法等が提案されている。しか
しながらこれ等の方法では、混合物を被覆後焼成
を行なうと発泡が生じやすくセラミツク材との充
分な接合強度が得られない。 〔発明の目的〕 そこで本発明はセラミツク焼結体、特に窒化珪
素質セラミツク焼結体の表面に強固に一体結合し
た金属化層を形成すること、そして該金属化層を
介して窒化珪素質セラミツク焼結体と金属材とを
強固に接合することを目的とする。 〔発明の構成〕 しかして本発明は窒化珪素質セラミツク焼結体
の金属材と接合すべき表面を、モリブデン、
（Mo）、アルミニウム酸マグネシウム
（MgAl2O4）および珪酸（SiO2）の混合物、特に
モリブデンに対しアルミニウム酸マグネシウムお
よび珪酸をそれぞれ0.1〜5.0重量％（以下、単に
％とする）配合した上記混合物で被覆し、窒素を
含む雰囲気中で焼成することにより上記の目的を
達成するものである。 〔実施例〕 以下、本発明の詳細を実施例により説明する。 窒化珪素（Si3N4）粉末90％、マグネシヤ
（MgO）、アルミナ（Al2O3）、イツトリヤ
（Y2O3）等の焼結助剤10％よりなるセラミツク原
料を1600〜1700℃でホツトプレスしてセラミツク
焼結体を作製し、この表面に、種々の金属化用混
合物に有機溶剤を加えてペースト状にしたものを
スクリーン印刷し、水素および窒素に水蒸気を加
えた雰囲気中で焼成した。結果を下記の表に示
す。
を主成分とするセラミツク焼結体の金属材との接
合面の金属化法に関するものである。 〔従来技術〕 セラミツク材と金属材とは一般に接合しにくい
ためにセラミツク材の表面に金属化面を形成し、
この金属化面を介してセラミツク材と金属材との
接合が行なわれている。 セラミツク材の金属化法としては従来、テレフ
ンケン法や活性金属法が知られている。しかしな
がらこれ等の方法はセラミツク材がアルミナであ
る場合には有効であるが、窒化珪素を主成分とす
るセラミツク材である場合には適用不可能であ
る。 一方、セラミツク材が窒化珪素を主成分とする
ものの金属化法としては、例えば硫化銅およびカ
オリンの混合物でセラミツク材を被覆し、加熱後
炭酸銀を塗布し、加熱する方法、モリブデンもし
くはタングステンに窒化珪素を加え、かつアルミ
ナ、シリカ、マグネシヤ、カルシヤ、イツトリヤ
等の１種または２種以上を添加した混合物でセラ
ミツク材を被覆し、焼成する方法、モリブデン、
マンガンおよびアルミナの混合物でセラミツク材
を被覆し焼成する方法等が提案されている。しか
しながらこれ等の方法では、混合物を被覆後焼成
を行なうと発泡が生じやすくセラミツク材との充
分な接合強度が得られない。 〔発明の目的〕 そこで本発明はセラミツク焼結体、特に窒化珪
素質セラミツク焼結体の表面に強固に一体結合し
た金属化層を形成すること、そして該金属化層を
介して窒化珪素質セラミツク焼結体と金属材とを
強固に接合することを目的とする。 〔発明の構成〕 しかして本発明は窒化珪素質セラミツク焼結体
の金属材と接合すべき表面を、モリブデン、
（Mo）、アルミニウム酸マグネシウム
（MgAl2O4）および珪酸（SiO2）の混合物、特に
モリブデンに対しアルミニウム酸マグネシウムお
よび珪酸をそれぞれ0.1〜5.0重量％（以下、単に
％とする）配合した上記混合物で被覆し、窒素を
含む雰囲気中で焼成することにより上記の目的を
達成するものである。 〔実施例〕 以下、本発明の詳細を実施例により説明する。 窒化珪素（Si3N4）粉末90％、マグネシヤ
（MgO）、アルミナ（Al2O3）、イツトリヤ
（Y2O3）等の焼結助剤10％よりなるセラミツク原
料を1600〜1700℃でホツトプレスしてセラミツク
焼結体を作製し、この表面に、種々の金属化用混
合物に有機溶剤を加えてペースト状にしたものを
スクリーン印刷し、水素および窒素に水蒸気を加
えた雰囲気中で焼成した。結果を下記の表に示
す。
【表】
以上説明したように本発明はセラミツク焼結
体、特に窒化珪素質セラミツク焼結体の表面を金
属化する方法に関するもので、本発明によるとき
はセラミツク焼結体の表面に剥離することのない
金属化面が形成され、該金属化面を介してセラミ
ツク焼結体と金属材との強固な結合を可能とする
ものである。
体、特に窒化珪素質セラミツク焼結体の表面を金
属化する方法に関するもので、本発明によるとき
はセラミツク焼結体の表面に剥離することのない
金属化面が形成され、該金属化面を介してセラミ
ツク焼結体と金属材との強固な結合を可能とする
ものである。
図は本発明を適用したセラミツクグロープラグ
の断面図である。 Ａ……グロープラグ、１……セラミツク発熱
体、２……表面を金属化した窒化珪素質焼結体の
支持部材、４……支持部材に接合した金属パイ
プ。
の断面図である。 Ａ……グロープラグ、１……セラミツク発熱
体、２……表面を金属化した窒化珪素質焼結体の
支持部材、４……支持部材に接合した金属パイ
プ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 窒化珪素を主成分とするセラミツク焼結体の
金属材との接合面にモリブデン、アルミニウム酸
マグネシウムおよび珪酸の混合物であつてモリブ
デンに対するアルミニウム酸マグネシウムおよび
珪酸の配合割合をそれぞれ0.1重量％〜5.0重量％
とした混合物で被覆し、水素を含む雰囲気中で焼
成することを特徴とするセラミツクの金属化法。 ２ 上記セラミツク焼結体が窒化珪素を60モル％
以上含むセラミツク焼結体である特許請求の範囲
第１項記載のセラミツクの金属化法。 ３ 上記雰囲気が水素および窒素を含み、窒素の
水素に対する体積比が５以上である特許請求の範
囲第１項記載のセラミツクの金属化法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4736984A JPS60191079A (ja) | 1984-03-12 | 1984-03-12 | セラミツクの金属化法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4736984A JPS60191079A (ja) | 1984-03-12 | 1984-03-12 | セラミツクの金属化法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60191079A JPS60191079A (ja) | 1985-09-28 |
| JPH0369872B2 true JPH0369872B2 (ja) | 1991-11-05 |
Family
ID=12773189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4736984A Granted JPS60191079A (ja) | 1984-03-12 | 1984-03-12 | セラミツクの金属化法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60191079A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3329232B2 (ja) | 1996-07-26 | 2002-09-30 | 株式会社デンソー | 複合表示装置 |
| JP3189736B2 (ja) | 1996-07-26 | 2001-07-16 | 株式会社デンソー | 複合表示装置 |
| US9087801B2 (en) | 2010-04-29 | 2015-07-21 | Apple Inc. | Power efficient organic light emitting diode display |
-
1984
- 1984-03-12 JP JP4736984A patent/JPS60191079A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60191079A (ja) | 1985-09-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4613549A (en) | Bonded metal-ceramics composite | |
| US3347704A (en) | Method of metal-coating ceramic bodies | |
| JPH0369872B2 (ja) | ||
| JPS6077186A (ja) | 金属化表面を有するセラミツクス焼結体 | |
| JPS6227037B2 (ja) | ||
| JPS6077177A (ja) | セラミツクス接合体 | |
| JPS61132580A (ja) | 窒化物セラミツク体へのメタライズ方法 | |
| JPS623115B2 (ja) | ||
| JPH0513115B2 (ja) | ||
| JP2589511B2 (ja) | 耐水蒸気雰囲気用ＳｉＣ構造材 | |
| JPH0474307B2 (ja) | ||
| JPH01197378A (ja) | セラミックと金属間の接合方法 | |
| JP2004338973A (ja) | メタライズ層形成セラミックス焼結体、セラミックスと金属との接合体、メタライズ用ペースト、及びメタライズ層形成セラミックス焼結体の製造方法 | |
| JPS59203783A (ja) | 非酸化物系セラミツクス焼結体の金属化方法 | |
| SU1004320A1 (ru) | Паста дл металлизации алюмооксидной керамики | |
| JPS5948778B2 (ja) | セラミックス−金属複合体の製造方法 | |
| JP2771810B2 (ja) | セラミックと金属体との接合方法および接合体 | |
| JPH01188472A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
| JPS6364982A (ja) | アルミナ磁器用メタライズ組成物 | |
| JPH06247776A (ja) | 多孔セラミックス接合体及びその製造方法 | |
| JPS6345194A (ja) | 金属化面を有する窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 | |
| JPS6011289A (ja) | 金属化セラミツクス焼結体およびその製造方法 | |
| JPH0240028B2 (ja) | Seramitsukusutokinzoku*doshuseramitsukusudoshimatahaishuseramitsukusukannosetsugohoho | |
| JPH03199181A (ja) | アルミナ磁器 | |
| JPH01122984A (ja) | メタライズ処理した窒化アルミニウム焼結体 |