JPH037039B2 - - Google Patents
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- JPH037039B2 JPH037039B2 JP60088624A JP8862485A JPH037039B2 JP H037039 B2 JPH037039 B2 JP H037039B2 JP 60088624 A JP60088624 A JP 60088624A JP 8862485 A JP8862485 A JP 8862485A JP H037039 B2 JPH037039 B2 JP H037039B2
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- pump stage
- compression pump
- stage
- impeller
- centrifugal
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- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 66
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 8
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims description 2
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 210000003746 feather Anatomy 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
- F04D17/08—Centrifugal pumps
- F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
- F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D23/00—Other rotary non-positive-displacement pumps
- F04D23/008—Regenerative pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は排気口を大気圧とする真空ポンプに係
り、特に半導体製造装置等において清浄な真空を
作り出すのに好適な真空ポンプに関する。
り、特に半導体製造装置等において清浄な真空を
作り出すのに好適な真空ポンプに関する。
従来の真空ポンプとしては、特開昭51−38113
号公報に記載されたものが知られている。この真
空ポンプの構造を第８図により説明する。図にお
いて、この真空ポンプはＸ−Ｘ線を中心として左
右対称となつているので、右半部側について説明
する。１は吸気口１Ａおよび排気口１Ｂを有する
ハウジング、２はハウジング１内に軸受７を介し
て回転自在に支持された回転軸を示し、前記ハウ
ジング１内に、軸流ターボ分子ポンプ段３、付加
分子ポンプ段４、遠心圧縮ポンプ段５および渦流
圧縮ポンプ段６を、前記吸気口１Ａ側から排気口
１Ｂ側に亘つて順次配設している。
号公報に記載されたものが知られている。この真
空ポンプの構造を第８図により説明する。図にお
いて、この真空ポンプはＸ−Ｘ線を中心として左
右対称となつているので、右半部側について説明
する。１は吸気口１Ａおよび排気口１Ｂを有する
ハウジング、２はハウジング１内に軸受７を介し
て回転自在に支持された回転軸を示し、前記ハウ
ジング１内に、軸流ターボ分子ポンプ段３、付加
分子ポンプ段４、遠心圧縮ポンプ段５および渦流
圧縮ポンプ段６を、前記吸気口１Ａ側から排気口
１Ｂ側に亘つて順次配設している。
前記軸流ターボ分子ポンプ段３は、ハウジング
１の内壁に取付けた固定板３Ｂと、回転軸２に取
付けた回転円板３Ａとを交互に組合せて構成され
ている。前記付加分子ポンプ段４は、ハウジング
１内壁に取付けた固定板４Ｂと、回転軸２に取付
けた円板状羽根車４Ａとを交互に組合せて構成さ
れている。前記遠心圧縮ポンプ段５は、ハウジン
グ１内壁に取付けたデイフユーザ固定板５Ｂと、
回転軸２取付けた羽根車５Ａとを交互に組合せて
構成されている。前記渦流圧縮ポンプ段６は、ハ
ウジング１内壁に取付けた固定板６Ｂと、回転軸
２に取付けた回転円板６Ａとを交互に組合せて構
成されている。
１の内壁に取付けた固定板３Ｂと、回転軸２に取
付けた回転円板３Ａとを交互に組合せて構成され
ている。前記付加分子ポンプ段４は、ハウジング
１内壁に取付けた固定板４Ｂと、回転軸２に取付
けた円板状羽根車４Ａとを交互に組合せて構成さ
れている。前記遠心圧縮ポンプ段５は、ハウジン
グ１内壁に取付けたデイフユーザ固定板５Ｂと、
回転軸２取付けた羽根車５Ａとを交互に組合せて
構成されている。前記渦流圧縮ポンプ段６は、ハ
ウジング１内壁に取付けた固定板６Ｂと、回転軸
２に取付けた回転円板６Ａとを交互に組合せて構
成されている。
一方、回転軸２は、駆動タービン８を介して駆
動され、この駆動タービン８はハウジング１の側
壁に設けた空気入口９Ａと空気出口９Ｂに連結さ
れている。
動され、この駆動タービン８はハウジング１の側
壁に設けた空気入口９Ａと空気出口９Ｂに連結さ
れている。
前述の如き構成の真空ポンプにおいて、定常状
態に達したときには、各ポンプ段が十分な圧縮作
用をし、吸込口の圧力、すなわち到達真空圧力は
十分低い圧力に達することができる。しかし、ポ
ンプ運転の初期のいわゆる過渡状態においては、
大きな排気速度を得ることができない。それは、
このような過渡状態においてはポンプ内の圧力が
高いため、本来気体の流れが分子流、中間流で有
効な軸流ターボ分子ポンプ段３、付加分子ポンプ
段４はほとんど圧縮作用をせず、特に付加分子ポ
ンプ段は流路断面積が狭いため、逆に流体抵抗が
大きく、大流量に対しては圧力損失を発生するこ
とになるからである。
態に達したときには、各ポンプ段が十分な圧縮作
用をし、吸込口の圧力、すなわち到達真空圧力は
十分低い圧力に達することができる。しかし、ポ
ンプ運転の初期のいわゆる過渡状態においては、
大きな排気速度を得ることができない。それは、
このような過渡状態においてはポンプ内の圧力が
高いため、本来気体の流れが分子流、中間流で有
効な軸流ターボ分子ポンプ段３、付加分子ポンプ
段４はほとんど圧縮作用をせず、特に付加分子ポ
ンプ段は流路断面積が狭いため、逆に流体抵抗が
大きく、大流量に対しては圧力損失を発生するこ
とになるからである。
本発明の目的は、大気圧から高真空の領域まで
一台のポンプにより排気可能であり、かつポンプ
運転初期の過渡状態において大きな排気速度を得
ることができる真空ポンプを得ることにある。
一台のポンプにより排気可能であり、かつポンプ
運転初期の過渡状態において大きな排気速度を得
ることができる真空ポンプを得ることにある。
上記目的を達成するため本発明は、吸気口、排
気口及びポンプ作用をするポンプ段を有し、定常
状態においては分子流圧力領域の希薄気体を前記
吸気口から吸込み圧縮して前記排気口から排出す
るようにした真空ポンプにおいて、前記ポンプ段
は遠心圧縮ポンプ段とこの遠心圧縮ポンプ段の下
流側に設けられた円周流圧縮ポンプ段とを有し、
前記遠心圧縮ポンプ段は、回転軸に取付けられ複
数個の後退羽根を有するオープン形羽根車と、こ
の羽根車の前面に対向するように配置された固定
円板とを備えていることを特徴とするものであ
る。
気口及びポンプ作用をするポンプ段を有し、定常
状態においては分子流圧力領域の希薄気体を前記
吸気口から吸込み圧縮して前記排気口から排出す
るようにした真空ポンプにおいて、前記ポンプ段
は遠心圧縮ポンプ段とこの遠心圧縮ポンプ段の下
流側に設けられた円周流圧縮ポンプ段とを有し、
前記遠心圧縮ポンプ段は、回転軸に取付けられ複
数個の後退羽根を有するオープン形羽根車と、こ
の羽根車の前面に対向するように配置された固定
円板とを備えていることを特徴とするものであ
る。
上記特徴を有する真空ポンプとすることによ
り、ポンプ運転初期の過渡状態においては、前記
遠心圧縮ポンプ段を遠心圧縮機として働かせるこ
とができる。すなわち、ポンプ運転初期の粘性流
に対しては複数個の後退羽根を有するオープン形
羽根車により遠心圧縮することができ、大きな排
気速度を得ることができる。
り、ポンプ運転初期の過渡状態においては、前記
遠心圧縮ポンプ段を遠心圧縮機として働かせるこ
とができる。すなわち、ポンプ運転初期の粘性流
に対しては複数個の後退羽根を有するオープン形
羽根車により遠心圧縮することができ、大きな排
気速度を得ることができる。
次に、真空ポンプの吸込側の真空度が次第に高
くなり定常状態になつていくと、真空ポンプの吸
込側は分子流となるが、本発明の真空ポンプで
は、上記遠心圧縮ポンプ段が分子流に対してはジ
ーグバーン分子ポンプとして働くので、分子流に
対しても十分な圧縮作用が得られる。すなわち、
高真空となる定常状態においては、オープン形羽
根車の後退羽根とこのオープン形羽根車の前面に
対向するように配置された固定円板との作用によ
つて分子流を一定の方向に圧縮することができ
る。この結果、前記遠心圧縮ポンプ段の下流側に
設けられた円周流圧縮ポンプ段には、定常状態に
おいては遠心圧縮ポンプ段からの体積流量が非常
に少なくなり、締切状態に近い状態で運転される
が、円周流圧縮ポンプ段は締切状態で高い圧縮比
が得られるから、前記遠心圧縮ポンプ段と円周流
圧縮ポンプ段を組合せた本発明の真空ポンプによ
つて非常に低い到達圧力を得ることができる。
くなり定常状態になつていくと、真空ポンプの吸
込側は分子流となるが、本発明の真空ポンプで
は、上記遠心圧縮ポンプ段が分子流に対してはジ
ーグバーン分子ポンプとして働くので、分子流に
対しても十分な圧縮作用が得られる。すなわち、
高真空となる定常状態においては、オープン形羽
根車の後退羽根とこのオープン形羽根車の前面に
対向するように配置された固定円板との作用によ
つて分子流を一定の方向に圧縮することができ
る。この結果、前記遠心圧縮ポンプ段の下流側に
設けられた円周流圧縮ポンプ段には、定常状態に
おいては遠心圧縮ポンプ段からの体積流量が非常
に少なくなり、締切状態に近い状態で運転される
が、円周流圧縮ポンプ段は締切状態で高い圧縮比
が得られるから、前記遠心圧縮ポンプ段と円周流
圧縮ポンプ段を組合せた本発明の真空ポンプによ
つて非常に低い到達圧力を得ることができる。
このように本発明によれば、前記構成を有する
遠心圧縮ポンプ段とその下流側に設けた円周流圧
縮ポンプ段との組合せにより、起動時の過渡状態
において大きな排気速度が得られると共に、大気
圧から高真空の領域まで一台のポンプにより排気
可能となる。
遠心圧縮ポンプ段とその下流側に設けた円周流圧
縮ポンプ段との組合せにより、起動時の過渡状態
において大きな排気速度が得られると共に、大気
圧から高真空の領域まで一台のポンプにより排気
可能となる。
以下、本発明の一実施例を第１図ないし第７図
に基づいて説明する。第１図は本発明による真空
ポンプの全体構造を示すもので、第１図におい
て、この真空ポンプは、吸気口１１Ａおよび排気
口１１Ｂを有するハウジング１１と、このハウジ
ング１１内に軸受２１を介して回転自在に支持さ
れた回転軸１２と、吸気口１１Ａ側から排気口１
１Ｂ側に至る間のハウジング１１内に順次配設さ
れた遠心圧縮ポンプ段１３および円周流圧縮ポン
プ段１４とを備えている。回転軸１２はこれに連
結したモータ１５により駆動されるようになつて
いる。
に基づいて説明する。第１図は本発明による真空
ポンプの全体構造を示すもので、第１図におい
て、この真空ポンプは、吸気口１１Ａおよび排気
口１１Ｂを有するハウジング１１と、このハウジ
ング１１内に軸受２１を介して回転自在に支持さ
れた回転軸１２と、吸気口１１Ａ側から排気口１
１Ｂ側に至る間のハウジング１１内に順次配設さ
れた遠心圧縮ポンプ段１３および円周流圧縮ポン
プ段１４とを備えている。回転軸１２はこれに連
結したモータ１５により駆動されるようになつて
いる。
前記遠心圧縮ポンプ段１３は、第２図、第３図
に示すように、裏面に回転方向に対して内向きの
羽根１６を複数固有し、かつ回転軸１２に取付け
られたオープン形羽根車１３Ａと、第２図、第４
図に示すように、ハウジング１１内壁に取付けら
れ、かつ前記羽根車１３Ａの裏面（羽根１６を設
けない面）と対向する面に回転方向に対して内向
きの羽根１７を複数個設けた固定円板１３Ｂを交
互に並列に配置して構成されている。この遠心圧
縮ポンプ段１３の回転体の径は後述する円周流圧
縮ポンプ段１４の回転体の径より大きく構成され
ている。
に示すように、裏面に回転方向に対して内向きの
羽根１６を複数固有し、かつ回転軸１２に取付け
られたオープン形羽根車１３Ａと、第２図、第４
図に示すように、ハウジング１１内壁に取付けら
れ、かつ前記羽根車１３Ａの裏面（羽根１６を設
けない面）と対向する面に回転方向に対して内向
きの羽根１７を複数個設けた固定円板１３Ｂを交
互に並列に配置して構成されている。この遠心圧
縮ポンプ段１３の回転体の径は後述する円周流圧
縮ポンプ段１４の回転体の径より大きく構成され
ている。
前記円周流圧縮ポンプ段１４は、第５図、第６
図に示すように、回転軸１２に取付けられ、かつ
外周面に複数個の羽根１８を放射状に設けた羽根
車１４Ａと、第５図、第７図に示すように、ハウ
ジング１１内壁に取付けられ、かつ前記羽根車１
４Ａの表面（羽根１８を設けている面）と対向す
る面にＵ字状の溝１９を有する固定円板１４Ｂと
を交互に並列に配置して構成されると共に、第５
図、第７図に示すように前記溝１９の終端部に孔
１９Ａを穿つて通風路２０を形成している。この
円周流圧縮ポンプ段１４の回転体の出口側の径は
その入口側の径よりも小さく構成されている。こ
れにより、この部分の回転動力を小さくすること
ができる。
図に示すように、回転軸１２に取付けられ、かつ
外周面に複数個の羽根１８を放射状に設けた羽根
車１４Ａと、第５図、第７図に示すように、ハウ
ジング１１内壁に取付けられ、かつ前記羽根車１
４Ａの表面（羽根１８を設けている面）と対向す
る面にＵ字状の溝１９を有する固定円板１４Ｂと
を交互に並列に配置して構成されると共に、第５
図、第７図に示すように前記溝１９の終端部に孔
１９Ａを穿つて通風路２０を形成している。この
円周流圧縮ポンプ段１４の回転体の出口側の径は
その入口側の径よりも小さく構成されている。こ
れにより、この部分の回転動力を小さくすること
ができる。
次に本実施例の作用について説明する。
ポンプ運転初期の過渡状態においては、ポンプ
内部は全体が大気圧に近い圧力下にあり、気体の
流れは粘性流となるので、遠心圧縮ポンプ段１３
は遠心圧縮機として作用する。すなわち、遠心圧
縮ポンプ段羽根車１３Ａは圧縮機羽根車として働
き、羽根車１３Ａと固定円板１３Ｂの間の羽根１
７にはさまれて形成される流路は、流れを外径側
から内径側に案内するリターンチヤンネルとして
働く。また羽根車１３Ａが圧縮作用をするので、
遠心圧縮ポンプ段１３としては、圧力損失部とし
てよりは圧縮機として大流量を流す作用をするこ
とができる。円周流圧縮ポンプ段１４の圧縮比が
大きくなつて、円周流圧縮ポンプ段の入口の圧力
が十分に低くなつた定常状態、すなわちこの圧力
が数Torr以下になつた定常状態においては、遠
心圧縮ポンプ段１３の入口、すなわち真空ポンプ
段の吸気口１１Ａの付近の気体の流れは、中間
流、又は分子流となり、遠心圧縮ポンプ段１３
は、ジーグバーン分子ポンプとして作用する。す
なわち、羽根１６を有する羽根車１３Ａは、ら旋
溝を加工した回転円板として作用し、固定円板１
３Ｂの裏面（羽根１７を設けない面）との組合せ
で、内径側から外径側に向けて圧縮作用をするジ
ーグバーン分子ポンプとして働く。また複数個の
羽根１７を設けた固定円板１３Ｂは、ら旋溝を加
工した固定円板として作用し、羽根車１３Ａの裏
面（羽根１６を設けない面）との組合せで、外径
側から内径側に向けて圧縮作用をするジーグバー
ン分子ポンプとして働く。
内部は全体が大気圧に近い圧力下にあり、気体の
流れは粘性流となるので、遠心圧縮ポンプ段１３
は遠心圧縮機として作用する。すなわち、遠心圧
縮ポンプ段羽根車１３Ａは圧縮機羽根車として働
き、羽根車１３Ａと固定円板１３Ｂの間の羽根１
７にはさまれて形成される流路は、流れを外径側
から内径側に案内するリターンチヤンネルとして
働く。また羽根車１３Ａが圧縮作用をするので、
遠心圧縮ポンプ段１３としては、圧力損失部とし
てよりは圧縮機として大流量を流す作用をするこ
とができる。円周流圧縮ポンプ段１４の圧縮比が
大きくなつて、円周流圧縮ポンプ段の入口の圧力
が十分に低くなつた定常状態、すなわちこの圧力
が数Torr以下になつた定常状態においては、遠
心圧縮ポンプ段１３の入口、すなわち真空ポンプ
段の吸気口１１Ａの付近の気体の流れは、中間
流、又は分子流となり、遠心圧縮ポンプ段１３
は、ジーグバーン分子ポンプとして作用する。す
なわち、羽根１６を有する羽根車１３Ａは、ら旋
溝を加工した回転円板として作用し、固定円板１
３Ｂの裏面（羽根１７を設けない面）との組合せ
で、内径側から外径側に向けて圧縮作用をするジ
ーグバーン分子ポンプとして働く。また複数個の
羽根１７を設けた固定円板１３Ｂは、ら旋溝を加
工した固定円板として作用し、羽根車１３Ａの裏
面（羽根１６を設けない面）との組合せで、外径
側から内径側に向けて圧縮作用をするジーグバー
ン分子ポンプとして働く。
また同じく定常状態においては、前記円周流圧
縮ポンプ段１４に流入する気体は前記遠心圧縮ポ
ンプ段１３において十分圧縮されているため、体
積流量はほとんど零に近い。すなわち、円周流圧
縮ポンプ段１４は、締切状態に近い状態で運転さ
れることになるが、円周流圧縮ポンプ段は締切状
態で高い圧縮比が得られるという特性があるた
め、少ない段数で十分低い到達圧力に達すること
ができる。
縮ポンプ段１４に流入する気体は前記遠心圧縮ポ
ンプ段１３において十分圧縮されているため、体
積流量はほとんど零に近い。すなわち、円周流圧
縮ポンプ段１４は、締切状態に近い状態で運転さ
れることになるが、円周流圧縮ポンプ段は締切状
態で高い圧縮比が得られるという特性があるた
め、少ない段数で十分低い到達圧力に達すること
ができる。
遠心圧縮ポンプ段１３、円周流圧縮ポンプ段１
４の段数、及びポンプ回転数は、定常運転状態に
おいて、両段の境の圧力が粘性流と中間流の切替
わり点すなわち数Torrになるよう設定する。通
常、遠心圧縮ポンプ段を１〜３段、円周流圧縮ポ
ンプ段を６〜10段組合わせることにより、ポンプ
の吸気口１１Ａの圧力は10-3〜10-4Torrに達す
ることができる。
４の段数、及びポンプ回転数は、定常運転状態に
おいて、両段の境の圧力が粘性流と中間流の切替
わり点すなわち数Torrになるよう設定する。通
常、遠心圧縮ポンプ段を１〜３段、円周流圧縮ポ
ンプ段を６〜10段組合わせることにより、ポンプ
の吸気口１１Ａの圧力は10-3〜10-4Torrに達す
ることができる。
本発明によれば、上流側に設けた遠心圧縮ポン
プ段が、ポンプ運転初期の過渡状態においては遠
心圧縮機として働くので、大きな排気速度を得る
ことができる。また、定常状態における分子流に
対してはジーグバーン分子ポンプとして働き、十
分な圧縮作用を得ることができる。この結果、遠
心圧縮ポンプ段の下流に設けた円周流圧縮ポンプ
段への体積流量が非常に少なくなり、円周流圧縮
ポンプ段では高い圧縮比を得ることができ、した
がつて十分低い到達圧力を得ることができる。
プ段が、ポンプ運転初期の過渡状態においては遠
心圧縮機として働くので、大きな排気速度を得る
ことができる。また、定常状態における分子流に
対してはジーグバーン分子ポンプとして働き、十
分な圧縮作用を得ることができる。この結果、遠
心圧縮ポンプ段の下流に設けた円周流圧縮ポンプ
段への体積流量が非常に少なくなり、円周流圧縮
ポンプ段では高い圧縮比を得ることができ、した
がつて十分低い到達圧力を得ることができる。
このように本発明によれば、前記構成を有する
遠心圧縮ポンプ段とその下流側に設けた円周流圧
縮ポンプ段との組合せにより、大気圧から高真空
の領域まで一台のポンプで排気可能であり、かつ
ポンプ運転初期の過渡状態においては大きな排気
速度を得ることのできる真空ポンプが得られると
いう効果がある。
遠心圧縮ポンプ段とその下流側に設けた円周流圧
縮ポンプ段との組合せにより、大気圧から高真空
の領域まで一台のポンプで排気可能であり、かつ
ポンプ運転初期の過渡状態においては大きな排気
速度を得ることのできる真空ポンプが得られると
いう効果がある。
第１図は本発明による真空ポンプの全体構造を
示す縦断面図、第２図は第１図に示す真空ポンプ
の遠心圧縮ポンプ段の詳細を示す断面図、第３図
は第２図の−矢視図、第４図は第２図の−
矢視図、第５図は第１図に示す真空ポンプの円
周流圧縮ポンプ段の詳細を示す断面図、第６図は
第５図の−矢視図、第７図は第５図の−
矢視図、第８図は従来の真空ポンプの縦断面図で
ある。 １１……ハウジング、１１Ａ……吸気口、１１
Ｂ……排気口、１２……回転軸、１３……遠心圧
縮ポンプ段、１３Ａ……オープン形羽根車、１３
Ｂ……固定円板、１４……円周流圧縮ポンプ段、
１４Ａ……羽根車、１４Ｂ……固定円板、１６，
１７，１８……羽根。
示す縦断面図、第２図は第１図に示す真空ポンプ
の遠心圧縮ポンプ段の詳細を示す断面図、第３図
は第２図の−矢視図、第４図は第２図の−
矢視図、第５図は第１図に示す真空ポンプの円
周流圧縮ポンプ段の詳細を示す断面図、第６図は
第５図の−矢視図、第７図は第５図の−
矢視図、第８図は従来の真空ポンプの縦断面図で
ある。 １１……ハウジング、１１Ａ……吸気口、１１
Ｂ……排気口、１２……回転軸、１３……遠心圧
縮ポンプ段、１３Ａ……オープン形羽根車、１３
Ｂ……固定円板、１４……円周流圧縮ポンプ段、
１４Ａ……羽根車、１４Ｂ……固定円板、１６，
１７，１８……羽根。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 吸気口、排気口及びポンプ作用をするポンプ
段を有し、定常状態においては分子流圧力領域の
希薄気体を前記吸気口から吸込み圧縮して前記排
気口から排出するようにした真空ポンプにおい
て、前記ポンプ段は遠心圧縮ポンプ段とこの遠心
圧縮ポンプ段の下流側に設けられた円周流圧縮ポ
ンプ段とを有し、前記遠心圧縮ポンプ段は、回転
軸に取付けられ複数個の後退羽根を有するオープ
ン形羽根車と、この羽根車の前面に対向するよう
に配置された固定円板とを備えていることを特徴
とする真空ポンプ。 ２ 特許請求の範囲第１項において、前記遠心圧
縮ポンプ段は多段に設けられていることを特徴と
する真空ポンプ。 ３ 特許請求の範囲第１項または第２項におい
て、前記円周流圧縮ポンプ段は回転軸に取付けら
れ、かつ外周面に複数個の羽根を放射状に設けた
羽根車と、この羽根車の羽根を備える面と対向す
る面に溝を有する固定円板と、前記溝を連通する
通風路とを備えていることを特徴とする真空ポン
プ。 ４ 特許請求の範囲第１項〜第３項のいずれかに
おいて、前記遠心圧縮ポンプ段のオープン形羽根
車の径を、円周流圧縮ポンプ段の羽根車径よりも
大きく構成したことを特徴とする真空ポンプ。 ５ 特許請求の範囲第１項〜第４項のいずれかに
おいて、前記円周流圧縮ポンプ段を多段に構成
し、この円周流圧縮ポンプ段の入口側段の回転体
の径を、出口側段の回転体のそれよりも大きく構
成したことを特徴とする真空ポンプ。
Priority Applications (4)
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|---|---|---|---|
| JP60088624A JPS61247893A (ja) | 1985-04-26 | 1985-04-26 | 真空ポンプ |
| DE19863613198 DE3613198A1 (de) | 1985-04-26 | 1986-04-18 | Vakuumpumpe |
| US06/855,432 US4668160A (en) | 1985-04-26 | 1986-04-24 | Vacuum pump |
| US07/090,044 USRE33129E (en) | 1985-04-26 | 1987-08-26 | Vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60088624A JPS61247893A (ja) | 1985-04-26 | 1985-04-26 | 真空ポンプ |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2032548A Division JP2680156B2 (ja) | 1990-02-15 | 1990-02-15 | 真空ポンプ |
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|---|---|
| JPS61247893A JPS61247893A (ja) | 1986-11-05 |
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Family
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