JPH0372364A - スクリーン印刷用版の製造方法 - Google Patents

スクリーン印刷用版の製造方法

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JPH0372364A
JPH0372364A JP1209162A JP20916289A JPH0372364A JP H0372364 A JPH0372364 A JP H0372364A JP 1209162 A JP1209162 A JP 1209162A JP 20916289 A JP20916289 A JP 20916289A JP H0372364 A JPH0372364 A JP H0372364A
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土屋 益男
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  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Manufacture Or Reproduction Of Printing Formes (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の背景〕 〈産業上の利用分野〉 本発明は、無現像で高解像度の画像を印刷することがで
きるスクリーン印刷用版の製造方法に関する。
〈従来技術〉 スクリーン印刷用版を製版するためには、従来、絹、ナ
イロン、テトロン、ステンレス等の細線で織られた紗を
スクリーン枠、例えばアルミニウム製スクリーン枠に高
張力で張り、この上に感光乳剤、例えば酢酸ビニール樹
脂、ポバール樹脂よりなる乳剤に感光剤としてジアゾ樹
脂等を)Jl+えた感光乳剤を、前記砂上に塗布し乾燥
させた感光層上に、画像を形成したフィルムを密着して
高圧水銀灯等により、焼付け、水現像及び乾燥を行なっ
て、スクリーン膜上に画像を形成させていた。
一方、この様な感光乳剤及びフィルムを使用せずにスク
リーン印刷用版を製版する方法として、炭酸ガスレーザ
ーやYAGレーザーの物理的熱工ネルギーを利用した画
像形成方法によるスクリーン印刷用版の製造方法が提案
されている(特開昭60−107342号および特開昭
62−90241号各公報参照)。
〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、上記感光乳剤を用いるスクリーン印刷用
版の製造法においては、スクリーン製版に影響を及ぼす
諸要因のうち感光乳剤の組成を、感度、解像性、耐溶剤
性等に関してバランスよく仕上げるためには可成りの熟
練を必要とする。更に、乳剤の製造、製版および現像等
における作業環境や設備面においても特別な配慮を必要
とする。
また、YAGレーザーやCO2レーザーによる画像形成
によるスクリーン印刷用版の製造方法においては、乳剤
組成、作業環境を考慮する必要はないが、画像形成に際
し、赤外線又は遠赤外線を利用する物理的熱エネルギー
を利用するため、レーザー照射時に光学系に十分注意し
て焦点を結ばせても、重合体層だけでなく、金属製のス
クリーン紗にも影響を与える。それ故、重合体層だけを
焼は切る様な出力で描画しても金属スクリーン紗をも同
時に焼き切ってしまうことがある。
〔発明の概要〕
く要旨〉 本発明者は前記課題に鑑みて鋭意研究を重ねた結果、紫
外領域の短波長のレーザー光線を、特定な重合体シート
を積層したスクリーンに照射した場合にのみ、高鮮明な
画像を形成することができるとの知見を得て、本発明を
完成するに至った。
すなわち、本発明のスクリーン印刷用版の製造方法は、
金属スクリーン紗にガラス転移点が100℃以上の重合
体のシートを積層し、スクリーン枠に張設してなるスク
リーン版に、波長が150〜400nwのレーザー光線
を照6−I して、上記重合体シートに画像を形成する
こと、を特徴とするものである。
く効果〉 本発明のスクリーン印刷用版の製造方法は、短波長で高
エネルギーのレーザー光線を、ガラス転移点の大きい重
合体のシート上に照射して画像を形成することから、照
射されたレーザーは高出力のエネルギーであるので、通
常のYAGまたはCO2レーザー光の熱エネルギーによ
る高分子膜溶融、破壊法と異なり、本方法によるエキシ
マレーザ−光で照射された重合体シートは高分子の結合
解離エネルギーを超える高エネルギーによってポリマー
の結合を高効率で開裂させて、それによって生成した低
分子量物を一瞬のうちに飛散させてしまい、スクリーン
印刷用版に残部を残すことなく、フォトエツチングする
ことができる。特にこの様なレーザーによるエツチング
は、重合体シートを構成する有機物に対して吸収が大き
く、しかも金属スクリーン紗を構成する金属に対して吸
収が小さいという性質を有していることから鮮明な画像
を形成することができる。
更に、本発明のスクリーン印刷用版の製造方法における
大きな利点は、露光と現像とを一工程で行なうことがで
き、ポジフィルムを必要としない、現像を必要としない
フォトエツチング方法である。
また、露光もCADの指示通りに行なうことができるの
で、製版速度も早く、スルーブツトにも大きく貢献する
ことができる。
〔発明の詳細な説明〕
(13スクリ一ン印刷用版の製造 (1)スクリーン版 本発明の印刷用版を製造するために用いられるスクリー
ン版は、金属スクリーン紗に、ガラス転移点が100℃
以上の重合体のシートを積層してスクリーン枠に張設し
たものが用いられる。
(金属スクリーン紗) 一般にスクリーン版に使用されている金属スクリーン紗
は、ステンレス製のもの、あるいは、アモルファス金属
繊維(基本組成Co−Fe−Cr−31−B系)、例え
ばユニチカ社製の商品名「ボルファ」のもの、または、
ニッケルを主成分とする金属スクリーン紗オラン7国の
ストークス社製の商品名「ハイメツシュ」、同じく大日
本スクリーン社製の商品面「アルファ◆スクリーン」等
も利用できる。
このような金属スクリーンは一般に40〜500メツシ
ユ、好ましくは80〜400メツシユのものが用いられ
る。
(樹脂フィルム) 本発明において用いられる重合体シートとしては、ガラ
ス転移点が100℃以上、好ましくは150〜500℃
の重合体のシートまたはフィルムを用いることが重要で
ある。
このような重合体としては、ポリイミド樹脂、ポリエー
テルイミド樹脂、弗素樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリ
スルフォン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、シリコン
樹脂などが挙げられるが、これらの中でもポリイミド樹
脂、ポリエーテルイミド樹脂が好適である。
このような重合体シートは、一般に、厚さが5〜300
μm1好ましくは7.5〜150μmの有機物が主体の
熱iiJ塑性または熱硬化性樹脂、シリコーン樹脂など
の無機重合体、あるいはこれら有機・無機重合体の複合
物が使用され、無機フィラーなどを含んでいないものが
好ましい。
(積層) 前記金属スクリーン紗に重合体シートを積層するには、
両者間に接着剤を設けて接着してもよいし、また、重合
体を熱プレスして重合体内部に金属スクリーン紗を取り
込んだものであっても良い。
(2)照射 (レーザー光線) 本発明において用いられるレーザー光線としては、波長
が150〜400μm1好ましくは180〜360μm
のものを用いることが重☆である。
このような波長のレーザー光線としては、エキシマレー
ザ−などが挙げられ、誂エキシマレーザーは、通常各種
の稀ガスとハロゲン、及びキャリヤーガスとして不活性
な、アルゴンがスをレーザー管内に封入したもので、稀
ガスとハロゲン種との組合せにより、例えばArF(1
93nm)、KrF  (248nm)  、 Xee
  1   (308rv)  、XeF(351n*
)などは、放電励起方式に適したもので、夫々実用性が
ある。特にArF。
KrFは高出力なので本発明の画像形成用光源に適して
いる。
しかしながら、上記波長範囲外のレーザー光線を発生す
るレーザー、例えば、熱エネルギーを利用して高分子膜
を溶融穿孔するYAG、Coっレーザ等では、溶融した
ポリマーが穿孔のエツジ部に付着して画線中の海島模様
のうち、島の部分がスクリーン版から焼き落とされるな
ど、画像形成上において問題がある。
しかし、本発明の範囲の波長を発生するエキシマレーザ
は光化学反応による、高分子の結合を解裂させてパター
ンを形成するための熱の影響がなく、且つ吸収係数の小
さい全屈細線には、損偽を写えないので高分子膜だけを
一瞬のうちに除表して、その跡に何等不要物質を残さな
いので、極めて鮮明な画線パターンを形成することがで
きる。
勿論画線中の海島模様の島の部分もスクリーン版上に残
すことができるのも大きな利点である。
このようなエキシマレーザ−は、混合ガスの種類、一般
には稀ガスとハロゲンとの組合せにより150nm 〜
400nms好ましくは180〜360nlの範囲の高
エネルギー紫外光が得られる。
このようなレーザー光線のパルスエネルギーは通常10
〜500wJ、好ましくは40〜400耐である。
なお、実際のパターン作成に当っては、パルスエネルギ
ー(しきい値)を一定にしてパルスの繰り返し数を変え
ると加工速度が変化し、繰り返し数が多い程加工時間は
短縮されるから、パターン形状、要求精度により適宜パ
ルス数を選んで行うのが普通である。
したがって、普通の画像形成用に光源として使われてい
る水銀アーク灯に比べて、エキシマレーザ−ではたかだ
か100〜200W程度の出力であるが、単位面積、単
位時間当たりの出力、いオ)ゆるパワー密度ではエキシ
マレーザ−がパルス発振で、1パルス当り100■J(
10ns)であることから、108〜10911j程度
となり、IKW出力の水銀アーク灯に比べて段ちがいに
高く、また、他の紫外光が得られるレーザーとしてはH
e−cd (325na+) 、アルゴン(351〜3
64rv)あるいはYAGレーザーの高調波(266n
s)専があるが、二キシマレーザーと比較するとそのパ
ワー密度は1/10〜1/1000程度の出力しか得ら
れない。
したがって、この様な高出力が得られる、エキシマレー
ザ−は前記レーザー光の熱エネルギーによる高分子膜の
溶融、破壊法と異なり、照射された重合体シートの高分
子の結合解離エネルギーを超える高エネルギーによって
ポリマーの結合を高効率で開裂させて、それによって生
成した代分子量物を一瞬のうちに飛散させて、スクリー
ン印刷用版に残部を残すことなく、フォトエツチングす
ることができる。特にこの様なレーザーによるエツチン
グは重合体シートを構成するh−機物に対し吸収が大き
く、しかも、金属スクリーン紗を構成する金属に対して
吸収が小さいという性質を有していることから鮮明な画
像を形成することができる。
また、該エキシマレーザ−は可視光、赤外先竿を含まな
いので熱的過程がなく、純粋な光化学過程をへて、画像
形成が行なわれるので、より画線が鮮明に仕上る。
(画像の形成) 上記レーザーを用いて、前記金属スクリーン紗に重合体
シートを積層してなるスクリーンに画像を形成するので
あるが、一般に、エキシマレーザ−などのレーザー装置
は光路を振らせて走査するのが困難なため、普通固定し
て使用する。また、ビームの形状は、横型発振モードの
ため、族1・Iされる光が矩形であることから、解像性
のよい画線を描くために円形スポットの方が好ましい。
それ故、安定発振器と共に、不安定発振器も併用すると
、かなり良い円形スポットになり、更に光学系によって
はV20〜30μmφの円形スポットとすることが出来
る。
画像を形成するには、金属メツシュに貼りつけた重合体
シートをX−Yテーブルに設置して、レーザー光による
画像を形成するためにX−Yテーブルを移動させて画像
を形成する。このような画像処理はNCソフト又はCA
Dソフトによって行なう。従って従来の様なポジフィル
ムは必要とせず、信号によって画線が描かれ、現像する
ことなく、スクリーン印刷用版ができ上り、これをその
ま\印刷機に取付けて印刷することができる。
〔実験例〕
実施例1 250メツシユのステンレス製スクリーン紗を通常の張
力でアルミ金属枠に張った。次いで、膜厚20μmのポ
リエーテルイミドシートの片面にエポキシ樹脂等の接着
剤を塗布したものを、上記ステンレス砂上に貼りつけた
。そして、乾燥して接着させた後スクリーン版の総膜厚
をハ1定したところ62μmであった。
このスクリーン版をX−Yテーブル上に固定し、KrF
エキシマレーザ−を用いて、ビーム径を20μmφ程度
に絞ってパルスエネルギー280mJで550パルス(
PPS)の照射条件で行なった。
上記X−YテーブルはNCソフト又はCADに連結して
駆動させ、幅0.035+otmの線をもって画像形成
することができた。その際、照射に伴うステンレス線の
損傷はみられず、良好な、スクリーン印刷用版が得られ
た。
実施例2 金属製砂としてアルファスクリーン250メツシユを使
用して製造したスクリーン版を実施例1と同様に、X−
Yテーブルに設置し、ArFエキシマレーザ−を使って
、パルスエネルギ−2ラ0ルファスクリーン紗に何等損
傷を与えずに、実施例1と同様にスクリーン印刷用版を
得た。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、金属スクリーン紗にガラス転移点が 100℃以上の重合体のシートを積層し、スクリーン枠
    に張設してなるスクリーン版に、波長が150〜400
    nmのレーザー光線を照射して、上記重合体シートに画
    像を形成することを特徴とする、スクリーン印刷用版の
    製造方法。 2、重合体が、ポリイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹
    脂、弗素樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリスルホン樹脂
    、ポリエーテルスルホン樹脂から選ばれたものである請
    求項1に記載のスクリーン印刷用版の製造方法。 3、レーザー光線がエキシマレーザーである請求項1に
    記載のスクリーン印刷用版の製造方法。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06114424A (ja) * 1992-10-06 1994-04-26 Kawasaki Steel Corp ホットストリップ仕上圧延機における圧延制御方法
US5887520A (en) * 1994-12-28 1999-03-30 Ricoh Microelectronics Co., Ltd. Method of fabricating plastic mask for paste printing with an excimer laser
JP2010253825A (ja) * 2009-04-27 2010-11-11 General Technology Co Ltd スクリーン印刷版の製造方法
JP2010253826A (ja) * 2009-04-27 2010-11-11 General Technology Co Ltd スクリーン印刷版の製造方法
KR20110031316A (ko) 2008-06-11 2011-03-25 도요 잉키 세이조 가부시끼가이샤 레이저 제판용 수지 스크린 인쇄판 및 그 제조 방법, 그리고 수지 스크린 인쇄판 및 그 제조 방법
US20110094398A1 (en) * 2009-10-23 2011-04-28 Lothar Wefers Method for producing perforated or partially perforated stencils with a relief
JP2017187601A (ja) * 2016-04-05 2017-10-12 株式会社ムラカミ スクリーンマスクの製造方法
JP2022181110A (ja) * 2021-05-25 2022-12-07 株式会社ボンマーク スクリーン印刷版及びスクリーン印刷版の製造方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS548004A (en) * 1977-06-17 1979-01-22 Fujitsu Ltd Method of making mask for screen printing
JPS5515155A (en) * 1978-07-19 1980-02-02 Kansai Paint Co Ltd Production of screen printing plate
JPS55135839A (en) * 1979-04-10 1980-10-23 Unitika Ltd Manufacture of photosensitive plate material for thick screen printing
JPS57128550A (en) * 1981-02-02 1982-08-10 Nec Corp Manufacture of screen
JPS60107342A (ja) * 1983-11-16 1985-06-12 Takahiro Tsunoda スクリ−ン版のレ−ザ製版法
JPS63298341A (ja) * 1987-05-29 1988-12-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd パタ−ン形成材料

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS548004A (en) * 1977-06-17 1979-01-22 Fujitsu Ltd Method of making mask for screen printing
JPS5515155A (en) * 1978-07-19 1980-02-02 Kansai Paint Co Ltd Production of screen printing plate
JPS55135839A (en) * 1979-04-10 1980-10-23 Unitika Ltd Manufacture of photosensitive plate material for thick screen printing
JPS57128550A (en) * 1981-02-02 1982-08-10 Nec Corp Manufacture of screen
JPS60107342A (ja) * 1983-11-16 1985-06-12 Takahiro Tsunoda スクリ−ン版のレ−ザ製版法
JPS63298341A (ja) * 1987-05-29 1988-12-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd パタ−ン形成材料

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06114424A (ja) * 1992-10-06 1994-04-26 Kawasaki Steel Corp ホットストリップ仕上圧延機における圧延制御方法
US5887520A (en) * 1994-12-28 1999-03-30 Ricoh Microelectronics Co., Ltd. Method of fabricating plastic mask for paste printing with an excimer laser
KR20110031316A (ko) 2008-06-11 2011-03-25 도요 잉키 세이조 가부시끼가이샤 레이저 제판용 수지 스크린 인쇄판 및 그 제조 방법, 그리고 수지 스크린 인쇄판 및 그 제조 방법
JP2010253825A (ja) * 2009-04-27 2010-11-11 General Technology Co Ltd スクリーン印刷版の製造方法
JP2010253826A (ja) * 2009-04-27 2010-11-11 General Technology Co Ltd スクリーン印刷版の製造方法
US20110094398A1 (en) * 2009-10-23 2011-04-28 Lothar Wefers Method for producing perforated or partially perforated stencils with a relief
US9205639B2 (en) 2009-10-23 2015-12-08 Spgprints Austria Gmbh Method for producing perforated or partially perforated stencils with a relief
JP2017187601A (ja) * 2016-04-05 2017-10-12 株式会社ムラカミ スクリーンマスクの製造方法
JP2022181110A (ja) * 2021-05-25 2022-12-07 株式会社ボンマーク スクリーン印刷版及びスクリーン印刷版の製造方法

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