JPH0374937B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0374937B2
JPH0374937B2 JP59087959A JP8795984A JPH0374937B2 JP H0374937 B2 JPH0374937 B2 JP H0374937B2 JP 59087959 A JP59087959 A JP 59087959A JP 8795984 A JP8795984 A JP 8795984A JP H0374937 B2 JPH0374937 B2 JP H0374937B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spacer
housing
pressure
pressure sensor
fluid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP59087959A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS59210338A (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=23952952&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JPH0374937(B2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed filed Critical
Publication of JPS59210338A publication Critical patent/JPS59210338A/ja
Publication of JPH0374937B2 publication Critical patent/JPH0374937B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14—Housings
    • G01L19/147—Details about the mounting of the sensor to support or covering means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0007—Fluidic connecting means
    • G01L19/0038—Fluidic connecting means being part of the housing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0061—Electrical connection means
    • G01L19/0084—Electrical connection means to the outside of the housing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14—Housings
    • G01L19/142—Multiple part housings
    • G01L19/143—Two part housings
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/851—Dispositions of multiple connectors or interconnections
    • H10W72/874—On different surfaces
    • H10W72/884—Die-attach connectors and bond wires

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、圧力伝送器に関し、特に流体圧力伝
送器の組立体に関する。
〔発明の概要〕
〔従来の技術〕 圧力伝送器は、ハウジング内に圧力センサを設
け、その圧力センサに別々の２つの圧力が加えら
れるようになつている。圧力センサは通常ダイヤ
フラムの両側にそれぞれピエゾ素子などが組み込
まれたものが用いられているのは周知のとおりで
ある。当然圧力センサの両側はハウジング内で
別々の圧力が加えられるように完全に分離されて
いなければならない。すなわちハウジング内部が
この圧力センサで２つの室に密封された状態で仕
切られていなければならない。そしてそれぞれの
室には圧力を加えるためのポートが設けられてい
るのはいうまでもない。このようにハウジング内
が圧力センサで仕切られた状態で、ハウジング内
は密封されていなけれならない。しかも、この密
封された状態で圧力センサの電気的信号をハウジ
ングの外部に導かなければならない。しかもその
際、ハウジングなどは温度によつて変形するが、
その変形が圧力センサに影響を与えないようにし
なければならない。
〔発明の目的〕
本発明は上記した温度などの環境変化によつて
ハウジングなどが変形した際にも圧力センサにそ
の影響を及ぼさず、圧力センサによる計測に誤差
を生じさせない圧力伝送器を提供することを目的
とするものである。
上記目的およびそれ以外の目的を達成するた
め、本発明によれば、圧力センサと、圧力センサ
用センサハウジングと、ハウジング内に配置され
たスペーサと、このスペーサの一端に設けられた
支持接続体と協働してハウジング内でセンサを自
由浮遊体として支持する支持手段を有する流体圧
力検出器組立体が提供される。
〔実施例〕
以下本発明を図面に示す実施例につき詳細に説
明する。
図において、本発明の一実施例による差圧伝送
器は、外側のコツプ状ハウジング２を有する。ハ
ウジング２の端部壁６には、第１の流体入口ポー
ト４が設けられ、ハウジング２によつて形成され
る内部キヤビテイ８に第１入力圧を導入できるよ
うになつている。ハウジング２の開口端１２に
は、液密シールをする適当な手段、例え電子ビー
ム溶接１４により、カバー１０が取付けられる。
カバー１０には、ハウジング２内に第２入力流体
圧を導入できるよう、第２流体入口ポート１６が
設けられている。このカバー１０には、第２流体
入口ポート１６と同心状に円形凹所１８が設けら
れている。この凹所１８内に、中空支持チユーブ
２０の第１端が同心状に取付けられ、適当な手
段、例えば接着剤により凹所１８側壁の隣接部分
に接合され、凹所との間が液密シールされてい
る。チユーブ２０内の流体導管２２は、第２流体
入口ポート１６と心出しされ、第２流体入口ポー
ト１６から導入された流体を導くようになつてい
る。
チユーブ２０の第２端２４は、ダイヤフラム２
６状の圧力センサを支持するのに使用され、ダイ
ヤフラム２６は、その外周縁部２８でチユーブ２
０の第２端２４に固定されている。ダイヤフラム
２６のチユーブ２０に対する取付けは、ダイヤフ
ラム２６とチユーブ２０との間が液密シールされ
るよう行なわれている。ダイヤフラム２６は、感
圧コーテイング層をその上部に有するが、このコ
ーテイング層は当業者に周知のようにピエゾ抵抗
素子のようなものでよい。ダイヤフラムのこれら
の素子は、複数の可撓性ワイヤ３０の各々の一端
に取付けられ、電気的接続が可能となる。ワイヤ
３０の他端は、導電路の各々に接続されるが、こ
れらの導電路はハウジングによつて形成された内
部キヤビテイ８内に設けられたスペーサ３４の第
１端面３２上に支持されている。このスペーサ３
４は、チユーブ２０と同心状で、かつ、チユーブ
２０より離間した軸方向孔３６を有する円筒部材
の形状にすることが好ましい。
カバー１０内の孔４０には、複数の導電性かつ
比較的剛性の電極ワイヤ３８が貫通配置されてい
る。ワイヤ３８と、孔４０を囲むカバー１０の表
面との間には、ハーメチツクシール４２が設けら
れ、ワイヤを液密に結合している。電極ワイヤ３
８は、ハウジング内の内部キヤビテイ８内まで延
在し、かつ、スペーサ３４内の複数のボア４４の
各々を貫通し、ボア４４は、電極ワイヤ３８から
離間した状態にてワイヤの各々を同心状に囲んで
いる。電極ワイヤ３８のハウジング内の自由端４
６は、スペーサ３４の第１端面３２に対する機械
的かつ電気的な接続体４８を設ける適当な手段、
例えばハンダ付けにより、第１端面３２に強固に
取付けられている。この接続体４８は、スペーサ
３４に対する支持接合部となると共に、スペーサ
３４の端面３２上の上記導電路と電極ワイヤ３８
との間の電流路となり、端面３２上の導電路は、
既述のようにダイヤフラム圧力センサ２６に接続
されたワイヤ３０に接続されている。
スペーサ３４は、ハウジング２の内部キヤビテ
イ８内で自由浮遊機素となるよう配置されてい
る。従つて、スペーサ３４は、ハウジング２の内
壁，カバー１０，電極ワイヤ３８，支持チユーブ
２０，およびダイヤフラム２６から離間してい
る。よつて、スペーサ３４は、接続体４８から電
極ワイヤ３８に吊り下げられているので、スペー
サ３４の温度膨張係数に基づきスペーサ３４内に
物理的変化を与えることある圧力伝送器の周囲の
温度変化があつても、これは、ハーメチツクシー
ル４０に悪影響を与えない。すなわち、ハーメチ
ツクシール４０は、スペーサ３４が温度により膨
張したり、収縮してもこれによつて応力を受ける
ことはない。スペーサ３４は、ハウジング２内の
容積を減少して、第１入力圧をセンサダイヤフラ
ム２６の一方の側面に伝えるのに必要な充填流体
（図示せず）の量を最小にするのに使用されてい
る。第１充填流体はハウジング２内のキヤビテイ
８を充填する一方、第２充填流体（図示せず）
は、チユーブ２０内の流体導管２２を充填して第
２入力圧をセンサダイヤフラム２６の他方の側面
に伝えるようになつている。これと同時にスペー
サ３４は、可撓性ワイヤ３０と電極ワイヤ３８と
の間の電気的配線の支持体ともなる。スペーサ３
４の図示した寸法と形状は単に本発明の一実施例
を例示するためのものであり、スペーサの寸法と
形状はスペーサ３４を伝送器の作動条件に合致さ
せるよう改変し得る。例えば、加速力又は減速
力，すなわち、「ｇ」の力に耐えて使用される伝
送器では、スペーサをもつと薄くして慣性質量を
小さくしてもよい。しかしながら上述した自由浮
遊状態は維持される。
〔発明の効果〕
以上のように本発明によれば、スペーサはハウ
ジング手段内で自由浮遊体として支持されてお
り、圧力センサからの電気信号はその自由浮遊体
とされたスペーサとそれを自由浮遊体状態に支持
する支持手段を介して取り出す構成とされている
ので、圧力センサはハウジングその他の機械的な
変形の影響を受けることがない。
従つて本発明圧力伝送器は周囲の温度などの変
化によつて誤差が発生することがない。
従つて、本発明によれば、改良された流体圧力
伝送器組立体が提供されることは明らかである。
【図面の簡単な説明】
添付図面は、本発明の一実施例による流体圧力
伝送器を示す横断面図である。 ２…ハウジング、１０…カバー、２０…中空支
持チユーブ、２６…センサダイヤフラム、３４…
スペーサ、３８…電極ワイヤ、４２…ハーメチツ
クシール、４８…接続体。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 少なくとも１つの圧力入力ポート４を有する
    ハウジング手段２，１０と、このハウジング手段
    内に圧力センサ２６を有する圧力検出手段２０，
    ２６とを備えた圧力伝送器において、前記ハウジ
    ング手段内の容積を減少させるために配置される
    スペーサ３４を、ハウジング手段に一端が固定さ
    れた支持手段３８，４８の他端に、ハウジング手
    段の内面及び前記圧力検出手段２０，２６と接触
    せずこれらから離れた自由浮遊体構造となるよう
    に、スペーサの一端部３２を接続体４８で取り付
    け、前記圧力センサと電気的に接続されるワイヤ
    を前記スペーサの一端部３２に接続したことを特
    徴とする圧力伝送器。
JP59087959A 1983-05-04 1984-05-02 圧力伝送器 Granted JPS59210338A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US491613 1983-05-04
US06/491,613 US4502335A (en) 1983-05-04 1983-05-04 Fluid pressure transmitter assembly

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59210338A JPS59210338A (ja) 1984-11-29
JPH0374937B2 true JPH0374937B2 (ja) 1991-11-28

Family

ID=23952952

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59087959A Granted JPS59210338A (ja) 1983-05-04 1984-05-02 圧力伝送器

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4502335A (ja)
EP (1) EP0126989B2 (ja)
JP (1) JPS59210338A (ja)
CA (1) CA1217647A (ja)
DE (1) DE3465517D1 (ja)

Families Citing this family (53)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6073325A (ja) * 1983-09-30 1985-04-25 Toshiba Corp 半導体圧力センサ
JPS629106U (ja) * 1984-08-09 1987-01-20
DE3569824D1 (en) * 1985-09-11 1989-06-01 Kunz Manfred Pressure sensor
US4888992A (en) * 1988-04-15 1989-12-26 Honeywell Inc. Absolute pressure transducer and method for making same
JPH01301134A (ja) * 1988-05-30 1989-12-05 Nippon Beeles- Kk 圧力伝送器
US4939497A (en) * 1989-04-18 1990-07-03 Nippon Soken, Inc. Pressure sensor
KR930011091B1 (ko) * 1990-06-08 1993-11-20 미쯔비시 덴끼 가부시끼가이샤 압력 센서
US5174156A (en) * 1990-07-27 1992-12-29 Honeywell Inc. Pressure transducer with reduced offset signal
JP2719448B2 (ja) * 1991-01-24 1998-02-25 三菱電機株式会社 半導体圧力検出装置
JPH04258176A (ja) * 1991-02-12 1992-09-14 Mitsubishi Electric Corp 半導体圧力センサ
DE4133061A1 (de) * 1991-10-04 1993-04-15 Bosch Gmbh Robert Drucksensor
DE4211816C2 (de) * 1992-04-08 1995-08-31 Danfoss As Drucksensor
DE4244459C1 (de) * 1992-12-23 1994-05-11 Siemens Ag Druckmeßumformer
CN1182479A (zh) * 1995-04-28 1998-05-20 罗斯蒙德公司 带高压隔离体装配件的压力变送器
WO1996034265A1 (en) * 1995-04-28 1996-10-31 Rosemount Inc. Mounting assembly for a pressure transmitter
US5596147A (en) 1995-11-17 1997-01-21 Wilda; Douglas W. Coplanar pressure sensor mounting for remote sensor
US20020003274A1 (en) * 1998-08-27 2002-01-10 Janusz Bryzek Piezoresistive sensor with epi-pocket isolation
US6006607A (en) * 1998-08-31 1999-12-28 Maxim Integrated Products, Inc. Piezoresistive pressure sensor with sculpted diaphragm
US6346742B1 (en) 1998-11-12 2002-02-12 Maxim Integrated Products, Inc. Chip-scale packaged pressure sensor
US6351996B1 (en) 1998-11-12 2002-03-05 Maxim Integrated Products, Inc. Hermetic packaging for semiconductor pressure sensors
US6229190B1 (en) 1998-12-18 2001-05-08 Maxim Integrated Products, Inc. Compensated semiconductor pressure sensor
US6255728B1 (en) 1999-01-15 2001-07-03 Maxim Integrated Products, Inc. Rigid encapsulation package for semiconductor devices
WO2004053449A1 (en) 2002-12-12 2004-06-24 Danfoss A/S A pressure sensor
WO2005040748A1 (en) * 2003-09-30 2005-05-06 Honeywell International Inc. Diaphragm for bonded element sensor
US20060272405A1 (en) * 2005-06-07 2006-12-07 Lajos Feher Casing for in-tank hall effect sensor used for fuel level sensing
JP4919024B2 (ja) * 2006-11-16 2012-04-18 横河電機株式会社 圧力センサ
JP2009098062A (ja) * 2007-10-18 2009-05-07 Denso Corp 圧力センサ
US9023063B2 (en) 2008-04-17 2015-05-05 Apollo Endosurgery, Inc. Implantable access port device having a safety cap
MX2010011367A (es) 2008-04-17 2010-11-12 Allergan Inc Dispositivo con puerto de acceso implantable y sistema de sujecion.
DE102009001133A1 (de) 2009-02-25 2010-08-26 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Drucksensor mit Halbleiterdruckmesswandler
US8215176B2 (en) * 2009-05-27 2012-07-10 Continental Automotive Systems, Inc. Pressure sensor for harsh media sensing and flexible packaging
US8715158B2 (en) * 2009-08-26 2014-05-06 Apollo Endosurgery, Inc. Implantable bottom exit port
US8506532B2 (en) * 2009-08-26 2013-08-13 Allergan, Inc. System including access port and applicator tool
US8708979B2 (en) 2009-08-26 2014-04-29 Apollo Endosurgery, Inc. Implantable coupling device
US20110196195A1 (en) * 2010-02-05 2011-08-11 Allergan, Inc. Implantable subcutaneous access port
US8882728B2 (en) * 2010-02-10 2014-11-11 Apollo Endosurgery, Inc. Implantable injection port
US8992415B2 (en) 2010-04-30 2015-03-31 Apollo Endosurgery, Inc. Implantable device to protect tubing from puncture
US20110270025A1 (en) 2010-04-30 2011-11-03 Allergan, Inc. Remotely powered remotely adjustable gastric band system
US20110270021A1 (en) 2010-04-30 2011-11-03 Allergan, Inc. Electronically enhanced access port for a fluid filled implant
US20120041258A1 (en) 2010-08-16 2012-02-16 Allergan, Inc. Implantable access port system
US20120065460A1 (en) 2010-09-14 2012-03-15 Greg Nitka Implantable access port system
US9784633B2 (en) 2010-11-03 2017-10-10 Avgi Engineering, Inc. Differential pressure transmitter with intrinsic verification
US10466127B2 (en) 2010-11-03 2019-11-05 Avgi Engineering, Inc. Differential pressure transmitter with intrinsic verification
EP2635886B1 (en) 2010-11-03 2017-07-05 Avgi Engineering, Inc. Differential pressure transmitter with intrinsic verification
US8821373B2 (en) 2011-05-10 2014-09-02 Apollo Endosurgery, Inc. Directionless (orientation independent) needle injection port
US8801597B2 (en) 2011-08-25 2014-08-12 Apollo Endosurgery, Inc. Implantable access port with mesh attachment rivets
US9199069B2 (en) 2011-10-20 2015-12-01 Apollo Endosurgery, Inc. Implantable injection port
US8858421B2 (en) 2011-11-15 2014-10-14 Apollo Endosurgery, Inc. Interior needle stick guard stems for tubes
US9089395B2 (en) 2011-11-16 2015-07-28 Appolo Endosurgery, Inc. Pre-loaded septum for use with an access port
JP6329095B2 (ja) * 2015-03-13 2018-05-23 アズビル株式会社 圧力センサ
US10620071B2 (en) * 2016-06-29 2020-04-14 Danfoss A/S Pressure sensor and method for manufacturing a pressure sensor
US10132705B2 (en) * 2016-07-19 2018-11-20 Kulite Semiconductor Products, Inc. Low-stress floating-chip pressure sensors
DE102016115197A1 (de) 2016-08-16 2018-02-22 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Füllkörper zur Reduktion eines Volumens einer Druckmesskammer

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5112437B2 (ja) * 1971-10-01 1976-04-19

Also Published As

Publication number Publication date
CA1217647A (en) 1987-02-10
EP0126989A1 (en) 1984-12-05
EP0126989B2 (en) 1992-02-12
JPS59210338A (ja) 1984-11-29
DE3465517D1 (en) 1987-09-24
EP0126989B1 (en) 1987-08-19
US4502335A (en) 1985-03-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS59210338A (ja) 圧力伝送器
US5438876A (en) Modular diaphragm pressure sensor with peripheral mounted electrical terminals
US4656454A (en) Piezoresistive pressure transducer with elastomeric seals
US4120206A (en) Differential pressure sensor capsule with low acceleration sensitivity
US6938490B2 (en) Isolation technique for pressure sensing structure
US5757608A (en) Compensated pressure transducer
US7762139B2 (en) Pressure transducer apparatus adapted to measure engine pressure parameters
JP4815350B2 (ja) 圧力センサカプセル
EP0965829B1 (en) Isolation diaphragm mounting
US4542435A (en) Pressure transducer and mounting
US5264820A (en) Diaphragm mounting system for a pressure transducer
EP0677727A2 (en) Pressure sensor assembly and method of producing the pressure sensor assembly
JP2018189642A (ja) 統合された圧力および温度センサ
JP2800083B2 (ja) 圧力トランスデューサ組立体およびその製造方法
US6591686B1 (en) Oil filled pressure transducer
EP3614116B1 (en) Pressure sensors and methods of making pressure sensors
US4888992A (en) Absolute pressure transducer and method for making same
JPH0411141Y2 (ja)
EP0337380B1 (en) Semiconductor pressure sensor
JPH0515071Y2 (ja)
JPH0654270B2 (ja) 圧力測定器
JPH10122990A (ja) 半導体圧力センサ
JPH05346363A (ja) 差圧伝送器
HK1008091B (en) Semiconductor pressure sensor
JPS5972035A (ja) 差圧・圧力発信器